CN102887648B

CN102887648B - 改进的涂敷设备和涂敷方法

Info

Publication number: CN102887648B
Application number: CN201110244626.3A
Authority: CN
Inventors: 李甲洙; 金楹洙
Original assignee: NARAE NANOTECH CO Ltd
Current assignee: NARAE NANOTECH CO Ltd; Naraenanotech Corp
Priority date: 2011-07-21
Filing date: 2011-08-25
Publication date: 2014-12-17
Anticipated expiration: 2031-08-25
Also published as: KR20130011507A; TW201304871A; KR101309269B1; CN102887648A

Abstract

本发明公开了一种改进的涂敷设备和涂敷方法。根据本发明的涂敷设备包括：夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；安装有所述夹具的吸台；位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照整个表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以形成涂层；以及安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

Description

改进的涂敷设备和涂敷方法

技术领域

本发明涉及一种改进的涂敷设备和涂敷方法。

更具体地说，本发明涉及一种改进的涂敷设备和涂敷方法，通过使用能接收多个基板的夹具，以及通过按照整个表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷(sporadic coating)的方式、以及部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到多个基板上，能够制造对应于各种基板尺寸的基板、移除基板的死区(dead region)、显著地减小总制造费用和单件工时(tact time)、以及轻松满足市场/客户偏好或喜好。

背景技术

通常，涂敷设备用于通过使用喷嘴分配器或狭缝模式喷嘴(slit dienozzle)(此后统称作“喷嘴装置”)将涂敷液施加到基板(例如玻璃)上，从而制造包括PDP、LCD和OLED等在内的平板显示器(FPD)。

更具体地说，图1a简要例示了根据现有技术制造PDP或LCD的涂敷设备。

参照图1a，在用于制造FPD的桌面型涂敷机(此后称作“涂敷设备”)100中，使用一种施加涂敷液的涂敷方法，该方法包括，例如，在将基板G布置在吸台(suction table)12上之后，在水平方向上移动附接到支架125的喷嘴装置120的同时，形成包括形成于基板G上的R、G、B单元的像素的操作，或者施加保护涂层以保护在基板G等上面顺序形成的多个涂层的操作。

更具体地说，首先需要把基板G传送到吸台112，从而把涂敷液施加到基板G上。此后，基板G通过在吸台112上形成的抽吸区域(未示出)和连接到该抽吸区域的真空装置(未示出)而保持抽吸状态。此后，通过在喷嘴装置120的底部形成的排放部分122把涂敷液施加到基板G上。

图1b简要例示了示出图1a例示的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

参考图1b，在根据现有技术的使用涂敷设备100的涂敷方法中，喷嘴装置120把涂敷液施加到整个表面以形成涂层130，同时喷嘴装置120按照箭头所示方向在基板G上方移动。当完成整个表面的涂敷液涂敷时，通过把基板G切割成需要的尺寸，能够获得多个面板P。更具体地说，在基板G是例如高清晰度电视(HDTV)的情况下，通过把基板G切割成需要的尺寸(例如40英寸、50英寸、60英寸等)，能够获得用于电视的多个面板，而在基板G是例如用于智能电话(诸如使用直接图形化窗口技术的i-pon)的触摸屏幕面板(Touch Screen Panel，TSP)的情况下，通过把基板G切割成需要的尺寸能获得多个TSP。这里，用于电视的多个面板和多个TSP将被统称为面板P。

在上面详细描述的现有技术中，因为需要在基板G位于吸台112上的状态下通过利用喷嘴装置120把涂敷液施加到基板G的整个表面上，并且然后把基板G切割成需要的尺寸，所以会出现下列问题。

1.例如，在用于蜂窝电话的LCD面板的情况下，取决于各个制造商(例如，三星电子、摩托罗拉、诺基亚等)以及取决于单个制造商(例如三星电子)，制造了各种尺寸的蜂窝电话产品。为了大量生产各种尺寸的LED面板，需要使用昂贵的制造装备，包括取决于LED面板尺寸的不同种类的涂敷设备100。因此，由于取决于各种LCD面板的尺寸而需要使用不同类型的制造装备，所以制造成本显著增加。

2.因为现有技术中在基板G上采用整个表面涂敷的方式，所以涂敷液被施加到基板G的整个表面上。此后，如图1b所示，由于只有切割得到的多个面板P被用作最终产品，所以基板G上会出现不能利用的死区(Dead Region，DR)。基板G是昂贵的部件，因此由于这种死区(DR)的出现而大大增加了制造成本。

3.另外，利用单独的清洗处理和单独的处理过程来去除施加到死区(DR)上的不必要的涂敷液。因此，由于用于去除死区(DR)上不必要的涂敷液131的单独的清洗处理和单独的处理过程而导致制造成本和单件工时进一步增加。

4.如上所述，即使通过使用单独的、昂贵的制造装备来制造各种尺寸的面板，但是当取决于市场/客户偏好或喜好而没有成功地进行最终产品(例如HDTV或智能电话等)的销售时，不可能把这种已经安装好的、单独的、昂贵的制造装备应用到不同尺寸面板的制造中。因此，就生产率和商业可行性方面而言，根据现有技术的涂敷设备和利用该涂敷设备的涂敷方法不适于少量制造具有各种尺寸的许多种类面板。

因此，需要用于解决现有技术的问题的新解决方案。

发明内容

技术问题

本发明的目的是解决上述现有技术中的至少一个或更多个问题以及提供一种改进的涂敷设备和涂敷方法，通过利用能接收多个基板的夹具以及通过按照整个表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷方式、以及部分且零星的涂敷方式把涂敷液施加到多个基板上，能够制造对应于各种基板尺寸的基板、去除基板的死区、显著减小整体制造成本和单件工时、以及容易满足市场/库户偏好或喜好。

技术方案

根据本发明的第一方面，本发明提供了一种涂敷设备，包括：夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；安装有所述夹具的吸台；位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照整个表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以形成涂层；以及安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

根据本发明的第二方面，本发明提供了一种涂敷设备，包括：夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；安装有所述夹具的吸台；位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以沿着施加涂敷液的方向形成多个涂层；以及安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

根据本发明的第三方面，本发明提供了一种涂敷设备，包括：夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；安装有所述夹具的吸台；位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向形成多个涂层；以及安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

根据本发明的第四方面，本发明提供了一种涂敷设备，包括：夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；安装有所述夹具的吸台；位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以在其上形成各自的多个涂层；以及安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

根据本发明的第五方面，本发明提供了一种涂敷方法，包括以下步骤：a)把多个基板接收到设置有夹具的多个接收部件中；b)把所述夹具安装到吸台上；以及c)在通过利用安装有喷嘴装置的支架按照往复的方式在夹具上方移动所述喷嘴装置的同时，把涂敷液施加到所述多个基板上。

有益效果

当采用根据本发明的改进的涂敷设备和涂敷方法时，能够实现下列优点：

1.能轻易地少量制造具有各种尺寸的、许多种类的面板。

2.极大地减小安装制造装备的成本，因为为了制造各种尺寸的面板，仅需要针对不同尺寸的面板而更换能接收基板的夹具。此外，由于在制造各种尺寸面板时仅需要安装制造装备的一个单元，与根据面板尺寸需要安装制造装备的多个单独的单元的现有技术相比，显著减少了制造装备的整个单元的成本。

3.由于采用了能接收多个基板的夹具，所以基板上不出现死区，这与现有技术不同，并且由此显著地减小了制造成本。此外，除了整个表面涂敷的方式外，还能使用部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星涂敷的方式，减少、最小化或消除不必要的涂敷液的使用，从而减小制造成本和单件工时。

4.即使当市场/客户的偏好或喜好发生变化时，也能通过更换夹具非常容易地制造不同尺寸的面板，从而就生产率和商业可行性方面而言能符合这种变化。

参照附图能更明显地理解本发明的进一步特征和优点，其中相同或相似的附图标记表示相同的构件。

附图说明

图1a简要例示了根据现有技术的用于制造PDP或LCD的涂敷设备。

图1b简要例示了在图1a中例示的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

图2a简要例示了根据本发明的第一实施例的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

图2b简要例示了根据本发明的第二实施例的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

图2c简要例示了根据本发明的第三实施例的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

图2d简要例示了根据本发明的第四实施例的涂敷设备的顶视图和一个侧视图。

图3例示了根据本发明的一个实施例的涂敷方法的流程图。

附图标记

100、200：涂敷设备 112、212：吸台

120、220：喷嘴装置 125：支架

222、222a、222b、222c：排放部

230、230a、230b、230c：涂层

132、231：多余涂敷液 240：夹具

242：接收部件 244：释放部件

G、Ga、Gb、Gc：基板 DR：死区

P：面板 W、Wa、Wb、Wc：排放部的宽度

具体实施方式

在下文中参照优选的实施例和附图更详细地描述本发明。

注意，根据本发明的全部实施例的涂敷设备200(将在后面参照图2a至2d进行描述)与图1a和图1b例示的现有技术的涂敷设备100基本上相同，区别在于本发明使用1)用于接收多个基板Ga、Gb、Gc的夹具240，以及2)各种涂敷方式(具体地说，整个表面涂敷方式、部分涂敷方式、零星涂敷方式、以及部分且零星涂敷方式中的任一种)。另外，还应当注意，在根据本发明全部实施例的涂敷设备200中，多个基板Ga、Gb、Gc对应于图1a和图1b例示的现有技术的面板P。

此外，必要时，在图2a至图2d中例示的本发明的全部实施例中表示多个基板的附图标记Ga、Gb、Gc(将在下面描述)将被统称为G。

参照图2a以及图1a和1b，根据本发明的涂敷设备200包括：夹具240，夹具240具有用于接收多个基板Ga、Gb、Gc的多个接收部件242以及用于释放多个基板Ga、Gb、Gc的多个释放孔244，所述多个释放孔244设置于多个接收部件242的底部；安装有夹具240的吸台212；位于吸台212上面的喷嘴装置220，用于按照整个表面涂敷的方式把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc，从而形成涂层230；以及安装有喷嘴装置220的支架125，用于按照往复的方式在夹具240上方移动喷嘴装置220。

此后，将更详细地描述根据本发明的第一实施例的涂敷设备200的结构和操作。

参照图2a以及图1a和图1b，根据本发明的第一实施例的涂敷设备200包括具有多个接收部件242的夹具240。在夹具240的多个接收部件242中接收对应于所需尺寸面板的多个基板G。例如，当需要制造不同尺寸面板时，显然应当使用具有符合基板G的尺寸(对应于相关面板的尺寸)的多个接收部件242的夹具240。另外，根据本发明的第一实施例的夹具240具有设置在多个接收部件242底部的多个释放孔244，用于在把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc之后，将多个基板Ga、Gb、Gc从夹具240释放。这种多个释放孔244被设置在多个接收部件242底部的原因是：在利用例如真空等从夹具240的上表面对多个基板Ga、Gb、Gc进行抽吸时，保护涂层230(由涂敷液在多个基板Ga、Gb、Gc上形成)免受损坏。

同时，接收多个基板Ga、Gb、Gc的夹具240安装在吸台212上。安装在支架125上的喷嘴装置220能借助支架125按照往复方式在夹具240上方移动。当喷嘴220沿着箭头所示方向在夹具240上方移动时，喷嘴220把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上，从而形成涂层230.

此外，在根据本发明的第一实施例的涂敷设备200中，按照整个表面涂敷的方式施加涂敷液。在这种情况下，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向上(即垂直于图2a所示箭头的方向)，喷嘴装置200的排放部222的宽度W1与多个基板Ga、Gb、Gc的宽度W2相同或更宽。因此，在根据本发明的第一实施例的涂敷设备200中，由于采用整个表面涂敷的方式，多余的涂敷液231被施加到夹具240上，而在多个基板Ga、Gb、Gc上没有出现死区(DR)。

参照图2b以及图1a和图1b，根据本发明的第二实施例的涂敷设备200包括：夹具240，夹具240具有用于接收多个基板Ga、Gb、Gc的多个接收部件242以及用于释放多个基板Ga、Gb、Gc的多个释放孔244，所述多个释放孔244设置于多个接收部件242的底部；安装有夹具240的吸台212；位于吸台212上面的喷嘴装置220，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc，从而沿着施加涂敷液的方向形成多个涂层230a、230b、230c；以及安装有喷嘴装置220的支架125，用于按照往复的方式在夹具240上方移动喷嘴装置220。

根据本发明的第二实施例的上述涂敷设备200与根据图2a例示的本发明的第一实施例的涂敷设备200基本上相同，区别在于对多个基板Ga、Gb、Gc使用部分涂敷的方式。因此，下面将详细描述根据本发明的第二实施例的涂敷设备200的部分涂敷的方式。

回来参照图2b以及图1a和图1b，在根据本发明的第二实施例的涂敷设备200中，按照部分涂敷的方式施加涂敷液。在这种情况下，喷嘴装置220具有多个排放部222a、222b、222c。虽然在图2b的实施例中例示的喷嘴装置220具有三个排放部222a、222b、222c，但是本领域技术人员应当充分理解，多个排放部222a、222b、222c的数量对应于多个基板Ga、Gb、Gc的列方向(垂直于图2b中所示箭头的方向)的数量，因此可以少于3个，或者为4个或更多个。

同时，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向，多个排放部222a、222b、222c的各自的宽度与多个基板Ga、Gb、Gc的各自的宽度Wa、Wb、Wc相同或者更宽。因此，在根据本发明的第二实施例的涂敷设备200中，沿着施加涂敷液的方向上仍然有多余的涂敷液231被施加到夹具240上，同时由于采用部分涂敷的方式，在多个基板Ga、Gb、Gc上不出现死区(DR)。在这种情况下，根据本发明的第二实施例的夹具240上的多余涂敷液231的量显然少于根据本发明的第一实施例的夹具240上的多余涂敷液231的量。

参照图2c以及图1a和图1b，根据本发明的第三实施例的涂敷设备200包括：夹具240，夹具240具有用于接收多个基板Ga、Gb、Gc的多个接收部件242以及用于释放多个基板Ga、Gb、Gc的多个释放孔244，所述多个释放孔244设置于多个接收部件242的底部；安装有夹具240的吸台212；位于吸台212上面的喷嘴装置220，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上，从而沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向形成多个涂层230a、230b、230c；以及安装有喷嘴装置220的支架125，用于按照往复的方式在夹具240上方移动喷嘴装置220。

根据本发明的第三实施例的上述涂敷设备200与根据图2a例示的本发明的第一实施例的涂敷设备200基本上相同，区别在于对多个基板Ga、Gb、Gc使用零星涂敷的方式。因此，下面将详细描述根据本发明的第三实施例的涂敷设备200的零星涂敷的方式。

回来参照图2c以及图1a和图1b，在根据本发明的第三实施例的涂敷设备200中，按照零星涂敷的方式施加涂敷液。在这种情况下，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向上(垂直于图2c中所示的箭头的方向)，喷嘴装置220的排放部222的宽度W1与多个基板Ga、Gb、Gc的宽度W2相同或者更大。

同时，喷嘴装置220从经过多个基板Ga、Gb、Gc的第一列Ga1、Gb1、Gc1的前端时起立刻通过排放部222开始喷射涂敷液，并且在经过第一列Ga1、Gb1、Gc1的后端之后立刻停止涂敷液的喷射。此后，当支架125继续移动喷嘴装置220时，喷嘴装置220从经过多个基板Ga、Gb、Gc的第二列Ga2、Gb2、Gc2的前端时起立刻通过排放部222开始喷射涂敷液，并且在经过第二列Ga2、Gb2、Gc2的后端之后立刻停止涂敷液的喷射。此后，当支架125继续移动喷嘴装置220时，喷嘴装置220从经过多个基板Ga、Gb、Gc的第三列Ga3、Gb3、Gc3的前端时起立刻通过排放部222开始喷射涂敷液，并且在经过第三列Ga3、Gb3、Gc3的后端之后立刻停止涂敷液的喷射。也就是说，沿着多个基板Ga、Gb、Gc的列方向(与施加涂敷液的方向垂直的方向)，喷嘴装置220在经过多个基板Ga、Gb、Gc的前端时和经过多个基板Ga、Gb、Gc的后端之后，依次立刻开始和立刻停止喷射涂敷液。涂敷液的这种涂敷方式被称作零星涂敷的方式。虽然多个基板Ga、Gb、Gc被例示为具有3列，但是本领域技术人员能够充分理解多个基板Ga、Gb、Gc可以小于3列，或者为4列或更多列。根据本发明的第三实施例的涂敷设备200还可以额外包括具有内建控制程序的控制器(未示出)，该控制器用于根据零星涂敷的方式控制喷射涂敷液的开始和停止操作。这种控制器(未示出)可以通过例如微处理器或个人计算机(PC)等来实现，而控制程序可以为预编程的。

在根据上述本发明的第三实施例的涂敷设备200中，由于采用零星涂敷的方式，仍然把多余的涂敷液231施加到夹具240上，而在多个基板Ga、Gb、Gc上不出现死区(DR)。在这种情况下，显然根据本发明的第三实施例的夹具240上的多余涂敷液231的量少于根据本发明的第一实施例的夹具240上的多余涂敷液231的量。

参照图2d以及图1a和图1b，根据本发明的第四实施例的涂敷设备200包括：夹具240，夹具240具有用于接收多个基板Ga、Gb、Gc的多个接收部件242以及用于释放多个基板Ga、Gb、Gc的多个释放孔244，所述多个释放孔244设置于多个接收部件242的底部；安装有夹具240的吸台212；位于吸台212上面的喷嘴装置220，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上，从而在其上形成各自的涂层；以及安装有喷嘴装置220的支架125，用于按照往复的方式在夹具240上方移动喷嘴装置220。

根据本发明的第四实施例的上述涂敷设备200与根据图2a例示的本发明的第一实施例的涂敷设备200基本上相同，区别在于对多个基板Ga、Gb、Gc使用部分且零星涂敷的方式。因此，下面将详细描述根据本发明的第四实施例的涂敷设备200的部分且零星涂敷的方式。

回来参照图2d以及图1a和图1b，在根据本发明的第四实施例的涂敷设备200中按照部分且零星涂敷的方式施加涂敷液。在这种情况下，与图2b所示的情况类似，喷嘴装置220具有多个排放部222a、222b、222c。虽然在图2d的实施例中例示了喷嘴装置220具有三个排放部222a、222b、222c，但是本领域技术人员能够充分理解多个排放部222a、222b、222c的数量对应于多个基板Ga、Gb、Gc的列方向(垂直于图2d所示箭头的方向)的数目，因此能够小于3个，或者为4个或更多个。

同时，多个排放部222a、222b、222c的各自的宽度等于或者宽于多个基板Ga、Gb、Gc的各自的列方向宽度Wa、Wb、Wc。

在根据上述本发明的第四实施例的涂敷设备200中，在喷嘴装置220沿着施加涂敷液的方向(即图2d所示的箭头方向)移动的同时，喷嘴装置220从经过多个基板Ga、Gb、Gc的第一列Ga1、Gb1、Gc1至第三列Ga3、Gb3、Gc3的各自的前端时起立刻通过多个排放部222a、222b、222c开始喷射涂敷液，并且在经过多个基板Ga、Gb、Gc的第一列Ga1、Gb1、Gc1至第三列Ga3、Gb3、Gc3的各自的后端之后立刻停止涂敷液的喷射。也就是说，在本发明的第四实施例中，喷嘴装置220按照部分涂敷的方式施加涂敷液，从而在沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向的多个基板Ga、Gb、Gc的列方向上具有各自的宽度Wa、Wb、Wc，同时按照零星涂敷的方式在沿着施加涂敷液的方向的多个基板Ga、Gb、Gc的行方向(即图2d所示的箭头方向)的各自的长度L1、L2、L3上施加涂敷液。涂敷液的这种涂敷方式被称作部分且零星涂敷的方式。根据本发明第四实施例的涂敷设备200可以额外包括具有内建控制程序的控制器(未示出)，该控制器用于按照部分且零星涂敷的方式控制喷射涂敷液的开始和停止操作。这种控制器(未示出)可以通过例如微处理器或个人计算机(PC)等来实现，而控制程序可以为预编程的。

另外，在根据上述本发明的第四实施例的涂敷设备200中，例示了多个排放部222a、222b、222c的各自的宽度与多个基板Ga、Gb、Gc的各自的列方向宽度Wa、Wb、Wc相同，并且按照零星的方式在多个基板Ga、Gb、Gc的各自的行方向长度L1、L2、L3上施加涂敷液。然而，本领域技术人员能够充分理解，多个排放部222a、222b、222c的各自的宽度值可以大于多个基板Ga、Gb、Gc的各自的列方向宽度Wa、Wb、Wc，并且按照零星的方式在稍微超过多个基板Ga、Gb、Gc的各自的行方向长度L1、L2、L3上施加涂敷液。

在上述根据本发明第四实施例的涂敷设备200中，不但死区(DR)不出现在多个基板Ga、Gb、Gc上，而且由于采用了部分且零星涂敷的方式，施加到夹具240上的多余涂敷液也被最小化或去除。因此，显然本发明的第四实施例是最优选的实施例。

上述根据本发明的第一至第四实施例的涂敷设备200还可以额外包括传送装置(未示出)，用于在把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上之后从吸台212传送夹具240，从而执行后续操作。这种传送装置(未示出)可以通过例如机械臂来实现，并且可以把接收另一多个基板(未示出)的另一个夹具(未示出)传送到吸台212。此后，如上面详细描述的那样，涂敷设备200可以对另一多个基板执行施加涂敷液的操作。

此外，根据上述本发明的第一至第四实施例的涂敷设备200还可以额外包括连接到多个释放孔244的进气管和鼓风机，用于把空气注入由传送装置传送的夹具240的多个释放孔244中，或者可以额外包括上升和下降装置(未示出)，该上升和下降装置具有能在多个释放孔244内上升和下降的多个上升和下降条。通过利用进气管和鼓风机的空气注入操作，或者通过利用上升和下降装置的多个上升和下降条的上升和下降操作，能够从夹具240释放多个基板Ga、Gb、Gc。此后，在图2a至2c例示的本发明的第一至第三实施例的情况下，通过清洗处理去除夹具240上残留的多余涂敷液231，并且在夹具240上接收另一多个基板(未示出)。此后，夹具240被传送到吸台212并且可用于把涂敷液施加到另一多个基板上(未示出)。

另外，根据本发明第一至第四实施例的涂敷设备200中使用的夹具240可以由下列任何一种材料制成：玻璃材料；金属材料，例如钢、不锈钢或铝(Al)；以及非金属材料，例如PTFE(聚四氟乙烯)树脂(商标名称：特氟龙)。

同时，在图2d例示的本发明的第四实施例的情况下，因为夹具240上基本上不存在残留的多余涂敷液，所以不需要清洗处理。因此，在夹具240接收另一多个基板(未示出)之后，可以立刻把夹具240再次传送到吸台212上并且能用于把涂敷液施加到另一多个基板上(未示出)。

如上所述，与现有技术不同，由于在本发明中使用能接收预定尺寸的多个基板Ga、Gb、Gc的夹具240，所以当把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上时不出现死区(DR)，并且进一步地，完成涂敷液的施加之后不必进行基板的切割处理。

同时，在图2b和图2c例示的本发明的第二和第三实施例的情况下，分别按照部分涂敷的方式和零星涂敷的方式施加涂敷液，与整个表面涂敷的方式相比较，减少了多余施加的涂敷液231的量。进一步地，在图2d中例示的本发明的第四实施例的情况下，按照部分且零星涂敷的方式施加涂敷液，因此与整个表面涂敷的方式相比较，多余施加的涂敷液231的使用被最小化或去除。

图3例示了根据本发明的一个实施例的涂敷方法的流程图。

参照图3以及图1a、1b、2a-2d，根据本发明的一个实施例的涂敷方法300包括以下步骤：a)把多个基板Ga、Gb、Gc接收到设置有夹具240的多个接收部件242中(步骤310)；b)把夹具240安装到吸台212上(步骤320)；以及c)在通过安装有喷嘴装置220的支架125在夹具240上方按照往复的方式移动喷嘴装置220的同时，把涂敷液施加到多个基板Ga、Gb、Gc上(步骤330)。

上述本发明的涂敷方法300还可以额外包括：d)从多个接收部件242释放多个基板Ga、Gb、Gc(步骤340)。在这种情况下，可以通过利用连接到设置在多个接收部件242底部的多个释放孔244的进气管和鼓风机的空气注入操作，或者可以通过具有对应于多个释放孔244的多个上升和下降条的上升和下降装置的上升和下降操作，来执行步骤d)。

另外，在上述本发明的涂敷方法300中，可以通过下列方式中的任何一种来执行步骤c)中的施加涂敷液：整个表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星的方式。

进一步地，在零星涂敷的方式和部分且零星涂敷的方式中，可以通过内建有控制程序的控制器(未示出)来控制涂敷液的喷射的开始和停止。

工业实用性

在不脱离本发明的范围的情况下，能够在本申请描述的结构和方法中进行各种修改，上述描述中所含或附图所示的全部内容应当被解释成例示性的而非限制。因此，本发明的范围不限于任何上述示例性实施例，而应当根据所附权利要求及其等同物进行限定。

Claims

1.一种涂敷设备，包括：

夹具，所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件，以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔；

安装有所述夹具的吸台；

位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照整个表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以形成涂层；以及

安装有所述喷嘴装置的支架，用于按照往复的方式在所述夹具上方移动所述喷嘴装置。

2.根据权利要求1的涂敷设备，

其中，所述喷嘴装置具有排放部，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向，所述排放部的宽度大于或等于所述多个基板的宽度。

3.一种涂敷设备，包括：

安装有所述夹具的吸台；

位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以沿着施加涂敷液的方向形成多个涂层；以及

4.根据权利要求3的涂敷设备，

其中，所述喷嘴装置具有多个排放部，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向，所述多个排放部的宽度大于或等于所述多个基板的各自的宽度。

5.一种涂敷设备，包括：

安装有所述夹具的吸台；

位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向形成多个涂层；以及

6.根据权利要求5的涂敷设备，

7.根据权利要求5的涂敷设备，

其中，沿着与施加涂敷液的方向垂直的多个基板的列方向，所述喷嘴装置在经过多个基板的前端时和经过多个基板的后端之后，依次立刻执行喷射涂敷液的开始和停止操作。

8.根据权利要求5的涂敷设备，

其中，所述涂敷设备还包括具有内建控制程序的控制器，用于控制喷射涂敷液的开始和停止操作。

9.一种涂敷设备，包括：

安装有所述夹具的吸台；

位于所述吸台上的喷嘴装置，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多个基板上，以在其上形成各自的多个涂层；以及

10.根据权利要求9的涂敷设备，

其中，所述喷嘴装置具有多个排放部，沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向，所述多个排放部的宽度等于所述多个基板的各自的宽度。

11.根据权利要求10的涂敷设备，

其中，所述喷嘴装置按照部分涂敷的方式施加涂敷液，从而在沿着与施加涂敷液的方向垂直的方向，在多个基板的列方向上具有各自的宽度，同时按照零星涂敷的方式在沿着施加涂敷液的方向的多个基板的行方向的各自的长度上施加涂敷液。

12.根据权利要求11的涂敷设备，

其中，所述涂敷设备还包括具有内建控制程序的控制器，用于根据部分且零星涂敷的方式控制喷射涂敷液的开始和停止操作。

13.根据权利要求1、3、5和9中任一项的涂敷设备，

其中，所述涂敷设备还包括连接到所述多个释放孔的、用于把空气注入所述多个释放孔中的进气管和鼓风机，或者还包括具有能够在所述多个释放孔内上升和下降的多个上升和下降条的上升和下降装置。

14.根据权利要求1、3、5和9中任一项的涂敷设备，

其中，所述夹具由下列任一种材料制成：玻璃材料；金属材料，例如钢、不锈钢或铝(Al)；以及非金属材料，例如PTFE树脂。

15.一种涂敷方法，包括以下步骤：

a)把多个基板接收到设置有夹具的多个接收部件中；

b)把所述夹具安装到吸台上；以及

c)在通过利用安装有喷嘴装置的支架按照往复的方式在夹具上方移动所述喷嘴装置的同时，把涂敷液施加到所述多个基板上。

16.根据权利要求15的涂敷方法，

其中，所述涂敷方法还包括：d)从所述多个接收部件释放所述多个基板。

17.根据权利要求16的涂敷方法，

其中，通过利用连接到设置在所述多个接收部件的底部的多个释放孔的进气管和鼓风机的空气注入操作，或者通过具有对应于所述多个释放孔的多个上升和下降条的上升和下降装置的上升和下降操作，来执行所述步骤d)。

18.根据权利要求15-17中任一项的涂敷方法，

其中，通过下列任一种方式在步骤c)中施加涂敷液：整体表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星的方式。