CN103260819A - 用于切削加工工件的带有两个振动部件的装置 - Google Patents

用于切削加工工件的带有两个振动部件的装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103260819A
CN103260819A CN2011800619302A CN201180061930A CN103260819A CN 103260819 A CN103260819 A CN 103260819A CN 2011800619302 A CN2011800619302 A CN 2011800619302A CN 201180061930 A CN201180061930 A CN 201180061930A CN 103260819 A CN103260819 A CN 103260819A
Authority
CN
China
Prior art keywords
oscillating component
vibration
workpiece
vibrating elements
oscillating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011800619302A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103260819B (zh
Inventor
H·蒂芬贝克
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EV Group GmbH
Original Assignee
EV Group GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EV Group GmbH filed Critical EV Group GmbH
Publication of CN103260819A publication Critical patent/CN103260819A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103260819B publication Critical patent/CN103260819B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23CMILLING
    • B23C3/00Milling particular work; Special milling operations; Machines therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23PMETAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P25/00Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/303752Process
    • Y10T409/303808Process including infeeding
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/304536Milling including means to infeed work to cutter
    • Y10T409/305488Milling including means to infeed work to cutter to reciprocate or oscillate work

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Turning (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
  • Milling Processes (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于容纳工件和用于应用在用于切削加工工件(5)的装置中的工件容纳装置,该装置带有:用于容纳工具(6)的工具保持部,用于容纳工件(5)的工件容纳装置,其特征在于,在切削加工期间通过振动部件(2,2',3,3',4,7)在Z方向上可引入至少一个第一振动分量而在X和/或Y方向上可引入尤其同时的第二振动分量。

Description

用于切削加工工件的带有两个振动部件的装置
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的用于切削加工工件的装置以及一种根据权利要求9的工件容纳装置。
背景技术
已知的用于切削、尤其铣削工件的装置能够在加工过程期间利用工具的振动产生在工具回转(Werkzeugumlauf)期间改善的铣削特性,其中,运用18000 Hz至20000 Hz的频率。
在这样的装置中,尤其极其硬的工件(例如SiC、SiN或B4N)引起问题,因为它们导致工具的极度磨损。
发明内容
因此,本发明的目的是这样改进这种类型的装置,使得可实现更小的工具磨损和相应更高的使用寿命以及加工速度(即每单位时间的切屑体积或者说切掉体积(Aushubvolumen))的提升。
该目的利用权利要求1和9的特征来实现。本发明的有利的改进方案在从属权利要求中来说明。由在说明书、权利要求和/或附图中所说明的特征中的至少两个构成的所有组合也落在本发明的范围中。对于所说明的数值范围,处于所提及的限度内的值也应作为极限值有效公开并且能够以任意的组合要求保护。
本发明的基本思想是通过过程控制的多维联结的且同步的轴向激励(Achserregung)来获得改善的切削效果。因此,本发明特别适合于硬的和超硬的材料,例如氧化物陶瓷(Oxidkeramik)、非氧化物陶瓷、硬质合金(Hartmetall)或玻璃。根据本发明,在将工具接合到工件中时、即在切削时,在工件容纳装置和因此工件和工具之间实现多轴的、振动的相对运动。在此这样加载工件的微观结构,使得实现更好的切削效果。
基于通过在工具和工件之间的多轴的、相联结的且同步的相对运动工具的同样通常多轴的加工可能性,X、Y和Z方向涉及相应的加工面。其非强制地在图中所示的通常取向中,而是在理想情况中是任意的,以便允许工件的单独加工。因此设置有工具和/或工件的在X和Y方向上的加工平面以及加工方向或者还有进给方向、即工具和/或工件向彼此的运动。
通过本发明,尤其由于在Z方向、即进给方向上所设置的第一振动分量相应地产生微凿效应(Mikro-Meißeleffekt)或微冲击钻效应(Mikro-Schlagbohreffekt),其中,通过第二振动分量附加地引入横向分量(Querkomponente)。
工具的凿效应(Meißelwirkung)由振动元件引起,其中,优选地在Z方向上、即在进给方向上设置有主要的振动分量或幅度。
振动分量的引入通过尤其轴线相关的减振(被动)和/或通过尤其轴线相关的激振(主动)而实现。引入器件根据本发明尤其设置在工具处。
相应的振动分量的引入的被动控制根据本发明由此实现,即通过工件被工具切削加工所引起的振动被减小、调整或阻尼成使得引起带有限定的幅度、频率和/或相位的预设的振动分量。
相应的振动分量的引入的主动控制通过附加的、尤其它励的(fremderregt)振动而实现,该振动与可能存在的、由工具的切削加工本身所激励的振动叠加。
通过由在切削加工时的程序化的运动来产生带有限定的幅度、频率和/或相位的限定的振动分量,主动控制根据本发明尤其可在可编程的、多轴振动的工具中通过控制部的相应编程而实现。
优选地,相应的(减振的和/或它励的)振动分量的振动频率小于1kHz、尤其小于500Hz、优选地大于10Hz。
根据本发明的一有利的实施形式设置成,第一和/或第二振动分量的振动幅度和/或振动频率尤其可彼此独立地调节。以该方式,该装置对工件的相应的待加工的材料或工具和工件的材料的组合可调节。
只要振动频率可调节小于1GHz、尤其<100MHz、优选地<1MHz、还更优选地<100kHz、还更优选地<1kHz、理想地在100Hz与600Hz之间,则获得越来越好的切削效果。
通过同时或独立于此振动幅度可调节小于100μm、尤其<10μm、优选地<1μm、还更优选地<100nm并且理想地在1nm与10nm之间,来进一步提高该装置的切削效果。当根据本发明的一实施形式通过压电元件产生振动分量时,是特别有利的。
优选地,在X和/或Y方向上的振动幅度最大与在工具的表面中的微观结构、尤其金刚石的平均尺寸一样大。
附图说明
从优选的实施例的说明中以及根据附图得出本发明的另外的优点、特征和细节。其中:
图1在示意性的透视图中显示了根据本发明的装置的第一实施形式,
图2在示意性的透视图中显示了根据本发明的装置的第二实施形式,
图3在示意性的透视图中显示了根据本发明的装置的第三实施形式以及
图4a至4c显示了振动元件的工作原理的图示。
在附图中相同的或起相同作用的构件/特征以相同的附图标记来表示。
具体实施方式
根据图1的装置是带有用于工件5相对于用于切削加工工件5的工具6的固定和运动的工件保持部1的机床。
在根据图1的实施形式中,工件保持部1包括用于实施在Z方向上的振动运动的第一振动元件2。Z方向对应于在工具6的方向上或远离它的运动。振动元件2尤其具有在Z方向上的唯一的自由度,在Z方向上相应地实施往复运动、尤其线性运动。
另外两个与振动元件2相连接的振动元件3、4使工件5在X方向或Y方向上移动或摆动,其中,X、Y和Z方向相应彼此垂直地延伸。振动元件3、4也具有唯一的自由度。
振动元件2、3、4的运动以带有相应的振动幅度和相应的振动频率(其对于每个振动元件2、3、4尤其可彼此独立地调节)的振动的形式实现。以该方式,可产生固定在工具保持部1处的工件5的多轴激振,其中,根据本发明,通过振动元件2在Z方向上设置有至少一个的第一振动分量而通过驱动部件4在X方向上和/或通过驱动部件3在Y方向上设置有第二振动分量,使得第一和第二振动分量的振动在整个加工过程期间具有彼此间恒定的相位关系。
振动元件2、3、4尤其为了激振包括压电元件8、9。根据所要求的振动频率和/或振动幅度,备选地可通过带有偏心轴的芯轴来产生激振。
当振动分量同时地尤其在其振动相位和/或其振动频率和/或其振动幅度方面可调节时,是特别有利的。换言之:振动相位和/或其振动频率和/或其振动幅度构造成同步工作。
独立于振动元件2、3、4,根据所设置的机床或根据所期望的切削加工,独立于振动分量设置有这里未示出的驱动件用于工件的运动。
在本发明的在图2中所示的优选的实施形式中,振动元件2'、3'相互引导成使得在振动元件2'和3'彼此间的相对运动中产生斜的振动分量,其在X和Y方向上或在X和Z方向上或在Y和Z方向上同时各引起至少一个振动分量,如在图3中所示出的示例那样。即由于相对于工具和/或工件的加工方向或者还是进给方向的斜置,发生两个振动分量的结合,使得设置有带有斜的振动平面的斜的振动分量。斜的振动平面即意味着,振动平面的法线相对于Z方向(工具和/或工件的加工方向或者还是进给方向)倾斜。
以该方式,在Y和Z方向上的这两个振动分量自动地通过机械地预设的结构元件、即斜的平面而同时或同步,亦即不仅在振动幅度方面而且在振动频率和尤其在振动相位方面。因此,与所提及的第一实施形式相比,不必设置单独的器件以将在两个振动分量的两个分离的振动之间的相位关系保持恒定,因为沿着轴线的这两个振动分量被沿着上面所定义的斜的振动平面的一个振动分量代替。
振动元件4尤其同时于由振动元件2'和3'的振动附加地可引起在X方向上的振动。
通过振动元件2'和3'所产生的振动有利地不具有在X方向上的振动分量。
与根据图1的实施形式相比,带有斜的平面的实施形式具有该优点,即两个振动分量、亦即在图2中所示的示例中在Y和Z方向上的振动分量设置有相同的振动幅度、振动相位和振动频率,而在根据图1的实施形式中必须设置振动元件2和3的精确控制或调节。
斜的平面的角度尤其可自由选择,优选地相对于X方向或相对于X-Y平面在20°与70°之间。这根据本发明尤其可由此实现,即振动元件2'和3'可相互摆动并且可在一定的、可调节的角度中锁止。由此,平面的倾斜位置的改变和因此振动分量的取向的改变是可能的。控制经由控制装置实现。
在图4a至4c中所示的图示中示出通过振动元件2'和3'的运动借助于压电元件8、9产生振动分量的作用方式。在所示的实施形式中,振动元件2'相对振动元件3'滑动地来引导,亦即沿着斜的平面、尤其以相对于X-Y平面20°的角度。
在图4a中这两个压电元件8、9在初始位置中、尤其在卸载的位置中。压电元件8在压电元件9的方向上贴靠在振动元件3'的止挡10处。压电元件9在压电元件8的方向上贴靠在振动元件3'的对应的止挡11处。
根据图4b,通过激活压电元件9引起压电元件9的膨胀,使得压电元件9支撑在止挡11处以及相对而置地支撑在振动元件2'的止挡13处并且因此沿着振动元件3'移动振动元件2'。在此,在止挡10与振动元件2'的相对布置的止挡12之间相应地压缩压电元件8。
反过来,这在压电元件8激活时根据图4c起作用。
作为本发明的实施形式可设置成通过设置在工具6处的振动元件在Z方向上引入振动分量。这可备选于振动元件2或者增加地来设置。
在图3中所示的实施形式中设置有与根据第一实施形式的振动元件2类似的振动元件2。代替振动元件3、4,对于在X和Y方向上的振动设置有振动元件7,利用其可产生在旋转方向上的振动分量,其中,旋转轴线A尤其布置在Z方向上。旋转轴线A优选地与工具6'的旋转轴线重合,工具6'在此优选地是钻头。
振动元件2、2'、3、3'、4、7的振动幅度和/或振动频率可通过控制装置单独调节,以便对于相应的工件5调节最佳的振动幅度或振动频率。
为了能够加工工件5,需要附加的马达,其未示出,并且利用其引起工件保持部1与工具6之间的相对运动。优选地,这样的马达近似无振动地工作。马达在此可构建成使得其驱动工件保持部1和/或工具6。
本发明因此独立于工具6的类型、其运动方向、调整角(Anstellwinkel)、频率等。通过附加的和根据振动相位、振动频率和振动幅度所引入的多轴的、优选地同时的振动分量,引起尤其在超硬的材料中在微米、甚至纳米范围中的微观结构的破坏。工具6尤其涂覆有硬的或超硬的材料、尤其金刚石覆层,其中,各个金刚石晶体(其从工具6的表面伸出)如微米/纳米结构的微米/纳米刀那样起作用。
附图标记清单
1 工件保持部
2, 2' 振动元件
3, 3' 振动元件
4 振动元件
5 工件
6 工具
7 振动元件
8 压电元件
9 压电元件
10 止挡
11 止挡
A 旋转轴线
X X方向
Y Y方向
Z Z方向。

Claims (11)

1. 一种用于切削加工工件(5)的装置,其带有:
- 用于容纳工具(6)的工具保持部,
- 用于容纳所述工件(5)的工件容纳装置,
其特征在于,在切削加工期间通过振动部件(2, 2', 3, 3', 4, 7)在Z方向上能够引入至少一个第一振动分量而在X和/或Y方向上能够引入尤其同时于所述第一振动分量振动的第二振动分量。
2. 根据权利要求1所述的装置,在其中所述第一和/或第二振动分量的振动幅度和/或振动频率能够尤其彼此独立地调节。
3. 根据权利要求2所述的装置,在其中振动频率能够调节<1GHz、尤其<100MHz、优选地小于1MHz、还更优选地<100kHz、还更优选地<1kHz、理想地在100Hz与600Hz之间。
4. 根据权利要求2或3所述的装置,在其中振动幅度能够调节<100μm、尤其<10μm、优选地小于1μm、还更优选地<100nm、最优选地<10nm。
5. 根据上述权利要求中任一项所述的装置,在其中第一和第二振动分量同时地、尤其在其振动相位和/或其振动频率和/或其振动幅度方面能够调节。
6. 根据上述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,第一和第二振动分量在切削加工期间构造成使得它们尤其通过设置斜的振动平面而持续地具有彼此间恒定的相位关系,或者这样的相位关系尤其通过相位关系的恒定的测量而能够调节。
7. 根据上述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述振动分量能够通过压电元件产生。
8. 根据上述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,所述振动分量的引入通过尤其轴线相关的减振和/或通过尤其轴线相关的激振而实现。
9. 一种为用于切削加工工件的装置所用的工件容纳装置,利用其在切削加工期间在Z方向上能够引入至少一个第一振动分量而在X和/或Y方向上能够引入尤其同时于所述第一振动分量振动的第二振动分量。
10. 根据权利要求9所述的工件容纳装置,在其中通过振动元件(7)在由X和Y方向所撑开的X-Y平面中的旋转能够引入所述第二振动分量。
11. 根据权利要求9或10所述的工件容纳装置,在其中所述振动元件(2', 3')具有斜的、共同的振动平面。
CN201180061930.2A 2010-12-21 2011-12-19 用于加工工件的装置和方法 Active CN103260819B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010055288A DE102010055288A1 (de) 2010-12-21 2010-12-21 Vorrichtung zum spanenden Bearbeiten eines Werkstücks
DE102010055288.7 2010-12-21
PCT/EP2011/073185 WO2012084779A1 (de) 2010-12-21 2011-12-19 Vorrichtung mit zwei schwingungskomponenten zum spanenden bearbeiten eines werkstücks

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103260819A true CN103260819A (zh) 2013-08-21
CN103260819B CN103260819B (zh) 2016-07-13

Family

ID=45444591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201180061930.2A Active CN103260819B (zh) 2010-12-21 2011-12-19 用于加工工件的装置和方法

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9061388B2 (zh)
EP (1) EP2655006B1 (zh)
JP (2) JP6249776B2 (zh)
KR (1) KR101487637B1 (zh)
CN (1) CN103260819B (zh)
CA (1) CA2822492C (zh)
DE (1) DE102010055288A1 (zh)
ES (1) ES2531333T3 (zh)
WO (1) WO2012084779A1 (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104475836A (zh) * 2014-12-02 2015-04-01 齐鲁工业大学 外激振动辅助铣削加工装置
CN104985225A (zh) * 2015-04-07 2015-10-21 长春理工大学 小型超声波高速钻削数控机床
CN108472741A (zh) * 2016-01-27 2018-08-31 J.G.魏瑟尔泽内有限责任两合公司 用于切削加工工件的方法、用于车床的刀盘以及车床
CN109759855A (zh) * 2019-01-31 2019-05-17 天津大学 一种三维超声纳米振动辅助加工平台
CN111185816A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 二维随机振动抛光机床及其抛光方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT511551B1 (de) * 2011-05-18 2013-10-15 Univ Wien Tech Vorrichtung und verfahren zur mechanischen bearbeitung eines werkstücks
DE102012105948A1 (de) * 2012-07-04 2014-01-09 Hochschule Furtwangen Schwingplattform für ein Fertigungssystem
CN103042435A (zh) * 2012-11-09 2013-04-17 浙江工业大学 拼接淬硬模具钢高频微幅振动铣削测试方法
DE102013110728B4 (de) * 2013-09-27 2021-08-19 Ev Group E. Thallner Gmbh System und Verfahren zum spanenden Bearbeiten eines Werkstücks
EP4036956A1 (de) 2016-03-22 2022-08-03 EV Group E. Thallner GmbH Vorrichtung zum bonden von substraten
KR102300481B1 (ko) 2016-08-12 2021-09-10 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 기판을 접합하기 위한 방법 및 샘플 홀더
US10954983B2 (en) 2018-12-14 2021-03-23 Raytheon Company Weight-triggered locking feature

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5165205A (en) * 1987-06-24 1992-11-24 Research Development Corporation Of Japan Device for vibrating materials to be ground
CN1860002A (zh) * 2003-09-29 2006-11-08 钴碳化钨硬质合金公司 具有不规则刀片方向的旋转切割工具
EP1762305A2 (en) * 2005-09-07 2007-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for vibration machining with two independent axes
CN101559529A (zh) * 2009-05-15 2009-10-21 沈阳航空工业学院 一种脉冲激光辅助加热与超声振动切削加工方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5047081U (zh) * 1973-08-27 1975-05-10
JPS62224543A (ja) * 1986-03-25 1987-10-02 Nagase Iron Works Co Ltd 微細送り装置
JPH0441176A (ja) * 1990-06-01 1992-02-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 微小研磨方法
JP2686000B2 (ja) * 1991-07-17 1997-12-08 株式会社東芝 振動切削方法及び切削装置
JPH06304832A (ja) * 1992-12-11 1994-11-01 Olympus Optical Co Ltd 位置出し装置とxyステージ
JP2004351605A (ja) * 2003-05-27 2004-12-16 Kazumasa Onishi 超音波振動テーブル
JP2005001096A (ja) * 2003-06-11 2005-01-06 Kazumasa Onishi 超音波振動テーブル
JP2005319563A (ja) * 2004-05-06 2005-11-17 Uwave:Kk 振動テーブル
JP2006062017A (ja) * 2004-08-26 2006-03-09 Honda Motor Co Ltd 加振装置
JP4630768B2 (ja) * 2005-08-29 2011-02-09 株式会社ナノコントロール 位置決めステージ及び回転ステージ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5165205A (en) * 1987-06-24 1992-11-24 Research Development Corporation Of Japan Device for vibrating materials to be ground
CN1860002A (zh) * 2003-09-29 2006-11-08 钴碳化钨硬质合金公司 具有不规则刀片方向的旋转切割工具
EP1762305A2 (en) * 2005-09-07 2007-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for vibration machining with two independent axes
CN101559529A (zh) * 2009-05-15 2009-10-21 沈阳航空工业学院 一种脉冲激光辅助加热与超声振动切削加工方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104475836A (zh) * 2014-12-02 2015-04-01 齐鲁工业大学 外激振动辅助铣削加工装置
CN104985225A (zh) * 2015-04-07 2015-10-21 长春理工大学 小型超声波高速钻削数控机床
CN108472741A (zh) * 2016-01-27 2018-08-31 J.G.魏瑟尔泽内有限责任两合公司 用于切削加工工件的方法、用于车床的刀盘以及车床
CN109759855A (zh) * 2019-01-31 2019-05-17 天津大学 一种三维超声纳米振动辅助加工平台
CN109759855B (zh) * 2019-01-31 2020-09-22 天津大学 一种三维超声纳米振动辅助加工平台
CN111185816A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 二维随机振动抛光机床及其抛光方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012084779A1 (de) 2012-06-28
JP2016093886A (ja) 2016-05-26
US20130259592A1 (en) 2013-10-03
US9061388B2 (en) 2015-06-23
EP2655006B1 (de) 2015-01-07
ES2531333T3 (es) 2015-03-13
CN103260819B (zh) 2016-07-13
EP2655006A1 (de) 2013-10-30
CA2822492C (en) 2015-09-29
KR20130110205A (ko) 2013-10-08
JP2014500159A (ja) 2014-01-09
JP6249776B2 (ja) 2017-12-20
KR101487637B1 (ko) 2015-01-29
CA2822492A1 (en) 2012-06-28
DE102010055288A1 (de) 2012-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103260819A (zh) 用于切削加工工件的带有两个振动部件的装置
US11338404B2 (en) Machine tool and control apparatus of the machine tool
CN101502971B (zh) 一种高频超声椭圆振动切削装置
EP3275591A1 (en) Machine tool and control device for said machine tool
KR20190134697A (ko) 공작 기계의 제어 장치 및 공작 기계
KR20160130505A (ko) 공작기계의 제어장치 및 이 제어장치를 구비한 공작기계
CN103547412B (zh) 具有工件收纳部和补偿质量的振动装置
JP2006312223A (ja) 切削加工装置、及び方法
CN103052457A (zh) 机床及工件加工方法
EP1234627A3 (en) Method of controlling elliptical vibrator
JP2006305661A (ja) 超音波振動加工装置及び超音波振動加工装置に用いる電着工具の製作方法
KR20190122148A (ko) 가공 장치
JP5646251B2 (ja) 内径面加工用ツールおよび内径面加工装置
US11517991B2 (en) Machine tool including vibration restriction means
JP2006334688A (ja) 振動切削装置、切削加工方法、成形金型、及び光学素子
KR20110015155A (ko) 초정밀 진동 절삭기구 장치
KR20190022572A (ko) 블레이드의 드레싱 기구 및 그 기구를 구비한 절삭 장치 및 그 기구를 사용한 블레이드의 드레싱 방법
US11224952B2 (en) Machine tool
Kiswanto et al. Preliminary design of two dimensional vibration assisted machining system for multi-axis micro-milling application
KR101616770B1 (ko) 절삭가공기구 및 절삭가공방법
CN111687674B (zh) 数值控制装置和机床
JPH06339865A (ja) 超音波研削用カップ砥石及びこれを用いた 超音波研削加工機
WO2009017438A1 (ru) Способ вибрационного резания и вибрационный резец
CN103260803B (zh) 用于手持式工具机的基板以及手持式工具机
JP2006320995A (ja) 振動切削装置、成形金型、及び光学素子

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant