CN102790183A

CN102790183A - 一种柔性有机发光二极管及其制备方法

Info

Publication number: CN102790183A
Application number: CN2011101293754A
Authority: CN
Inventors: 周明杰; 王平; 冯小明; 陈吉星
Original assignee: Oceans King Lighting Science and Technology Co Ltd; Shenzhen Oceans King Lighting Engineering Co Ltd
Current assignee: Oceans King Lighting Science and Technology Co Ltd; Shenzhen Oceans King Lighting Science and Technology Co Ltd; Shenzhen Oceans King Lighting Engineering Co Ltd
Priority date: 2011-05-18
Filing date: 2011-05-18
Publication date: 2012-11-21
Anticipated expiration: 2031-05-18
Also published as: CN102790183B

Abstract

本发明属于光电子器件领域，其公开了一种柔性有机发光二极管及其制备方法，该柔性有机发光二极管为层状结构，其结构依次为：衬底/阳极层/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极层；其特征在于，在所述衬底与阳极层之间，还制备有一层缓冲层；所述阳极层为多层复合结构。本发明提供的柔性有机发光二极管通过插入缓冲层，加强了阳极与衬底之间的结合力，使得制作的柔性有机发光二极管，挠曲性能好，发光性能稳定，发光效率高。

Description

一种柔性有机发光二极管及其制备方法

技术领域

本发明涉及光电子器件领域，尤其涉及一种柔性有机发光二极管。本发明还涉及该柔性有机发光二极管的制备方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emission Diode)，以下简称OLED，具有亮度高、材料选择范围宽、驱动电压低、全固化主动发光等特性，同时拥有高清晰、广视角，以及响应速度快等优势，符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势，以及绿色照明技术的要求，是目前国内外众多研究者的关注重点。

在现有技术的OLED器件中，使用玻璃衬底制作的OLED器件不具备弯曲的特点，而且玻璃易碎，对发光器件的应用造成了影响。采用柔性材料作为衬底的OLED器件，比玻璃衬底的OLED具有更轻薄、更耐冲击的优点。并且柔性OLED的制备可以采用卷对卷方式生产，从而大幅地降低制造成本。目前柔性显示衬底主要有超薄玻璃，聚合物薄膜、金属薄片等。

通常采用聚合物薄膜作为衬底制作的阳极，是在其表面通过溅射工艺覆盖一层透明导电薄膜如ITO，IZO等材料，然而这些导电薄膜在柔性OLED的应用上也存在诸多难以克服的问题。例如在制备ITO薄膜的过程中，各种元素如铟(In)，(Sn)的掺杂比例组成不易控制，导致ITO薄膜的形貌，载流子和传输性能难以控制，从而导致发光器件的性能不稳定。其次，在柔性衬底上制备ITO等导电薄膜时，由于聚合物薄膜的耐热性能不佳，制备导电薄膜通常采用低温溅射技术，所制备的导电薄膜表面电阻高，薄膜与衬底的结合力不强，使得柔性OLED在反复弯曲的过程中容易发生导电薄膜从衬底脱落的情况，影响OLED发光装置的发光稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种挠曲性能好、发光性能稳定，且发光效率高的柔性有机发光二极管。

本发明的技术方案：

一种柔性有机发光二极管，该柔性有机发光二极管为层状结构，该层状结构依次为：衬底/阳极层/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极层；其中，在所述衬底与阳极层之间，还制备有一层缓冲层；所述阳极为多层复合结构，该多层复合结构为：A/Sm/B的多层复合结构，其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅。

本发明提供的柔性有机发光二极管，其采用的衬底材料为聚合物薄膜，如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，聚醚砜(PES)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)，透明聚酰亚胺(PI)环烯烃共聚物(COC)，聚碳酸酯(PC)，聚乙烯(PE)等材料，所选材料在可见光的透过率＞80％，厚度可选自0.1-0.5mm之间。

位于衬底上的缓冲层是采用UV胶制作而成，缓冲层的厚度可以为0.5-10μm。

本发明提供的柔性有机发光二极管，阳极的多层复合结构全部采用蒸镀工艺制备。具体地，A层，即ZnS或ZnSe层的厚度选自40-80nm，Sm层的厚度选择18-25nm，B层，即WO₃或V₂O₅层的厚度选自3-10nm。该多层复合结构，利用了热镜中的增透原理，因此制备的阳极层在可见光透过率高，同时表面电阻较低。

本发明提供的柔性有机发光二极管，空穴注入层的材料为酞菁铜(CuPc)或4，4′，4″-三(N-3-甲基苯基-N-苯基-氨基)-三苯基胺(m-MTDATA)，该空穴注入层的厚度为30-40nm；

所述空穴传输层的材料为N，N’-二(3-甲基苯基)-N，N’-二苯基-4，4’-联苯二胺(TPD)、1，3，5-三苯基苯(TDAPB)或N，N′-二苯基-N，N′-二(1-萘基)-1，1′-联苯-4，4′-二胺(NPB)中的任一种；该空穴传输层的厚度为30-80nm；

所述发光层的材料为4，4′-二(9-咔唑)联苯(CBP)掺杂三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)₃)，即Ir(ppy)₃:CBP；该发光层的厚度为15-40nm；

所述电子传输层的材料为4，7-二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、8-羟基喹啉铝(Alq₃)、2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基)苯基-1，3，4-噁二唑(PBD)、1，2，4-三唑衍生物(如TAZ等)或1，3，5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯(TPBi)；该电子传输层的厚度为20-60nm；

所述电子注入层的材料优选为氟化锂(LiF)或氟化铯(CsF)；该电子注入层的厚度为0.5-2nm；

所述阴极层的材料优选为Al、Ag或Mg-Ag合金层，该阴极层厚度为100-200nm。

本发明还提供一种上述柔性有机发光二极管的制作方法，其包括以下步骤：

1、将聚合物薄膜衬底放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干，备用；其中，聚合物薄膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，聚醚砜(PES)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)，透明聚酰亚胺(PI)环烯烃共聚物(COC)，聚碳酸酯(PC)或聚乙烯(PE)等材料；

2、将清洗干净的聚合物薄膜置入匀胶机上，将UV胶旋涂在聚合物薄膜表面，然后采用UV灯或紫外灯进行固化，形成一层缓冲层；其中，匀胶机的转速在1000-5000转/分，匀胶时间30-120秒；

3、利用真空镀膜的方法，依次在缓冲层表面蒸镀多层复合结构的阳极层，其中，该多层复合结构依次为：A/Sm/B的多层复合结构，其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅；

4、利用真空蒸镀的方法在阳极层上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层；最后制得柔性有机发光二极管。

本发明采用真空镀膜技术，制备的A/Sm/B(其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅)多层复合结构作为阳极层，其制作过程简单，对衬底的破坏小，且该阳极层透光性能好，表面电阻低；同时，通过插入缓冲层，加强了阳极与衬底之间的结合力，使得制作的柔性有机发光二极管，挠曲性能好，发光性能稳定，发光效率高。

附图说明

图1为本发明柔性有机发光二极管的结构示意图；其中，

101衬底、102缓冲层、103阳极、104空穴注入层、105空穴传输层、106发光层、107电子传输层、108电子注入层、109阴极；

图2为本发明柔性有机发光二极管的制备工艺流程图；

图3为实施例2制作的ZnS/Sm/V₂O₅阳极层和对比例1以ITO为阳极层的透过率曲线；

图4为实施例2和对比例1制作的发光装置的电流-电压曲线。

具体实施方式

本发明提供的一种柔性有机发光二极管，如图1所示，该柔性有机发光二极管为层状结构，该层状结构依次为：衬底101/缓冲层102/阳极层103/空穴注入层104/空穴传输层105/发光层106/电子传输层107/电子注入层108/阴极层109；其中，阳极层为多层复合结构，该多层复合结构为：A103a/Sm 103b/B 103c；其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅。

本发明提供的有机发光二极管器件，其采用的衬底材料为聚合物薄膜，如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，聚醚砜(PES)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)，透明聚酰亚胺(PI)环烯烃共聚物(COC)，聚碳酸酯(PC)，聚乙烯(PE)等材料，所选材料在可见光的透过率＞80％，厚度可选自0.1-0.5mm之间。

本发明提供的柔性有机发光二极管，其各功能层，如：

空穴注入层的材料为酞菁铜(CuPc)、4，4′，4″-三(N-3-甲基苯基-N-苯基-氨基)-三苯基胺(m-MTDATA)，该空穴注入层的厚度为30-40nm；

所述空穴传输层的材料为N，N′-二苯基-N，N′-二(1-萘基)-1，1′-联苯-4，4′-二胺(NPB)、N，N’-二(3-甲基苯基)-N，N’-二苯基-4，4’-联苯二胺(TPD)、1，3，5-三苯基苯(TDAPB)，该空穴传输层的厚度为30-80nm；

所述电子传输层的材料为4，7-二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、8-羟基喹啉铝(Alq₃)、2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基)苯基-1，3，4-噁二唑(PBD)、1，2，4-三唑衍生物(如TAZ等)或1，3，5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯(TPBi)，该电子传输层的厚度为20-60nm；

本发明还提供一种上述柔性有机发光二极管的制作方法，如图2所示，其包括以下步骤：

S1、将衬底(即聚合物薄膜)放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干，备用；其中，聚合物薄膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，聚醚砜(PES)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)，透明聚酰亚胺(PI)环烯烃共聚物(COC)，聚碳酸酯(PC)或聚乙烯(PE)等材料；

S2、将清洗干净的聚合物薄膜置入匀胶机上，将UV胶旋涂在聚合物薄膜表面，然后采用UV灯或紫外灯进行固化，形成一层缓冲层；其中，匀胶机的转速在1000-5000转/分，匀胶时间30-120秒；

S3、利用真空镀膜的方法，依次在缓冲层表面蒸镀多层复合结构的阳极层，其中，该多层复合结构依次为：A/Sm/B的多层复合结构，其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅；

S4、利用真空蒸镀的方法在阳极层上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层；最后制得柔性有机发光二极管。

下面结合附图，对本发明的较佳实施例作进一步详细说明。

实施例1

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：PET/UV胶/ZnS/Sm/WO₃/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/TPBi/LiF/Mg-Ag。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.1mm的PEN薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

接着，将PEN薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在1000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为0.5μm UV胶作为平整层，匀胶时间120秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在缓冲层表面依次蒸镀厚度为40nm的ZnS层，厚度为18nm的Sm层，厚度为10nm的WO₃层，形成阳极层；

最后，依次在WO₃层上面蒸镀空穴注入层、空穴传输、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层，且厚度依次为35nm、30nm、40nm、20nm、0.5nm以及150nm。

实施例2

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：PET/UV胶/ZnS/Sm/V₂O₅/CuPc/TPD/Ir(ppy)₃:CBP/Bphen/CsF/Ag。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.175mm的PET薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

其次，将PET薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在5000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为5μm UV胶作为平整层，匀胶时间30秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在缓冲层表面依次蒸镀厚度为45nm的ZnS层，厚度为20nm的Sm层，厚度为5nm的V₂O₅层，形成阳极层；

最后，依次在V₂O₅层上面蒸镀空穴注入层(CuPc)、空穴传输(TPD)、发光层(Ir(ppy)₃:CBP)、电子传输层(Bphen)、电子注入层(CsF)和阴极层(Ag)，且厚度依次为30nm、80nm、15nm、60nm、1nm以及100nm。

实施例3

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：PES/UV胶/ZnSe/Sm/WO₃/m-MTDATA/TDAPB/Ir(ppy)₃:CBP/Alq₃/LiF/Al。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.2mm的PES薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

接着，将PES薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在4000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为1μm UV胶作为平整层，匀胶时间70秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在缓冲层表面依次蒸镀厚度为80nm ZnSe层，厚度为25nm的Sm层，厚度为3nm的WO₃层，形成阳极层；

最后，依次在WO₃层上面蒸镀空穴注入层(m-MTDATA)、空穴传输(TDAPB)、发光层(Ir(ppy)₃:CBP)、电子传输层(Alq₃)、电子注入层(LiF)和阴极层(Al)，且厚度依次为40nm、60nm、40nm、40nm、2nm以及200nm。

实施例4

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：COC/UV胶/ZnS/Sm/WO₃/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/PBD/LiF/Mg-Ag。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.5mm的COC薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

接着，将COC薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在3000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为10μm UV胶作为平整层，匀胶时间80秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在其表面依次蒸镀厚度为60nm ZnS层，厚度为25nm的Sm层，厚度为6nm的WO₃层，形成阳极层；

最后，依次在WO₃层上面蒸镀空穴注入层(m-MTDATA)、空穴传输(NPB)、发光层(Ir(ppy)₃:CBP)、电子传输层(PBD)、电子注入层(LiF)和阴极层(Al)，且厚度依次为38nm、70nm、25nm、50nm、1.5nm以及120nm。

实施例5

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：PC/UV胶/ZnS/Sm/WO₃/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/TAZ/LiF/Mg-Ag。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.4mm的PC薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

接着，将PC薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在2000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为7μm UV胶作为平整层，匀胶时间50秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在缓冲层表面依次蒸镀厚度为70nm ZnS层，厚度为20nm的Sm层，厚度为8nm的WO₃层；

最后，依次在WO₃层上面蒸镀空穴注入层(m-MTDATA)、空穴传输(NPB)、发光层(Ir(ppy)₃:CBP)、电子传输层(TAZ)、电子注入层(LiF)和阴极层(Al)，且厚度依次为30nm、50mm、25nm、30nm、1.5nm以及180nm。

实施例6

一种柔性有机发光二极管，为层状结构，该层状结构的依次为：PE/UV胶/ZnSe/Sm/V₂O₅/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/TPBi/LiF/Mg-Ag。

该柔性有机发光二极管的制备工艺如下：

首先，将厚度为0.3mm的PE薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干；

接着，将PE薄膜放置在匀胶机上，启动匀胶机，且该匀胶机的转速在4000转/分，在PEN薄膜表面旋涂一层厚度为3μm UV胶作为平整层，匀胶时间100秒后，采用UV灯固化，形成缓冲层；

随后，在真空度为5×10^-4pa的镀膜系统中，在缓冲层表面依次蒸镀厚度为45nm ZnSe层，厚度为22nm的Sm层，厚度为4nm的V₂O₅层；

最后，依次在WO₃层上面蒸镀空穴注入层(m-MTDATA)、空穴传输(NPB)、发光层(Ir(ppy)₃:CBP)、电子传输层(TAZ)、电子注入层(LiF)和阴极层(Al)，且厚度依次为30nm、50nm、25nm、30nm、1.5nm以及180nm。

对比例1

一种有机发光二极管器件，为层状结构，该层状结构的依次为：PET/ITO/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/TPBi/LiF/Mg-Ag；其中，该器件中没有缓冲层，且阳极层为ITO(氧化铟锡)导电层，其他各功能层与实施例2一样。

该有机发光二极管器件的制备工艺如下：

将厚度为0.175mm的PET薄膜放在含有洗涤剂的去离子水中进行超声清洗，用去离子水清洗干净后依次用异丙醇，丙酮在超声波中处理，然后在用氮气吹干。采用磁控溅射系统，PET薄膜表面溅射制备一层厚度为120nm的ITO(氧化铟锡)导电薄膜，然后在真空度为5×10^-4Pa的镀膜系统中，在其表面依次蒸镀穴注入层(m-MTDATA)，空穴传输(NPB)，发光层(Ir(ppy)₃:CBP)，电子传输层(TPBi)，电子注入层(LiF)和阴极层(Mg-Ag)。

对比例2

一种有机发光二极管器件，为层状结构，该层状结构的依次为：PET/Ag/m-MTDATA/NPB/Ir(ppy)₃:CBP/TPBi/LiF/Mg-Ag；其中，该器件中没有缓冲层，且阳极层为Ag层，其他各功能层与实施例2一样。

将厚度为0.175mm的PET薄膜按上述方法清洁后，在PET薄膜表面蒸镀制备一层厚度为20nm的Ag层，然后同实施例2，在其表面依次蒸镀穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，电子注入层和阴极。

表1

	阳极层	阳极层厚度(nm)	透过率	方块电阻Ω/□
					实施例1	ZnS/Sm/WO₃	40/18/10	83.5％	8
实施例2	ZnS/Sm/V₂O₅	45/20/5	85.8％	8
					实施例3	ZnSe/Sm/V₂O₅	80/30/3	79.6％	5
对比例1	ITO	120	84.2％	56
					对比例2	Ag	20	65.7％	16

注：表1中，透过率为阳极层对可见光的透过率，方块电阻为阳极层的方块电阻。

由表1可知，本发明实施例1，2，3制作的阳极具有很好透过率，透过率均优于单一的Ag阳极。其中实施例2制作的ZnS/Sm/V₂O₅阳极在可见光的透过率达到了85.8％，高于对比例1制作的ITO阳极的透过率。

由图3可知，实施例2中制作的ZnS/Sm/V₂O₅阳极与衬底有很好的结合力，在经过反复弯折后，发光性能比较稳定，而ITO阳极在反复弯曲后容易从衬底脱落，导致发光性能下降。

由图4可知，实施例2中制作的ZnS/Sm/V₂O₅阳极具有良好的空穴注入性能，所制作的器件的载流子注入性能与以ITO作为阳极制作的器件相似，因此可以得到较好的电致发光效果。

应当理解的是，上述针对本发明较佳实施例的表述较为详细，并不能因此而认为是对本发明专利保护范围的限制，本发明的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种柔性有机发光二极管，该二极管为层状结构，该层状结构依次为：衬底/阳极层/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极层；其特征在于，在所述衬底与阳极层之间，还制备有一层缓冲层；所述阳极层为多层复合结构，该多层复合结构依次为：A/Sm/B的多层复合结构，其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃或V₂O₅。

2.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管，其特征在于，所述衬底材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亚胺环烯烃共聚物、聚碳酸酯或聚乙烯中的任一种。

3.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管，其特征在于，所述阴极层的材料为Al、Ag或Mg-Ag合金层。

4.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管，其特征在于，所述缓冲层为UV胶。

5.根据权利要求1所述的柔性有机发光二极管，其特征在于，所述空穴注入层的材料为酞菁铜或4，4′，4″-三(N-3-甲基苯基-N-苯基-氨基)-三苯基胺；

所述空穴传输层的材料为N，N’-二(3-甲基苯基)-N，N’-二苯基-4，4’-联苯二胺(TPD)、1，3，5-三苯基苯或N，N′-二苯基-N，N′-二(1-萘基)-1，1′-联苯-4，4′-二胺中的任一种；

所述发光层的材料为4，4′-二(9-咔唑)联苯掺杂三(2-苯基吡啶)合铱；

所述电子传输层的材料为4，7-二苯基-1，10-菲罗啉、8-羟基喹啉铝、2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基)苯基-1，3，4-噁二唑、1，2，4-三唑衍生物或1，3，5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯中的任一种；

所述电子注入层的材料为LiF或CsF。

6.一种柔性有机发光二极管的制备方法，包括如下步骤：

首先，清洗、干燥衬底；

其次，在衬底的表面制备一层缓冲层；

接着，在所述缓冲层表面蒸镀多层复合结构的阳极层，其中，该多层复合结构依次为：A/Sm/B的多层复合结构，其中，A为ZnS或ZnSe，B为WO₃，或V₂O₅；

最后，在所述阳极层上依次蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层；完后，制得所述柔性有机发光二极管。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述衬底的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亚胺环烯烃共聚物、聚碳酸酯或聚乙烯中的任一种。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述阴极层的材料为Al、Ag或Mg-Ag合金层。

9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述缓冲层为UV胶。

10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述空穴注入层的材料为酞菁铜或4，4′，4″-三(N-3-甲基苯基-N-苯基-氨基)-三苯基胺；

所述空穴传输层的材料为、N，N’-二(3-甲基苯基)-N，N’-二苯基-4，4’-联苯二胺、1，3，5-三苯基苯或N，N′-二苯基-N，N′-二(1-萘基)-1，1′-联苯-4，4′-二胺中的任一种；

所述电子注入层的材料为LiF或CsF。