CN103046073B - 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法,它是利用电镀、电刷镀或化学镀和溅射镀技术,在铁基材料表面首先涂覆一定厚度的纯铜作为过渡层,再利用溅射镀技术沉积氮化物,以形成一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料。本发明采用铁基材料作为电极材料,具有加工性能好、导电性好、强度高、成本低。在其上面镀一层铜增加导电性,并作为过渡层增加表面氮化物层的膜基结合强度,表面的氮化物层具有耐腐蚀、耐磨、强度硬度高、电阻率较小的优点,能大幅度提高电极的比能量与比功率,接触电阻保持恒定,电能消耗稳定并且较小。
Description
技术领域
本发明一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料,属于表面工程技术领域。
背景技术
在工业生产中,电极材料作为一种电解用的正极材料,其基本要求是:具有良好的导电性、耐电化学腐蚀、一定的机械强度和便于加工制造的性能。最初的电极材料采用石墨,但是因为其强度低、生产成本高、容易损耗、易脱落、工作寿命短等缺点现在正在被逐步淘汰;金属材料基的电极材料(比如碳钢),虽然有良好强度、塑性、可加工性、成本较低,但是在使用中不耐腐蚀,且电能消耗大,寿命较短;现在常用的是不锈钢和金属钛作为电极材料,虽然有耐腐蚀、强度高等优点,但是阳极产生氧气,容易在表面存在一层致密的氧化膜(如:TiO2膜或者Cr2O3膜),这类氧化膜的导电性极差,随着时间的延长,膜厚度不断增加,导电性能恶化,耗电量急剧增大。
发明内容
本发明的目的是为克服现有技术的不足,而提供一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法。这种材料表面涂层具有电导率大、耐磨损和腐蚀性好、膜基结合力强的特点。
实现本发明目的的技术方案是:
一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料,利用电镀(或者电刷镀、化学镀)和溅射镀技术,在铁基材料表面首先涂覆一定厚度的纯铜作为过渡层,再利用溅射镀技术沉积氮化物(或者氮化钛、氮化铬、氮化钨、氮化钼等),以形成一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料。
一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料的制备方法,包括如下步骤:
(1)以电极基体材料为碳钢进行表面处理,使材料表面粗糙度Ra<1μm;
(2)清洗材料表面:用活化液、腐蚀液、净化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超声波仪器中清洗半小时以上;
(3)在碱铜溶液中,利用电镀涂覆一定厚度的纯铜;
(4)再用超声波清洗干净并烘干;
(5)放入溅射镀沉积设备中,调节负偏压、弧电流、工作总气压、氩气和氮气的流量比、沉积温度、沉积时间工艺参数;
(6)在镀纯铜的试样表面再沉积一层氮化物涂层即成。
步骤(1)所述电极基体材料为碳钢或不锈钢
步骤(3)所述电镀为电刷镀或化学镀;其工作电压为5~36V,时间为1分钟~10分钟。
步骤(5)所述溅射镀为离子镀、电弧离子镀、磁控溅射镀或射频溅射镀;其工艺参数为:真空度为10-4~10-3Pa,通入氩气至1~30Pa,用-500~-1000V的偏压清洗不锈钢10~50min;沉积温度:室温~500°C,沉积气压为0.5~10Pa,沉积偏压为-100~-300V,沉积时间为30~90min。
步骤(6)所述的氮化物涂层为氮化钛、氮化铬、氮化钨或氮化钼。
本发明的优点是:本发明采用铁基材料作为电极材料,具有加工性能好、导电性好、强度高、成本低。在其上面镀一层铜增加导电性,并作为过渡层增加表面氮化物层的膜基结合强度,表面的氮化物层具有耐腐蚀、耐磨、强度硬度高、电阻率较小的优点,能大幅度提高电极的比能量与比功率,接触电阻保持恒定,电能消耗稳定并且较小。
具体实施方式
以下通过具体的实例来进一步说明本发明
试样基材为4Cr13马氏体不锈钢,尺寸50mm×20mm×3mm(长×宽×厚),试样在开始前,表面经过不同型号的水砂纸打磨,并用角向抛光机抛光,表面粗糙度达Ra=0.8μm。
首先进行表面电刷镀镀纯铜,刷镀电源型号为GSD-200A。将打磨并清洗后的试样接负极,镀笔接阳极,在工件表面分别刷镀电净液、1号活化液、2号活化液和碱铜,刷镀电净液的电压为12V、刷镀速度为60次每分钟、刷镀时间为60s;刷镀1号活化液的电压为10V、刷镀速度为65次每分钟、刷镀时间为60s;刷镀2号活化液的电压为11V、刷镀速度为70次每分钟、刷镀时间为70s;刷镀碱铜的电压为8V、刷镀速度为60次每分钟、刷镀时间为60s,每次刷镀完成后都用清水冲洗干净在继续刷镀。
然后在TSU-650超高真空磁控溅射及离子镀沉积设备上进行电弧离子镀TiN涂层,先将上一步得到的试样用超声波清洗干净并烘干,放入电弧离子镀膜设备,本底真空度抽至10-3Pa,通入氩气至5Pa,用-700V的偏压清洗试样20min;清洗完之后,基体温度升至200°C,工作气压0.8Pa,偏压-200V,靶材弧电流70A,氩氮气体比例1:8,工作时间为60min。结束之后随炉冷却,试样表面即可获得表面致密的TiN涂层。
Claims (4)
1.一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料的制备方法,其特征是:包括如下步骤:
(1)以碳钢或不锈钢为电极基体材料进行表面处理,使材料表面粗糙度Ra<1μm;
(2)清洗材料表面:用活化液、腐蚀液、净化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超声波仪器中清洗半小时以上;
(3)在碱铜溶液中,利用电镀涂覆一定厚度的纯铜;所述电镀的工作电压为5~36V,时间为1分钟~10分钟;
(4)再用超声波清洗干净并烘干;
(5)放入溅射镀沉积设备中,调节负偏压、弧电流、工作总气压、氩气和氮气的流量比、沉积温度、沉积时间工艺参数;
所述溅射镀的工艺参数为:真空度为10-4~10-3Pa,通入氩气至1~30Pa,用-500~-1000V的偏压清洗不锈钢10~50min;沉积温度:室温~500°C,沉积气压为0.5~10Pa,沉积偏压为-100~-300V,沉积时间为30~90min;
(6)在镀纯铜的试样表面再沉积一层氮化物涂层即成。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(3)所述电镀为电刷镀。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(5)所述溅射镀为离子镀、磁控溅射镀或射频溅射镀。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(6)所述的氮化物涂层为氮化钛、氮化铬、氮化钨或氮化钼。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210556011.9A CN103046073B (zh) | 2012-12-20 | 2012-12-20 | 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103046073A CN103046073A (zh) | 2013-04-17 |
CN103046073B true CN103046073B (zh) | 2016-04-06 |
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ID=48058930
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---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103046073B (zh) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103628032B (zh) * | 2013-11-15 | 2016-04-27 | 桂林电子科技大学 | 一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法 |
CN103628060B (zh) * | 2013-11-15 | 2015-12-30 | 桂林电子科技大学 | 一种表面渗钼+沉积氮化钛的新型电极材料及其制备方法 |
CN103949472B (zh) * | 2014-03-25 | 2016-05-11 | 长沙升华微电子材料有限公司 | 一种铜-钼铜-铜三层复合板及其制造方法 |
CN111041482A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-21 | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 | 一种用于半导体封装模具内腔的复合涂层及其制备方法 |
CN114031124B (zh) * | 2021-11-02 | 2024-03-26 | 远景动力技术(江苏)有限公司 | 钨双包覆正极材料及其制备方法与应用 |
CN115831433A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-03-21 | 中国航天科工集团有限公司 | 一种电极、电极组件、多芯电极板及成型工艺 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5512164A (en) * | 1993-06-03 | 1996-04-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for sputtering with low frequency alternating current |
JPH0927110A (ja) * | 1995-07-07 | 1997-01-28 | Kao Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
CN201073834Y (zh) * | 2007-06-20 | 2008-06-18 | 中国第一汽车集团公司 | 钢铁工件表面的彩色电镀电泳层结构 |
CN101209604A (zh) * | 2006-12-30 | 2008-07-02 | 比亚迪股份有限公司 | 一种不锈钢制品及其制备方法 |
CN101298659A (zh) * | 2007-04-30 | 2008-11-05 | 汉达精密电子(昆山)有限公司 | 绝缘导热金属基板的制造方法 |
CN101503794A (zh) * | 2009-03-20 | 2009-08-12 | 上海工程技术大学 | 一种在钢铁表面制备装饰性TiN薄膜的工艺 |
CN201943835U (zh) * | 2011-01-28 | 2011-08-24 | 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 | 具有pvd镀层的活塞环 |
CN102534481A (zh) * | 2010-12-23 | 2012-07-04 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 被覆件及其制造方法 |
CN102691043A (zh) * | 2011-03-21 | 2012-09-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
CN102689467A (zh) * | 2012-05-23 | 2012-09-26 | 北京天瑞星光热技术有限公司 | 一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5512164A (en) * | 1993-06-03 | 1996-04-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for sputtering with low frequency alternating current |
JPH0927110A (ja) * | 1995-07-07 | 1997-01-28 | Kao Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
CN101209604A (zh) * | 2006-12-30 | 2008-07-02 | 比亚迪股份有限公司 | 一种不锈钢制品及其制备方法 |
CN101298659A (zh) * | 2007-04-30 | 2008-11-05 | 汉达精密电子(昆山)有限公司 | 绝缘导热金属基板的制造方法 |
CN201073834Y (zh) * | 2007-06-20 | 2008-06-18 | 中国第一汽车集团公司 | 钢铁工件表面的彩色电镀电泳层结构 |
CN101503794A (zh) * | 2009-03-20 | 2009-08-12 | 上海工程技术大学 | 一种在钢铁表面制备装饰性TiN薄膜的工艺 |
CN102534481A (zh) * | 2010-12-23 | 2012-07-04 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 被覆件及其制造方法 |
CN201943835U (zh) * | 2011-01-28 | 2011-08-24 | 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 | 具有pvd镀层的活塞环 |
CN102691043A (zh) * | 2011-03-21 | 2012-09-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
CN102689467A (zh) * | 2012-05-23 | 2012-09-26 | 北京天瑞星光热技术有限公司 | 一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Plasma pretreatment of the Cu seed layer surface in Cu electroplating;Junhwan Oh, Jaegab Lee, Chongmu Lee;《Materials Chemistry and Physics》;ELSEVIER;20020115;第73卷(第2-3期);第227-234页 * |
碳钢表面氮化钛陶瓷化的耐腐蚀性能研究;高原, 徐重;《新技术新工艺》;20061125(第11期);第25-27页 * |
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