CN103000547B - 一种优化cdsem跑货顺序的方法 - Google Patents

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一种优化CDSEM跑货顺序的方法，包括：步骤S1：导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统；步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序。本发明所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM量测机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。

Description

一种优化CDSEM跑货顺序的方法
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种优化CDSEM跑货顺序的方法。
背景技术
目前，在半导体器件制造中，采用关键尺寸扫描电子显微镜(CriticalDimension Electronic Microscope,CDSEM)测量制作在晶片上的图案的关键尺寸(Critical Dimension,CD)。随着半导体技术的发展，半导体器件的关键尺寸越来越小。为保证光刻或刻蚀后晶片上图案的准确性，经过曝光显影将光罩上的图案转移到晶片上以后，带有图案的晶片会放置在CDSEM机台，由CDSEM控制系统控制CDSEM机台测量光刻后图案的关键尺寸，CDSEM机台将得到的图案之关键尺寸反馈给CDSEM控制系统，以确定图案的关键尺寸是否符合大规模集成电路(Integrated Circuit,IC)设计要求，从而了解光刻或者刻蚀的准确性。
但是，目前CDSEM系统造价昂贵，成本过高，而半导体公司所购置的有限数量CDSEM利用率较低，不能满足实际生产与研发需求。如何合理的安排CDSEM系统的跑货顺序，将关系到CDSEM机台的利用率及高等级批量跑货进度。故，如何合理有效地优化CDSEM机台跑货顺序成为本领域的重要研究课题之一。
故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种优化CDSEM跑货顺序的方法。
发明内容
本发明是针对现有技术中，传统的CDSEM系统造价昂贵，成本过高，而半导体公司所购置的有限数量CDSEM利用率较低，不能满足实际生产与研发需求等缺陷提供一种优化CDSEM跑货顺序的方法。
为了解决上述问题，本发明提供一种优化CDSEM跑货顺序的方法，所述方法包括：
执行步骤S 1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；
执行步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer，并依据公式计算所述单点制程时间Tpoint；
执行步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量；
执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式：
Twait＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point+…+Trecipenpoint×Lotn×Nnpoint，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；
执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。
可选地，所述CDSEM测量处方浏览器软件为CDSEM recipe viewersoftware version 7.30以上的版本。
可选地，所述CDSEM机台上安排量测的第一批晶圆的单点测量时间Trecipe1point为0.8s，待量测点数量为36个；在所述CDSEM机台上安排量测的第二批晶圆的单点测量时间Trecipe2point为0.9s，待量测点数量为18个；所述第三批晶圆需要等待的时间为Twait3：
Twait3＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point＝0.8×36+0.9×18＝45s。
综上所述，本发明所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。
附图说明
图1所示为本发明优化CDSEM跑货顺序的方法的流程图；
图2所示为本发明已完成跑货批量产品之制程时间Twafer的图谱。
具体实施方式
为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
请参阅图1，图1所示为本发明一种优化CDSEM跑货顺序的方法的流程图。所述优化CDSEM跑货顺序的方法，包括以下步骤：
执行步骤S1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；
执行步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；具体地，通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer，并依据公式计算所述单点制程时间Tpoint；
执行步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括但不限于批量产品的优先等级顺序、测量点数量Npoint；
执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式：
Twait＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point+…+Trecipenpoint×Lotn×Nnpoint，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；
执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。
作为本发明的具体实施方式，请继续参阅图2，并结合参阅图1，图2所示为本发明已完成跑货批量产品之制程时间Twafer的图谱。在本发明中，所述优化CDSEM跑货顺序的方法，包括以下步骤：
执行步骤S1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；其中，所述CDSEM测量处方浏览器软件为CDSEMrecipe viewer software version 7.30以上的版本。
执行步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；具体地，通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer，并依据公式计算所述单点制程时间Tpoint；
执行步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括但不限于批量产品的优先等级顺序、测量点数量；
执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式：
Twait＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point+…+Trecipenpoint×Lotn×Nnpoint，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；
在本实施方式中，仅以计算第三批晶圆的等待时间为例进行阐述，不应视为对本发明技术方案的限制。不烦列举，在所述CDSEM机台上安排量测的第一批晶圆的单点测量时间Trecipe1point为0.8s，待量测点数量为36个；在所述CDSEM机台上安排量测的第二批晶圆的单点测量时间Trecipe2point为0.9s，待量测点数量为18个。作为本领域技术人员，不难理解，所述第三批晶圆需要等待的时间为Twait3：
Twait3＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point＝0.8×36+0.9×18＝45s
执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。
显然地，本发明所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间。
综上所述，本发明所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。
本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。

Claims (3)

1.一种优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述方法包括：
执行步骤S1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；
执行步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer，并依据公式计算所述单点制程时间Tpoint；
执行步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量Npoint；
执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式：
Twait＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point+···+Trecipenpoint×Lotn×Nnpoint，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；
执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序；
其中，Trecipe1point为第一批晶圆的单点测量时间，Trecipe2point为第二批晶圆的单点测量时间，Trecipenpoint为第n批晶圆的单点测量时间，N1point为第一批晶圆的待量测点数量，N2point为第二批晶圆的待量测点数量，Nnpoint为第n批晶圆的待量测点数量。
2.如权利要求1所述的优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述CDSEM测量处方浏览器软件为CDSEM recipe viewer software version 7.30以上的版本。
3.如权利要求2所述的优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述CDSEM机台上安排量测的第一批晶圆的单点测量时间Trecipe1point为0.8s，待量测点数量为36个；在所述CDSEM机台上安排量测的第二批晶圆的单点测量时间Trecipe2point为0.9s，待量测点数量为18个；第三批晶圆需要等待的时间为Twait3：
Twait3＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point＝0.8×36+0.9×18＝45s。
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