CN103171289B - 用于喷墨打印头的聚合物内部污染物过滤器 - Google Patents

Abstract

<b>本发明涉及打印设备领域，并且特别涉及包含喷墨打印头的喷墨打印设备。按照本发明的形成喷墨打印头的方法包括：利用这样的方法来形成喷墨打印头颗粒过滤器，这样的方法包括：将聚合物片与图案化掩模对准，其中，所述图案化掩模包括多个位于其中的、使所述聚合物片的第一部分暴露的开孔和覆盖所述聚合物片第二部分的主体；以及去除所述聚合物片被暴露的第一部分以形成多个通过所述聚合物片的过滤器开孔；以及将喷墨打印头颗粒过滤器定位在墨水路径内，在其所处位置上足以使墨水在所述打印头工作期间被过滤。</b>

Description

用于喷墨打印头的聚合物内部污染物过滤器

技术领域

本教导涉及打印设备领域，并且特别涉及包含喷墨打印头的喷墨打印设备。

背景技术

为消费消费者和工业用途而在诸如纸张之类的印刷介质上打印图像通常是激光技术和喷墨技术占据主导地位。由于喷墨打印分辨率和打印质量的提升，喷墨技术已变得更为普遍。喷墨打印机典型地采用热喷墨技术或压电技术。压电技术即使比热喷墨制造起来更贵，但是因为它们可以使用多种多样的墨水并消除了受热焦化(kogation)带来的问题，所以广受欢迎。

压电喷墨打印头典型地包括例如由不锈钢制成的柔性隔膜片。压电喷墨打印头还可以包括附着在隔膜片上的压电换能器(即致动器)阵列。其它的打印头结构可包括一个或多个激光形成图案的介质隔绝层和与每个换能器电气耦合的柔性印刷电路(柔性电路)或印刷电路板(PCB)。打印头可进一步包括主体板(bodyplate)、入口/出口板和孔径板(apertureplate)，它们的每个都可由不锈钢制成。孔径板包括多个喷嘴(即一个或多个开孔、孔径或喷射口)，在打印期间墨水通过喷嘴而配送出去。单位面积上的喷嘴数量通常决定了打印机的分辨率，较高分辨率的设备在给定面积内具有更多的孔径。随着打印机分辨率的提升，喷嘴的尺寸和配送在打印介质上的每个墨滴的墨水量也有所减少。

在压电打印头使用期间，电压典型地通过与柔性电路电极的电气连接被施加在压电换能器上，该柔性电路电极电气耦合至电压源，该电压源使得压电换能器弯曲或偏斜，导致隔膜片的弯折(flexing)。压电换能器引起的隔膜片弯折增加了墨水腔内的压力并且将一定数量的墨水从腔中经孔径板内的特定喷嘴排出。当隔膜片返回其松弛(未弯折)位置时，其使腔中压力降低并且将墨水从主墨水库经开孔吸入腔内以替换被排出的墨水。

在打印头制造期间，可能有污染物引入打印头。这些污染物可能在打印期间被输送到喷嘴，它们在喷嘴中可能会堵塞墨水经喷嘴的流动并降低打印质量。为了滤除打印头内的污染物，可以采用不锈钢颗粒过滤器或“碎石筛(rockscreen)”。

可改善打印质量和降低打印成本的打印头结构是被期望的。

发明内容

在本教导的一个实施例中，用于形成喷墨打印头颗粒过滤器的方法包括将聚合物片与图案化掩模对准，其中，图案化掩模包括多个使聚合物片的第一部分暴露的开孔和覆盖聚合物片第二部分的不透明层，该方法还包括去除聚合物片被暴露的第一部分以形成多个通过聚合物片的过滤器开孔。

在另一实施例中，形成喷墨打印头的方法可包括利用这样的方法来形成喷墨打印头颗粒过滤器，该这样的方法包括将聚合物片与图案化掩模对准，其中，图案化掩模包括多个位于其中的、使聚合物片的第一部分暴露的开孔和覆盖聚合物片第二部分的主体，并且该这样的方法还包括去除聚合物片被暴露的第一部分以形成多个通过聚合物片的过滤器开孔。该方法可进一步包括将喷墨打印头颗粒过滤器定位在墨水路径内，在其所处位置上足以使墨水在打印头工作期间被过滤。

在另一实施例中，喷墨打印头颗粒过滤器可包括其中具有多个过滤器开孔的聚合物片，其中多个过滤器开孔的每一个的宽度或直径介于大约5微米至大约30微米之间，并且间距介于大约15微米至大约40微米之间。

附图说明

图1为形成聚合物颗粒过滤器的加工过程中结构的剖面图，而图2为图1的平面图；

图3为在聚合物片激光烧蚀期间的聚合物层和透镜系统的剖面图，激光烧蚀是为了从聚合物片形成颗粒过滤器；

图4为描述激光烧蚀完成之后一部分聚合物片的剖面图；

图5和6为平面图，其描述用作喷墨打印头的颗粒过滤器的两种不同聚合物片的部分；

图7为合成的剖面图，其描述按照本教导的实施例的两个过滤器，它们位于打印头内的两个可能的位置；

图8为按照本教导一个实施例的打印机的透视图(perspectivedepiction)；以及

图9和10为剖面图，其描述利用另一种技术的打印头颗粒过滤器的形成。

应该指出的是，附图的某些细节被简化并且绘制成便于理解本教导而非与结构精度、细节和比例保持严格一致。

具体实施方式

除非特别说明，这里所用的词语“打印机”涵盖出于任何目的而实现打印输出功能的任何装置，例如数字复印机、编辑机(bookmakingmachine)、传真机、多功能机、绘图仪等。除非特别说明，词语“聚合物”涵盖由长链分子形成的、宽范围的碳基化合物中的任何一种，包括热固聚酰亚胺、热塑性塑料、树脂、聚碳酸酯、环氧树脂和本领域内已知的相关化合物。

随着喷墨打印头分辨率的提高和喷嘴直径的减小，高分辨率喷墨打印头的制造已经包括了不锈钢颗粒过滤器(也称为“碎石筛”)的使用以在打印期间从墨水中滤除污染物。通过颗粒过滤器的开孔必须足够得小，以确保污染物的滤除，这些污染物大到足以阻塞或堵塞喷嘴。例如因为高端打印头可能非常昂贵的缘故，效率高的滤除是必需的。40微米的颗粒可能阻塞喷嘴，导致打印头故障而需要更换。因为污染物故障而导致的保修成本可能是高昂的并且昂贵部件的过早失效可能会伤害品牌忠诚度。在类似于集成电路(IC)制造清洁室的清洁室环境内制造打印头可能会减少污染物，使得碎石筛不再需要，但是例如因为打印头的生产数量远远低于IC的生产数量并且在IC清洁室制造的单位成本高得多，所以在清洁室制造的成本将高得惊人(prohibitivelyexpensive)。

如上所述，喷嘴的尺寸随着打印分辨率的提高而降低。而且随着喷嘴尺寸的减小，碎石筛开孔的尺寸也必须减小以滤除更小的颗粒，这些颗粒会阻塞更小的喷嘴。随减小颗粒过滤器开孔尺寸而引发的问题是通过过滤器的墨水流受到限制，这减小了输送至喷嘴的墨水流量并且增大了打印头内的压力。对于各种其它技术，在典型的肉眼可见尺度的过滤器中，当减少开孔尺寸时可能经常会增加开孔的数量，以保证合适流量的材料通过过滤器。但是打印头的碎石筛通常是在肉眼可见的尺度下，利用酸腐蚀(湿法刻蚀)和一对掩模形成的，其中如图9和10所示，不锈钢板的每个面上有一个掩模。在图9中，不锈钢板110的第一面112上被第一光致抗蚀剂掩模114掩蔽，并且第二面116上被第二光致抗蚀剂掩模118掩蔽。不锈钢板110和两个光致抗蚀剂掩模114、118必须组装在一起，从而使得通过掩模114、118的开孔垂直对准。在形成图9的结构之后，该组件被放入酸性溶液(acidbath)中以腐蚀不锈钢板112的两个面，从而得到图10的结构。深入不锈钢板一定厚度的酸腐蚀可能导致不锈钢点、突起或“鸟喙”120的形成，这些形成物如图10所示延伸经过掩模的边缘。当形成较大开孔的碎石筛时，这些突起对于过滤器开孔间距的影响是可接受的，但是随着喷嘴直接的不断减小，突起面积相对于颗粒过滤器开孔面积的百分比较大。换句话说，不管孔径如何，每个突起的尺寸都是相同的。不锈钢碎石筛的最小可能开孔间距例如被限制为大约59.8微米。此外，小开孔的化学腐蚀是不精确的并且可能导致过滤器开孔具有以目标直径为中心的大范围的统计分布。例如目标开孔直径为30微米的不锈钢碎石筛可能具有大约1.85微米的σ和大约29.4微米的平均(均值)尺寸。例如由于图10所示的突起120的缘故，平均开孔尺寸小于目标尺寸。这对于形成足够数量的小开孔将变得愈加困难(特别是小于或等于30微米的开孔)，形成足够数量的小开孔是要在滤除掉可能堵塞小喷嘴的颗粒的同时可使打印头内的压力保持在足够的水平。而且污染物不一定是球形的并可能有大的纵横比，因此当将远小于喷嘴直径作为过滤器开孔直径的目标值时，颗粒过滤器的效果最好。

本教导的一个实施例可包括用于诸如固体墨水打印头之类的喷墨打印头的颗粒过滤器(碎石筛)，这类喷墨打印头由能够利用非化学技术(例如通过使用激光)刻蚀的材料制成。本教导还可包括具有上述颗粒过滤器的打印头和打印机。

本教导的实施例可包括诸如聚酰亚胺膜或片之类的聚合物材料的使用。在一个实施例中，聚酰亚胺膜的厚度可介于大约6微米至大约125微米之间，或者介于大约6微米至大约50微米之间，或者介于大约12微米至大约25微米之间，例如大约为25微米厚。

图1为示意性的剖面图，而图2为示意性的平面图，它们示出了与图案化的掩模或标线片(reticle)12(以下统称为“掩模”)对准的聚合物片10(例如聚酰亚胺片)，掩模12位于聚合物片10的表面上方。聚酰亚胺聚合物片10例如可包括DuPont^TM的开普通牌(Kapton(注册商标))聚酰亚胺或者从宇部兴产株式会社获得的尤皮勒克斯牌(Upilex(注册商标))聚酰亚胺。掩模12可包括在不透明层18(例如透明石英板19上的铬)内的开孔16的布置。在另一实施例中，掩模12可以是具有穿过其的开孔的单层金属。开孔16使聚合物片10的第一部分暴露，而石英掩模12的不透明层18或者金属掩模的主体覆盖和保护聚合物片10的第二部分。虽然为简单起见，图1和2示出的掩模12具有与聚合物片10相同的尺寸，但是应该理解的是，掩模12可以例如利用光刻透镜系统(例如以下相关于图3进行描述的那样)而采用不同的比例。而且为简单起见图2示出了12个开孔，但是应该理解的是，按照本教导的碎石筛可以具有成百上千的开孔，并且因此图2仅仅示出了完整结构的一部分。

在形成类似于图1和2的结构之后，如图3的示意性剖面图所示，激光器32输出的激光束30输出可以被引导经过掩模12内的开孔16并且到达聚合物片10的上表面14的暴露部分，以加热和烧蚀聚合物片10由掩模12内的开孔16暴露的部分。图3的结构可包括作为光刻系统部分的透镜34，其将激光束30如图所示地聚焦。在一个实施例中，透镜34可以提供对特征尺寸的成比例缩小(例如5倍的缩小)，使得掩模12内的开孔16的直径可以5倍于聚合物层10中形成的开孔的直径。虽然图3示出了激光烧蚀以形成单个颗粒过滤器的开孔，但是应该理解的是，可以在单个聚合物片10内的几个不同位置上形成多个颗粒过滤器。对于厚度大约为25微米的聚酰亚胺聚合物片10，可以采用输出波长为248纳米的氟化氪(KrF)激光器或者输出波长为308纳米的氯化氙(XeCl)激光器以及其它输出波长的其它激光器。激光束30可以以一定的持续时间内或者以一定的脉冲计数，采用脉冲形式入射到聚合物片10的暴露部分，该持续时间或者脉冲计数足以烧穿暴露的聚酰亚胺的厚度以提供具有类似图4所示开孔42的聚合物片40，其中这些开孔穿过了聚合物片。

在一个实施例中，由激光器32形成导致的开孔42可具有锥状。开孔直径在较为远离激光器32的末端具有较小的直径。即，位于聚合物层40的正面14处的每个开孔42比位于聚合物层40的背面44处的开孔42更大。由于激光器32从正面14到背面44烧蚀聚合物10的厚度，所以表面14处的开孔42可以称为“入口开孔”而表面44处的开孔可称为“出口开孔”。在利用25微米厚的聚合物层40的一个实施例中，表面14处的每个入口开孔可比表面44处的每个出口开孔大6微米左右。可以将入口开孔间距的目标值设定为等于每个开孔42的目标直径加上大约10微米。对于每个将目标值设定为15微米的出口开孔，入口开孔可以大约为21微米并且因此入口开孔的间距的目标值可以设定为31微米左右。在缩小倍数为5倍的透镜系统中，针对本特定实施例的掩模12中的开孔16可以具有5×21微米(即105微米)的直径并且间距可以为5×31微米(即155微米)。在一个实施例中，出口开孔直径的目标值可以设定为介于大约1微米至大约40微米之间，或者介于大约5微米至大约30微米之间，或者介于大约10微米至大约15微米之间。在本实施例中，包含颗粒过滤器的聚合物片40可在类似于图2图示形式的平面图中出现。

由于在利用具有正方形开孔的接触掩模从正方形开孔坚固的(tight)角部去除金属时湿法刻蚀的表现不佳，所以普通的不锈钢碎石筛通常局限于圆形开孔。虽然图2的掩模12可用来形成具有圆形开孔(这些开孔如所示地在网格内对准)的聚合物片40，但是其它的碎石筛设计也被考虑到。例如，图5示出了具有正方形开孔52的碎石筛50，其每个开孔52与相邻的开孔在水平和垂直方向上对准以形成网格。图5的结构包括7×8网格的正方形开孔，但是应该理解的是，碎石筛50可具有成百上千的开孔52。

在有些应用中，正方形开孔优于圆形开孔，因为正方形开孔的图案有更多的表面积专门用于(devotedto)过滤器开孔，因此改进了通过过滤器的墨水流量。换句话说，对于给定的过滤器尺寸和开孔数量，由于正方形开孔的总面积大于圆形开孔的总面积，所以通过采用圆形开孔的过滤器的流体阻力要大于采用正方形开孔的过滤器。当使圆形孔的直径与正方形孔的高度/宽度相等时，正方形孔形成的空间比圆形孔大33％左右。其它形状的开孔也被考虑到，例如长方形开孔和星形开孔以及其它的多边形形状。

图6示出了具有以多行和多列形式排布的正方形开孔62的碎石筛60，每行开孔62在水平方向上与紧随其上和紧随其下的行有所偏离以形成有偏移量的碎石筛。图6的结构示出了总计52个开孔62，但是应该理解的是，碎石筛60可具有成百上千的开孔62。由如图6所示的开孔62的替换图案所得到的颗粒过滤器与其中开孔以网格形式排布(例如如图5所示)的颗粒过滤器相比，织网强度得到改善。例如由于粘滞损失，普通的喷射和清洗操作在横跨碎石筛的范围内产生(impart)流体静压力梯度。流体静压力导致碎石筛织网中的张应力。业已发现为形成图6所示的有偏移量的碎石筛而进行更改的开孔取向可能导致应力减小(例如与图5的对准的网格取向相比)。

利用激光烧蚀进行蚀刻得到的聚合物颗粒过滤器与借助接触掩模和湿法刻蚀进行图案化的不锈钢颗粒过滤器相比，具有更小的孔-孔间距。例如，不锈钢颗粒过滤器的最小孔间距局限于大约60微米，例如大约59.8微米，而聚酰亚胺颗粒过滤器的孔间距介于大约10微米至大约30微米(或更小)之间，例如大约12微米。而且业已发现，虽然不锈钢碎石筛可以被刻蚀以形成大约30微米的圆形开孔直径，但是聚合物碎石筛可具有只有几个微米宽的正方形开孔，例如介于大约1微米至大约40微米之间，或介于大约5微米至大约30微米之间，或介于大约10微米至大约15微米之间。在一个实施例中，聚合物颗粒滤波器可具有大约15微米的正方形或圆形开孔尺寸以及介于大约25微米至30微米之间的间距。而且聚合物片中开孔的形成可以更为精确。目标值设定为14微米的宽度的多个正方形开孔可具有大约14.2微米的完全平均宽度(completemeanwidth)和大约0.27微米的σ。

除了这里所述的功能上的改进以外，与不锈钢碎石筛相比，聚合物碎石筛的成本可以降低。而且与金属腐蚀工艺相比，该形成工艺对环境的破坏更小。不锈钢碎石筛的形成需要在化学腐蚀期间利用对金属有强腐蚀性的酸。利用对金属有腐蚀性的酸需要相对更长的刻蚀时间，并且所产生的腐蚀后溶液的处理成本可能更高。激光钻孔的聚合物过滤器产生的副产品(这些副产品通常包括碳、氮和氧的化合物)有所减少，并且制造产量高，因此与湿法刻蚀的不锈钢碎石筛层相比，降低了制造成本。

普通的碎石筛在打印头内需要作特定的放置，从而使得内部压力在可接受的水平以内。随着喷嘴直径减小，通过不锈钢颗粒过滤器的墨水流量因为穿越过滤器的开孔的大间距和减小的尺寸而受到限制。将不锈钢过滤器放置在相对于经过打印头的墨水流而言的更上游位置将考虑更大的过滤器表面积和由此而来的更多的开孔，从而导致打印头压力的减小。但是墨水路径内的位于过滤器下游的结构必须在清洁的条件下制造和组装，因为任何在制造期间引入到碎石筛下游位置的颗粒不会被滤除并且任何位于颗粒过滤器下游的颗粒可能会进入喷嘴。

本教导的实施例可包括服务于单个喷嘴(也即仅为单个喷嘴过滤墨水)而非不得不服务于多个喷嘴的打印筛。由于本教导的颗粒过滤器的流体阻力小于普通的颗粒过滤器，所以可以采用较小的过滤器并且将其放置在打印头内改进的位置上，与不锈钢颗粒过滤器相比，该位置相对于经过打印头的墨水流而言在更为上游处。

图7描述了打印头70的一部分和经过打印头70的墨水路径72。墨水路径结束于开孔板75内的喷嘴74处，在喷嘴74处墨水被喷射到打印介质(为简化起见未画出)上。图7示出了位于墨水路径内的两个不同的颗粒过滤器，其中第一过滤器76由第一可塑聚合物(compliantpolymer)垫78构成而第二过滤器80由第二可塑聚合物垫82构成。第一过滤器76位于第一打印头位置并且第二过滤器80位于第二打印头位置。应该理解的是，图7的流体路径可包括过滤器76或第一可塑聚合物垫78，但是典型情况下不同时包括二者。然而墨水路径内的多个颗粒过滤器也被考虑到了并且属于本教导的范围之内。墨水路径内的喷墨打印头颗粒过滤器的位置足以在打印头工作期间过滤墨水。

将会认识到的是，过滤器76、80的每一个都仅服务于一个喷嘴74。即，打印头的每个喷嘴74包括仅与该喷嘴74相连的过滤器。应该理解的是，可塑聚合物垫78、82的每一个可有多个形成其内的、用于多个不同喷嘴的过滤器，但是这些实施例的每个垫内的每个过滤器76、80仅服务于单个喷嘴。

在一个实施例中，可塑聚合物垫78位于垂直的入口层84的下方和隔离片层86的上方，使得可塑聚合物垫78插入在结构84、86之间。在另一实施例中，可塑聚合物垫82位于隔离片层86的下方和入口/出口板88的上方，使得可塑聚合物垫82插入在结构86、88之间。这些结构84、86、88的每个可以是不锈钢或其它合适的材料。

一旦完成打印头结构的制造，就可以在打印机内安装一个或多个打印头70。图8示出了按照本教导的实施例的打印机90，其包括一个或多个打印头92和从一个或多个喷嘴74喷射出来的墨水94。每个打印头92被配置为按照数字指令工作以在诸如纸张、塑料等打印介质96上形成所希望的图像。每个打印头92可以扫描运动的方式，相对于打印介质96前后移动，从而逐个长条地(swathbyswath)生成打印的图像。可选地，打印头92可以保持固定而打印介质96相对其移动，从而形成在单程内(inasinglepass)与打印头92等宽的图像。打印头92可以比打印介质96窄或者与其等宽。包括打印头92的打印机硬件可以封装在打印机外壳98内。在另一实施例中，打印头92可以打印至诸如旋转鼓或旋转带(为简化起见未画出)之类的过渡表面以随后转印至打印介质。

Claims (17)

1.一种用于形成喷墨打印头颗粒过滤器的方法，包括：

将聚合物片与图案化掩模对准，其中，所述图案化掩模包括多个使所述聚合物片的第一部分暴露的开孔和覆盖所述聚合物片第二部分的不透明层；以及

通过引导激光束经过所述图案化掩模内的多个开孔的每一个并且到达所述聚合物片以烧蚀所述聚合物片被暴露的第一部分，去除所述聚合物片被暴露的第一部分，从而形成多个过滤器，每个所述过滤器包含多个通过所述聚合物片的过滤器开孔，其中，所述聚合物片被暴露的第一部分的去除将所述多个过滤器配置为服务于打印头内的多个打印头喷嘴并且还将所述多个过滤器的每个过滤器配置为仅服务于所述打印头内的一个打印头喷嘴。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有5微米和30微米之间的宽度或直径的过滤器开孔。

3.如权利要求2所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有15微米和40微米之间的间距的过滤器开孔。

4.如权利要求1所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有15微米的宽度或直径以及25微米的间距的过滤器开孔。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括在将所述聚合物片与所述图案化对准期间对准具有6微米和125微米之间的厚度的聚合物片。

6.如权利要求5所述的方法，进一步包括在将所述聚合物片与所述图案化对准期间，将所述聚合物片与石英掩模对准。

7.如权利要求1所述的方法，进一步包括在去除所述聚合物片被暴露的第一部分期间形成多个正方形孔。

8.如权利要求7所述的方法，进一步包括在去除所述聚合物片被暴露的第一部分期间形成多行和多列形式的多个正方形孔，其中每行正方形孔与紧随其上的行和紧随其下的行在水平方向上有所偏离以形成有偏移量的颗粒过滤器。

9.一种形成喷墨打印头的方法，包括：

利用这样的方法来形成喷墨打印头颗粒过滤器，该这样的方法包括：

将聚合物片与图案化掩模对准，其中，所述图案化掩模包括多个位于其中的、使所述聚合物片的第一部分暴露的开孔和覆盖所述聚合物片第二部分的主体；

通过引导激光束经过所述图案化掩模内的多个开孔的每一个并且到达所述聚合物片以烧蚀所述聚合物片被暴露的第一部分来去除所述聚合物片被暴露的第一部分，从而形成多个过滤器，每个所述过滤器包含多个通过所述聚合物片的过滤器开孔；以及

将所述聚合物片定位在垂直的入口与入口/出口板之间，所述聚合物片包含所述多个过滤器和所述多个过滤器开孔；以及

将包含多个喷嘴的喷嘴板附着到所述入口/出口板，其中，所述聚合物片的所述多个过滤器被配置为服务于所述喷嘴板内的多个喷嘴并且所述多个过滤器的每个过滤器仅服务于所述喷嘴板内的一个喷嘴。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有5微米和30微米之间的宽度或直径的过滤器开孔。

11.如权利要求10所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有15微米和40微米之间的间距的过滤器开孔。

12.如权利要求10所述的方法，进一步包括在将所述激光束引导至所述聚合物片上期间形成具有15微米的宽度或直径以及25微米的间距的过滤器开孔。

13.如权利要求10所述的方法，进一步包括在将所述聚合物片与所述图案化对准期间对准具有6微米和125微米之间的厚度的聚合物片。

14.如权利要求13所述的方法，进一步包括在将所述聚合物片与所述图案化对准期间，将所述聚合物片与石英掩模对准。

15.一种喷墨打印头颗粒过滤器，包括：

其内具有多个过滤器的聚合物片，每个过滤器其内包含多个过滤器开孔，其中所述多个过滤器开孔为多个正方形孔并且所述多个过滤器开孔的每一个具有5微米和30微米之间的宽度或直径和15微米和40微米之间的间距，其中，所述聚合物片内的所述多个过滤器被配置为服务于打印头内的多个打印头喷嘴并且所述多个过滤器的每个过滤器被配置为仅服务于所述打印头内的一个打印头喷嘴。

16.如权利要求15所述的喷墨打印头颗粒过滤器，其中，所述多个过滤器开孔以多行和多列形式排列。

17.如权利要求16所述的喷墨打印头颗粒过滤器，其中，每行正方形孔与紧随其上的行和紧随其下的行在水平方向上有所偏离以形成有偏移量的颗粒过滤器。