CN103090190B - 一种化学液分配系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种化学液分配系统，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，其中第一化学液通路包括依次连接的第一气动阀、第一缓冲罐、第二气动阀和计量泵，其中第二化学液通路包括依次连接的第三气动阀、第二缓冲罐、第四气动阀、隔膜泵和脉冲消除装置，其中在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。本发明可以避免由于厂端供液时压力波动对化学液流量的影响，同时双系统设计提高了设备的稳定性及配比比例精准度，易于实现。
Description
技术领域
本发明涉及化学液分配设计技术领域，具体涉及一种不同配比化学液分配系统。
背景技术
集成电路通常采用半导体晶片来制造，而这种晶片通常是易脆材料制作的，在制作集成电路元器件期间，这些晶片通常要经过若干处理步骤，在处理过程中晶片会暴露于或者承受各种不同配比的溶液的处理，以达到特定效果，而这些不同配比的化学液需经过一个分配系统输送至工作机台。如果化学液分配系统设计的不合理或者不完善，则会导致设备的稳定性及生产效率降低。
现有的不同配比化学液分配系统如图1所示，此分配系统中化学液A从第一化学液通路流入，由第一气动阀控制进入缓存罐中，再由第二气动阀和计量泵来控制其流量，而化学液B则由厂家供应，从第二化学液通路流入，利用手阀、第三气动阀、及节流器来控制其流量，使其进入在线混合单元中与化学液A进行混合，最后输送到机台。此种设计中，由于厂端直接供液，压力波动较大，化学液B的流量受其影响较大；并且只有一套分配系统，对于不同配比的化学液来说，系统管路中的残留液体会影响不同配比时液体的配比比例，使液体配比比例不够精确，从而影响系统工作的稳定性。
发明内容
（一）要解决的技术问题
本发明主要解决现有的不同配比化学液分配系统在工艺上存在流量波动大、化学液配比比例受系统管路中残留液体影响大的技术问题。
（二）技术方案
本发明提供了一种化学液分配系统，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，
其中，第一化学液通路包括依次连接的：
第一气动阀，用于控制化学液流入；
第一缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第二气动阀，用于配合所述第一缓冲罐补液、排液；
计量泵，用于控制化学液流量；
其中，第二化学液通路包括依次连接的：
第三气动阀，用于控制化学液流入；
第二缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第四气动阀，用于配合所述第二缓冲罐补液、排液；
隔膜泵，用于控制化学液流量；
脉冲消除装置，用于消除流量脉冲，使流量稳定；
其中，在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。
优选的，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐的底部、中部和上方各有一个液位传感器，当底部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体已经排放完毕；当中部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体到达预定位置；当上方液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐补液完成。
优选的，所述第二化学液通路适用于厂端直接供液。
（三）有益效果
本发明可以避免由于厂端供液时压力波动对化学液流量的影响，同时双系统设计提高了设备的稳定性及配比比例精准度，易于实现。
附图说明
图1是现有的化学液分配系统结构图；
图2是本发明系统的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
图2是本发明系统的结构图，本发明提供了一种化学液分配系统，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，
其中，第一化学液通路包括依次连接的：
第一气动阀，用于控制化学液流入；
第一缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第二气动阀，用于配合所述第一缓冲罐补液、排液；
计量泵，用于控制化学液流量；
其中，第二化学液通路包括依次连接的：
第三气动阀，用于控制化学液流入；
第二缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第四气动阀，用于配合所述第二缓冲罐补液、排液；
隔膜泵，用于控制化学液流量；
脉冲消除装置，用于消除流量脉冲，使流量稳定；
其中，在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。
优选的，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐的底部、中部和上方各有一个液位传感器，当底部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体已经排放完毕；当中部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体到达预定位置；当上方液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐补液完成。
优选的，所述第二化学液通路适用于厂端直接供液。
本发明分配系统设计为两套功能相同的系统，第一化学液通路中，第一缓冲罐用来消除厂端供液压力波动对流量的影响，并且用第二气动阀及计量泵来控制其流量，使得该通路的化学液以小流量进入在线混合单元与第二化学液通路的化学液进行混合，最后输送至机台。第一化学液通路中的第一缓冲罐的底部、中间位置和上方共有三个液位传感器，用于向系统反馈缓冲罐中液体体积的信息。当底部传感器发出信号时，说明缓冲罐内的液体已经排放完毕，若此时工艺需要一定液体，可打开前面的第一气动阀，关闭后面的第二气动阀，对缓冲罐进行补液；当中间的传感器发出信号时，说明缓冲罐内的液体到达一定位置；当最上面的传感器发出信号时，说明补液完成需关闭前面的第一气动阀；第一化学液通路的化学液用量比较小，可用计量泵来控制其流量，其前面安装的第二气动阀用来配合其工作，当计量泵工作时第二气动阀打开，计量泵停止时第二气动阀关闭。
第二化学液通路与第一化学液通路相比，其前面部分一样，也在其中加入一个第二缓冲罐来消除厂端压力波动对流量的影响，只是液泵为普通气动隔膜泵并且在其后加装一个脉冲消除装置，这是由于一般情况下第二化学液通路的化学液用量较大，故此处可用气动隔膜泵和脉冲消除装置来控制其流量，安装脉冲消除装置是为了消除气动隔膜泵的流量脉冲使流量稳定，然后使化学液流入在线混合单元，最后输送至机台。
同时设计两套一样的分配系统，当化学液配比需要改变时可以用另一套，此系统管路中无化学液的残留，不会对配比精度造成影响，并且两套系统可以提高工作的稳定性。
具体实施过程如下：
在第一化学液通路中，化学液经过第一气动阀进入第一缓冲罐中，第一缓冲罐上的三个液位传感器反馈其中液体体积的信息，以提示是否对缓冲罐进行补液，同时可以利用气动阀的开闭来配合其补液、排液。由于第一化学液通路中的化学液用量较小，故用气动阀和计量泵来控制其流量的大小，使其进入在线混合单元与另一通路的化学液进行混合。
在化学液分配系统中，第二化学液通路中的化学液由厂端供应，由第三气动阀进入第二缓冲罐中，来避免厂端压力波动造成的影响，然后通过第四气动阀、气动隔膜泵、脉冲消除装置来控制液体流入混合单元中与第一化学液通路中的化学液进行配比混合。其中气动阀的打开与关闭由缓冲罐上的液位传感器反馈的信号控制。若第二缓冲罐的底部传感器有信号反馈，则缓冲罐内化学液已用完，可以对其进行补液，第三气动阀打开，第四气动阀关闭；当顶部传感器有信号反馈时，说明缓冲罐内液体已满，此时第三气动阀关闭。当工艺需要液体时，第四气动阀打开，配合气动隔膜泵控制其流量，使其以稳定的流量进入在线混合装置，最后输送至机台。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种化学液分配系统，其特征在于，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，
其中，第一化学液通路包括依次连接的：
第一气动阀，用于控制化学液流入；
第一缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第二气动阀，用于配合所述第一缓冲罐补液、排液；
计量泵，用于控制化学液流量；
其中，第二化学液通路包括依次连接的：
第三气动阀，用于控制化学液流入；
第二缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；
第四气动阀，用于配合所述第二缓冲罐补液、排液；
隔膜泵，用于控制化学液流量；
脉冲消除装置，用于消除流量脉冲，使流量稳定；
其中，在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐的底部、中部和上方各有一个液位传感器，当底部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体已经排放完毕；当中部液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐内的液体到达预定位置；当上方液位传感器发出信号时，表明相应的缓冲罐补液完成。
3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二化学液通路适用于厂端直接供液。
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