CN102782871A - 光电转换装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光电转换装置，其包括：正面玻璃板（30）；形成于正面玻璃板（30）上，根据光的入射产生电力的光电转换单元（32）；和按照覆盖光电转换单元（32）的方式配置的背面玻璃板（34），正面玻璃板（30）与背面玻璃板（34）的周边的至少一部分被熔融接合。

Description

光电转换装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及光电转换装置及其制造方法。
背景技术
作为利用太阳光的发电系统，使用层叠非结晶、微结晶等的半导体薄膜而成的光电转换面板。在太阳能发电系统中应用这种光电转换面板时，作为在外周部安装有模块框部件的光电转换装置（模块）而设置。
图12至图14表示在光电转换装置（模块）中一般使用的结构例。图12表示用于薄膜硅太阳能电池等薄膜类太阳能电池中的超直（superstraight）结构，图13表示用于单结晶或者多结晶硅太阳能电池的超直结构。在本结构中，光电转换面板100利用玻璃板（玻璃基板）10和密封材料12被密封，而且在密封材料12一侧重叠有具有在屋外使用过程中用于防止水分等的侵入的金属薄膜等的背面片材14。另外，在光电转换面板100的外周，设置有用于防止来自端面的水分等的侵入以及破损的端面密封（端面密封部）16，而且，用模块框部件18加固其外侧。
图14表示玻璃封装结构的例子。该结构是将上述的背面片材14置换成玻璃板20而得到的，在光电转换面板100的端部，在表面侧的玻璃板10与背面侧的玻璃板20之间填充端面密封22，防止水分等的侵入。
另一方面，在专利文献1中，公开了一种通过照射具有毫微微秒的脉冲宽度的激光束来使玻璃彼此熔敷（焊接）的技术。
专利文献1：美国专利第5656186号公报
发明内容
发明要解决的课题
在超直结构中，如果长期在屋外使用，那么，水分等就有可能透过背面片材14与密封材料12侵入。另外，也有可能因来自端面的水封等侵入导致输出下降、发生断线等不良情况以及膜的剥离等外观变化。而且，如果要提高长期的可靠性，那么，就必须提高密封部件的特性，它们的使用量也会增加，因此，成为导致成本增加的原因。
另外，在玻璃封装结构中，难以防止来自端面的水封等的侵入，必须使用特殊的端面密封，导致成本的增加。另外，在不使用模块框部件18的情况下，在夏季的高温时，密封材料12软化，因此，玻璃板10与玻璃板20的相对位置有可能发生偏移。
而且，在形成于表面侧的玻璃板10上的光电转换元件的背面侧，配置有用于将电力或聚集的电力向光电转换装置的外部取出的集电配线、用于使集电配线与光电转换元件绝缘的绝缘包覆材料等，在表面侧的玻璃板10与背面侧的玻璃板20之间产生间隙。如果空气残留在该间隙中，那么，因太阳光的照射等，发生空气的膨胀、收缩，有可能出现玻璃板10、20的破损和水通过间隙侵入等。
另一方面，如果为了缩小间隙而将玻璃板10与玻璃板20压接，那么，担心由于光电转换元件的背面的结构体的凸部而使得应力被作用在玻璃板20上，成为破损的原因。
用于解决课题的方式
本发明的一个方式是一种光电转换装置，其包括：正面玻璃板；形成于正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；和按照覆盖光电转换单元的方式配置的背面玻璃板，正面玻璃板与背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合。
本发明的一个方式是一种光电转换装置的制造方法，其包括：在正面玻璃板上形成根据光的入射产生电力的光电转换单元的第一工序；和按照覆盖光电转换单元的方式配置背面玻璃板，将正面玻璃板与背面玻璃板的周边的至少一部分熔融接合的第二工序。
本发明的一个方式是一种光电转换装置，其包括：正面玻璃板；形成于正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；按照覆盖光电转换单元的方式配置的背面玻璃板；和埋设于在正面玻璃板与背面玻璃板之间产生的间隙的至少一部分的包含氧化硅材料的密封材料，正面玻璃板与背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合。
本发明的一个方式是一种光电转换装置，其包括：正面玻璃板；形成于正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；和按照覆盖光电转换单元的方式配置的背面玻璃板，正面玻璃板与背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合，正面玻璃板与背面玻璃板之间的压力与大气压相比被减压。
发明效果
根据本发明，能够提供一种抑制来自外部环境的水分的侵入，提高长期可靠性的光电转换装置。
另外，还能够提供一种抑制残留在内部的空气的膨胀、收缩引起的光电转换装置的破损和腐蚀的光电转换装置。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的正面图。
图2是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的截面图。
图3是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图4是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的正面图。
图5是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图6是说明本发明的第一实施方式的光电转换装置的制造方法的图。
图7是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图8是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图9是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的正面图。
图10是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图11是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的正面图。
图12是表示现有的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图13是表示现有的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图14是表示现有的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图15是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的正面图。
图16是表示本发明的第一实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图17是表示本发明的第二实施方式的光电转换装置的结构的截面图。
图18是表示本发明的第二实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图19是表示本发明的第二实施方式的光电转换装置的结构的其他例子的截面图。
图20是说明本发明的第三实施方式的光电转换装置的制造方法的图。
图21是说明本发明的第三实施方式的光电转换装置的制造方法的图。
具体实施方式
＜基本结构＞
本发明的第一实施方式的光电转换装置200如图1的外观正面图以及图2的截面图所示，包括正面玻璃板（玻璃基板）30、光电转换单元32和背面玻璃板34。光电转换装置200表示在薄膜硅太阳能电池模块中的应用例。此外，图2是沿着图1的线a-a的截面图。在图2中，为了明确地表示光电转换装置200的各个构成部分，各个构成部分的厚度按照与实际不同的比例表示。
正面玻璃板30例如应用1m方以及板厚4mm的玻璃板。但是，并非限定于此，只要是适合光电转换单元32的形成，能够机械地支撑光电转换装置200即可。光电转换装置200的光入射基本上是从正面玻璃板30一侧进行。
在正面玻璃板30上形成光电转换单元32。光电转换单元32通过层叠透明电极、光电转换单元、背面电极等而形成。透明电极例如能够使用组合在氧化锡（SnO2）、氧化锌（ZnO）、铟锡氧化物（ITO）等中掺杂锡（Sn）、锑（Sb）、氟（F）、铝（Al）等的透明导电性氧化物（TCO）中的至少一种或者多种而成的膜。另外，光电转换单元例如采用非结晶硅光电转换单元（a－Si单元）、微结晶硅光电转换单元（μc－Si单元）等。光电转换单元也可以采用如串列型或三层型那样层叠有多个光电转换单元的结构。背面电极能够采用透明导电性氧化物（TCO）、反射性金属、它们的层叠结构。作为透明导电性氧化物（TCO），使用氧化锡（SnO2）、氧化锌（ZnO）、铟锡氧化物（ITO）等，作为反射性金属，使用银（Ag）、铝（Al）等金属。
背面玻璃板34按照覆盖形成于正面玻璃板30上的光电转换单元32的方式设置。背面玻璃板34例如应用具有与正面玻璃板30大体相同的大小（尺寸）、板厚2mm的玻璃板。但是，并非限定于此。
正面玻璃板30与背面玻璃板34在它们的外周边区域的接合区域A被熔融接合。接合区域A设置于在正面玻璃板30的未形成光电转换单元32的周边部B。周边部B（在图1中未形成阴影的区域）例如可以通过利用激光等除去在正面玻璃板30上暂且先形成的光电转换单元32而设置。为了熔融接合正面玻璃板30与背面玻璃板34，如图2所示，优选形成使正面玻璃板30和背面玻璃板34的至少一个的周边部挠曲的状态。
此外，在光电转换装置200，也可以设置用于将在光电转换单元32中产生的电力向外部取出的内部连线（内部连接器）36。此处，光电转换单元32的膜厚是数μm，内部连线36的厚度也是数百μm左右，因此，如果周边部B的宽度是10mm左右，那么，利用正面玻璃板30或者背面玻璃板34的弹性变形，能够使外周四边完全紧贴，在接合区域A中熔融接合。
图3的截面图表示通过内部连线36取出发电电力的结构例。在该结构例中，在背面玻璃板34的规定位置设置开口部C，使作为电流路径的配线38从此处通过。而且，在与开口部C重叠的位置配置端子盒40，将配线38与端子盒40连接。由此，用端子盒40覆盖开口部C，能够不会破坏密封效果地将发电电力向外部取出。此外，也可以用丁基树脂等填充端子盒40内，进一步确保密封。另外，开口部C也可以设置于正面玻璃板30一侧。
另外，图4的平面图以及图5的截面图表示用于取出发电电力的其他的结构例。图5表示沿着图4的线b-b的截面。在该例中，在正面玻璃板30以及背面玻璃板34的外周的一部分不设置接合区域A而是形成开口部D。使作为电流路径的配线38通过开口部D，仅将该部分用端面密封部件42密封。被端面密封部件42密封的部分容易成为水分等从外部环境侵入的路径，但是，通过缩短该区域，与现有结构相比，能够提高光电转换装置200的可靠性。
＜熔融接合方法＞
图6表示将光电转换装置200中的正面玻璃板30与背面玻璃板34在接合区域A熔融接合的方法。
如图2所示，使正面玻璃板30和背面玻璃板34的至少一个的周边部挠曲，形成使正面玻璃板30与背面玻璃板34的周边部B紧贴的状态。从激光装置50向紧贴的周边部B的接触面聚焦照射激光束52，沿着正面玻璃板30与背面玻璃板34的外周四边扫描。
激光束52优选采用毫微微秒（femto second：飞秒）激光束。即，激光束52优选具有1纳秒以下的脉冲宽度。另外，激光束52优选采用在正面玻璃板30和背面玻璃板34的至少一个发生吸收的波长。例如，激光束52优选波长是800nm。而且，激光束52优选以足以使正面玻璃板30与背面玻璃板34熔融的能量密度以及扫描速度照射。例如，激光束52优选以每个脉冲10微焦耳（μJ）的脉冲能量照射。另外，激光束52优选以60mm/分的扫描速度进行扫描。另外，激光束52也可以从正面玻璃板30一侧和背面玻璃板34一侧的任意一侧进行照射。
此外，在光电转换单元32和内部连线36的厚度大，正面玻璃板30与背面玻璃板34的周边部的间隙大的情况下，如图7的截面图所示，也可以在间隙中填充填充材料54，使填充材料54熔融，将正面玻璃板30与背面玻璃板34熔融接合。
作为填充材料54，优选应用包含Si、SiO、SiO2、SiOx等能够熔融接合正面玻璃板30与背面玻璃板34的元素的材料。
另外，也能够从正面玻璃板30一侧和背面玻璃板34一侧的任意一侧照射激光束52，因此，在如结晶类硅太阳能电池那样，光电转换单元32（包含硅基板）本身厚等情况下，如图8所示，也可以采用使填充材料54的表面与正面玻璃板30熔融接合，使填充材料54的背面与背面玻璃板34熔融接合的结构。
在这种情况下，为了使光电转换单元32的凹凸变得平坦，也可以一并使用现有的密封材料56。另外，为了进一步提高密封效果，也可以一并使用现有的端面密封58和框60。
另外，接合区域A没有必要为一条线，如图9的平面图以及图10的截面图所示，也可以设置多个接合区域A。如图9以及图10所示，平行地设置多个接合区域A，由此，能够进一步提高正面玻璃板30与背面玻璃板34的接合强度和气密性。而且，如图11所示，也可以成格子状设置接合区域A。由此，能够进一步提高接合强度与气密性。此外，在图11中，为了明确地表示图，用线表示接合区域A。
图15的平面图以及图16的截面图表示用于取出发电电力的其他的结构例。图16表示沿着图15的线d-d的截面。在该结构例中，为了取出在光电转换单元32发电的电力而形成第一集电配线62和第二集电配线64。第一集电配线62是从被并列分割的光电转换单元32进行集电的配线，第二集电配线64是连接第一集电配线62至端子盒66的配线。
在光电转换单元32的背面电极上延伸设置第一集电配线62。第一集电配线62是为了连接在光电转换装置200的端边附近被并列（并排）分割的光电转换层的正电极彼此以及负电极彼此而形成的。因此，第一集电配线62沿着与光电转换层的并列分割方向正交的方向延伸设置。在该结构例中，如图15所示，第一集电配线62在左右的端边沿着上下方向延伸设置。由此，被串联连接的光电转换单元32的正电极彼此以及负电极彼此被并联连接。
接着，为了形成第二集电配线64与背面电极之间的电绝缘而配置绝缘包覆材料（绝缘覆盖材料）68。如15以及图16所示，绝缘包覆材料68从沿着光电转换装置200的左右端边而设置的第一集电配线62附近至中央部的端子盒66的配置位置为止，延伸设置在光电转换单元32的背面电极上。此处，如图15所示，绝缘包覆材料68从左右的第一集电配线62的附近朝着端子盒66沿着左右方向延伸设置。绝缘包覆材料68例如适合采用聚酯（PE）、聚对苯二甲酸乙二（醇）酯（PET）、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）、聚酰亚胺、聚氟乙烯等。另外，绝缘包覆材料68适合使用在背面成密封状涂布有粘接剂的材料。
如15以及图16所示，第二集电配线64从左右的第一集电配线62上沿着绝缘包覆材料68上朝着光电转换装置200的中央部延伸设置。在第二集电配线64与光电转换单元32的背面电极之间夹入绝缘包覆材料68，保持第二集电配线64与背面电极的电绝缘。另一方面，第二集电配线64的一端延伸至第一集电配线62上，与第一集电配线62电气连接。例如，第二集电配线64优选通过超声波焊接等与第一集电配线62电连接。第二集电配线64的另一端与后述的端子盒66内的电极端子连接。
利用背面玻璃板34密封光电转换装置200的背面。此时，通过在背面玻璃板34的端子盒66的安装位置附近设置的孔X引出第二集电配线64的端部。而且，通过锡接等将第二集电配线64的端部与端子盒66内的端子电极电连接，在端子盒66内的空间填充硅酮等绝缘树脂70并封盖。端子盒66优选在第二集电配线64的端部的引出用的孔X的附近，使用硅酮等粘接而被安装。
正面玻璃板30与背面玻璃板34在它们的外周边区域的接合区域A被熔融接合。接合区域A设置于在正面玻璃板30未形成光电转换单元32的周边部B。周边部B（在图1中未形成阴影的区域）例如能够利用激光等除去在正面玻璃板30上暂时先形成的光电转换单元32而设置。为了熔融接合正面玻璃板30与背面玻璃板34，如图16所示，优选形成使正面玻璃板30和背面玻璃板34的至少一个的周边部挠曲的状态。
＜第二实施方式＞
第二实施方式的光电转换装置300如图17的截面图所示，除了正面玻璃板30、光电转换单元32、背面玻璃板34外，还包括密封材料80。在图17中，为了明确表示光电转换装置300的各个构成部分，各个构成部分的厚度按照与实际不同的比例表示。
在光电转换装置300中，在用背面玻璃板34覆盖光电转换单元32之前，在光电转换单元32的背面涂布密封材料80，在烧制后用背面玻璃板34覆盖。
此处，密封材料80适合采用热膨胀率与正面玻璃板30以及背面玻璃板34接近的材料，适合使用氧化硅类的材料。氧化硅类的材料优选主要成分至少包含50%以上的SiO、SiO2、SiOx的材料。密封材料80采用氧化硅类的材料，由此，能够与正面玻璃板30以及背面玻璃板34的热膨胀系数接近，能够抑制因太阳光照射等的加热而引起的正面玻璃板30以及背面玻璃板34与密封材料80之间的热应力的产生。因此，能够防止因热应力引起的正面玻璃板30和背面玻璃板34以及密封材料80的破损。
例如，采用喷涂法或旋涂法等涂布将氧化硅（玻璃）的微颗粒与丙烯等树脂的粘合剂、水或者有机溶剂等溶剂混合而得的硅胶。之后，通过数十℃～数百℃的加热使密封材料80固化，用背面玻璃板34覆盖，将正面玻璃板30与背面玻璃板34接合。
像这样，用氧化硅类的密封材料80埋设于在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间因集电配线和/或绝缘包覆材料等而产生的间隙的至少一部分。由此，能够排除在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间产生的间隙的空气，减少空气的膨胀、收缩的影响，抑制正面玻璃板30和背面玻璃板34的破损。另外，还能够防止水通过正面玻璃板30与背面玻璃板34的间隙侵入。
如图21所示，将混炼氧化硅（玻璃）的粉末与纤维素类树脂而成的玻璃粉作为密封材料80，在背面玻璃板34上涂布，在200℃下临时烧制后，用正面玻璃板30（未形成光电动势装置的模拟试样）覆盖，沿着外周按照扫描速度300mm/s照射波长976nm、输出24W的激光束，进行这样的实验。
在按照以上的条件进行密封处理的情况下，用光学显微镜进行了确认，正面玻璃板30与背面玻璃板34隔着密封材料80被完全熔融接合。
另外，在按照上述方法密封之前，将一旦吸收水分就变色的感应物质（Humidity Indicator）夹在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间，准备按照上述方法熔融接合而得的试样，在初期与高温高湿试验（温度85℃以及相对湿度85%）中放置1000小时后进行观察。试验证明，在高温高湿试验中也没有感应物质的变色，在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间保持高的气密性。
图17是第二实施方式的光电转换装置300的一个例子。在该例中，具有在正面玻璃板30的形成有光电转换单元32的一侧的整个表面涂布有密封材料80的结构。在此情况下，也可以在用背面玻璃板34覆盖后，使光电转换装置300的外周部分的密封材料80的表面与正面玻璃板30熔融接合，使密封材料80的背面与背面玻璃板34熔融接合。
通过采用以上这种结构，能够使正面玻璃板30和背面玻璃板34的任一方均不会大幅弯曲地熔融接合。因此，能够减少施加在正面玻璃板30以及背面玻璃板34上的弯曲应力，抑制正面玻璃板30和背面玻璃板34的破损。
图18是第二实施方式的光电转换装置300的其他例子。在该例中，具有残留正面玻璃板30的形成有光电转换单元32的一侧的外周部分地涂布密封材料80的结构。在此情况下，在用背面玻璃板34覆盖后，在使正面玻璃板30和背面玻璃板34的至少一个的周边部挠曲的状态下，将正面玻璃板30与背面玻璃板34熔融接合。接合区域适合采用正面玻璃板30中未形成光电转换单元32的周边部。
在此情况下，正面玻璃板30与背面玻璃板34被直接熔融接合，因此，能够提高接合力。另外，因正面玻璃板30或者背面玻璃板34的挠曲而相互被挤压，能够提高正面玻璃板30与背面玻璃板34的紧贴性。由此，能够进一步排除正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的空气，提高抑制因空气的膨胀、收缩引起的正面玻璃板30和背面玻璃板34破损的效果。另外，还能进一步减少水通过正面玻璃板34与背面玻璃板34之间的间隙的侵入。
此外，图17以及图18的结构也能够适用于如图5所示的光电转换装置100那样从周边部的开口部D取出配线38的结构。在此情况下，也可以采用如下结构：在开口部D的区域也涂布密封材料80，由此利用密封材料80同时密封开口部D。
图19是第二实施方式的光电转换装置300的其他例子。在该例中，具有以下的结构：残留正面玻璃板30的形成有光电转换单元32一侧的外周部分地涂布密封材料80，在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间填充填充材料54，使填充材料54熔融，将正面玻璃板30与背面玻璃板34熔融接合。
在上述的结构中，与图17的例子同样地能够缩小施加在正面玻璃板30以及背面玻璃板34上的弯曲应力，抑制正面玻璃板30和背面玻璃板34的破损。一并使用（并用）填充材料54与密封材料80的结构也能够适用于图8所示的结晶类硅太阳能电池那样厚的光电转换单元32的模块中。
另外，在图18以及图19的例子中，也适合在使密封材料80完全固化之前进行用背面玻璃板34覆盖的处理。在密封材料80的流动性高的状态下进行密封，由此，能够进一步提高周边部的正面玻璃板30与背面玻璃板34的间隙以及由填充材料54与密封材料80形成的间隙中的密封材料80的填充率。
此外，对于光电转换装置300的周边部以外的区域，即使在使密封材料80完全固化后，仅在周边部新涂布密封剂80，在使密封剂80未完全固化的状态下，进行用背面玻璃板34覆盖的处理，也能获得相同的效果。
＜第三实施方式＞
第三实施方式的光电转换装置400虽然具有与第一实施方式的光电转换装置100相同的结构，但是排出正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的间隙的空气，相对于大气压处于减压状态。
图20表示光电转换装置400用的层压装置（层叠装置）500。层压装置500包括腔室90、加热器92和隔膜94。层压装置500具有腔室90的上部区域Y与下部区域X被伸缩性的隔膜94分隔的结构。另外，在腔90的下部区域X设置用于载置光电转换装置400并进行加热的加热器92。
当层压光电转换装置400时，如图20所示，将正面玻璃板30与背面玻璃板34在接合区域A熔融接合后，在内部连线36的配线38的开口部C配置有密封部件82的此状态下设置于加热器92上。密封部件82例如适合采用丁基树脂。此时，向腔90的下部区域X供给空气等，对上部区域Y真空排气，由此，在将隔膜94向上方抬起的状态下，在加热器92上设置光电转换装置400。然后，用加热器92加热光电转换装置400，并且如图21所示，对层压装置500的下部区域X真空排气，向上部区域Y供给空气等，由此，利用隔膜94将密封部件82向开口部C按压。由此，因加热而软化的密封部件82被向开口部C按压，密封部件82与开口部C的形状相一致地发生变形，开口部C被密封。
此时，滞留在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的间隙的空气同时从开口部C被排出，在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的间隙的压力被减压至比大气压低的状态下被密封。
这样，能够形成将在正面玻璃板30与背面玻璃板34之间因集电配线和绝缘包覆材料等而产生的间隙的空气排出的状态。由此，能够减少正面玻璃板30与背面玻璃板34的间隙中的空气的膨胀、收缩的影响，抑制正面玻璃板30和背面玻璃板34的破损。另外，还能够防止水从正面玻璃板30与背面玻璃板34的间隙侵入。
此外，在将正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的空气排出的状态下进行密封的结构，也同样能够适用于图4所示的从光电转换装置的周边部引出配线38的结构和图15所示的从光电转换装置的中央部引出配线38的结构。
另外，在第三实施方式中，从用于将配线38向外部引出的开口部C排出正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的空气，在已被排气的状态下密封开口部C，但是并非限定于此。也可以采用以下结构：在光电转换装置设置用于引出配线38的开口部以外的开口部，从此处排出正面玻璃板30与背面玻璃板34之间的空气，利用密封部件82进行密封。
附图标记说明
10玻璃板    12密封材料（密封部件）
14背面片材    16端面密封
18模块框部件  20玻璃板22端面密封30正面玻璃板
32光电转换单元34背面玻璃板36内部连线
38配线40端子盒42端面密封部件50激光装置
52激光束54填充材料56密封材料58端面密封
60框62第一集电配线64第二集电配线66端子盒
68绝缘包覆材料70绝缘树脂80密封材料
82密封部件90腔室92加热器94隔膜
100光电转换面板200、300、400光电转换装置
500层压装置

Claims (9)

1.一种光电转换装置，其特征在于，包括：
正面玻璃板；
形成于所述正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；和
按照覆盖所述光电转换单元的方式配置的背面玻璃板，
所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合。
2.如权利要求1所述的光电转换装置，其特征在于：
在所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的间隙中填充有包含Si、SiO、SiO2和SiOx的至少一种的填充材料，隔着所述填充材料，所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合。
3.如权利要求1或2所述的光电转换装置，其特征在于：
配置有：通过在所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边未被熔融接合的部分，与所述光电转换单元相连的配线。
4.如权利要求1或2所述的光电转换装置，其特征在于：
所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边，遍及整周地被熔融接合，
在所述正面玻璃板和所述背面玻璃板的至少一个设置有开口部，配置有通过所述开口部与所述光电转换单元相连的配线。
5.一种光电转换装置的制造方法，其特征在于，包括：
将根据光的入射产生电力的光电转换单元形成于正面玻璃板上的第一工序；和
按照覆盖所述光电转换单元的方式配置背面玻璃板，通过照射脉冲宽度为1纳秒以下的激光，将所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分熔融接合的第二工序。
6.如权利要求5所述的光电转换装置的制造方法，其特征在于：
将所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分直接熔融接合。
7.一种光电转换装置，其特征在于，包括：
正面玻璃板；
形成于所述正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；
按照覆盖所述光电转换单元的方式配置的背面玻璃板；和
埋设于在所述正面玻璃板与所述背面玻璃板之间产生的间隙的至少一部分的包含氧化硅类材料的密封材料，
所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合。
8.如权利要求7所述的光电转换装置，其特征在于：
所述正面玻璃板与所述背面玻璃板隔着所述密封材料被熔融接合。
9.一种光电转换装置，其特征在于，包括：
正面玻璃板；
形成于所述正面玻璃板上，根据光的入射产生电力的光电转换单元；和
按照覆盖所述光电转换单元的方式配置的背面玻璃板，
所述正面玻璃板与所述背面玻璃板的周边的至少一部分被熔融接合，所述正面玻璃板与所述背面玻璃板之间的压力被减压为低于大气压。
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