CN102891189A - 具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法 - Google Patents

具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法 Download PDF

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Abstract

一种具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法，所述电池包含：具有第一导电型基板的光电转换单元、一个位于该基板背面并呈连续膜状的背电场层、至少一个位于该背电场层的表面的介电层、背电极以及正面电极。本发明制造方法的改良主要在于：在形成该介电层之前，先形成该背电场层，其形成过程是在该第一导电型基板的背面披覆金属胶并进行热处理，使该金属胶的材料与该基板材料产生反应而形成该背电场层，在此同时还能降低该基板背面的表面粗糙度，而且该背电场层有助于提升载流子收集效率，从而提升电池整体效能。

Description

具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池及其制造方法，特别是涉及一种具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法。
背景技术
参阅图1，已知太阳能电池1在制作时，会先将基板11湿式蚀刻，使该基板11的入光面111成为粗糙表面，能提升光线入射到电池内部的比例，但经过湿式蚀刻后，该基板11的一个相反于该入光面111的背面112也会成为粗糙表面。接着进行扩散制程，使该p型的基板11的入光面111形成一个n型的射极层12，但由于扩散制程也可能使该基板11的背面112形成一层n型薄膜13，因此必需通过HF与HNO3等溶液蚀刻移除该n型薄膜13，使该背面112露出。
后续步骤还包括在该射极层12上形成抗反射层14、在该背面112形成介电层15，并于该介电层15形成多个贯穿的开口151，再于介电层15表面涂布铝胶16’，并通过高温烧结(firing)使铝胶16’硬化形成背电极16，而且铝胶16’材料与该基板11反应，进而在基板11的局部部位形成多个背电场结构(local back surfacefield，简称LBSF)17，此时正面电极18也形成，如此就完成电池1的制作。
所述介电层15用于降低载流子的表面复合(recombination)速率，所述背电场结构17的载流子浓度大于该基板11的载流子浓度，可产生电场作用而阻止电子朝该背面112方向移动，以提升载流子收集效率。因此由该介电层15配合背电场结构17有助于提升电池转换效率。
然而，由于该基板11的背面112为粗糙表面，使得入射至电池内部的长波长入射光的反射率降低，光线向下穿出该背面112的比例提高，从而导致光线利用率下降。换句话说，背面112为粗糙表面时，无法产生较高的光电流，因此制作出较平坦的基板背面是必需的。另外，若是镀覆在p型基板11背面112的介电层15为带有正电荷的材料(例如SiN)，将会引发寄生分流(parasitic shunting)现象，使光电流及填充因子(fill factor)大幅下降。
综合上述，如何制作出一种创新结构的电池，使该介电层15能保有其功能并能避免寄生分流，而且还能使基板背面的粗糙度降低，这为重要课题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能降低基板背面粗糙度，有效提高长波长入射光的反射率，形成结合介电层、连续背电场层及局部电接触点的太阳能电池及其制造方法，由此从而提升光电转换效率。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，包含：一个光电转换单元，该光电转换单元包括一个具有相反的一个入光面与一个背面的第一导电型基板，以及一个位于该入光面的第二导电型射极层，其特征在于，该太阳能电池还包含：
一个呈连续膜状并位于该第一导电型基板的背面的背电场层、至少一个介电层、一个背电极以及一个正面电极；所述介电层位于该背电场层的表面，并包括一个朝向该背电场层的第一面、一个相反于该第一面的第二面，以及多个贯穿该第一面及第二面的穿槽；该背电极包括一个位于该介电层的第二面上的背电极部，以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部；该正面电极位于该光电转换单元的一个相反于该背电极的一侧。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，还包含多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，该光电转换单元还包括一个位在该第二导电型射极层上的抗反射层。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，该第一导电型基板为硅基板，该背电场层的材料为掺杂有价数小于硅的金属材料的硅化合物。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，所述价数小于硅的金属材料为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池，该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，包含下列步骤：(A)蚀刻一个第一导电型基板，使其相反的一个入光面与一个背面成为高低起伏状；(B)对该第一导电型基板进行热扩散处理，使该入光面形成一个第二导电型射极层；其特征在于，该制造方法还包含下列步骤：
(C)在该第一导电型基板的背面披覆一层金属胶；
(D)进行热处理，使该金属胶的材料与该第一导电型基板材料产生反应，进而降低该第一导电型基板背面的表面粗糙度，并在该背面及该金属胶之间形成一个背电场层；
(E)移除该金属胶；
(F)形成一个电连接该第二导电型射极层的正面电极，以及一个电连接该第一导电型基板的背电极。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，还包含一个介于步骤(E)及(F)之间的步骤(G)，在该背电场层的表面形成一个具有多个间隔的穿槽的介电层，步骤(F)是在该介电层的表面披覆一层电极胶，并使该电极胶材料填充于所述穿槽中，再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极，而且还形成多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，还包含一个介于步骤(E)及(F)之间的步骤(G)，在该背电场层的表面形成一个具有多个间隔的穿槽的介电层，步骤(F)的背电极利用真空镀膜或化学湿式镀膜方式形成，并使该背电极形成一个位于该介电层表面的背电极部，以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，步骤(F)是在完成步骤(E)后的样品表面披覆一层电极胶，再通过热处理使该电极胶固化成为该正面电极。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，步骤(F)是在该背电场层的表面披覆一层电极胶，再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，该第一导电型基板为硅基板，该金属胶的材料为价数小于硅的金属材料X，所述X为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合，该背电场层的材料为掺杂有X的硅化合物。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，该介电层利用真空镀膜方式或化学湿式镀膜方式形成，该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，步骤(C)的金属胶是利用丝网印刷、喷墨印刷或旋转涂布方式而披覆。
当该第一导电型基板为p型基板时，该第二导电型射极层为n型射极层，该背电场层及背电场结构皆为载流子浓度大于该p型基板的载流子浓度的p型半导体层(又称为p+层)。当该第一导电型基板为n型基板时，该第二导电型射极层为p型射极层，该背电场层及背电场结构皆为载流子浓度大于该n型基板的载流子浓度的n型半导体层(又称为n+层)。
较佳地，该第一导电型基板为硅基板，所述用于与基板反应以形成背电场层的金属胶的材料为价数小于硅的金属材料X，所述X为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合，该背电场层的材料为掺杂有X的硅化合物。
本发明背电场结构的形成，是通过披覆电极胶并施以热处理以固化形成该背电极的同时，一并形成所述背电场结构，用于提升该第一导电型基板背面处的局部区域的载流子浓度。所述背电场结构的形态可以有两种，一种是突出于该背电场层的一个朝向该基板的表面上(如本发明的第一较佳实施例)，另一种形态是结合于该背电场层的内部，因此该背电场层表面仍会维持平坦，但实际上其内部有局部区域具有更高的载流子浓度，就是背电场结构的所在区域。
所述背电场结构的成因及可能材料如下：其一是由该背电场层材料与该第一导电型基板材料反应形成，其二是所述穿槽中的背电极材料可能会通过该背电场层而到达该背面，因此该背电场结构也有可能是由该背电极材料、该背电场层材料与该第一导电型基板材料共同反应形成。因此，所述背电极的材料为Y时，所述背电场结构的材料为掺杂有X的硅化合物，或掺杂有X及Y的硅化合物。所述Y为价数小于硅的金属材料，其具体例为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合。
较佳地，本发明用于形成该背电场层的金属胶，或用于形成该正面电极及该背电极的电极胶，都可以利用丝网印刷(screen printing)、喷墨印刷(ink-jet printing)或旋转涂布(spincoating)等方式披覆于预定表面上。
本发明的有益效果在于：通过在形成该介电层之前先形成该背电场层，此过程能同时降低该第一导电型基板的背面粗糙度，进而有效提高长波长入射光的反射率，而且连续膜状的背电场层作为该基板及该介电层之间的缓冲阻隔层，能避免寄生分流现象，提升载流子收集效率及光电流，有助于提升电池转换效率。
附图说明
图1是流程示意图，显示一种已知太阳能电池的制造流程；
图2是示意图；显示本发明具有连续背电场层的太阳能电池的第一较佳实施例；
图3是流程方块图，显示本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法的第一较佳实施例；
图4是本发明制造方法的第一较佳实施例的制造流程示意图；
图5是以扫描式电子显微镜拍下的图片，图(a)是以传统方式制作出的电池(比较例1)，图(b)为本发明第一较佳实施例的电池；
图6是一个外部量子效率相对于光波长的测试图，显示本发明第一较佳实施例与比较例1的测试结果；
图7是本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法的第二较佳实施例的制造流程示意图；
图8是本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法的第三较佳实施例的制造流程示意图；
图9是以扫描式电子显微镜拍下的图片，图(a)是以另一种传统方式制作出的电池(比较例2)，图(b)为本发明第三较佳实施例的电池。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
参阅图2，本发明具有连续背电场层的太阳能电池的第一较佳实施例包含：光电转换单元2、背电场层3、至少一个介电层4、多个背电场结构5、背电极6以及一个正面电极7。
该光电转换单元2包括：一个p型的第一导电型基板21、一个n型的第二导电型射极层22，以及抗反射层23。该第一导电型基板21具有一个表面高低起伏而呈粗糙面的入光面211，以及一个相反于该入光面211的背面212。该第二导电型射极层22位于该入光面211，该抗反射层23位于该第二导电型射极层22的表面，其材料例如氮化硅(SiNx)，用于降低太阳光的反射，提升光线入射比例，但本发明不以设置该抗反射层23为必要。
该背电场层3为连续薄膜状，并位于该第一导电型基板21的背面212。本实施例的背电场层3为铝硅(Al-Si)化合物，也就是掺杂铝的硅层，其为载流子浓度大于该第一导电型基板21的载流子浓度的p型半导体层(又称p+层)，利用其电场作用阻挡电子朝该背面212方向移动，使电子被收集于该第二导电型射极层22，提升载流子收集效率及电池的转换效率。
所述介电层4位于该背电场层3的表面，介电层4可以为一层或多层，本实施例以一层为例。该介电层4包括朝向该背电场层3的第一面41、相反于该第一面41的第二面42，以及多个贯穿该第一面41及第二面42的穿槽43。该介电层4的材料可以为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物，具体例为氧化硅(SiOX)、氮化硅(SiNX)、氧化铝(Al2O3)、碳化硅(SiC)、硫化锌(ZnS)、氟化镁(MgF2)等。该介电层4用于填补、降低表面或基板内部缺陷，进而降低载流子的表面复合(recombination)速率，提升电池的转换效率。
所述背电场结构5突出于该背电场层3的一个朝向该第一导电型基板21的表面上，并位于该第一导电型基板21的背面212处，且分别对应该介电层4的穿槽43位置；当然，于实施上，前述背电场结构5也有可能因制程设计或原料成份等等的关系而不呈现突出的样貌。本实施例的背电场结构5为铝硅化合物，也就是掺杂铝的硅层，并且使该第一导电型基板21的背面212处的局部形成高载流子浓度的区域，背电场结构5的功能与该背电场层3相似，同样形成p+的效果，因此也能利用其电场作用阻挡电子朝该背面212方向移动，提升载流子收集效率及转换效率。
本实施例的背电极6材料为铝，并包括一个位于该介电层4的第二面42上且呈连续层状的背电极部61，以及多个自该背电极部61分别伸入所述穿槽43并电连接该背电场层3的导电接触部62，所述导电接触部62通过所述背电场层3、背电场结构5而电连接该第一导电型基板21。
所述正面电极7位于该光电转换单元2的一个相反于该背电极6的一侧，具体而言，是位于该第二导电型射极层22的表面上而电连接。该正面电极7包括二个左右设置的正面电极部71，但实施上不须限定其数量与结构，只要能与该背电极6配合将该光电转换单元2产生的电能传送到电池外部就可以。
参阅图2、3、4，本发明具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法的第一较佳实施例包含：
(1)进行步骤81：将该第一导电型基板21置入湿式蚀刻槽内，以酸性或碱性蚀刻液蚀刻，使该入光面211及该背面212成为高低起伏的粗糙表面。
(2)进行步骤82：对该第一导电型基板21进行热扩散(thermal diffusion)处理，在该入光面211掺杂价数大于硅的材料，例如磷(P)，使该入光面211形成该n型的第二导电型射极层22。当然，于此段制程后，通常会以HF等溶液进行清洁的隔离绝缘(isolation)动作。
(3)进行步骤83：在该第一导电型基板21的背面212丝网印刷披覆金属胶3’，本实施例使用铝胶。
(4)进行步骤84：进行热处理，其具体方式为高温烧结(firing)，使该金属胶3’的材料(铝)与该第一导电型基板21的材料(硅)产生反应，在高温反应的过程中，界面处的铝、硅熔融成液态(liquid)并形成铝硅合金的化合物状态，因此能在该第一导电型基板21的背面212流动，进而填补该背面212较凹陷的部位，同时借此过程，使上述制程所产生的粗糙表面熔融而成为较平坦的形态，从而可降低该背面212的表面粗糙度。热处理完成后，所述铝硅化合物固化而形成位于该背面212及该金属胶3’之间的背电场层3。
需要说明的是，经过此步骤后，该背面212的粗糙度已大幅降低，虽然并非完全平坦的表面，但图中以平坦表面绘出是为了方便示意。另外，于前述热扩散制程后，若未施以HF等溶液的隔离绝缘制程时，也可由于铝硅反应区的深度远大于背面212处的n型半导体层(因热扩散制程产生的，图未示)的关系，故在烧结后，背面212的n型半导体层将消失，只留下该背电场层3。
(5)进行步骤85：以盐酸(HCl)或氢氧化钾(KOH)移除该金属胶3’，使该背电场层3露出。
(6)进行步骤86：利用真空镀膜方式，例如电浆辅助化学气相沉积(PECVD)或溅镀(Sputtering)方式，在该第二导电型射极层22的表面形成该抗反射层23。当然，此步骤也可以在步骤82与83之间进行。
(7)进行步骤87：利用真空镀膜或例如湿式氧化的化学湿式镀膜方式，在该背电场层3的表面披覆该介电层4，该介电层4初始为连续薄膜状，接着通过激光烧蚀(laser ablation)或以蚀刻胶(etching paste)蚀刻的方式，将该连续薄膜状的介电层4的局部部位蚀刻移除而形成所述穿槽43。
(8)进行步骤88：形成所述正面电极7及背电极6，此步骤是在该介电层4及该抗反射层23的表面分别丝网印刷披覆电极胶6’、7’，所述电极胶6’与电极胶7’的材料可以相同，也可以不同。其中，该介电层4上的电极胶6’材料会填充于所述穿槽43中，再通过高温烧结的热处理使电极胶6’、7’固化，就可形成所述背电极6与正面电极7，并且在该第一导电型基板21的背面212处分别对应该介电层4的穿槽43位置形成所述背电场结构5。需要说明的是，在烧结过程中，该电极胶7’材料会烧穿该抗反射层23，使最后形成的正面电极7位于该第二导电型射极层22表面。
本发明通过在形成该介电层4之前先形成该连续薄膜状的背电场层3，此过程能同时降低该第一导电型基板21的背面212粗糙度，有效提高长波长入射光的反射率，提升长波长光线被该背面212反射回到电池内部使用的比例。而且连续膜状的背电场层3作为该基板21及该介电层4之间的缓冲阻隔层，能避免寄生分流，进而提升载流子收集效率及光电流，并提升开路电压、短路电流、转换效率以及填充因子等特性。此外，也因为先形成该背电场层3，再形成所述背电场结构5，使本发明进行两次的烧结步骤，有助于材料间的反应而使该背电场层3较为均匀。以下通过实验说明本申请的功效。
参阅图5，图(a)是以传统方式制作出的电池(下称比较例1)，该电池没有如本发明一般有连续的背电场层，而是只有局部的背电场结构91。图(b)为本发明的电池，显示本发明相对于比较例1而言，本发明的第一导电型基板21的背面212较为平整，粗糙度明显降低，这是因为形成该背电场层3的步骤有助于该背面212的平整化。
参阅表1，为本发明与比较例1的电性测试结果，表中的JSC代表短路电流，VOC代表开路电压，F.F值代表填充因子(fillfactor)，Eff.为转换效率。由表1结果可看出，本发明太阳能电池的创新结构设计，相对于比较例1而言具有较佳的电特性，本发明的短路电流、开路电压、F.F值与转换效率都明显提升。
【表1】
  JSC(mA/cm2)   VOC(V)   F.F.值   Eff.(％)
  本发明   34.0   0.601   0.7341   14.99
  比较例1   32.7   0.591   0.7171   13.85
参阅图6，为本发明与该比较例1的外部量子效率(ExternalQuantum Efficiency，简称EQE)对应于波长的实验结果，显示本发明相对于比较例1而言，具有良好的外部量子效率，尤其在850纳米(nm)～1100nm左右的长波长波段，外部量子效率提升许多。
综上所述，通过该连续膜状的背电场层3阻隔在该介电层4及该基板21之间，避免寄生分流，进而提升电池转换效率，而且形成该背电场层3的同时，就能降低该第一导电型基板21的背面212粗糙度，因此不须额外通过研磨步骤来磨平该基板21的背面212，所以本发明是以最简化的步骤制作出结构创新、效能佳的太阳能电池。
参阅图7，本发明具有连续背电场层的太阳能电池的第二较佳实施例，与该第一较佳实施例的不同地方在于：本实施例的电池(图7的最后一图)没有形成图2的背电场结构5，而且本实施例的背电极6是以不同方式制成，以下针对本实施例与该第一较佳实施例不同的制程步骤作说明：
本实施例的背电极6是利用真空镀膜或化学湿式镀膜方式，在该介电层4表面披覆薄膜而形成，进而使该背电极6形成该位于介电层4表面的背电极部61，以及所述伸入穿槽43中的导电接触部62。因此本实施例由镀膜方式形成的背电极6，与该第一较佳实施例由铝胶烧结形成的背电极有所不同。
本发明的制程步骤顺序不须严格限制，只要能制作出本发明的电池结构即可，例如本实施例可以先涂布电极胶7’并且烧结形成该正面电极7，后续再镀着该背电极6；但是也可以先形成该背电极6后再制作该正面电极7。又或者，在制作该抗反射层23之后，可以先形成该正面电极7，也可以先形成该介电层4。另外，该正面电极7也可以用其它方式形成，例如以化学湿式镀膜方式形成。
参阅图8，本发明具有连续背电场层的太阳能电池的第三较佳实施例，与该第一较佳实施例的不同地方在于：本实施例的电池(图8的最后一图)没有形成图2的背电场结构5与介电层4，因此本实施例的背电场层3的表面只单纯具有背电极6，当然，制作时是直接在该背电场层3上形成该背电极6，其形成方式同样是在该背电场层3的表面披覆所述电极胶6’，再通过高温烧结的热处理使该电极胶固化成为该背电极6。
配合参阅图9，图(a)为传统方法制作出的电池(下称比较例2)，图(b)为本发明第三较佳实施例的方式制作出的电池。比较例2的制作方式与本发明主要的不同地方在于，比较例2没有如本发明制作该背电场层3的过程，而是直接在其基板背面披覆电极胶并烧结而形成背电极，虽然比较例2制作出的电池结构类似本发明第三较佳实施例，但因为比较例2只有进行一次烧结步骤而在其基板背面形成高载流子浓度的背电场层92，因此其背电场层92的厚度较薄，并且容易产生局部不均匀或材料未反应完全的问题(如图9中的图(a)箭头标示部位)，进而影响其电场效能。
而本发明是先制作该连续膜状的背电场层3，接着再形成该背电极6，制作该背电场层3及该背电极6时分别进行一次烧结，因此本发明共有两次烧结步骤使该背电场层3厚度增加且变得更均匀，该背电场层3形成连续膜层，品质良好而不会有均匀性不佳的孔洞问题产生，从而可避免其所衍生的问题，确保效能的稳定。
参阅表2，为本发明与比较例2的电性测试结果，可看出本发明的电特性优于比较例2，这是因为本发明采用创新方法制造出的背电场层3的膜层品质良好，能充分发挥其功能。
【表2】
  JSC(mA/cm2)   VOC(V)   F.F.值   Eff.(％)
  本发明   34.2   0.615   0.7682   16.16
  比较例2   34.2   0.613   0.7648   16.05

Claims (14)

1.一种具有连续背电场层的太阳能电池，包含：光电转换单元，该光电转换单元包括具有相反的一个入光面与一个背面的第一导电型基板，以及位于该入光面的第二导电型射极层，其特征在于，该具有连续背电场层的太阳能电池还包含：
呈连续膜状并位于该第一导电型基板的背面的背电场层、至少一个介电层、背电极以及正面电极；所述介电层位于该背电场层的表面，并包括一个朝向该背电场层的第一面、一个相反于该第一面的第二面，以及多个贯穿该第一面及第二面的穿槽；该背电极包括位于该介电层的第二面上的背电极部，以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部；该正面电极位于该光电转换单元的相反于该背电极的一侧。
2.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池，其特征在于，还包含多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
3.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池，其特征在于，该光电转换单元还包括位于该第二导电型射极层上的抗反射层。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的具有连续背电场层的太阳能电池，其特征在于，该第一导电型基板为硅基板，该背电场层的材料为掺杂有价数小于硅的金属材料的硅化合物。
5.根据权利要求4所述的具有连续背电场层的太阳能电池，其特征在于，所述价数小于硅的金属材料为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合。
6.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池，其特征在于，该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
7.一种具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，包含下列步骤：步骤A：蚀刻第一导电型基板，使其相反的一个入光面与一个背面成为高低起伏状；步骤B：对该第一导电型基板进行热扩散处理，使该入光面形成第二导电型射极层；其特征在于，该具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法还包含下列步骤：
步骤C：在该第一导电型基板的背面披覆一层金属胶；
步骤D：进行热处理，使该金属胶的材料与该第一导电型基板材料产生反应，进而降低该第一导电型基板背面的表面粗糙度，并在该背面及该金属胶之间形成背电场层；
步骤E：移除该金属胶；
步骤F：形成一个电连接该第二导电型射极层的正面电极，以及一个电连接该第一导电型基板的背电极。
8.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，还包含一个介于步骤E及F之间的步骤G：在该背电场层的表面形成具有多个间隔的穿槽的介电层，步骤F是在该介电层的表面披覆一层电极胶，并使该电极胶材料填充于所述穿槽中，再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极，而且还形成多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
9.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，还包含一个介于步骤E及F之间的步骤G：在该背电场层的表面形成具有多个间隔的穿槽的介电层，步骤F的背电极利用真空镀膜或化学湿式镀膜方式形成，并使该背电极形成位于该介电层表面的背电极部，以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部。
10.根据权利要求9所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，步骤F是在完成步骤E后的样品表面披覆一层电极胶，再通过热处理使该电极胶固化成为该正面电极。
11.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，步骤F是在该背电场层的表面披覆一层电极胶，再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，该第一导电型基板为硅基板，该金属胶的材料为价数小于硅的金属材料X，所述X为铝、银、铜、锌、镍，或上述的任一组合，该背电场层的材料为掺杂有X的硅化合物。
13.根据权利要求8或9所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，该介电层利用真空镀膜方式或化学湿式镀膜方式形成，该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
14.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法，其特征在于，步骤C的金属胶是利用丝网印刷、喷墨印刷或旋转涂布方式而披覆。
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