CN103192403A - 夹持装置 - Google Patents

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Abstract

一种夹持装置，包括有卡爪轴、及相对所述卡爪轴的中心线对称设置的两滑台，所述两滑台分别设有一可滑动的滑杆，所述夹持装置还包括有长度相同的四卡爪臂及接触单元，所述四卡爪臂分别旋转固定在所述两滑台的两侧，所述四卡爪臂各自设有一夹持单元，所述四夹持单元相对所述卡爪轴的中心线呈中心对称，所述两滑杆分别连接有一推力杆，所述推力杆的相对两端分别弹性连接至一所述卡爪臂，所述两滑杆之间滑动夹持所述接触单元，所述四夹持单元至所述卡爪轴中心线的距离通过所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动而同时改变。

Description

夹持装置
技术领域
本发明涉及一种生产制造的辅助装置，特别是指一种用于夹持的生产制造的辅助装置。
背景技术
随着科技的发展，工业生产规模越来越大，因此人力成本会增加，且效率要求也越来越高，渐渐的在工厂中大量引入自动化工具，如使用机器人等工具组装产品。在晶圆的组装过程中，难免会对晶圆夹持，对于晶圆夹持大多采取使其中一个爪径向移动的方式来进行，而这种方式存在的问题是，预对准的过程中晶圆首先被放置在预对准机的撑托上，而后卡爪上升承接晶圆并高出撑托，之后再夹紧晶圆，若采用三爪式并使其中一爪可动，而其他两爪不可动，也就是说，其他两爪无论夹紧还是松开晶圆，都始终保持一种状态，这样，当卡爪上升时完全有可能将晶圆顶起，造成无法夹持晶圆的后果。另外，有些采用二爪或四爪对称两相对移动的方式夹持晶圆边缘，这样晶圆边缘只受来自相反的两个方向上的力，受力不均。
发明内容
鉴于以上内容，有必要提供一种能够均匀夹持的夹持装置。
一种夹持装置，包括有卡爪轴、及相对所述卡爪轴的中心线对称设置的两滑台，所述两滑台分别设有一可滑动的滑杆，所述夹持装置还包括有长度相同的四卡爪臂及接触单元，所述四卡爪臂分别旋转固定在所述两滑台的两侧，所述四卡爪臂各自设有一夹持单元，所述四夹持单元相对所述卡爪轴的中心线呈中心对称，所述两滑杆分别连接有一推力杆，所述推力杆的相对两端分别弹性连接至一所述卡爪臂，所述两滑杆之间滑动夹持所述接触单元，所述四夹持单元至所述卡爪轴中心线的距离通过所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动而同时改变。
在一实施方式中，所述两滑台上设有四立柱，所述四立柱呈中心对称、且对称中心落在所述卡爪轴的中心线上。
在一实施方式中，所述四卡爪臂的的一端分别旋转固定在一所述立柱上。
在一实施方式中，所述夹持单元设于所述卡爪臂的另一端。
在一实施方式中，所述推力杆两端分别设有推力滚子，所述推力滚子与所述卡爪臂通过弹性件连接。
在一实施方式中，所述两滑杆在靠近所述接触单元一端分别设有一导向滚子，所述导向滚子通过弹性件连接并接触所述接触单元的相对两侧。
在一实施方式中，所述接触单元接触所述导向滚子的两侧呈斜面。
在一实施方式中，所述接触单元一端还设有拉杆，所述拉杆用以驱使所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动。
在一实施方式中，所述推力杆的方向与所述滑杆垂直。
与现有技术相比，上述夹持装置中，通过驱使所述接触单元在沿卡爪轴的方向移动，带动所述滑杆滑动，迫使所述推力杆移动从而带动所述四卡爪臂转动，使得四夹持单元至所述四卡爪臂延伸相交点的长度同时增大或者减小，由此，需夹持物体时，可先同时张开所述卡爪臂、再同时收缩所述卡爪臂夹持物体、便可提供均匀力。
附图说明
图1是本发明夹持装置的一较佳实施方式的一立体组装图。
图2是图1中的一切割图。
图3是本发明一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图。
图4是图1的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向下移动。
图5是图1的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向上移动。
图6是本发明另一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图。
图7是本发明另一较佳实施方式的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向下移动。
图8是本发明另一较佳实施方式的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向上移动。
主要元件符号说明
  卡爪轴   1
  卡爪臂   2
  接触单元   3
  拉杆   4
  滑杆   5
  推力杆   6
  滑台   7
  滑槽   8
  导向滚子   9
  推力滚子   10
  夹持单元   11
  立柱   12
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1，在本发明的一较佳实施方式中，一夹持装置包括有一卡爪轴1、设在所述卡爪轴上的两滑台7、一设在所述两滑台7之间的接触单元3、及设在所述两滑台7上的四卡爪臂2。在一实施方式中，所述四卡爪臂2的长度大致相等。
所述卡爪轴1大致成一空心圆柱体，且具有中心线。所述卡爪轴1的一端设有两滑台7，另一端开设有一开口(图未标)。在一实施方式中，所述两滑台7呈中心对称，且对称中心位于所述卡爪轴1的中心线上。
请一起参照图2，所述两滑台7在垂直于所述卡爪轴1的中心线方向开设有两滑槽8，所述滑槽8上滑动收容有一滑杆5。在一实施方式中，所述滑槽8及所述滑杆5均呈长方形。所述滑杆5的一端连有一导向滚子9，并在其上连接有一推力杆6。所述推力杆6方向与所述滑杆5垂直、并在其相对两端分别设有一推力滚子10。
所述两滑台7的中心位置处设有一所述接触单元3，所述接触单元3相对两侧设有两斜面。在一实施方式中，所述接触单元3具有对称轴，且与所述卡爪轴1的中心线重合。两所述导向滚子9分别与所述接触单元3的两斜面接触，并通过弹性件，如弹簧等，使所述导向滚子9与所述接触单元3始终保持滑动接触状态。所述接触单元3的下端还设有一拉杆4，所述拉杆4收容在所述卡爪轴1中。
每一滑台7的相对两侧分别设有两立柱12。四个所述立柱12靠近所述卡爪轴1并呈中心对称，且其对称中心位于所述卡爪轴1的中心线上。所述卡爪臂2的一端安装在所述立柱12上并可绕所述立柱12转动，另一端设有一夹持单元11，四个所述卡爪臂2相互对称。在一实施方式中，四个所述夹持单元11至卡爪轴1中心线的距离大致相等。所述四推力滚子10分别与四卡爪臂2接触，并通过弹性件，如弹簧使所述推力滚子10与所述卡爪臂2始终保持滑动接触状态。在一实施方式中，所述滑杆5分别与其接触的卡爪臂2之间的夹角为锐角。
请参照图3，本发明一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图所示，接触单元3呈倒梯形结构。
请参照图4，沿所述卡爪轴1的中心线方向向下拉动所述拉杆4，所述拉杆4带动所述接触单元3，迫使所述两滑杆5同时在滑槽8中沿远离所述卡爪轴1的中心线且垂直于所述中心线的第一方向(所述第一方向为在滑槽中远离卡爪轴的中心线方向)水平移动，所述滑杆5上的推力杆6也跟着沿第一方向水平移动、并迫使四个卡爪臂2同时绕各自对应的立柱12转动，使其末端的夹持单元11至所述卡爪轴1中心线的距离同时减小。
请参照图5，沿所述卡爪轴1的中心线方向向上推动所述拉杆4，所述拉杆4推动所述接触单元3，迫使所述两滑杆5同时在滑槽8中沿靠近所述卡爪轴1的中心线且垂直于所述中心线的与第一方向相反的第二方向水平移动，所述滑杆5上的推力杆6也跟着沿第二方向水平移动、并迫使四个卡爪臂2绕所述立柱12转动，使其末端的夹持单元11至所述卡爪轴1中心线的距离同时增大。
请参照图6，本发明另一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图所示，接触单元3呈正梯形结构。
请参照图7，沿所述卡爪轴1的中心线方向向下拉动所述拉杆4，所述拉杆4带动所述接触单元3，迫使所述两滑杆5同时在滑槽8中沿靠近所述卡爪轴1的中心线且垂直于所述中心线的第三方向(所述第三方向为在滑槽中靠近卡爪轴的中心线方向)水平移动，所述滑杆5上的推力杆6也跟着沿第三方向水平移动、并迫使四个卡爪臂2同时绕各自对应的立柱12转动，使其末端的夹持单元11至所述卡爪轴1中心线的距离同时增大。
请参照图8，沿所述卡爪轴1的中心线方向向上推动所述拉杆4，所述拉杆4推动所述接触单元3，迫使所述两滑杆5同时在滑槽8中沿远离所述卡爪轴1的中心线且垂直于所述中心线的与第三方向相反的第四方向水平移动，所述滑杆5上的推力杆6也跟着沿第四方向水平移动、并迫使四个卡爪臂2绕所述立柱12转动，使其末端的夹持单元11至所述卡爪轴1中心线的距离同时减小。
本发明的夹持装置运用于预对准机夹持晶圆时，所述拉杆4带动所述接触单元3上下移动时，会迫使两个滑杆5同时在滑槽8中沿相反方向水平移动，滑杆5上的推力杆6也跟着水平移动并迫使四个卡爪臂2绕立柱12同时摆动使其末端的夹持单元11靠紧或离开晶圆边缘，实现了对晶圆边缘的夹持。并且这种夹持方式更接近于人的手指，晶圆边缘受到分别来自四个方向的力，受力更加均匀。

Claims (9)

1.一种夹持装置，包括有卡爪轴、及相对所述卡爪轴的中心线对称设置的两滑台，所述两滑台分别设有一可滑动的滑杆，其特征在于：所述夹持装置还包括有长度相同的四卡爪臂及接触单元，所述四卡爪臂分别旋转固定在所述两滑台的两侧，所述四卡爪臂各自设有一夹持单元，所述四夹持单元相对所述卡爪轴的中心线呈中心对称，所述两滑杆分别连接有一推力杆，所述推力杆的相对两端分别弹性连接至一所述卡爪臂，所述两滑杆之间滑动夹持所述接触单元，所述四夹持单元至所述卡爪轴中心线的距离通过所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动而同时改变。
2.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述两滑台上设有四立柱，所述四立柱呈中心对称、且对称中心落在所述卡爪轴的中心线上。
3.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：所述四卡爪臂的一端分别旋转固定在一所述立柱上。
4.如权利要求3所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持单元设于所述卡爪臂的另一端。
5.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述推力杆两端分别设有推力滚子，所述推力滚子与所述卡爪臂通过弹性件连接。
6.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述两滑杆在靠近所述接触单元一端分别设有一导向滚子，所述导向滚子通过弹性件连接并接触所述接触单元的相对两侧。
7.如权利要求6所述的夹持装置，其特征在于：所述接触单元接触所述导向滚子的两侧呈斜面。
8.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述接触单元一端还设有拉杆，所述拉杆用以驱使所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动。
9.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述推力杆的方向与所述滑杆垂直。
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