CN103328153A - 用于机床元件的位置校正的装置和用于该装置的补偿元件 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于机床的至少一个元件的位置校正的装置，所述机床尤其是铣床（F），其中,在机器元件（13.1）与在其位置方面需要修正的元件（13.2）之间布置至少一个补偿元件（13.3），所述补偿元件能被这样调节一个调节行程，使得通过以调节行程操纵所述补偿元件，所述元件能围绕偏转轴线（S）偏转，并且所述机器元件与所述在其位置方面需要修正的元件彼此通过铰链（16.1）连接，所述铰链确保所述围绕偏转轴线（S）的偏转运动。

Description

用于机床元件的位置校正的装置和用于该装置的补偿元件

技术领域

本发明涉及一种用于机床元件的位置校正的装置和为此使用的补偿元件。在尤其是具有开口的（C形）机架结构的机床中，通过在组件中不同的温度分布，在刀具侧与工件侧之间产生倾斜改变。尤其是在多主轴的机器中，借助所述多主轴的机器应该同时加工多个相同的工件，由于这样的倾斜改变，根据加工主轴和工件的布置，产生各单独的工件的不同尺寸、例如不同的厚度。在各单独的工件之间的尺寸差别可超过预定的公差并导致次品。

背景技术

已知通过冷却系统限制这种倾斜改变并且导出在主热源上产生的热量。但以合理的花费，产生的热量从来不能完全地经由冷却系统导出。

检测并通过被压力加载的变形元件调节性地补偿在机床上的例如通过温度影响引起的位移的原理思想已经由文献DE 1 946 857A已知，其中描述了用于控制和校正尤其是在机床中的机械移动的方法和装置。为此在机器的一个或多个位置上布置变形元件。机床的变形类似地由单独的变形探测元件确定，所述变形探测元件也能布置在机器之外。在变形元件与探测元件之间设置用于控制和调节的机构。通过所述变形元件的伸展和收缩修正位移。这种解决方案相对地耗费并且一个重大的缺点在于，变形元件在结构上非常不稳定地构成，从而机床的对于高精工制造需要的稳定性不能被确保。

在文献DE 10 2004 007 042A1中描述了用于在包括主轴箱和可移动的纵向滑座的机床上的组件的位置校正的装置，以补偿通过温度变化或静力引起的位移。为此在主轴支承部下方的旋转主轴壳体在该壳体的中间区域中被分开，并且该分开位置通过调节装置（促动器）再次关闭，其中所述促动器能通过驱动装置操纵。所述分开优选在前端上处于所述壳体左边的过渡横截面上进行。在所述分开的连接片（Steg）上，所需的扩张力由能机械编程的促动器传递。为了在主轴法兰（Spindelflansch）上能适当地调节希望的倾斜校正，机器特定的温度特性通过控制装置评估，并且接着通过所述能编程的促动器施加相应的用于改变的扩张力。在此为产生扩张载荷，通过具有两个不同的螺距的丝杠使促动器变形，并且由此使工作主轴倾斜。为此由驱动单元使丝杠运动所需要的调节量。位置驱动装置用作所述驱动单元，所述位置驱动装置包括直流电机和上级的差速齿轮变速器，所述直流电机包括绝对值发送器（Absolutwertgeber）、集成的调节电子装置和功率电子装置。所述单元固定在电机机座上。与由传感器接收的温度相关，通过机器控制装置进行对位置驱动装置的控制，所述位置驱动装置通过促动器产生相应的用于改变主轴壳体倾斜的扩张力。因此旋转主轴的倾斜被修正需要的量。促动器在此不是非常紧凑地实现，从而其对稳定性不利。此外工作主轴的倾斜调节完全根据测量的温度进行。也许由于其他的影响而会出现的、可能的不希望的位置改变未被检测到。

此外在补偿作用的自由度中的以及在其他的空间自由度中的刚度损失构成使用前述解决方案的主要问题。因此在所有的情况中，通过所述用于位置校正的装置在刚度减小时实现一种“浮动支承”，由此尽管执行了位置补偿和/或倾斜补偿，制造精度仍被不利地影响。

用于在切削加工的机床上的可平移运动的部件的位置校正的装置由文献DE 34 23 495C2已知，所述部件例如是滑座、滑板、柱塞（Traghuelse）或类似物。所述机床具有垂直的机座、可沿机座移动的主轴箱和由主轴箱滑动地支承的可运动部件，在所述部件上能固定刀具或附加装置。在该解决方案中设置以下组成部分：以压力介质加载的装置，用来施加用于校正通过可运动部件的位移引起的影响的校正力；用于检测可运动部件的位置的位置检测装置；用于产生与所检测到的可运动部件的位置相关的位移校正值的装置；根据所述位移校正值被操纵的、用于调节压力介质的压力的阀，其中，用于施加校正力的装置包括用于校正可运动部件的倾斜的补偿装置，并且位置检测装置产生位置信号，并且用于产生位移校正值的装置是产生位移校正信号的计算装置。所述阀能通过位移校正信号电磁地操纵，并且用于施加校正力的装置包括用于校正可运动部件的弯曲度的补偿装置、用于校正由于主轴箱的重心位置移动引起的主轴箱倾斜的补偿位置和用于校正主轴箱的前下区段的弹性变形的补偿装置。以位置信号输入的计算装置自动考虑在可运动部件上出现的载荷变化并且考虑在可运动机床部件的通过位置信号描述的移动位置与用于各单独的补偿装置的位移校正值之间的函数关系。以这种方式，在具有大的尺寸和大的重量的机床中，在使用相对简单的控制技术构件的情况下，也应该修正通过可运动刀具部件的位移引起的影响。这种解决方案相对复杂地构成，并且补偿可运动部件的弯曲度是非常耗费的，所述部件这里是可轴向移动的主轴。

发明内容

本发明的任务在于，提供一种用于机床元件的位置校正的简单装置，该装置确保机器的高刚度，所述机床尤其是铣床。

该任务通过权利要求1的特征部分的特征解决。

有利的设计由从属权利要求得出。

在根据本发明的用于机床的至少一个元件的位置校正的装置中，所述机床尤其是铣床，在机器元件与在其位置方面需要修正的元件之间布置至少一个补偿元件，所述补偿元件能被调节一个调节行程，并且通过以调节行程操纵所述补偿元件，能围绕偏转轴线偏转，并且所述机器元件与所述在其位置方面需要修正的元件彼此通过铰链连接，所述铰链确保所述围绕偏转轴线的偏转运动。

在其位置方面可调节的元件能通过补偿元件被操纵并且通过铰链能偏转和被稳定，这使机器的刚度仅不重要地受影响。

如果机床以铣床形式构成，所述铣床具有尤其是开口的C形的机架结构，所述铣床包括第一结构件和至少一个第二结构件，至少一个具有主轴中心线的工作主轴和能围绕主轴中心线被驱动的刀具配置给所述第一结构件，至少一个用于至少一个工件的夹紧装置配置给所述第二结构件，则在第一结构件与第二结构件之间的倾斜能这样改变，即第一和/或第二结构件构成或具有所述在其位置方面能改变的元件并且借助一个或多个补偿元件通过引起的围绕偏转轴线的偏转运动在相互倾斜方面能被改变。

在第一结构件上布置的一个或多个刀具在此相互在相对于主轴中心线倾斜90°的刀具夹紧平面中定向，并且一个或多个工件在工件夹紧平面中定向，其中刀具夹紧平面与工件夹紧平面基本上相互平行地定向。如果在刀具夹紧平面与工件夹紧平面之间出现超过预定公差的倾斜，则通过校正第一结构件的或第一结构件的区域的倾斜和/或通过校正第二结构件的或第二结构件的区域的倾斜来补偿该超过预定公差的倾斜。

优选所述在其倾斜方面能被调节的元件构成为第二结构件的第一部件，用于工件的夹紧装置处于所述第二结构件上，所述第二结构件的第二部件构成机器元件，并且第二结构件的第一部件和第二部件通过铰链彼此能偏转地连接，并且在第二结构件的第一部件与第二部件之间布置多个补偿元件。通过使机床的布置有刀具夹紧装置的结构件偏转，与对在其上具有主轴箱及刀具的整个驱动技术装置的机器元件进行倾斜调节相比，本质上较简单的倾斜补偿是可能的。

铰链在此以有利的方式设置在第二结构件的朝向第一结构件布置的侧面上，并且构成为无间隙的柔性铰链，并且固定在第二结构件的第一部件和第二部件上，所述柔性铰链尤其是由扁钢构成。在第二结构件的与铰链相对置的侧面上在该第二结构件的第一部件与第二部件之间并排布置多个补偿元件，其中优选分别成对使用两个补偿元件，并且相互隔开地在第二结构件的第一部件与第二部件之间布置两个补偿元件或两对补偿元件，并且在第二结构件的第一部件与第二部件之间的分界基本上水平定向。

用于确定在所述两个平面之间的倾斜和/或倾斜改变的一种简单实用的可能性在于，其能借助机器内部的测量系统确定，并且由所确定的测量值计算用于补偿元件的调节行程的调节量。

为了同时加工在第二结构件上夹紧的各工件、尤其是结构相同的各工件，第一结构件具有相应数量的工作主轴。为了用两个上下布置的刀具加工例如两个上下布置的工件，在此倾斜补偿有特别的意义，因为在工件夹紧平面与刀具夹紧平面之间的倾斜过大时，各工件的加工结果能不希望地这样彼此偏离，使得出现次品。

根据本发明的用于机床、尤其是铣床的至少一个元件的位置校正的补偿元件能被调节一个调节行程并且布置在机器元件与所述在其位置方面需要修正的元件之间，并且具有基本上管状的伸缩体，所述伸缩体具有薄壁和朝向调节行程定向的纵轴线，在伸缩体内布置支承体，并且在支承体与伸缩体之间这样构成压力腔，使得在伸缩体的压力腔中作用的并且变化的压力下，伸缩体的薄壁沿调节方向在该薄壁的长度方面被改变调节行程，并且由此所述元件在其位置/倾斜方面被调节。通过将支承体布置在伸缩体中，除了轴向的可调节性之外，确保补偿元件的高的稳定性和刚度，并且因此在使用所述补偿元件时，机床的刚度仅不重要地受影响，这对于尤其是在需要高精度时的良好的加工结果是基本的前提。

优选伸缩体和支承体在补偿元件的第一端部上彼此连接，并且在补偿元件的另一个第二端部上，在支承体的外廓与伸缩体的内廓之间构成压力腔。

为此支承体和伸缩体在补偿元件的第二端部上分别具有一个基底，在各基底之间构成压力腔，从而在压力腔中的对两个基底作用的并且变化的力下，补偿元件的总高度改变。

在压力腔中作用的并产生调节运动的力在此按选择通过借助压力介质对压力腔进行压力加载引起或者通过在压力腔中布置的在施加电压时能调节高度的压电元件引起或者通过在压力腔中布置的能机械地调节高度的元件引起，所述压力腔通过密封件密封并且具有压力介质输入部。

借助根据本发明的解决方案，产生非常简单和实用的用于调节机器元件的倾斜的解决方案，借助所述机器元件，机器的稳定性不受影响或仅不重要地受影响。

附图说明

接着借助实施例和所属的附图详细说明本发明。附图如下：

图1用于同时加工两个工件的双主轴铣床的侧视原理示意图；

图2后视图；

图3补偿元件的纵剖面图。

具体实施方式

根据图1，铣床F具有大致C形的向上开口的结构。机床床身1具有基本上垂直延伸的X床身2和基本上水平延伸的Z床身3。X床身2具有与Z床身3相邻的导向区域4，在所述导向区域上，垂直延伸的、X滑座形式的第一结构件5借助第一驱动装置6可沿X方向移动地支承。在X滑座/第一结构件5上，通过未示出的导向部能沿Y方向调节高度的主轴箱7借助两个上下布置的工作主轴8、9固定。每个工作主轴8、9具有一个形式上为铣头的刀具10并且能借助驱动装置11旋转驱动。两个工作主轴8、9的主轴中心线A沿Z方向延伸并且相互对齐地上下布置。各刀具10在此这样定向，使得各刀具处在共同的垂直地沿Y方向延伸的刀具夹紧平面E1中（粗虚线划出）。在Z床身3上，借助导向部12，Z滑座形式的第二结构件13沿Z方向可调节地支承，所述结构件的后视图也在图2中示出。第二结构件13具有水平的分界14，从而该第二结构件被分成下面的第一部件13.1和处在其上的第二部件13.2。第一部件13.1和第二部件13.2在它们的指向结构件5的侧面上（未标明）通过柔性铰链15彼此连接（在图2中不可见），其中柔性铰链15构成扁钢的形式。在与柔性铰链相对置的侧面上，第二结构件13在其第一部件13.1与第二部件13.2之间总共具有四个补偿元件16，所述补偿元件分别成对地布置在一排中（也参看图2）。补偿元件16安置在第二部件13.2的朝向第一部件13.1方向开口的空隙13.3上。两个补偿元件16分别在它们的下侧上通过两个下压板17与第一部件13.1连接并且在它们的上侧上通过两个上压板18与第二部件13.2连接。在第二结构件13（Z滑座）上，布置用于固定夹紧装置的接纳部19，所述夹紧装置这里是紧固板20。借助对齐地垂直上下布置的夹紧装置21、22，第一工件23.1和第二工件23.2被夹紧。工件夹紧平面E2（粗虚线）应该为了确保高质量的加工而平行于刀具夹紧平面定向，所述工件夹紧平面此外通过夹紧装置21、22的垂直延伸的夹紧面21′和22′限定。但例如温度影响可导致，刀具夹紧平面E1和/或工件夹紧平面E2（如在图1中细虚线示出的）相互倾斜，由此可能不再确保工件的以相同尺寸的合乎质量的制造。通过未示出的机器内部的测量系统，检测相对于机架结构的额定定向的偏离。在超过预定的额定值时，根据所述实施例，借助机器的控制装置发出用于触发补偿元件16的调节运动的信号，并且补偿元件16被调节一个调节行程，并且由此第二结构件13的第二部件13.2围绕在铰链15的区域中的偏转轴线S偏转/倾斜，从而这里工件夹紧平面E2重新移动到额定区域中。优选借助所述机器内部的测量系统，在夹紧装置21、22的垂直延伸的夹紧面21′和22′上进行测量。同样可能，执行温度测量和/或也相互组合不同的测量方法，并由此计算补偿元件需要的调节行程。根据需要的再调节，补偿元件执行上升运动或下降运动。在图1中示出的实施例中，必须进行上升运动，以便从工件夹紧平面E2的处在公差外的、以细虚线示出的倾斜再次调节到需要的以粗虚线表示的工件夹紧平面E2上。

如果平面E1在其倾斜方面也已经改变，则可调节的平面E2相对于平面E1平行定向。同时通过Z滑座13的移动―经由计算机数控装置―又重新调整Z零点。根据工件和补偿元件16相对于旋转点S的几何布置，通过垂直滑座7的运动经由计算机数控装置补偿Y位置。通过使用尤其是多个补偿元件与至少一个柔性铰链相结合，确保了机床的高的刚度。

在此所述柔性铰链在应该进行希望的补偿运动的自由度上柔性地构成，而在其他的5个自由度上具有高的刚度。柔性铰链的总体布置在不应该实现运动的所有自由度上具有高的刚度值。

根据一种未示出的实施例也有可能，类似于第一结构件，第二结构件5被划分并且设有铰链和补偿元件，从而刀具夹紧平面E1也能倾斜。第一结构件5的分界面于是应该大致布置在第二结构件13的分界面14的高度上。

尤其是对于以两个刀具同时加工两个工件，本发明具有意义，因为通过其确保，这样进行工件的加工，使得以在公差范围内基本上相同的尺寸制造所述工件，因为工件夹紧平面的倾斜相对于刀具夹紧平面的倾斜持续地被控制并且在需要时被重新定向。

在图3中示出补偿元件16的一种实施方案。所述补偿元件具有基本上管状的空心的向上开口的伸缩体30，所述伸缩体具有薄壁31和朝向调节行程s定向的纵轴线As。所述伸缩体30在其在图中的下端部上具有径向向外指向的第一凸缘32，并且在其相对置的上端部上具有径向向外指向的第二凸缘33和基底34，从而伸缩体具有基本上杯形的结构，优选旋转对称的基本上杯形的结构。在伸缩体30中布置基本上圆柱形的支承体40，所述支承体具有相比于伸缩体30的薄壁31尤其较厚和较硬的壁41，并且在其下侧上同样具有径向向外指向的凸缘42，伸缩体30的第一凸缘32贴靠在该凸缘上。支承体40同样在其与凸缘42相对置的侧面上具有基底44并且整体上同样杯形地构成。

支承体40在其凸缘42与其基底44之间的外径D40与伸缩体30的内径D30相互适配。但为确保简单的装配和减小摩擦，支承体40在其基本上中间的区域中具有直径减小，从而形成间隙50。

伸缩体的基底34和支承体的基底44彼此隔开，从而在其间形成压力腔60。所述压力腔通过在伸缩体30的内径D30与支承体40的外径D40之间布置的密封件70限定，所述密封件布置在伸缩体的基底44的区域中。压力介质输入部80引导至压力腔60，所述压力介质输入部这里通过伸缩体30的第二凸缘33够到。下压板17（或机器元件）贴靠在补偿元件16的下侧上，并且上压板18（或需要调节的元件）贴靠在上侧上。

伸缩体30的第一凸缘32和支承体40的凸缘42互相连接并且与下压板17连接，伸缩体30的第二凸缘33与上压板18连接。

在初始状态中，压力腔60优选是无压力的并且补偿元件具有高度H1。为了实现调节行程s，通过压力介质输入部80，将这里未描述的压力介质导入压力腔60中并且在该压力腔中形成压力，所述压力引起，变形元件30的薄壁32发生（在弹性区域内的）拉伸的固体变形，并且薄壁32伸展，由此补偿元件的高度增大调节行程S至高度H2，并由此通过（在压力腔60中）引起的力F，贴靠的元件、这里是上压板18升起，而机器元件、这里是下压板17保持与机架固定。通过交错连接的形式上为变形元件30和支承体40的杯形构件，产生补偿元件16的非常简单和稳定的结构，所述结构仅轻微地影响机器的刚度。可选地也可能的是（未示出），由实心材料制造支承体40。

根据另一种实施方案，压力腔能持续地以在压力腔中的压力被加载，并因此伸缩元件也持续地以伸缩体的壁的拉力载荷（以预应力方式）被加载。在压力减小时，执行（根据图3向下的）调节运动，并且在压力提高时，执行与此相反的（根据图3向上的）调节运动。

根据未示出的实施方案，调节运动也能由在其长度方面可调节的元件引起，所述元件布置在伸缩体与支承体之间（优选在它们的基底之间的压力腔中）。所述元件例如可以是在施加电压时其高度改变的压电元件。

所述补偿元件除了使用在机床中也能布置在任意的、在其相互位置方面应该被调节的机器元件之间，所述机床尤其是铣床。

通过根据本发明的解决方案，机器结构在所有自由度中的静态和动态刚度仅以非常小的程度减小。倾斜改变优选自动地通过调节在补偿元件的压力腔中的液压压力进行。可能的是，无级地和以非常高的精度地（在μm范围中）改变倾斜，其中压力的并因此倾斜的调节优选通过机床（铣床）的计算机数控装置进行。为此，尤其是通过借助机器内部的测量系统进行的自动测量循环和/或通过热传感器进行机器的结构件的倾斜的改变，所述测量循环通过计算机数控装置启动，所述热传感器安装在所述结构的合适位置上。

由得到的测量值计算所需的补偿，并且通过计算机数控装置触发和执行补偿过程。在进行倾斜的、Z移动的和Y移动的补偿之后，可在需要时测量该结果并且检查所述结果是否对应于预想和期待。

Claims (13)

1.用于机床的至少一个元件的位置校正的装置，所述机床尤其是铣床（F），其中在机器元件与在其位置方面需要修正的元件之间布置至少一个补偿元件，所述补偿元件能被调节一个调节行程，并且通过以调节行程操纵所述补偿元件，所述元件能围绕偏转轴线（S）偏转，并且所述机器元件和所述在其位置方面需要修正的元件彼此通过铰链（16.1）连接，所述铰链确保所述围绕偏转轴线（S）的偏转运动。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在铣床（F）形式的机床中，所述铣床具有开口的机架结构、尤其是开口的C形的机架结构，所述铣床包括第一结构件（5）和第二结构件（13），至少一个具有主轴中心线（A）的工作主轴（8、9）和能围绕主轴中心线（A）被驱动的刀具（10.1、10.2）配置给所述第一结构件，至少一个用于至少一个工件（23.1、23.2）的夹紧装置配置给所述第二结构件，在第一结构件与第二结构件（5、13）之间的倾斜能这样改变，即第一和/或第二结构件（5、13）构成或具有所述在其位置方面能改变的元件并且借助一个或多个补偿元件（16）通过引起的围绕偏转轴线（S）的偏转运动在其相互倾斜方面能被改变。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，在第一结构件（5）上布置的所述刀具（10.1、10.2）在相对于主轴中心线倾斜90°的刀具夹紧平面（E1）中定向，并且所述工件（23.1、23.2）在工件夹紧平面（E2）中定向，其中刀具夹紧平面（E1）与工件夹紧平面（E2）基本上相互平行地定向，并且在刀具夹紧平面（E1）与工件夹紧平面（E2）之间出现的超过预定公差的倾斜能通过校正第一结构件（5）的或第一结构件（5）的区域的倾斜和/或通过校正第二结构件（13）的或第二结构件（13）的区域的倾斜被补偿。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，所述在其倾斜方面能调节的元件构成为第二结构件（13）的第一部件（13.1），用于工件（23.1、23.2）的夹紧装置处于所述第二结构件上，所述第二结构件（13）的第二部件（13.2）构成机器元件，并且第二结构件（13）的第一部件（13.1）和第二部件（13.2）通过铰链（16.1）彼此能偏转地连接，并且在第二结构件（13）的第一部件（13.1）与第二部件（13.2）之间布置多个补偿元件（16）。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，铰链（16.1）设置在第二结构件（13）的朝向第一结构件（5）布置的侧面上，构成为无间隙的柔性铰链，并且固定在第二结构件（13）的第一部件（13.1）和第二部件（13.2）上，所述柔性铰链尤其是由扁钢构成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，在第二结构件（13）的与铰链（16.1）相对置的侧面上在该第二结构件的第一部件（13.1）与第二部件（13.2）之间布置两个或更多个补偿元件（16），其中优选分别成对使用两个补偿元件（16），并且相互隔开地在第二结构件（13）的第一部件（13.1）与第二部件（13.2）之间布置两个补偿元件（16）或两对补偿元件（16）。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，在第二结构件（13）的第一部件（13.1）与第二部件（13.2）之间的分界基本上水平定向。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，在各平面E1与E2之间的倾斜/倾斜改变能借助机器内部的测量系统确定，并且由所确定的测量值，计算用于补偿元件（16）的调节行程的调节量。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，第一结构件（5）具有多个工作主轴（10.1、10.2），用于加工多个在第二结构件（13）上接纳的工件（23.1、23.2），尤其是同时加工多个在第二结构件上接纳的工件，所述工件尤其是结构相同的。

10.用于根据权利要求1所述的机床的至少一个元件的位置校正的补偿元件，所述机床尤其是铣床（F），能被调节一个调节行程的补偿元件（16）布置在机器元件与所述在其位置方面需要修正的元件之间，并且补偿元件（16）具有基本上管状的伸缩体（30），所述伸缩体具有薄壁（31）、朝向调节行程（s）定向的纵轴线（As），在伸缩体（30）内布置支承体（40），并且在支承体（40）与伸缩体（30）之间这样构成压力腔（60），使得在伸缩体的压力腔（60）中作用的并且变化的压力（F）下，伸缩体（30）的薄壁（31）沿调节方向在该薄壁的长度方面被改变调节行程（s），并且由此所述元件在其位置/倾斜方面被调节。

11.根据权利要求10所述的补偿元件，其特征在于，伸缩体（30）和支承体（40）在补偿元件（16）的第一端部上彼此连接，在补偿元件（16）的另一个第二端部上，在支承体（40）的外廓与伸缩体（30）的内廓之间构成压力腔（60）。

12.根据权利要求10或11所述的补偿元件，其特征在于，支承体（40）和伸缩体（30）在补偿元件（16）的第二端部上具有基底（34、44），在各基底（34、44）之间构成压力腔（60），从而在压力腔（60）中对两个基底（34、44）作用的并且变化的力下，补偿元件（16）的总高度（H1）改变。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的补偿元件，其特征在于，在压力腔中作用的并产生调节运动的力按选择地通过借助压力介质对压力腔进行压力加载引起或者通过在压力腔中布置的在施加电压时能调节高度的压电元件引起、通过在压力腔中布置的能机械地调节高度的元件引起，所述压力腔通过密封件密封并且具有压力介质输入部。

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