CN103298268B - 一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 - Google Patents
一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103298268B CN103298268B CN201210047066.7A CN201210047066A CN103298268B CN 103298268 B CN103298268 B CN 103298268B CN 201210047066 A CN201210047066 A CN 201210047066A CN 103298268 B CN103298268 B CN 103298268B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ink
- preparation
- led encapsulation
- ceramic
- ceramic substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 title claims abstract description 27
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 25
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 14
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N carbon tetrachloride Substances ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 claims description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 2
- 230000001458 anti-acid effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 41
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 25
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008676 import Effects 0.000 description 3
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 3
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 1
- 238000003854 Surface Print Methods 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000001804 emulsifying effect Effects 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
本发明提供了一种LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,包括以下步骤:S1在陶瓷基片的至少一表面依次涂覆油墨A和B,所述油墨A和油墨B在不同的溶液中具有不同的溶解性;S2用激光器在步骤S1得到的陶瓷基片涂覆有油墨A和油墨B的表面进行绘制电路图;S3将已经绘制电路图的陶瓷基片浸入活化液中进行活化;S4去除活化后的陶瓷基片表面的油墨B;S5将步骤S4得到的陶瓷基片进行金属化;S6去除油墨A。本发明的方法更为简便,涉及的技术容易掌握,所用设备更为常规,线路精度高。
Description
技术领域
本发明属于LED封装领域,尤其涉及一种LED封装用陶瓷散热基座的制备方法。
背景技术
随着LED封装功率的提高,产生的热量越来越多,要实现LED的大功率,高密度封装,必须对散热材料进行改进。铝基板由于其良好的散热性能在大功率封装方面迅速取代FR-4基板。但铝基板要在其上布线,必须加入一层热阻较高的有机层作为绝缘层,这层物质阻挡了热量快速的散失,阻碍更大功率LED的封装。目前比较一致的解决此问题的方法是使用陶瓷板,陶瓷板具有高绝缘强度,所以在其上形成电路不需要加入绝缘层,同时陶瓷材料也具有优异的热导率,比如高性能AlN陶瓷的热导率与金属铝不分上下。目前陶瓷板上布线的方式主要有厚膜法(HIC),薄膜法(DPC)及直接覆铜法(DBC)的方式。
厚膜法是在陶瓷表面丝网印刷导电浆料,为了让其和陶瓷结合良好,浆料中加入了大量的玻璃粉。玻璃粉的加入阻碍了导热导电性能。同时丝网印刷电路表面粗糙,线路精度受网板张力影响。直接覆铜法是在高温下铜和陶瓷通过铜氧共晶液相键合,其烧结温度高,烧结难度大,产品成本高。其上铜通常在100μm以上,蚀刻后线路解析度差,满足不了LED高集成密度的要求,主要应用在需要大电流(100A以上)通过的大功率控制模块。最为适合LED大功率封装的方法是薄膜法的方法,其本意就是直接镀铜法。但其要经过溅射镀膜,黄光显影,电镀加厚,蚀刻等步骤,所涉及的技术难度大,设备精度要求高,价格昂贵,投资大。
发明内容
本发明为解决现有的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法价格昂贵,投资大的技术问题,提供一种价格便宜的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法。本发明提供了一种LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,该方法包括以下步骤:
S1在陶瓷基片的至少一表面依次涂覆油墨A和B,所述油墨A和油墨B在不同的溶液中具有不同的溶解性;
S2用激光器在步骤S1得到的陶瓷基片涂覆有油墨A和油墨B的表面进行绘制电路图;
S3将已经绘制电路图的陶瓷基片浸入活化液中进行活化;
S4去除活化后的陶瓷基片表面的油墨B;
S5将步骤S4得到的陶瓷基片进行金属化;
S6去除油墨A。
本发明的方法更为简便,涉及的技术容易掌握,所用设备更为常规。本发明通过油墨B的保护,进行选择性活化。油墨A的作用是防止在化学镀铜的过程中,发生挂镀现象,即没有活化的部分也有铜颗粒沉积,同时,油墨A保证线路宽度,否则由于铜横向生长,导致线路超出设计宽度,甚至细导线之间导通。
具体实施方式
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供了一种LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,该方法包括以下步骤:
S1在陶瓷基片的至少一表面依次涂覆油墨A和B,所述油墨A和油墨B在不同的溶液中具有不同的溶解性;
S2用激光器在步骤S1得到的陶瓷基片涂覆有油墨A和油墨B的表面进行绘制电路图;
S3将已经绘制电路图的陶瓷基片浸入活化液中进行活化;
S4去除活化后的陶瓷基片表面的油墨B;
S5将步骤S4得到的陶瓷基片进行金属化;
S6去除油墨A。
本发明的方法与DPC最大的区别在于形成线路的方法不同,DPC需要进行溅射镀膜,贴膜,曝光,显影,蚀刻等步骤,而本方法只需使用激光进行绘制电路图,通过保护油墨B选择性活化,通过A油墨保证线路精度及成品率。同时由于激光对陶瓷表面具有粗化作用,进一步提高了铜和陶瓷的结合力。
根据本发明所提供的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,优选地,所述油墨A在有机溶剂中溶解,而对酸、碱具有稳定性的油墨。更优选地,所述油墨A为抗酸碱蚀刻油墨。所述油墨A的去除方法为将陶瓷基片放入含CCl4或二甲苯的溶液中超声清洗30-60S。
根据本发明所提供的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,优选地,所述油墨B在弱碱中容易分解,而对酸性条件下稳定。更优选地,所述油墨B为抗酸蚀刻油墨。所述油墨B的去除方法为将覆有两层油墨的陶瓷基片放入0.1mol/l的NaOH的溶液,超声清洗1-3min。
根据本发明所提供的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,优选地,在涂覆油墨B之前对涂覆的油墨A进行固化,固化温度为80-110℃,时间为30-90min。
根据本发明所提供的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,优选地,对步骤S1中涂覆的油墨B进行固化,固化的温度为80-110℃,时间为30-90min。
根据本发明所提供的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,优选地,所述陶瓷基片为Al2O3、AlN、ZrO2和SiC中的至少一种。
本发明涉及的制备方法的具体步骤如下:
步骤1、陶瓷片清洗及粗化
将陶瓷片放在除油剂中超声除油数分钟,然后放入粗化液中进行粗化。其除油剂可以是有机溶剂乳化除油,也可以是碱性溶液皂化除油或是两者。粗化液可以是酸性的,也可以是碱性的,这与陶瓷材料本身的性质有关,比如氧化铝陶瓷就适合用酸性粗化液,氮化铝就比较适合用碱性粗化液。粗化程度依据对粗糙度或金属与陶瓷的附着力要求而定。
步骤2、陶瓷表面涂覆油墨
在陶瓷一面或两面先丝网印刷或喷涂一层油墨A,一面油墨A或两面油墨A取决于是单面线路还是双面线路。然后经烘箱或UV固化。之后在油墨A表面丝网印刷或喷涂一层油墨B,经过烘烤或UV进行固化。涂覆油墨优选丝网印刷,以便形成厚度均匀的保护层。
步骤3、激光绘制电路图
根据设计图纸用绘图工具绘制线路图,然后转换为激光器可以识别的格式,或直接用激光器自带软件绘制线路图。用定位夹具固定好涂覆油墨的陶瓷片(需要形成线路的一面在上)后,开启激光,调整好打标参数后进行绘图。
步骤4、陶瓷选择性活化
将绘制完图形的陶瓷片依次浸入敏化、活化或一步可以活化的溶液中进行活化处理。之后用水冲洗干净,放入0.1mol/l的NaOH的溶液超声1-3分钟去除油墨B,等油墨B完全溶解或分散到溶液中时取出陶瓷片,此时只剩一层油墨A,同时只有经过激光绘制露出陶瓷的部分被活化。这样完成了陶瓷选择性活化。
步骤5、金属化
首先将上述步骤4处理过的样品放入镀液中,使活化过的陶瓷表面形成一层金属,此后根据需要,通过继续化学镀或电镀金属的方法加厚线路层。步骤6、油墨A的去除及清洗
将金属化的陶瓷片浸入含CCl4或二甲苯的溶液中去除油墨A,超声清洗30-60秒直到油墨A去除干净,最后将产品经过超声清洗,吹干。
步骤7、印刷白色阻焊油墨
根据图纸要求选择性丝网印刷阻焊油墨并固化,或在整个表面印刷阻焊油墨,经过曝光,显影,露出焊盘。
步骤8、产品分切,包装
根据图纸设定程序,应用大功率激光切割器将上述具有陶瓷线路板的产品进行划片,最后检验、包装。
下面通过具体的实验作为示例对本发明作进一步详细的描述。
实施例1
将114×114×0.38mm3的Al2O3陶瓷流延片在丙酮中超声清洗3min;之后转移到酸性粗化溶液中在50℃粗化90min,然后冲洗干净并烘干;丝网印刷A油墨,经过UV固化后在其一面丝网印刷B油墨,然后在110℃烘烤30min,待冷却到室温后,在其另外一面印刷B油墨,同样在110℃烘烤30min;用绘图软件绘制线路图,导入到激光器控制软件中,调整好激光焦距,设定好激光打标参数,将上述步骤处理后的陶瓷片放到夹具上固定,开启激光进行绘制电路图;打标完成后,将其浸入到酸基胶体钯活化液中进行活化1min。之后用自来水冲洗陶瓷片,以免残留的活化液带入镀铜溶液中。接着将其放入0.1molNaOH溶液中超声清洗3min中,这时油墨A已经和油墨B分离,分散到溶液中,拿出陶瓷板在清水中冲洗后,直接放入化学镀铜溶液中在48℃镀铜5h,之后转移到镀镍溶液中在88℃镀镍30min,最后在镀金溶液中镀金10min;将上述样品浸入CCl4溶液中,超声数分钟,完全去除A。之后在去离子水中超声清洗数分钟,并烘干。经过上述步骤,完成了陶瓷金属化,接下来,丝网印刷永翰科技FOTOCHEMFSR-8000LED-529白色阻焊油墨,并将挡墙和线路板叠合,并在80℃烘烤50min,切割之后所得样品A1。
实施例2
将40×40×0.635mm3的AlN陶瓷流延片在丙酮中超声清洗3min;之后转移到酸性粗化溶液中在50℃粗化90min,然后冲洗干净并烘干;丝网印刷A油墨,经过UV固化后在其一面丝网印刷B油墨,然后在110℃烘烤30min,待冷却到室温后,在其另外一面印刷B油墨,同样在110℃烘烤30min;用绘图软件绘制15×15mm2的区域及10条宽度为0(设定值),之间间距是线宽(实际宽度)2倍的线条,导入到激光器控制软件中,调整好激光焦距,设定好激光打标参数,将上述步骤处理后的陶瓷片放到夹具上固定,开启激光进行绘制电路图;打标完成后,将其浸入到酸基胶体钯活化液中进行活化1min。之后用自来水冲洗陶瓷片,以免残留的活化液带入镀铜溶液中。接着将其放入0.1molNaOH溶液中超声清洗2min中,这时油墨A已经和油墨B分离,分散到溶液中,拿出陶瓷板在清水中冲洗后,直接放入化学镀铜溶液中在48℃镀铜5h,镀铜结束后将上述样品浸入CCl4溶液中,超声数分钟,完全去除A。最后用去离子水中超声清洗数分钟,并烘干。经过上述步骤,完成了陶瓷金属化,所得产品为A2。
实施例3
将40×40×0.635mm3的ZrO2陶瓷流延片在丙酮中超声清洗3min;之后转移到碱性粗化溶液中在50℃粗化30min,然后冲洗干净并烘干;丝网印刷A油墨,经过UV固化后在其一面丝网印刷B油墨,然后在110℃烘烤30min,待冷却到室温后,在其另外一面印刷B油墨,同样在110℃烘烤30min;用绘图软件绘制15×15mm2的区域及10条宽度为0(设定值),之间间距是线宽(实际宽度)2倍的线条,导入到激光器控制软件中,调整好激光焦距,设定好激光打标参数,将上述步骤处理后的陶瓷片放到夹具上固定,开启激光进行绘制电路图;打标完成后,将其浸入到酸基胶体钯活化液中进行活化1min。之后用自来水冲洗陶瓷片,以免残留的活化液带入镀铜溶液中。接着将其放入0.1molNaOH溶液中超声清洗1min中,这时油墨A已经和油墨B分离,分散到溶液中,拿出陶瓷板在清水中冲洗后,直接放入化学镀铜溶液中在48℃镀铜5h,镀铜结束后将上述样品浸入CCl4溶液中,超声数分钟,完全去除A。最后用去离子水中超声清洗数分钟,并烘干。经过上述步骤,完成了陶瓷金属化,所得产品为A3。
对比例1
将陶瓷基板进行清洗干净,用物理气相沉积(PVD)的方法在其上沉积一层薄铜,厚度为1微米以下;贴曝光膜,黄光室曝光,显影,在显影后露出的铜表面化学镀或电镀加厚。之后将未曝光的膜层去掉,控制好蚀刻速度,正好将底层铜蚀刻掉,这样也就只剩电路部分。所得产品为CA1。
测试方法及结果
1、根据标准ASTMD3359-02将样品A1-A3及CA1镀铜15×15mm2的区域用百格刀横向划6条平行线,纵向划6条平行线,间距为1mm,在这些线交汇的地方便形成了1×1mm2的格子,然后用3M600胶带粘接到格子的区域,用力挤压,使中间无气泡残留,等待1min之后,以60°角迅速将胶带撕开,观察胶带和陶瓷表面铜膜变化情况。结果见表1。
2、将样品A1-A3及CA1放到影像仪(PJ)下观察。结果见表1。
表1
A1 | A2 | A3 | CA1 | |
附着力 | 5B | 5B | 5B | 4B |
线宽(μm) | 044.3 | 44.4 | 44.9 | 100 |
线距(μm) | 43.2 | 48 | 40.8 | 100 |
从表1中可以看出,用本发明的方法制备的基座的附着力级别均为最高级别5B:切割边缘平滑,无一格脱落。并且发现线路清晰,线宽和线距都不到50μm,线路精度高。而对比例1的方法制备的基座的附着力为4B,线宽和线距都达到100μm,线路精度低。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1在陶瓷基片的至少一表面依次涂覆油墨A和B,所述油墨A和油墨B在不同的溶液中具有不同的溶解性;
S2用激光器在步骤S1得到的陶瓷基片涂覆有油墨A和油墨B的表面进行绘制电路图;
S3将已经绘制电路图的陶瓷基片浸入活化液中进行活化;
S4去除活化后的陶瓷基片表面的油墨B;
S5将步骤S4得到的陶瓷基片进行金属化;
S6去除油墨A。
2.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述油墨A在有机溶剂中溶解,而对酸、碱具有稳定性的油墨。
3.根据权利要求2所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述油墨A为抗酸碱蚀刻油墨。
4.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述油墨B在弱碱中容易分解,而对酸性条件下稳定。
5.根据权利要求4所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述油墨B为抗酸蚀刻油墨。
6.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述去除油墨B的方法为将覆有两层油墨的陶瓷基片放入0.1mol/l的NaOH的溶液,超声清洗1-3min。
7.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述去除油墨A的方法为将陶瓷基片放入含CCl4或二甲苯的溶液中超声清洗30-60S。
8.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,在涂覆油墨B之前对涂覆的油墨A进行固化,固化温度80-110℃,时间为30-90min。
9.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,对步骤S1中涂覆的油墨B进行固化,固化的温度为80-110℃,时间为30-90min。
10.根据权利要求1所述的LED封装用陶瓷散热基座的制备方法,其特征在于,所述陶瓷基片为Al2O3、AlN、ZrO2和SiC中的至少一种。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210047066.7A CN103298268B (zh) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210047066.7A CN103298268B (zh) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103298268A CN103298268A (zh) | 2013-09-11 |
CN103298268B true CN103298268B (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=49098364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210047066.7A Expired - Fee Related CN103298268B (zh) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103298268B (zh) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6207268B1 (en) * | 1996-11-12 | 2001-03-27 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Transfer sheet, and pattern-forming method |
JP4828988B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-11-30 | Dic株式会社 | 電子部品の製造方法 |
KR100819876B1 (ko) * | 2006-09-19 | 2008-04-07 | 삼성전기주식회사 | 합금배선기판 및 그 제조방법 |
-
2012
- 2012-02-28 CN CN201210047066.7A patent/CN103298268B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103298268A (zh) | 2013-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW312080B (zh) | ||
CN101472407B (zh) | 布线基板及其制造方法 | |
JPWO2013145043A1 (ja) | ビルドアップ基板およびその製造方法ならびに半導体集積回路パッケージ | |
JP2014533775A (ja) | セラミック基板に埋め込まれた金属構造体 | |
CN109561585A (zh) | 陶瓷基线路板制备工艺 | |
CN105934084B (zh) | 一种印制电路板及其全加成制作方法 | |
CN107809855A (zh) | 一种类载板的制作方法 | |
CN103094126B (zh) | 陶瓷元器件细微立体导电线路的制备方法 | |
CN114613584B (zh) | 一种软磁材料和软磁带材的刻蚀方法 | |
CN107846784A (zh) | 一种高密度嵌入式线路的制作方法 | |
CN101699932B (zh) | 一种高导热陶瓷电路板的生产方法 | |
CN104684265B (zh) | 一种电路板表面电镀的方法 | |
CN102762037B (zh) | 一种陶瓷电路板及其制造方法 | |
CN103298268B (zh) | 一种led封装用陶瓷散热基座的制备方法 | |
CN101437367A (zh) | 一种印刷线路板的制作方法 | |
CN113079626A (zh) | 一种陶瓷基板薄膜电路结构及其制备方法 | |
JP2008288607A (ja) | 電子部品実装構造の製造方法 | |
TWI581697B (zh) | Method for manufacturing heat dissipation structure of ceramic substrate | |
CN116489893A (zh) | 一种沟槽侧壁无银的覆铜陶瓷线路板及其制备方法 | |
CN110493955A (zh) | 一种埋嵌电阻pcb制备方法 | |
CN102280407A (zh) | 元器件侧壁图形化的制作方法 | |
CN108834325A (zh) | 一种单面线路板的制作方法 | |
CN102548216B (zh) | 制作起始层芯板的方法 | |
JPH0864934A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
CN109243984B (zh) | 一种igbt铝碳化硅散热基板的阻焊方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160511 |