CN202915051U - 补液装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。本实用新型提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。

Description

补液装置

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种补液装置。 

背景技术

在半导体行业内，在很多工序上都需要对硅片进行各种清洗，在清洗的过程中会使用到各种化学液，并且各种化学液的浓度和成分比例各不相同，当混合配比时或使用一段时间后，药液的浓度都会发生变化，需要补给一定量的药液或超纯水。一般情况下，化学液都需要放在化学容器中（如槽或罐），首先在容器中加入一定容量的化学液，此药液的浓度已经满足要求的浓度。在使用过程中容器中化学液会被反复使用，在反复循环的过程中，药液的浓度会发生变化，又需要补充化学液或者超纯水。因此需要定期对容器内的化学液进行定量补给。目前，对药液或者超纯水的补给多采用计量泵等，需要信号控制或者反馈等，虽然能够实现精确的补给，但是体积较大并且相应的控制和结构等较复杂，而且成本较高。 

实用新型内容

（一）要解决的技术问题 

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种补液装置，可以实现液体的多种体积量的精确补给，从而可以在设定时间将精确的定量的液体定时分配到相关工艺单元。 

（二）技术方案 

本实用新型提供一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接 所述储液罐进口。 

其中，所述化学药液供给管路上设有化学药液供给气动阀。 

其中，所述超纯水供给管路上设有超纯水供给气动阀。 

其中，所述超纯水定量补给管路上设有超纯水定量补给气动阀、总补给气动阀以及定量泵。 

其中，所述循环管路上依次设有将所述储液罐中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀、液体传输泵、手阀和将所述储液罐中的化学液加热过滤的加热过滤器。 

其中，补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路。 

其中，补液装置还包括：位于储液罐侧面用于感测化学液的液位传感器。 

其中，所述储液罐为并行的两个储液罐。 

（三）有益效果 

本实用新型提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。 

附图说明

图1是本实用新型补液装置的结构示意图。 

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。 

如图1所示，本实用新型提供的补液装置，包括：并行的两个储液罐（1，2）、为所述储液罐（1，2）提供化学药液的化学药液供给管路（3，4）、为所述储液罐（1，2）提供超纯水的超纯水供给管路（5，6）、为所述储液罐（1，2）定量补给超纯水的超纯水定量补给 管路（7，8）和循环管路（10，11），所述循环管路（10，11）的一端与所述储液罐（1，2）出液口连接，另一端连接所述储液罐（1，2）进口。 

所述化学药液供给管路（3，4）上设有化学药液供给气动阀（3’，4’）；所述超纯水供给管路（5，6）上设有超纯水供给气动阀（5’，6’）；所述超纯水定量补给管路（7，8）上设有超纯水定量补给气动阀（7’，8’）、总补给气动阀9’以及定量泵（10’，11’）。 

所述循环管路（10，11）上依次设有将所述储液罐（1，2）中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀（12’，13’）、液体传输泵（14’，15’）、手阀（16’，17’）和将所述储液罐（1，2）中的化学液加热过滤的加热过滤器（18’，19’）。 

补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路（12，13）以及位于储液罐（1，2）侧面用于感测化学液的液位传感器（20’，21’）。 

工作原理： 

如图1所示,以左侧的储液罐1举例说明：首先通过控制器14（controller）开启化学药液供给气动阀3’，向储液罐1内注入化学液，通过控制化学药液供给气动阀3’的开启时间注入设定体积的化学液，也可以通过储液罐1旁的液位传感器20’的反馈信号，当达到设定液位时关闭化学药液供给气动阀3’，停止注入化学液。打开超纯水供给气动阀5’，向储液罐1内注入超纯水（UPW），通过开始时间控制注入体积量，当达到要求后关闭超纯水供给气动阀5’，停止注液。打开循环管路10上的手阀16’，开启工艺气动阀12’和液体传输泵14’，将储液罐1内的液体输送到加热过滤器18’进行循环加热，通过温度传感器的反馈，当达到工艺要求温度后将液体输送到工艺腔室参加工艺进程，工艺后的药液通过回收管路12被回收到储液罐1内以便下一个工艺过程使用，经过反复多次工艺循环后，由于水分蒸发等原因，储液罐1内 的药液浓度将增大，所以要定期对储液罐1内的药液进行一定量的补水。首先按照要求标定并校准定量泵10’，使其每次膜片的开合量满足补液的体积要求，并确保超纯水定量补给管路7里没有气泡存在（如有气泡存在需要先将总补给气动阀9’和超纯水定量补给气动阀7’以及定量泵10’打开，将超纯水定量补给管路7气泡排净，然后依次关闭定量泵10’、超纯水定量补给气动阀7’和总补给气动阀9’），定量泵10’的标定及校准方法为：通过调节定量泵10’上的旋钮来控制定量泵10’内膜片的开合度，通过之前的测试可以知道提供不同体积的液体时对应其旋钮的旋转度，进而实现定量泵10’的标定。然后按照如下顺序进行操作：通过控制器14控制打开总补给气动阀9’，然后打开定量泵10’，之后关闭总补给气动阀9’，打开超纯水定量补给气动阀7’，关闭定量泵10’，液体流出，关闭超纯水定量补给气动阀7’，完成定量补液，动作结束。 

当使用本实用新型补液装置时，当进液口压力发生变化时，只要定量泵10’的开合量不变，既能保证补液的量不会发生变化，精确度和重复性较高，并且避免了厂端或供液管路的压力波动对补液量的影响。 

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。 

Claims (8)

1.一种补液装置，其特征在于，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。 

2.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述化学药液供给管路上设有化学药液供给气动阀。 

3.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水供给管路上设有超纯水供给气动阀。 

4.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水定量补给管路上设有超纯水定量补给气动阀、总补给气动阀以及定量泵。 

5.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述循环管路上依次设有将所述储液罐中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀、液体传输泵、手阀和将所述储液罐中的化学液加热过滤的加热过滤器。 

6.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路。 

7.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，补液装置还包括：位于储液罐侧面用于感测化学液的液位传感器。 

8.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述储液罐为并行的两个储液罐。 

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