CN102880370B - 一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法，所述制作方法包括：选择第一预定尺寸的具有导电层的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜；将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面；采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光；将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影；将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻；剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜；制作功能走线。该制作方法解决了涂敷液态光阻胶方法的制作困难问题，提高了触摸屏的产品性能，降低了生产成本，具有很高的性价比优势。

Description

一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法

技术领域

本发明涉及电容式触摸屏技术领域，具体涉及菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法。

背景技术

随着智能手机和平板电脑的普及应用，菲林结构电容式触摸屏得到越来越多的重视，市场前景前途无限。目前用于制作这种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的方法主要有以下两种：

第一种是目前菲林结构电容式触摸屏行业普遍采用的丝印绝缘油方法，采用这种方法制作的触控感应器的导电层图案的线宽和线间距最小只能做到100微米和100微米左右，因此用这种触控感应器制作的电容式触摸屏的线性度不高，容易产生误触摸，不适合用于较大尺寸（如3.5英寸或以上）的电容式触摸屏，应用受到限制。

第二种是采用类似于制作液晶显示器行业的涂敷液态光阻胶方法，这种方法解决了丝印方法的图案精度不高问题，采用这种方法制作的触控感应器的线宽和线间距可以做到40微米和40微米左右，因此采用这种触控感应器制作的触摸屏的线性度较高；但是，由于菲林是软的，容易弯折，因此液态光阻胶难以在导电菲林表面涂敷均匀，采用这种方法制作触控感应器对生产设备要求高、生产良品率低、制作困难且成本高昂。

发明内容

本发明的目的是提供一种图案精度高、制作成本低的菲林结构电容式触摸屏的触控感应器及其制作方法。为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法，包括步骤：

选择第一预定尺寸的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜；其中，所述菲林的表面具有一层导电层，所述固态光阻干膜用作光阻层；

将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面；

采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光；

将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影；

将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻；

剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜；

制作功能走线。

进一步地，所述将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面具体为：采用滚轮设备将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面。

进一步地，所述导电层为ITO导电层。

基于上述菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法，本发明还提供了一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器。所述菲林结构电容式触摸屏的触控感应器，包括：

具有第一预定尺寸的菲林，所述菲林的表面具有一层导电层；

形成于所述导电层上的预定图案，其中，所述预定图案采用如下步骤制作：

选择具有第二预定尺寸的固态光阻干膜；

将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面；

采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光；

将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影；

将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻；

剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜形成所述预定图案；

其中，所述固态光阻干膜用作光阻层；

用于连接到软性线路板的功能走线。

进一步地，所述导电层为ITO导电层。

本发明将一层固态光阻干膜粘贴在菲林的导电层表面，利用固态光阻干膜的感光特性，通过黄光制程制作出用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器。该制作方法解决了涂敷液态光阻胶方法的制作困难问题，因此，提高了菲林结构电容式触摸屏的产品良率，降低了生产成本，具有很高的性价比优势。此外，制作的触控感应器的菲林表面的图案的线宽和线间距可以达到40微米和40微米左右，因而，同时解决了丝印绝缘油方法的图案精度不高导致电容式触摸屏线性度不好问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法流程图；

图2是本发明菲林结构电容式触摸屏的触控感应器图案示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此，本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

本发明提供了一种菲林结构电容式触摸屏触控感应器及其制作方法。

请参阅图1。图1是本发明菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法流程图，该制作方法包括以下步骤：。

S100、选择第一预定尺寸的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜：

选择具有第一预定尺寸的菲林和具有第二预定尺寸的固态光阻干膜。为了制作方便，菲林的尺寸和固态光阻干膜的外围尺寸最好适当，优选地，第一预定尺寸和第二预定尺寸一致。

选择的菲林表面具有一层导电层，以便后续步骤制作图案。该导电层可以为透明导电层，例如为ITO导电层。

选择的固态光阻干膜是一种主要用于软性印刷线路板生产制程的过程物料，具有光敏特性，具有优异的粘附性、优异的解像力、优良的耐化学药品性。在本实施例中，选择的固态光阻干膜用作黄光制程中的光阻层，与传统工艺上的丝印绝缘油或液态光阻胶的作用相同。

S200、将选择的固态光阻干膜粘贴在导电层的表面：

在无紫外线的黄光环境下，将选择的尺寸适当的固态光阻干膜粘贴在菲林的导电层的表面，作为后续的黄光制程的光阻层。为了得到更好的粘贴效果，可以采用滚轮设备将该固态光阻干膜粘贴在该导电层的表面。因该固态光阻干膜是固体，具有固定的尺寸和形状，所以克服了液态光阻胶在导电菲林（包括菲林及其导电层）表面难以涂敷均匀、对生产设备要求高、生产良品率低、制作困难及成本高昂的缺陷。

S300、采用掩模板对固态光阻干膜和导电层进行曝光：

在无紫外线的黄光环境下，将具有一定线宽和线间距图案的掩模板紧贴放置在固态光阻干膜表面。该掩模板上图案的线宽和线间距与要制作的触控感应器的图案的线宽和线间距相适应。

在黄光环境下，用具有一定波长范围的紫外线从掩模板面向干膜和导电菲林（包括菲林及其导电层）的方向照射一定时间，对该固态光阻干膜和导电层进行曝光，然后将掩模板从固态光阻干膜上分开。该紫外线的有效波长范围为200~450nm，该曝光的能量范围为50~150mj/cm²。

S400、将曝光后的固态光阻干膜和导电层进行显影：

在黄光环境下，将曝光后的固态光阻干膜和导电菲林（包括菲林及其导电层）浸泡在具有一定浓度和温度的碱液中进行显影。该显影过程中用的碱液可以为氢氧化钠溶液或碳酸钠溶液。该碱液的浓度一般为0.1%（wt）~1.0%（wt），温度一般在25~35℃之间。显影的时间一般在10秒~1分钟之间。

S500、将显影后的固态光阻干膜和导电层进行图案蚀刻：

将显影后的固态光阻干膜和导电菲林（包括菲林及其导电层）浸泡在具有一定浓度和温度的硝酸和盐酸的混合液中，对导电层（包括菲林及其导电层）进行图案蚀刻。该硝酸和盐酸的混合液的浓度在4.0~6.0mol/L之间，温度在35-55℃之间，浸泡时间为30秒~3分钟。

S600、剥离图案蚀刻后的剩余固态光阻干膜：

将图案蚀刻后的固态光阻干膜和导电菲林（包括菲林及其导电层）浸泡入具有一定浓度和温度的碱液中，将剩余的固态光阻干膜从导电菲林（包括菲林及其导电层）的表面剥离，这样就制作成了用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的图案。该过程中使用的碱液可以为氢氧化钠溶液或碳酸钠溶液，该碱液的浓度为1%（wt）~5%（wt），温度为40~60℃，浸泡的时间为10秒~1分钟。

S700、制作功能走线：

在触控感应器的有效触摸区域以外，用导电银浆做功能走线，用于连接到软性线路板，该导电银浆可用丝印方法或激光蚀刻方法制作。

如果，上述方法制作的带有图案的导电菲林的尺寸与菲林结构电容式触摸屏的尺寸和形状不同，可以依据菲林结构电容式触摸屏的尺寸和形状，将制作有图案的导电菲林切割成小片，这样就制作成大小形状合适的用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器。

采用本发明的固态光阻干膜替代现有的丝印绝缘油或液态光阻胶作黄光制程中的光阻层，将该固态光阻干膜粘贴在菲林表面，解决了向菲林表面涂敷液态光阻胶方法的制作困难问题。同时，该方法制作的菲林表面的导电图案的线宽和线间距可以得到40微米和40微米左右。因而，该制作方法既解决了丝印绝缘油方法的导电图案精度不高导致菲林结构电容式触摸屏线性度不好的问题，也同时提高了菲林结构电容式触摸屏的产品性能、降低了生产成本，具有很高的性价比优势。

基于上述触控感应器的制作方法的实施例，本发明还提供了一种用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器。

在本实施例中，该用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器包括：一层具有第一预定尺寸的菲林、该菲林表面的导电层、形成于该导电层上的预定图案以及用于连接到软性线路板的功能走线。

本实施例中的菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法采用上述菲林结构电容式触摸屏的制作方法。由于该触控感应器采用了固态光阻干膜作为光阻层，克服了现有技术中采用涂敷液态光阻胶方法的制作困难的问题，同时由该方法制作的触控感应器的菲林表面的图案的线宽和线间距可以达到40微米和40微米左右，解决了丝印绝缘油方法的图案精度不高导致电容触摸屏线性度不好的问题。

本发明的用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器与现有技术中的用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法不同，形成在导电层上的图案线宽和线间距不同。图2示例出了本发明菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的图案示意图。AA’区域为用于菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的有效触控区域；201为菲林层上的导电图案，本发明中包括但不限于图2中的触控感应器的图案；202为触控感应器有效触摸区域以外的导电银浆走线，其用于连接到软性线路板；203为导电图案的线宽，该线宽可以达到40微米或40微米左右；204为导电图案的线间距，该线间距可以达到40微米或40微米左右。

优选地，菲林的尺寸与黄光制程中用到的固态光阻干膜的外围尺寸一致。这样方便操作，而且会简化制程。

另外，菲林表面的导电层优选为透明ITO层。这样，制作的触控感应器及触摸屏的透光性能好。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器的制作方法，其特征在于，包括步骤：

选择第一预定尺寸的菲林和第二预定尺寸的固态光阻干膜；其中，所述菲林的表面具有一层导电层，所述固态光阻干膜用作光阻层；

采用滚轮设备将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面；

采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光；

将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影；

将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻；

剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜；

制作功能走线；

所述剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜，具体包括：

将图案蚀刻后的固态光阻干膜和导电菲林浸泡入具有一定浓度和温度的碱液中，将剩余的固态光阻干膜从导电菲林的表面剥离。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述导电层为ITO导电层。

3.一种菲林结构电容式触摸屏的触控感应器，其特征在于，包括：

具有第一预定尺寸的菲林，所述菲林的表面具有一层导电层；

形成于所述导电层上的预定图案，其中，所述预定图案采用如下步骤制作：

选择具有第二预定尺寸的固态光阻干膜；

采用滚轮设备将所述固态光阻干膜粘贴在所述导电层的表面；

采用掩模板对所述固态光阻干膜和所述导电层进行曝光；

将曝光后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行显影；

将显影后的所述固态光阻干膜和所述导电层进行图案蚀刻；

剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜形成所述预定图案；

其中，所述固态光阻干膜用作光阻层；

用于连接到软性线路板的功能走线；

所述剥离所述图案蚀刻后的剩余所述固态光阻干膜，具体包括：

将图案蚀刻后的固态光阻干膜和导电菲林浸泡入具有一定浓度和温度的碱液中，将剩余的固态光阻干膜从导电菲林的表面剥离。

4.根据权利要求3所述的触控感应器，其特征在于，所述导电层为ITO导电层。