CN102800560A - 自动监控制程的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种自动监控制程的方法，其包括下列步骤。依序提供多个基板，使上述基板依序经过第一位置及第二位置。于第一位置及第二位置侦测上述基板。当经过第一位置的各上述基板于一预定时间仍未通过第二位置时，等待预定延迟时间。在等待预定延迟时间后，经过第一位置的各上述基板仍未通过第二位置时，产生一警报。基于上述，本发明的自动监控制程的方法可以监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

Description

自动监控制程的方法

技术领域

本发明涉及一种自动监控制程的方法，且特别是涉及一种利用时间进行自动监控制程的方法。

背景技术

自动化设备主要包括进行制程的腔体以及用于传送未成品的传送装置。藉由传送装置将未成品传送进入进行制程的腔体内，待加工完成后传送出上述腔体。

在加工制程期间，破片以及迭片的产生往往会直接影响产量，进而提高生产成本。在基板的传送过程中，由于基板是一个接着一个连续地传送，发生破片的基板往往会被接踵而来的另一个基板追撞，进而造成大量迭片。此外，传送装置的构件的老化以及生锈也会造成传送速度不均，进而导致迭片的产生。因此藉由监控产品或未成品的自动传送状况可在问题发生后的第一时间进行紧急处理，以避免产生大量的成本损失。

一般监控产品或未成品的传送方法是于设备中预定间距内设置有侦测器，利用侦测器来监控产品或未成品的传送状况。然而，对于蚀刻设备而言，由于进行制程的腔体使用大量具有腐蚀性的化学溶液，造成于进行制程的腔体内无法设置一般的侦测器来监控未成品的传送状况。一旦，在腔体内部发生大量迭片，机台不会发出警报，只能依靠人为发现，如在人手较为吃紧的休息时间，发现时往往已造成大量破片。另外，即使利用高成本的高抗蚀性的材质的侦测器也无法满足要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种自动监控制程的方法，可以监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

本发明提供一种自动监控制程的方法包括下列步骤。依序提供多个基板，使上述基板依序经过第一位置及第二位置。于第一位置及第二位置侦测上述基板。当经过第一位置的各上述基板于一预定时间仍未通过第二位置时，等待一预定延迟时间。在等待预定延迟时间后，经过第一位置的各上述基板仍未通过第二位置时，产生一警报。

在本发明的一实施例中，于第一位置及第二位置侦测上述基板还包括以下步骤。于第一位置侦测上述基板，以在上述基板各自到达第一位置时产生对应的第一信号。对应于每一上述第一信号分别进行计时步骤。在每一计时步骤的预定时间之后，侦测第二位置，以在对应每一计时步骤的上述基板到达第二位置时产生第二信号。

在本发明的一实施例中，对应每一第一信号分别进行计时步骤的方法包括：将每一上述第一信号传送至控制部以及控制部对对应每一所述第一信号分别进行计时。

在本发明的一实施例中，上述控制部包括可编程逻辑控制器。

在本发明的一实施例中，上述第一位置及第二位置分别包括设备的进料部及出料部。

在本发明的一实施例中，上述基板包括硅晶片或玻璃基板。

在本发明的一实施例中，上述于第一位置侦测上述基板的方法包括使用至少一个侦测器来进行侦测。

在本发明的一实施例中，上述于第二位置侦测上述基板的方法包括使用至少一个侦测器来进行侦测。

在本发明的一实施例中，在对应每一上述计时步骤的基板到达第二位置时产生第二信号之后，还包括将第二信号传送至控制部。

在本发明的一实施例中，在产生警报之后，还包括停止提供上述基板至第一位置。

在本发明的一实施例中，产生该警报的方法包括驱动一警报装置。

在本发明的一实施例中，上述警报装置包括蜂鸣器或显示面板。

在本发明的一实施例中，上述预定延迟时间为上述基板自第一位置至第二位置所需要的时间与预定片数通过第二位置的时间相加。

基于上述，本发明的自动监控制程的方法可以监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例所示的一种自动监控制程方法的装置示意图。

图2是依照本发明的一实施例所示的一种自动监控制程方法流程图。

附图标记：

10：基板

100：设备

110：第一位置

120：第二位置

130：控制部

140：警报装置

141：显示面板

142：蜂鸣器

150：侦测器

160：基板供应部

D：距离

S1～S9：步骤

具体实施方式

本发明是一种自动监控制程的方法，适用于各种自动化设备。在一实施例中，本发明的自动监控制程的方法应用于蚀刻设备中，且本发明不以此为限，亦可应用于例如清洗设备。

本发明的一种自动监控制程的方法包括：依序提供多个基板，使上述基板依序经过第一位置及第二位置；于第一位置及第二位置侦测上述基板；当经过第一位置的各基板于预定时间后仍未通过第二位置时，等待预定延迟时间；以及在等待预定延迟时间后，经过该第一位置的各上述基板仍未通过第二位置时，产生一警报。本发明主要是利用时间的观念达到监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

以下具体说明本发明的实施例，但本发明不限于此。

图1是依照本发明的一实施例所绘示的一种自动监控制程方法的装置示意图。图2是依照本发明的一实施例所绘示的一种自动监控制程方法流程图。

请参照图1，本发明的一实施例的装置包括设备100、控制部130、警报装置140、显示面板141、蜂鸣器142、侦测器150以及基板供应部160。

控制部130与警报装置140、侦测器150以及基板供应部160电性连接。藉此控制部130可以接受来自侦测器150的信号，并进行逻辑运算后，进而对警报装置140以及基板供应部160下达指令。控制部130例如是可编程逻辑控制器。

侦测器150分别配置于设备100中的第一位置110以及第二位置120。侦测器150可以是一个也可以是多个。第一位置110例如是进料部。第二位置120例如是出料部。第一位置110位于基板供应部160以及第二位置120之间。

警报装置140包括显示面板141或蜂鸣器142。

请参照图1及图2，本发明的自动监控制程的方法包括下列步骤。

首先进行步骤S1，自基板供应部160依序提供多个基板10至设备100中，且使多个基板10依序经过设备100中的第一位置110及第二位置120。

如图1中的箭头所示，此箭头所指的方向表示基板流动的方向。多个基板10例如是硅晶片或玻璃基板等。多个基板10是在设备100的传送装置上(未图示)自第一位置110被搬送至第二位置120。传送装置例如是用滚轮搬送的方法来搬送多个基板10。一般来说，传送装置是以预定速度将基板等速度搬送，而使每个基板10之间存在一间距。上述速度可视需求而调整。在一实施例中，依据基板10大小以及传送装置的大小，可将多个基板10分成多列(图1中为四列)。各列的每一基板10亦依序从第一位置110被搬送至第二位置120。各列的基板可同时亦可不同时经过第一位置110以及第二位置120。

接着进行步骤S2，于第一位置110侦测上述基板10，而多个基板10各自到达第一位置110时产生对应的第一信号。于第一位置110侦测上述基板10的方法例如是使用至少一侦测器150来侦测。在一实施例中，根据基板10的列数，而在设备100的第一位置110上方设置多个侦测器150，亦在第二位置120上方设置多个侦测器150。

然后进行步骤S3，对应于每一第一信号分别进行计时步骤。计时的方式没有限制，一般公知的计时方式皆可使用。此外，在一实施例中，例如将每一所述第一信号传送至控制部130，并由控制部130对应每一所述第一信号分别执行计时步骤。

然后进行步骤S4，在每一计时步骤的预定时间之后，侦测第二位置120，以在对应每一计时步骤的基板10到达第二位置120时产生第二信号。预定时间取决于第一位置110与第二位置120之间的距离D以及基板10被搬送的速度。侦测第二位置120的方法与上述侦测第一位置110的方法相同。此外，在一实施例中，将上述第二信号回传至控制部130。藉由控制部130是否接收到上述第二信号来判断对应计时步骤的基板10是否到达第二位置120。

当在每一计时步骤的预定时间之后，于第二位置120未产生第二信号时，进行步骤S5，即等待预定延迟时间。详细而言，若于预定时间后在第二位置120没有侦测到对应每一计时步骤后的基板10时，将等待预定延迟时间。此预定延迟时间可依装置状况以及产量需求而设定，例如当每一片基板10自第一位置110到第二位置120的时间为X秒时，加上基板10预定片数连续经过第二位置120的时间为Y秒，该预定延迟时间设定为X+Y秒。在一实施例中，每一片基板10自第一位置110到第二位置120的时间为100秒，而每一片基板10经过第二位置120的时间假为7秒，例如预定片数为连续5片基板10连续通过第二位置120的总时间为5x7＝35秒，即预定延迟时间设定成100+5x7＝135秒。预定延迟时间的设定在于可以避免因为侦测器150计数的误差以及异常基板(如迭片或破片)计数累积导致产生警报。

之后进行步骤S7，在等待预定延迟时间之后，在第二位置120依然没有侦测到对应每一计时步骤后的基板10时，进行步骤S8，即产生警报。反之，在等待预定延迟时间之后，在第二位置120有侦测到对应每一计时步骤后的基板10时，进行步骤S6，即继续维持设备运作。详细而言，在一实施例中，若在等待预定延迟时间之后，在第二位置120依然没有侦测到对应每一计时步骤后的基板10时，控制部130因为没有接收到此基板10的第二信号而判定成有异常，进而产生警报。产生警报的方法例如是驱动警报装置140。此时，警报装置140中的显示面板141会显示警报讯息，而蜂鸣器142会产生声音来通知现场人员。此外，在产生警报之后，进行步骤S9，藉由例如控制部130停止提供基板10至第一位置110。也就是说，当警报产生后，控制部130会控制基板供应部160，使基板供应部160停止提供基板10至第一位置110。详细而言，警报产生后，针对发出警报的该列基板，控制部130会控制基板供应部160，使基板供应部160停止提供基板10至该列。而没有发出警报的其他列的基板维持正常运作。如此一来可避免停止整个装置所带来的大量产量降低以及稼动率的下降。

当在每一计时步骤的预定时间之后，于第二位置120产生第二信号时，则进行步骤S6，即维持设备100继续运作。在一实施例中，若于预定时间后在第二位置120侦测得到对应每一计时步骤后的基板10时，便各别产生第二信号传送至控制部130，而控制部130依据第二信号判定成无异常，而使设备100维持运作。

综上所述，本发明的自动监控制程的方法包括：使基板依序通过第一位置与第二位置；当基板到达第一位置后，侦测第一位置产生第一信号；对应每一第一信号分别进行计时步骤；经过预定时间后对第二位置进行侦测；在每一计时步骤的预定时间之后，于第二位置未产生第二信号时，则等待预定延迟时间；当在等待预定延迟时间后，在第二位置依然没有侦测到对应每一计时步骤后的基板时，发出警报，并且驱动警报装置以及停止提供基板至第一位置。藉此，可以监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域的普通技术人员，当可作些许的更动与润饰，而不脱离本发明的精神和范围。

Claims (13)

1.一种自动监控制程的方法，其特征在于，包括：

依序提供多个基板，使所述基板依序经过第一位置及第二位置；

于所述第一位置及所述第二位置侦测所述基板；

当经过所述第一位置的各所述基板于预定时间仍未通过所述第二位置时，等待预定延迟时间；以及

在等待所述预定延迟时间后，经过所述第一位置的各所述基板仍未通过所述第二位置时，产生警报。

2.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于在所述第一位置及所述第二位置侦测所述基板还包括：

于所述第一位置侦测所述基板，在所述基板各自到达所述第一位置时产生对应的第一信号；

对应于每一所述第一信号分别进行计时步骤；以及

在每一所述计时步骤的预定时间之后，侦测所述第二位置，以在对应每一所述计时步骤的所述基板到达所述第二位置时产生第二信号。

3.根据权利要求2所述的自动监控制程的方法，其特征在于对应每一所述第一信号分别进行所述计时步骤包括：将每一所述第一信号传送至控制部以及所述控制部对应每一所述第一信号分别进行计时。

4.根据权利要求3所述的自动监控制程的方法，其特征在于所述控制部包括可编程逻辑控制器。

5.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于所述第一位置包括进料部，所述第二位置包括出料部。

6.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于所述基板包括硅晶片或玻璃基板。

7.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于在所述第一位置侦测所述基板的方法包括使用至少一个侦测器来进行侦测。

8.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于在所述第二位置侦测所述基板包括使用至少一个侦测器来进行侦测。

9.根据权利要求3所述的自动监控制程的方法，其特征在于在对应每一所述计时步骤的所述基板到达所述第二位置时产生所述第二信号之后，还包括将所述第二信号传送至所述控制部。

10.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于在产生所述警报之后，还包括停止提供所述基板至所述第一位置。

11.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于产生所述警报的方法包括驱动警报装置。

12.根据权利要求11所述的自动监控制程的方法，其特征在于所述警报装置包括蜂鸣器或显示面板。

13.根据权利要求1所述的自动监控制程的方法，其特征在于所述预定延迟时间为所述基板自所述第一位置至所述第二位置所需要的时间与预定片数通过所述第二位置的时间相加。

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