CN103347681B - 层压处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是提供一种工件的层压处理及搬入搬出时间短效率高、更紧凑且便宜的层压装置及使用它的层压处理系统。本发明的层压装置具备上部腔室部件（40）、和设置在该上部腔室部件（40）的下方的热板（20），热板（20）是将搬入到热板（20）上的薄板状的工件（W）加热的部件，上部腔室部件（40）能够在从热板（20）离开的上升位置和抵接在热板（20）上而形成腔室空间（S）的下降位置之间接近离开移动，在上部腔室部件（40）的下面侧设置有在热板（20）上被搬入搬出的工件（W）保持的多个臂（44），在热板（20）的上面形成有收存该臂（44）的凹部。

Description

层压处理装置

技术领域

本发明涉及对层叠的薄板材实施层压处理的层压装置及使用它的层压处理系统。

背景技术

以往，作为太阳能电池层压处理装置，存在在处理装置的前后设置输送机、通过该输送机将工件向装置搬入搬出的结构。一般在层压处理时间上1次花费十几分钟左右的时间，所以有为了提高生产性而将3片同时处理的结构等(参照专利文献1)。

此外，作为单片式的层压处理装置，存在在下腔室中收容加热板、在上腔室中安装隔膜、将载置在上述加热板上的基板用上下腔室密闭而进行处理的结构(参照专利文献2)。

包括单片式层压机、以往的实施真空加热处理的装置中的大多数都具备上下腔室，基板的取放通过从加热板出没的提升销进行基板的取放(参照专利文献3)。

输送机输送式的装置在平面上较大而需要占用空间，另一方面，由上下腔室构成的单片式装置在上下方向上需要较大的占用空间，所以以往的层压机装置是大型的。

作为单片式的层压机作为成为紧凑的构造的结构，例如有具备包括加热器的第1单元、和对载置在第1单元上的层叠对象物从上施加压力的包括隔膜的第2单元的层压装置。该装置去除了下腔室，是由加热器和上腔室构成的紧凑的构造(参照专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－126407号公报

专利文献2：日本特许3890206号公报

专利文献3：日本特开2009－68037号公报

专利文献4：日本特开2007－112031号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在专利文献1的装置中，在将基板搬入搬出时，需要从加热器暂且拆下夹具、对拆下的夹具载置或卸下基板。虽然装置自身变得紧凑，但基板的取放是非常麻烦的结构，不是适合于量产的装置。

此外，在专利文献2的装置中，虽然能够一次进行多片的处理，但必须使最先搬入的基板在最后搬入的基板搬入完成之前的期间待机，不能高效率地进行搬入搬出。

此外，在如专利文献3、4的装置那样在由上下腔室等构成的腔室空间中进行真空处理的装置中，由于用于抽真空的空间较大，所以处理时间变长。

本发明是鉴于这样的问题而做出的，目的是提供一种以短时间高效率进行基板的层压处理及搬入搬出、更紧凑且便宜的构造的层压装置及使用它的层压处理系统。

用于解决技术问题的手段

有关本申请的发明，是一种层压装置，对薄板状的工件实施层压处理，其特征在于，具备：上部腔室部件，在其下面侧安装有隔膜；工件载置部件，设置在上述上部腔室部件的下方，在其上面载置上述工件；上述上部腔室部件及上述工件载置部件中的至少一方能够在上述上部腔室部件与上述工件载置部件离开的离开位置、和该工件载置部件与上部腔室部件抵接而在其内部形成腔室空间的抵接位置之间相对地接近离开移动；在上述上部腔室部件的下面侧，设有用来保持在上述工件载置部件上被搬入搬出的上述工件的臂。

这样，由于在上部腔室部件的下面侧设置有工件保持用的多个臂，所以如果上部腔室部件相对于工件载置部件离开，则保持在臂上的工件也成为相对于工件载置部件离开的状态。即，不需要另外设置工件保持用的臂的驱动机构而维持紧凑且简单的结构，并且能够使保持在臂上的工件相对于热板接近离开移动。

上述工件载置部件在其上面具有用来分别收存多个上述臂的凹部。

如果形成这样的凹部，则在由上部腔室部件和工件载置部件形成腔室空间时，能够在该凹部中平顺地收存臂而迅速且可靠地形成气密性良好的腔室空间。另外，作为用来收存臂的构造，除了形成上述工件载置部件的凹部的构造以外，例如也可以是在上部腔室部件上形成退避部的构造。当使上部腔室部件抵接在工件载置部件上时，如果臂向上部腔室部件侧退避移动而收存到该退避部中，则能够迅速且可靠地形成气密性良好的腔室空间。

此外，上述工件载置部件具有用来将载置在其上面的上述工件加热的加热器。

这样，在以往的装置中，由于在设置于腔室空间内的加热机构中设置有加热器，所以加热器设置及维护时的作业性一定不好。对于这一点，如果是在工件载置部件上直接设置加热器的构造，则配线的处置较容易等，能够简单地设置加热器，并且维护性也良好。

一种层压装置，其特征在于，具备：上部腔室部件，在其下面侧安装有隔膜；热板，设置在该上部腔室部件的下方；该热板是将搬入到该热板上的薄板状的工件加热的部件；上述上部腔室部件及上述热板中的至少一方能够在上述上部腔室部件与上述热板离开的离开位置、和上述上部腔室部件抵接在上述热板上而在该热板与上部腔室部件之间形成腔室空间的抵接位置之间相对地接近离开移动；在上述上部腔室部件的下面侧，设置有用来保持在上述热板上被搬入搬出的上述工件的多个臂，在上述热板的上面上，形成有将抵接在该热板上的上述上部腔室部件的上述臂收存的凹部。

这样，在有关本发明的层压装置中，由于由热板和上部腔室部件形成腔室空间，所以能够使腔室空间非常狭小，使抽真空的时间缩短。由此，使基板的处理时间缩短。

此外，由于在上部腔室部件的下面侧设置有工件保持用的多个臂，所以如果使上部腔室部件相对于热板离开，则保持在臂上的工件也成为相对于热板离开的状态。即，不另外设置工件保持用的臂的驱动机构而维持紧凑而简单的结构，并且能够使保持在臂上的工件相对于热板接近离开移动。

也可以还具备在从上述热板向上方离开的位置保持上述工件的多个柱塞销。在此情况下，将各柱塞销向上方突出且可出没地设置到形成在上述热板的上面的多个孔(穴)内，并通过弹性部件向上方施力。

如果是这样的柱塞销，则能够将工件在从热板离开的状态下加热(预热)，与使工件与热板接触的状态下加热(预热及本加热)的情况相比，能够使工件的温度上升梯度变平缓，抑制工件的翘曲的发生。如果能够抑制工件的翘曲，则能够更容易地防止其后的加热中的加热不匀的发生，能够将工件高效率地加热。此外，如果工件的温度上升较急剧，则在其后的层压处理时的加压中在工件上发生破裂，但通过平缓的温度上升能够防止工件的破裂。由于将具有这样的效果的柱塞销用销和弹簧等的弹性部件简单且紧凑地构成，所以不易发生故障，并且维护性良好。

上述热板具备配置在其上面中央部的工件加热部、和设置在其下面的加热用的加热器。在此情况下，也可以在上述热板的上面、上述工件加热部的外周部沿着载置在该工件加热部上的工件的外周缘部形成槽。

作为由本发明的层压装置层压处理的工件，可以举出例如以夹着粘接剂的状态层叠的玻璃基板。在这样的工件的层压处理中，有可能粘接剂从玻璃基板的外周缘流出。关于这一点，如果有上述那样的槽，则即使粘接剂流出，粘接剂也积存在该槽内，所以能够防止粘接剂附着到玻璃基板上。如果防止工件加热部表面的脏污，则能够缩短工件加热部的清扫及维护所需要的时间，进而能够缩短工件的处理时间。此外，槽构造是简单的构造，维护性良好。

上述隔膜具备将上述工件加热部整面及上述槽整体覆盖的大小的工件推压用的膜体。在此情况下，也可以在上述槽的外侧的上述热板上设置上述膜体的外周部推抵的垫片。

如果设置这样的垫片，则在用隔膜将工件加压时，能够更可靠地防止压力不匀的发生。由此能够防止粘接剂的扩散不匀的发生。

也可以是，上述上部腔室部件呈具有壁部和盖部的盖箱状，在该壁部的与上述热板的抵接部上配置有气密用的密封部件；上述热板具备用来向上述上部腔室部件的壁部下方排出上述腔室空间内的气体的排气孔，在上述壁部的对置于上述排气孔的部分设有面向上述腔室空间的凹陷部。

如果做成这样的构造，则当从腔室空间进行排气时，能够将腔室空间内的气体不通过隔膜堵塞而迅速地排出，能够缩短工件的处理时间。

上述隔膜配置在上述上部腔室部件的主体的下面侧；该上部腔室部件的主体具备用来对上述隔膜施加推压力的外气的给排气口。在此情况下，优选的是在上述上部腔室部件的主体与上述隔膜之间配置网状体。

如果这样在上部腔室部件的主体与隔膜之间配置网状体，则能够防止通过隔膜的膜体将吸排气口堵塞。由此，能够总是迅速地进行上部腔室部件的主体与隔膜之间的空间与外界之间的吸排气，能够缩短工件的处理时间。

有关本申请的另一发明，是一种层压处理系统，其特征在于，具备由有关上述发明的层压装置构成的层压单元、和对该层压单元搬入、搬出上述工件的工件搬入搬出单元；上述工件搬入搬出单元在上述上部腔室部件从上述热板离开时能够将上述工件移载到上述臂上，并且具备能够将该臂上的上述工件取出的机器人臂；在上述工件搬入搬出单元与上述层压单元之间将上述工件进行单片输送。

在该层压处理系统中，如果将上部腔室部件相对于热板离开，则上部腔室部件的臂的位置也成为相对于热板离开的状态(非接触状态)。并且，在此状态下，利用工件搬入搬出单元，进行工件的向从热板离开的臂上的移载、及臂上的工件的取出。

这里，例如如果搬入到层压单元内的工件在与搬入同时即便仅一部分与热板侧的部件接触，则有可能以其为原因而在工件上发生加热不匀。关于这一点，在有关本发明的层压处理系统中，搬入到层压单元中的工件被臂保持，是从热板离开的状态(非接触状态)，防止了热不匀的发生。

此外，由于同上部腔室部件与热板之间的离开动作完成同时，工件的相对于热板的离开动作也完成，所以其后能够迅速地执行工件的移载及取出动作。由此，能够实现层压处理时间的缩短。

发明的效果

在有关本发明的层压装置中，由于使用用来载置工件的工件载置部件作为腔室空间形成用的部件，所以能实现装置构造的简单化，维护性提高。此外，能够抑制故障的发生并实现装置的轻量化。

此外，在上部腔室部件的下面侧设置工件保持用的多个臂，如果使在臂上保持有工件的上部腔室部件相对于工件载置部件抵接，则从臂将工件移载到工件载置部件上，此外，如果使上部腔室部件从工件载置部件离开，则臂将工件从工件载置部件上捞起，工件成为从工件载置部件离开的状态。即，不另外设置工件保持用的臂的驱动机构而维持简单的结构，并且能够在臂与工件载置部件之间进行工件的移载。

附图说明

图1是表示有关本发明的层压处理系统的立体图。

图2(A)是表示热板的俯视图，图2(B)是图2(A)所示的3B－3B线的剖视图，图2(C)是表示图2(B)的主要部3C(垫片的构造)的放大剖视图，图2(D)是表示图2(A)的主要部3Ds(热板的柱塞销构造)的3D－3D线的截面的剖视图。

图3是表示图2(A)的主要部4As(热板的排气孔或凹部构造)的4A－4A线的截面的部分剖视图。

图4各图是将本发明的层压装置从图1的箭头E方向观察的状态的示意图，图4(A)表示上部腔室部件是上升位置的状态，图4(B)表示上部腔室部件是抵接位置的状态，图4(C)表示在柱塞销上载置有工件的状态。

图5(A)是表示以往的装置的上部腔室部件处于上升位置的状态的示意图，图5(B)是表示以往的装置的上部腔室部件处于抵接位置的状态的示意图。

附图标记说明

1层压处理系统，10层压装置(层压单元)，

10a台座，20热板(工件载置部件)，21工件加热部，22槽，

23垫片，24排气孔，24a上端开口，

25柱塞销，25a销部，25b座部，25c盖体，25d孔，

26弹簧(弹性部件)，27凹部，40上部腔室部件，

41主体(盖部)，42隔膜，42a推压用的膜部，

43框体(壁部)，43a抵接的部分，43b对置的部分，

44臂，44a臂基部，44b臂前部，

45吸排气口，46网部件(網状体)，47密封部件，48凹陷部，

50升降部件，50a线性致动器，

80工件搬入搬出机器人(工件搬入搬出单元)，

81机器人基部，82回转部，83机器人臂支承部，

84机器人臂，84a机器人臂基部，84b机器手，

100以往的层压装置，120热板，125销，

130d从热板到销中心的距离，140上部腔室部件，

Fa本发明的装置的上部腔室部件40的升降行程，

Fb本发明的装置的下真空室的高度，

Ga以往的上部腔室部件140的升降行程，

Gb以往装置的下真空室Sb的高度，

S腔室空间，Sa上真空室，Sb下真空室，W工件。

具体实施方式

以下，参照附图对有关本发明的层压处理系统进行说明。

如图1所示，层压处理系统1具备层压装置(层压单元)10和工件搬入搬出机器人(工件搬入搬出单元)80。

另外，由本实施方式的层压装置10处理的工件W(由热板加热的工件)例如是多片玻璃基板的层叠体，在玻璃基板之间夹着粘接剂。

层压装置10如图1所示，具备设置在台座10a上的热板(工件载置部件)20、配置在热板20的上方的上部腔室部件40、和将上部腔室部件40相对于热板20可升降地支承的升降机构50。另外，热板20通过在作为该主体部的后述的工件加热部21的背侧(下面)设置加热器(未图示)而构成。

在该层压装置10中，如后述那样，由热板20和上部腔室部件40形成在将工件W层压处理时使用的腔室空间S(参照图3)。此外，升降机构50是使用以朝向垂直方向的状态设置的4台周知的线性致动器50a(参照图1：例如气缸等)的，所以这里省略其详细的说明。

热板20是用来将作为层压对象的薄板状的工件W加热的，具备位于其上面中央部的工件加热部21(参照图2)、和设置在工件加热部21的背侧(下面侧)的加热用的加热器(未图示)。在层压处理时，处理对象的工件W在载置在该工件加热部21上的状态下被热板20加热。

此外，热板20具备在其上面、工件加热部21的外周部上形成的槽22。换言之，该槽22以沿着载置在工件加热部21上的工件W的外周缘的配置形成。即，如图2(B)及图2(C)所示，在本实施方式的层压装置10中，将工件W搬入到热板20上，以使其外周缘位于槽22的上端开口。

进而，热板20具备在槽22的外侧的热板上、后述的隔膜42的外周区域推抵的位置上设置的垫片23(参照图2(A))。

垫片23如图2(A)所示，是俯视矩形的薄板状的框部件，以将槽22的外侧包围的方式设置在热板20上。该垫片23与热板20分体地设置，能够拆装，但也可以与热板20是一体。

并且，如图2(C)所示，垫片23的上面的高度位置例如也可以与载置在热板20上的工件W的上面高度位置同等。或者，也可以改变长边、短边的高度。垫片23高度也可以设定为最优的高度。

此外，在热板20上，形成有用于气体排出的排气孔24(参照图3)。

具体而言，该排气孔24在将当上部腔室部件40下降时在上部腔室部件40与热板20之间形成的腔室空间S的下真空室Sb(由隔膜42和热板20包围的空间；参照图4(C))内的气体用泵(未图示)排出时使用。

并且，在热板20的上面开口的排气孔24的上端开口24a如图3所示，在热板20的垫片23的外缘部、上部腔室部件40的后述的框体43和热板20对置的位置上设置，在框体43的与排气孔24的上端开口24a对置的部分上，设有面向腔室空间S的凹陷部48。因而，能够经由排气孔24及凹陷部48a不被隔膜42堵塞而可靠地将腔室空间S的下真空室Sb内的气体排气。

此外，热板20具备以从其上面向上方突出的状态设置的多个柱塞销25(参照图2(D))。这些柱塞销25主要用于将搬入到层压装置10内的工件W以从热板20向上方离开(浮起)的状态保持。

各柱塞销25具备销部25a和下端侧的座部25b，并且设置(就位)在形成于热板20上的孔25d内，以能够在柱塞前端(上端)从孔25d的上侧开口突出到上方的突出位置(参照图2(D))和柱塞前端进入到孔25d中的后退位置(参照图4(C))之间出没的状态设置。

在各孔25d的上端开口部上，如图2(D)所示，安装有形成有销部25a贯通的孔的盖体25c，各柱塞销25总是被弹簧(弹性部件)26朝向上方的盖体25c施力，被保持在突出位置(参照图2(D))的状态。作为该弹簧26，使用能够将载置在柱塞销25上的工件W以从热板20离开的状态保持的弹簧强度的弹簧。

因而，各柱塞销25在无负荷状态时位于突出位置(参照图2(D))，在载置了工件W时，也位于柱塞销前端从热板20上面突出的工件支承位置。并且，通过用后述的隔膜42将工件W向下方推压，随之将柱塞销25移动到后退位置(参照图4(C))。即，被隔膜42推压的工件W被抵接在热板20的工件加热部21上，在该状态下被加热而被层压处理。

此外，在热板20的上面，形成有收存安装在上部腔室部件40上的后述的臂44的多个凹部27(参照图2(a)、图3)。

如图2(a)所示，在热板20的上面有开口的凹部27形成在热板20的上面的6个部位上。各凹部27形成在与后述的臂44的位置对应的位置上。因而，当上部腔室部件40下降到下降位置(抵接位置，参照图4(C))时，各臂44被收存到对应的凹部27内，所以上部腔室部件40的框体43的下端部能够抵接在热板20的上面。

如图3所示，上部腔室部件40具备作为四方形的板状部件的上部腔室的主体(盖部)41、安装在主体41的下面侧的隔膜42、和遍及整周设置在主体41的下面的外周部上的框体(壁部)43。

并且，在上部腔室部件40的下面侧的框体43的内侧部(或下端部)，设有基板保持用的多个臂44(参照图4)。

隔膜42是用来将工件W向热板20推压的膜体，具备推压用的膜部42a(参照图3)。该膜部42a是将工件加热部21的整面及槽22的整体完全覆盖的大小，并且是膜部42a的外周部分被推抵在设置于槽22的外侧的垫片23上面的大小。

上部腔室部件40的主体41如图4(A)～图4(C)所示，是被升降机构50支承的四方形的板状的部件，在其中央部具备吸排气口45。该吸排气口45是用来通过泵(未图示)将外气导入到主体41与隔膜42之间的上部真空室Sa(参照图4(A)～图4(C))内、施加将该隔膜42向热板20即工件W推压的推压力的。

并且，在主体41与隔膜42之间的上部真空室Sa内配置有网部件(网状体)46。如果在该部分上配置网部件46，则当从吸排气口45将上部腔室部件40的主体41与隔膜42之间的气体排气时，由于在主体41与隔膜42之间总是形成间隙，所以能够可靠地防止隔膜42密接在主体41上而将吸排气口45堵塞的情况。另外，网部件46的大小只要面向吸排气口45的整面就可以，但更优选的是面向隔膜42的推压用的膜部42a的整面的大小。

此外，在上部腔室部件40的框体43的下端部上，设有遍及其整周设置的密封部件47。

框体43的下端部具备当上部腔室部件40下降时抵接在热板20的上面上的部分43a、和与配置在该内侧的热板20对置的部分43b。抵接的部分43a和对置的部分43b经由台阶相邻。由于在抵接的部分43a上设置有密封部件47，所以当上部腔室部件40下降到下降位置(参照图4(C))、上部腔室部件40与热板20抵接、形成腔室空间S(参照图3)时，能确保腔室空间S内的气密性。此外，在热板20的与对置的部分43b对置的位置上配置有排气孔24。即，在与排气孔24对置的框体43的位置上形成有凹陷部48。因而，当从排气孔24将腔室空间S内的气体排出时，能够迅速且可靠地将气体排出。

各臂44(在本实施例的装置中是6个)安装在上部腔室部件40的下面侧(参照图1、图4)。

如图4所示，各臂44具备安装固定在框体43上的臂基部44a、和从臂基部44a的下端朝向层压装置10的内侧水平地延伸的臂前部44b。在这些臂前部44b的上面载置、保持工件W。

这样的结构的上部腔室部件40如上述那样支承在升降部件50上，能够在从热板20向上方离开的上升位置(离开位置，参照图4(A))和框体43的下端部抵接在热板20上的下降位置(抵接位置，图4(C)参照)之间升降。并且，当上部腔室部件40下降到下降位置时，形成由上部腔室部件40(主体41及框体43)和热板20包围的腔室空间S(参照图3)。另外，腔室空间S中的、由上部腔室部件40的主体41和隔膜42包围的空间是上部真空室Sa，由隔膜42和热板20包围的空间是下部真空室Sb。

工件搬入搬出机器人(工件搬入搬出单元)80如图1所示，能够对层压装置10内搬入搬出工件W，具备机器人基部81、在机器人基部81上可绕垂直轴回转地设置的回转部82、固定在回转部82的上部的U字形状的机器人臂支承部83、和设置在机器人臂支承部83上的机器人臂84。

机器人臂84具备可升降地设置在机器人臂支承部83上的机器人臂基部84a、相对于机器人臂基部84a可在水平方向上进退移动地设置的机器手84b(参照图1、图4(A))。通过该机器手84b将工件W相对层压装置10内以单片式(一片片地)搬入搬出。

另外，机器人臂84的升降动作和机器手84b的进退动作是通过周知的机器人进行的动作，所以这里省略关于其结构及动作的详细的说明。此外，在本实施方式中，作为工件搬入搬出机器人80举使用双立柱(双支柱)型的滑臂机器人的情况为例进行了说明，但并不限定于此，也可以是单立柱型的滑臂机器人、垂直多关节机器人或水平多关节机器人等。

参照图1及图4说明这样的层压处理系统的动作。

这里，以通过工件搬入搬出机器人(以下，单称作机器人)80将工件W向层压装置10内搬入的工件搬入工序为起点说明动作。

在工件搬入工序中，首先，通过机器人80的机器手84b将收容在料盘(未图示)中的层压对象的工件W取出，向层压装置10搬入(参照图1)。将工件W搬入的位置是上部腔室部件40的主体41与臂44的臂前部44b之间(参照图4(A))。

然后，如果使机器人臂84下降移动，则搬入的工件W被载置到安装于上部腔室部件40上的臂44的臂前部44b上(参照图4(A))。并且，如果工件W的向臂44的载置完成，则使机器手84b后退，移动到层压装置10的外部，完成工件W的搬入。

如果工件搬入工序完成，则接着执行层压处理。

层压处理大致上讲，通过依次执行上部腔室下降工序(腔室形成工序)、预热工序、加压工序(加热工序)、加压解除工序、上部腔室上升工序(工件取出工序)来进行。

如果工件搬入工序完成，则首先执行上部腔室下降工序。

在该工序中，使升降机构50动作，使上部腔室部件40朝向热板20下降。通过该动作，首先，将载置在臂44的臂前部44b上的工件W移载到热板20的柱塞销25上(参照图4(B))。

并且，如果使上部腔室部件40进一步下降，则臂44进入到热板20的凹部27内，最终上部腔室部件40的密封部件47抵接在热板20的上面(参照图4(C))。由此，上部腔室下降工序完成。

然而，如图5(A)所示，在以往的层压装置100的上部腔室下降工序中，由于通过机器手将工件W载置到销125上，所以必须使销125从热板120的突出高度变高、使机器手进入到热板120与销125的前端高度之间130d。此外，在此情况下，由于工件W被从比销125高的位置移载到销125上，所以使机器手的工件保持高度具有某种程度的余量，以使工件W不与销125干涉(碰撞或擦碰)。因此，关于上部腔室部件140的上升位置，必须设置到比机器手的工件保持高度更高的位置，上部腔室部件140的升降行程Ga往往变长。

关于这一点，在有关本发明的实施方式的层压装置10中，由于将工件W载置到安装于上部腔室部件40上的臂44上，所以上部腔室部件40的升降行程Fa(参照图4(A))只要是臂44从热板20完全露出的行程就足够。由此，与以往的层压装置100相比，上部腔室部件40的升降行程Fa变短，能够缩短升降时间。由此，能够缩短层压处理时间。

在接着的预热工序中，对上真空室Sa及下真空室Sb这两者进行抽真空。具体而言，使未图示的泵动作，从吸排气口45将上真空室Sa内的空气排出，并从排气孔24将下真空室Sb内的空气排出。在本工序中，工件W还载置在柱塞销25之上。并且，将热板20通过加热器(未图示)预热到规定的温度，通过来自被预热了的状态的热板20的辐射热将工件W加热(预热)。由此，能够防止工件W被急加热，能够防止工件W的翘曲的发生。

在接着的加压工序中，将上真空室Sa大气开放。由此，在隔膜42的膜体部42a上作用朝下的大气压，通过该压力将工件W推压到热板20上。随之，柱塞销25被移动到后退位置(参照图4(C))，使被膜体部42a推压的工件W抵接在热板20的工件加热部21上。在此状态下将工件W加热，进行层压处理。

如果规定时间的加压工序结束，则接着执行加压解除工序。

在该工序中，将下真空室Sb大气开放。由此，上真空室Sa内及下真空室Sb内都成为大气压，将工件W向热板20推压的力被解除。如果推压力被解除，则通过被向上方施力的柱塞销25将工件W向上方推起，工件W成为从热板20向上方离开的状态。

然而，以往的层压装置100如图5(B)所示，需要在腔室空间S内设置热板120并在热板120的下侧确保销125退避的空间，所以相应地腔室空间S的下真空室Sb的容积(特别是下真空室Sb的高度Gb)变大。如果下真空室Sb的容积变大，则相应地在使腔室空间S内成为规定的真空度之前花费时间。

关于这一点，在有关本发明的实施方式的层压装置10中，使用热板20作为下部腔室部件并在上部腔室部件40上设有臂44，所以不需要在热板20的下侧确保空间，相应地能够使下真空室Sb的容积(特别是下真空室Sb的高度Fb)变小。由此，能够缩短使下真空室Sb成为规定的真空度之前的时间，能够缩短层压处理时间。

在接着的上部腔室上升工序中，使升降机构50动作，使上部腔室部件40上升以从热板20离开。通过该动作，载置在柱塞销25上的状态的工件W被臂44的臂前部44b捞起。即，工件W成为载置在臂前部44b上的状态，层压处理结束。

如果层压处理完成，则接着执行工件搬出工序。

在该工序中，使机器人80的机器手84b进入到层压装置10中。机器手84b的进入位置是工件W与热板20之间。

然后，使机器人臂84上升，将载置在臂前部44b上的工件W通过机器手84b来气。由此，工件W被移载、保持到机器手84b上。

然后，使机器手84b后退，使工件W向层压装置10的外部移动(卸载)。然后，将工件W收存到已处理工件收存目标的料盘中，结束一系列的层压处理。这里，作为机器人80，也可以使用具备两个机器手84b的双手机器人。在此情况下，能够用一个机器手使已处理的工件W卸载到层压装置10的外部，并用另一个机器手使未处理的工件W向层压装置10的内部供给(装载)。

在连续执行层压处理的情况下，将这样的一系列的工序重复执行。

另外，有关本发明的层压装置及层压处理系统并不限定于上述实施方式，在本发明中包含在不脱离本发明的主旨的范围内能够改变的各种形态的层压装置及层压处理系统。

Claims (9)

1.一种层压处理系统，具备：对薄板状的工件实施层压处理的层压单元、和对该层压单元搬入、搬出上述工件的工件搬入搬出单元；其特征在于，

上述层压单元具备：

上部腔室部件，在其下面侧安装有隔膜；

工件载置部件，设置在上述上部腔室部件的下方，在其上面载置上述工件；

升降机构，设置在上述上部腔室部件及上述工件载置部件中的至少一方，能够在上述上部腔室部件与上述工件载置部件离开的离开位置、和该工件载置部件与上部腔室部件抵接而在其内部形成腔室空间的抵接位置之间相对地接近离开移动；以及

保持工件的臂，设置在上述上部腔室部件的下面侧，用来保持在上述工件载置部件上被搬入搬出的上述工件，

上述工件搬入搬出单元在上述上部腔室部件从上述工件载置部件离开了时能够将上述工件移载到上述保持工件的臂上，并且具备能够将该保持工件的臂上的上述工件取出的机器人臂；

在上述工件搬入搬出单元与上述层压单元之间单片输送上述工件。

2.如权利要求1所述的层压处理系统，其特征在于，

上述工件载置部件在其上面具有用来分别收存多个上述保持工件的臂的凹部。

3.如权利要求1或2所述的层压处理系统，其特征在于，

上述工件载置部件具有用来对被载置在其上面的上述工件进行加热的加热器。

4.如权利要求3所述的层压处理系统，其特征在于，

在上述上部腔室部件的下方，作为上述工件载置部件而设置有热板；

该热板是对被搬入到该热板上的薄板状的工件进行加热的部件。

5.如权利要求4所述的层压处理系统，其特征在于，

还具备在从上述热板向上方离开的位置保持上述工件的多个柱塞销，各柱塞销向上方突出且可出没地设置在形成于上述热板的上面的多个孔内，并且被弹性部件向上方施力。

6.如权利要求4或5所述的层压处理系统，其特征在于，

上述热板具备配置在其上面中央部的工件加热部、和设置在其下面的加热用的加热器；

在上述热板的上面、上述工件加热部的外周部上，沿着载置在该工件加热部上的工件的外周缘部而形成有槽。

7.如权利要求6所述的层压处理系统，其特征在于，

上述隔膜具备将上述工件加热部整面及上述槽整体覆盖的大小的工件推压用的膜体，在上述槽的外侧的上述热板上，设置有上述膜体的外周部推抵的垫片。

8.如权利要求4所述的层压处理系统，其特征在于，

上述上部腔室部件呈具有壁部和盖部的盖箱状，在该壁部的与上述热板的抵接部上配置有气密用的密封部件；

上述热板具备用来向上述上部腔室部件的壁部下方排出上述腔室空间内的气体的排气孔，在上述壁部的对置于上述排气孔的部分，设有面向上述腔室空间的凹陷部。

9.如权利要求8所述的层压处理系统，其特征在于，

上述隔膜配置在上述上部腔室部件的主体的下面侧；

该上部腔室部件的主体具备用来对上述隔膜施加推压力的外气的给排气口，在上述上部腔室部件的主体与上述隔膜之间配置有网状体。