CN103324038A - 一种显影装置及显影方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种显影装置及显影方法，通过设置用于喷洒显影液的喷嘴；用于承载玻璃基板的机台；用于控制所述喷嘴和所述机台向一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器，在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其它方向倾斜所述预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度所述预设时间，从而可以保证玻璃各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。

Description

一种显影装置及显影方法
技术领域
本发明涉及液晶显示面板制作技术领域，具体可以涉及一种显影装置和显影方法。
背景技术
在液晶显示器（TFT-LCD）的生产过程中，涂布在玻璃基板上的光刻胶经曝光后需要进行显影才能得到需要的图形。
如图1、2所示，目前高世代产线的显影装置中，玻璃基板3以相对于机台1一定的倾斜角度（θ）设置于显影槽中，倾斜方向和倾斜角度保持不变，用于喷洒显影液的喷嘴2的倾斜角度和方向与玻璃基板3一致，显影过程中位于倾斜面上方（图1中玻璃基板3的a-a边）的玻璃基板3接触的都是经喷嘴2喷出的新液，显影液浓度较稳定，上方的显影液与光刻胶反应后浓度变稀并向倾斜面下方（图1中玻璃基板3的b-b边）流淌，从而导致倾斜面下方（图1中玻璃基板3的b-b边）的玻璃基板3接触到的显影液浓度比上方的玻璃接触到的显影液浓度低。因此，会导致玻璃倾斜面上方（即a-a边）的线宽比下方（即b-b边）的线宽窄，从而影响整张玻璃的线宽均匀性，如图3所示，线宽m<线宽n。
目前还有一种显影方式是采用机台1带动玻璃基板3旋转的方式进行显影，如图4所示。由于高世代产线的玻璃基板3尺寸特别大，旋转起来很容易造成碎片，该方式不适用于高世代的产线，所以这种显影方式只能对应小尺寸的玻璃基板3。
因此，在高世代的生产中，对于一些线宽均匀性要求比较高的膜层（如彩膜基板的黑矩阵BM、阵列基板的各层膜），需要寻求具有更好的线宽均匀性的显影装置来进行显影工艺。
发明内容
本发明提供一种显影装置及显影方法，可以保证玻璃基板各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。
本发明提供方案如下：
本发明实施例提供了一种显影装置，包括：
用于喷洒显影液的喷嘴；
用于承载玻璃基板的机台；
用于控制所述喷嘴和所述机台向机台一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器。
优选的，所述倾斜控制器包括：
可伸缩器件；
所述可伸缩器件分别与所述喷嘴和机台连接。
优选的，所述倾斜控制器包括四个所述可伸缩器件；
所述四个可伸缩器件分别与所述喷嘴和机台连接于预设位置处。
优选的，所述倾斜控制器包括：
摆动器件；
所述摆动器件与所述机台固定连接。
优选的，所述喷嘴与所述机台通过连接器件固定连接。
本发明实施例还提供了一种显影方法，包括：
在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；
按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其他方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度。
优选的，所述的方法还包括：
根据工艺要求，设定倾斜循环周期。
优选的，所述的方法还包括：
在一倾斜循环周期中，所述喷嘴持续喷洒显影液。
从以上所述可以看出，本发明提供的显影装置及显影方法，通过设置用于喷洒显影液的喷嘴；用于承载玻璃基板的机台；用于控制所述喷嘴和所述机台向一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器，在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其他方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度，从而可以保证玻璃各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。
附图说明
图1为现有技术示意图一；
图2为现有技术示意图二；
图3为现有技术示意图三；
图4为现有技术示意图四；
图5为本发明实施例提供的显影装置结构示意图一；
图6为本发明实施例提供的显影装置结构示意图二；
图7为本发明实施例提供的显影方法流程示意图；
图8为本发明实施例提供的显影方法实现过程状态示意图一；
图9为本发明实施例提供的显影方法实现过程状态示意图二；
图10为本发明实施例提供的显影方法实现过程状态示意图三；
图11为本发明实施例提供的显影方法实现过程状态示意图四；
图12为本发明实施例提供的显影方法实现结果示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
本发明实施例提供了一种显影装置，如附图5所示，该显影装置具体可以包括：
用于喷洒显影液的喷嘴2；
用于承载玻璃基板3的机台1；
用于控制喷嘴2和机台1向一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器。
本发明实施例提供的显影装置，通过倾斜控制器控制机台1带动显影液喷嘴2和玻璃基板3在一定的倾斜循环周期内、以机台1的中心（或者是玻璃基板3的中心）为基准向机台1各方向例如四条边方向倾斜摆动的方式来完成显影，该显影装置可以使玻璃基板3各部分接触到的显影液浓度保持一致，从而提高了显影后的线宽均匀性。
在本发明一具体实施例中，玻璃基板3的中心，可与机台1的中心对齐，同时，喷嘴2喷洒显影液的范围需要完全覆盖玻璃基板3，从而可确保显影液均匀的覆盖在玻璃基板3上，即本发明实施例中可以设置有多个喷嘴2。
为了实现对机台1和喷嘴2的倾斜控制，在一可选实施例中，如附图5所示，倾斜控制器具体可以包括：
可伸缩器件5；
可伸缩器件5分别与喷嘴2和机台1连接。
这样，随着可伸缩器件5的上下伸缩，可带动喷嘴2和机台1作为一个整体，同时向机台1的一方向倾斜一角度，并在一预设时间内可使喷嘴2和机台1维持该倾斜角度。
而在一具体实施例中，本发明实施例所涉及的显影装置内具体可设置有如附图5所示的四个可伸缩器件5，这四个可伸缩器件5可分别与喷嘴2和机台1连接于预设位置处，例如喷嘴2和机台1的边角处，从而实现对喷嘴2和机台1的倾斜控制。
而在另一可选实施例中，如附图6所示，倾斜控制器具体可以包括：
摆动器件6；
摆动器件6与机台1固定连接。
这样，随着摆动器件6向机台1各方向的摆动，可使机台1实现向各个方向倾斜一角度，且在一预设时间内可控制机台1维持倾斜角度。
同时，为了实现喷嘴2和机台1作为一个整体同时倾斜，在此实施例中，喷嘴2可与机台1通过至少一个连接器件7固定连接。
另外，本发明实施例所涉及的倾斜控制器，还可以采用其他实现方式，实现对机台1和喷嘴2的倾斜控制。
本发明实施例所提供的显影装置，除了上述器件之外，还可以包括能够确保显影装置正常运作的其他器件，例如电机、显影槽等等。
另外，本发明实施例还提供了一种显影方法，如附图7所示，该方法具体可以包括以下步骤：
步骤71，在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2，向机台1的第一方向倾斜一预设角度θ，并在一预设时间内维持倾斜角度；
步骤72，按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2，依次向机台1的其他方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度。
本发明实施例提供的显影方法，通过倾斜控制器控制机台1带动显影液喷嘴2和玻璃基板3在一定的倾斜循环周期内、以机台1的中心（或者是玻璃基板3的中心）为基准向机台1各方向例如四条边方向倾斜摆动的方式来完成显影，该显影装置可以使玻璃基板3各部分接触到的显影液浓度保持一致，从而提高了显影后的线宽均匀性。
本发明实施例中，可根据工艺要求，例如光刻胶的显影时间等，设定倾斜循环周期。
同时，本发明实施例所涉及的倾斜方向顺序，可以顺时针各方向，也可以是逆时钟各方向，还可以是先左右、后前后，或者先前后、后左右的倾斜方向顺序，只需保证机台1的各个方向均实现倾斜即可。
而且，本发明实施例中，在一倾斜循环周期中，喷嘴2可持续喷洒显影液。而为了节省成本，喷嘴2也可间歇性的喷洒显影液，例如，只有在倾斜控制器控制喷嘴2和机台1倾斜一定角度后开始喷洒，而在喷嘴2和机台1向另一方向倾斜过程中，可停止喷洒。
为了便于对本发明实施例提供的技术方案的理解，下面以本发明实施例提供的显影方法应用于如附图5所示的本发明实施例提供的显影装置中为例，进行详细的说明。
在显影过程中，机台1带动玻璃基板3和喷嘴2以一定的倾斜角度（θ）依次向机台1的四条边的方向倾斜摆动，具体可如附图8-11所示：
首先，如附图8所示，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2向机台1的a-b边所在方向倾斜，即机台1的a-b边向下倾斜，这个方向玻璃接触的显影液浓度较低，机台1的c-d边向上倾斜，这个方向的玻璃接触的显影液为新液，保持该姿态显影一定时间。
这里需要说明的是，本发明实施例中，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2向各方向倾斜后的维持时间，即显影时间可以相同，也可以不同，具体可根据实际生产需要而任意设定。同样，对于向各个方向倾斜的角度也可以相同或不同。
对应于本发明实施例中如附图5所示的显影装置，可通过控制设置于a-b边处的两个伸缩器件5向下运动，控制设置于c-d边处的两个伸缩器件5向上运动，以实现机台1的a-b边向下倾斜，机台1的c-d边向上倾斜；或者，单独控制设置于a-b边处的两个伸缩器件5向下运动，同样也可以实现机台1的a-b边向下倾斜，机台1的c-d边向上倾斜。
而对应于本发明实施例中如附图6所示的显影装置，可通过控制摆动器件6向机台1的a-b边所在方向摆动，以实现机台1的a-b边向下倾斜，机台1的c-d边向上倾斜，详见附图8。
后续步骤中，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2的倾斜过程与上述描述类似，可参见附图9-11所示，后续将不再赘述。
随后，如附图9所示，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2向机台1的c-d边所在方向倾斜，即机台1的c-d边向下倾斜，这个方向玻璃接触的显影液浓度较低，机台1的a-b边向上倾斜，这个方向的玻璃接触的显影液为新液，保持该姿态显影一定时间；
接着，如附图10所示，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2向机台1的b-c边所在方向倾斜，即机台1的b-c边向下倾斜，这个方向玻璃接触的显影液浓度较低，机台1的a-d边向上倾斜，这个方向的玻璃接触的显影液为新液，保持该姿态显影一定时间；
最后，如附图11所示，倾斜控制器控制机台1和喷嘴2向机台1的a-d边所在方向倾斜，即机台1的a-d边向下倾斜，这个方向玻璃接触的显影液浓度较低，机台1的b-c边向上倾斜，这个方向的玻璃接触的显影液为新液，保持该姿态显影一定时间。
至此完成一个显影循环即倾斜循环周期。
根据工艺要求，后续可执行多次上述循环进行显影。
这样就可以保证玻璃基板3各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。如图12所示，采用本发明实施例提供的显影方法生成的玻璃基板3中的线宽m’与n’宽度基本相等。
而且，本发明实施例提供的显影方法，可以薄膜玻璃基板3在一个显影槽中即可完成显影处理过程。
对于一些生产节拍较快的生产线，可以配置多台本发明实施例提供的显影装置以加快生产速度。每块玻璃基板3在其中一台显影装置中完成显影排出后直接进入到下游的清洗单元。
从以上所述可以看出，本发明实施例提供的显影装置及显影方法，通过设置用于喷洒显影液的喷嘴；用于承载玻璃基板的机台；用于控制所述喷嘴和所述机台向一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器，在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其他方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度，从而可以保证玻璃各个方向接触到的显影液浓度保持一致，从而提高显影后的线宽均匀性。
以上所述仅是本发明的实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种显影装置，其特征在于，包括：
用于喷洒显影液的喷嘴；
用于承载玻璃基板的机台；
用于控制所述喷嘴和所述机台向机台一方向倾斜一角度且在一预设时间内维持所述角度的倾斜控制器。
2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述倾斜控制器包括：
可伸缩器件；
所述可伸缩器件分别与所述喷嘴和机台连接。
3.如权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述倾斜控制器包括四个所述可伸缩器件；
所述四个可伸缩器件分别与所述喷嘴和机台连接于预设位置处。
4.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述倾斜控制器包括：
摆动器件；
所述摆动器件与所述机台固定连接。
5.如权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述喷嘴与所述机台通过连接器件固定连接。
6.一种显影方法，其特征在于，包括：
在一倾斜循环周期中，倾斜控制器控制机台和喷嘴，向机台的第一方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度；
按预设的倾斜方向顺序，倾斜控制器控制机台和喷嘴，依次向机台的其他方向倾斜一预设角度，并在一预设时间内维持倾斜角度。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：
根据工艺要求，设定倾斜循环周期。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：
在一倾斜循环周期中，所述喷嘴持续喷洒显影液。
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