CN102762869B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

一种真空泵，其包括：转子轴（33），其以能够转动的方式被轴承支撑，并且由电机（36）驱动从而能够以高速转动；转子（30），其被连接于转子轴（33）的轴向上的一个端部，并且设置有抽真空功能部。连接转子轴（33）和转子（30）的接合部包括：接合孔（330），其形成于转子轴（33）和转子（30）中的一方；以及接合轴（300），其形成于转子轴（33）和转子（30）中的另一方。填充构件（40）设置在接合孔（330）和接合轴（300）之间的间隙中，填充构件（40）的剪切强度比转子（30）的剪切强度和转子轴（33）的剪切强度低。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种设置有能够以高速转动的转子的真空泵。

背景技术

迄今为止，在涡轮分子泵中，转子传统地具有如下转动体的构造：该转动体包括被轴承（磁轴承或机械轴承）支撑的转子轴和设有叶片的转子；转子和转子轴用螺栓连接，以使它们彼此成一体。伴随连接结构，采用如下装配结构：或者将设置在转子轴侧的接合轴插入到设置在转子侧的接合孔中，或者将设置在转子侧的接合轴插入到设置在转子轴侧的接合孔中。通常，涡轮分子泵中的装配结构采用“过盈配合”，在该涡轮分子泵中，转子和转子轴以高速转动，因而该涡轮分子泵要求严格的平衡（见专利文献1第40段）。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]日本特开2007-239464号公报

发明内容

发明要解决的问题

在泵的操作过程中，“过盈配合”使得装配部很少松动。然而，在连接时需要加热接合孔侧并且冷却接合轴侧。因此，装配操作需要花费相当多的时间。

涡轮分子泵经受转子叶片和转子主体的镀层剥离或劣化，使得必须以预定频率修理或更换转子。然而，在“过盈配合”的情况下，为了拆卸已经被连接的组件，必须利用压力将装配部冲开（punchoff）。因此，将接合轴从接合孔取出是费力的，因而要花费大量时间用于修理/更换操作。

用于解决问题的方案

根据本发明的第1方面，转子轴，其以能够转动的方式被轴承支撑并且由电机驱动从而能够以高速转动；转子，其被连接于所述转子轴的轴向上的一个端部并且设置有抽真空功能部；接合部，其被设置在所述转子轴和所述转子的连接部，所述接合部包括：接合孔，其形成于所述转子轴和所述转子中的一方；接合轴，其形成于所述转子轴和所述转子中的另一方，所述接合轴能够插入到所述接合孔；以及填充构件，其设置在所述转子和所述转子轴之间的间隙中，所述填充构件的剪切强度比所述转子的剪切强度和所述转子轴的剪切强度都低。

根据本发明的第2方面，在根据第1方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件包括粘合剂，所述粘合剂使所述接合孔的内周面和所述接合轴的外周面接合。

根据本发明的第3方面，在根据第2方面的真空泵中，优选的是，用于保持粘合剂的槽形成于所述接合孔和所述接合轴中的至少一方，所述槽以凹入的方式形成于所述接合孔的内周面或所述接合轴的外周面。

根据本发明的第4方面，在根据第3方面的真空泵中，优选的是，所述转子轴设置有所述接合轴并且所述转子设置有所述接合孔，以及用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合轴。

根据本发明的第5方面，在根据第3方面的真空泵中，优选的是，所述转子轴设置有所述接合孔，所述转子设置有所述接合轴，用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合孔。

根据本发明的第6方面，在根据第3至5方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

根据本发明的第7方面，在根据第3至6方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，多个用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

根据本发明的第8方面，在根据第3至7方面中的任一方面的真空泵，优选的是，用于保持粘合剂的所述槽设置于所述接合孔的内周面以及所述接合轴的外周面两者。

根据本发明的第9方面，在根据第2至8方面中的任一方面的真空泵，优选的是，用于接收所述粘合剂的逃逸部设置于所述接合轴的根部。

根据本发明的第10方面，在根据第1方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件包括环状薄板。

根据本发明的第11方面，在根据第1至10方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件的剪切强度为所述转子的剪切强度的1/5以下。

本发明的有益效果

根据本发明，将转子轴装配于转子变得容易，使得可以高效地完成真空泵的装配。此外，在设置有转子叶片的转子以高速转动的真空泵中，可以防止接合轴和接合孔之间的接合由于高速转动而松动，同时改善将转子轴从转子拆卸的可操作性。

附图说明

[图1]涡轮分子泵的泵体1的截面图，其示出根据本发明的实施方式1。

[图2]图1示出的装配结构的部分II的放大图。

[图3]图1示出的转子和转子轴的拆卸操作的说明。

[图4]根据本发明的实施方式2的装配结构的部分放大图。

[图5]用于说明当环状薄板被用作填充构件时的装配方法的图。

[图6]根据本发明的实施方式3的装配结构的部分放大图。

[图7]根据本发明的实施方式4的装配结构的部分放大图。

[图8]根据本发明的实施方式5的装配结构的部分放大图。

[图9]根据本发明的实施方式6的装配结构的部分放大图。

[图10]根据本发明的实施方式7的装配结构的部分放大图。

[图11]根据本发明的实施方式8的装配结构的部分放大图。

[图12]根据本发明的实施方式9的装配结构的部分放大图。

[图13]根据本发明的实施方式10的装配结构的部分放大图。

[图14]（a）至（d）分别提供示出本发明的接合孔的变形例的图。

具体实施方式

（实施方式1）

下面，参照附图说明用于实施本发明的实施方式1。图1示出对根据本发明的真空泵进行说明的图，其以截面图示出构成涡轮分子泵的泵主体1。涡轮分子泵包括涡轮分子泵主体1和控制单元（未示出）。

图1示出的涡轮分子泵是磁悬浮涡轮分子泵，在该磁悬浮式涡轮分子泵中，在转子30被连接于转子轴33的情况下，转子轴33由径向上的磁轴承37和推力方向上的磁轴承38非接触地支撑。转子轴33悬浮的位置通过径向位移传感器27和轴向位移传感器28来检测。在磁悬浮过程中由磁轴承可转动地支撑的转子轴33被电机36驱动而以高速转动。

转子盘35穿过机械轴承29而安装于转子轴33的下侧。另一方面，机械轴承26设置在转子轴33的上侧。机械轴承26、29是用于紧急情况的机械轴承。当磁轴承不工作时，转子轴33由机械轴承26、29来支撑。

转子30和转子轴33通过螺栓34而彼此连接。以标记II表示的部分是转子30和转子轴33的装配部。该装配结构防止转子30由于高速转动时的离心力而相对于转子轴33沿径向移位。

转子30设置有多级转子叶片32和圆筒状螺纹转子31。另一方面，在固定侧设置有：多级定子叶片22，其沿轴向与转子叶片32交替地配置；和螺纹定子24，其设置在螺纹转子31的外周侧。各定子叶片22通过间隔环23安装于基体20。当泵壳体21固定于基体20时，堆叠的间隔环23保持在基体20和泵壳体21之间，以确定定子叶片22的位置。在根据本实施方式的真空泵（涡轮分子泵）中，转子叶片32和螺纹转子31构成转子侧的抽真空功能部，而定子叶片22和螺纹定子24构成定子侧的抽真空功能部。

基体20设置有出口25，回油泵被连接至该出口25。通过在使转子30磁悬浮的同时由电机36使转子30以高速转动，入口21a侧的气体分子被朝向出口25侧抽出。

图2是图1中示出的部分II的放大截面图。下面，详细地说明将转子轴装配于转子30所利用的装配结构。转子30利用螺栓34而连接于转子轴33的上侧。在转子30的连接面形成朝向转子轴33侧突出的圆筒状接合轴300。另一方面，转子轴33的连接面（上侧）形成以筒的形式开口的接合孔330。转子30的接合轴300被插入到接合孔330中。接合轴300和接合孔330之间的配合被配置成具有间隙（“间隙配合”），使得接合轴300和接合孔330之间存在间隙。也就是，接合孔330的直径被设成比接合轴300的直径稍大，使得孔和轴之间具有从几微米至几十微米的间隙尺寸g。

具有低的剪切强度的间隙填充构件40设置于接合轴300和接合孔330之间的间隙内以填充间隙。间隙填充构件40以均匀的厚度形成在接合轴300的外周部的周围，使得接合轴300的轴心与接合孔330的中心轴线共轴。要注意的是，在图2示出的示例中，接合孔330的深度被设成与间隙填充构件40的在轴向上的尺寸相等。然而，如果间隙填充构件40能够经受住由于离心力引起的压缩力，那么可以将其沿轴向的尺寸设成比接合孔330的深度小。

设置间隙填充构件40是为了能够容易地将已经彼此连接的转子30和转子轴33分离，因此间隙填充构件40由剪切强度比转子30和转子轴33用的材料的剪切强度低的材料制成。通常，转子30可以由铝合金制成，而转子轴33可以由钢制成。考虑到分离的可操作性，优选的是，将间隙填充构件40的剪切强度设成转子30（铝合金）的剪切强度的1/5倍。由于铝合金的剪切强度为150MPa的量级，所以将间隙填充构件40的剪切强度设成30MPa以下。在该水平的剪切强度，可以通过使用诸如皮带轮拔除器（pulleyremover）等简单的夹具容易地进行转子30和转子轴33的拆卸操作（在下文中将详细说明）。

具体地，从可操作性的观点，优选地使用粘合剂作为间隙填充构件40。诸如树脂基粘合剂（环氧树脂、丙烯酸树脂等）、橡胶基粘合剂等不同类型的粘合剂可以用作该粘合剂。任何粘合剂均可以调节成具有30MPa以下的剪切强度。代替粘合剂，由具有低的剪切强度的材料制成的环形构件可以用作间隙填充构件40。在这种情况下，可以将合成树脂构想为具有低的剪切强度的材料。此外，橡胶或软金属可以用作具有低的剪切强度的材料。

当粘合剂用作间隙填充构件40时的制造真空泵的方法，通过使用例如刷等将粘合剂涂布于接合轴300的外周面。然后，接合轴300和转子轴33被放置成在它们的连接面相对并且利用螺栓34连接，使得已经涂布粘合剂的接合轴300被插入到转子轴33的接合孔330中。

为了防止多余的粘合剂在将接合轴300插入到接合孔330中时从间隙流失到连接面，推荐的是在接合轴300的根部附近的区域不将粘合剂涂布于接合轴300。作为可替代的方法，如图2所示，可以在接合轴300的底部形成逃逸部301，使得流失的粘合剂可以被引导至逃逸部301。

如果将逃逸部301设置于接合轴300的根部并且此外在接合轴300的根部附近设置不涂布粘合剂的区域，将更有效。

由于转子叶片32和转子30经受镀层剥离和劣化，因此必须以预定频率修理或更换转子30。尽管修理/更换的频率会取决于真空泵使用时的条件而变化，但是应当相当频繁地、例如以从几个月一次至半年一次的量级进行修理/更换。

图3是示出将转子轴33从转子30分离的过程的截面图。

如图3所示，图1示出的涡轮分子泵被上下反转放置，通过使用皮带轮拔除器50将转子轴33从转子30移除。支撑构件53悬挂于转子30的螺纹转子31的端部，皮带轮拔除器50的钩爪52与安装到转子轴33的转子盘35的外周部接合。皮带轮拔除器50的钩爪52均具有螺纹部（未示出），该螺纹部螺纹安装于螺杆部51，螺杆部51的端部与支撑构件53的中间部的上表面抵接。当螺杆部51转动时，端部与支撑构件53抵接的该螺杆部51在图中从皮带轮拔除器50的主体向下旋出，使得钩爪52向上移动。因此，被设置为间隙填充构件40的粘合剂的一部分发生剪切断裂，使得转子轴33被向上拉出。

如上所示，根据实施方式1，通过“间隙配合”来装配转子30和转子轴33，并且利用间隙填充构件40来装配转子30和转子轴33。因此，与传统的“过盈配合”不同，装配时不需要加热接合孔同时冷却接合轴，因此可以非常高效地进行装配。由于剪切强度比转子30和转子轴33的剪切强度低的间隙填充构件40设置于接合孔330和接合轴300之间的间隙，因此间隙填充构件40容易发生剪切断裂，使得在拆卸时不难将接合轴300从接合孔330拉出。

在通过金属的“过盈配合”形成的传统的装配结构中，即使拆卸成功，转子30或转子轴33也会被损坏并且配合面的修理操作是麻烦的。另一方面，根据本发明的实施方式1，仅填在接合轴300和接合孔330之间的间隙的间隙填充构件40被损坏，并且可以防止对接合轴300和接合孔330的配合面的损坏。

以这种形式，根据本发明的实施方式1的涡轮分子泵，转子30和转子轴33彼此的装配变得容易，从而可以高效地进行真空泵的组装。此外，根据本发明，可以得到如下有益效果：在设置有转子叶片32的转子30以高速转动的真空泵中，可以提高转子和转子轴的拆卸的可操作性，同时防止接合轴300和接合孔330之间的接合由于高速转动引起的松动。

（实施方式2）

图4示出根据本发明的实施方式2，并且与图2类似地提供示出转子30和转子轴33的装配结构的放大图。

在图4示出的实施方式2中，接合孔302形成在转子30的上侧，贯通转子30的上部30a地延伸。在转子轴33侧形成接合轴331，其被插入到转子30的接合孔302中。接合轴331穿过转子30的接合孔302延伸至上部30a的上侧。

在这种情况下，也采用“间隙配合”作为转子30和转子轴33之间的配合。接合孔302和接合轴331之间的间隙尺寸g被设成与图2中的间隙尺寸g相同。类似地，逃逸部332形成于接合轴331的根部。

间隙填充构件40以均匀的厚度形成在接合轴331的外周部的周围，使得接合轴331的轴心与接合孔302的中心轴线共轴。

此外，在实施方式2中，除粘合剂之外，合成树脂、橡胶、软金属等也可以用作间隙填充构件40。

图5示出当从合成树脂、橡胶、软金属中选择的材料制成的环形薄板被用作间隙填充构件40时，如何装配真空泵。

当环形薄板41用作间隙填充构件时，通过图5示出的方法来装配转子轴33。当使用环形薄板41时，难以像使用粘合剂的情况那样将接合孔302和接合轴331之间的间隙设成几微米至几十微米，该间隙被设成具有使得可以形成环形薄板41的量级的间隙尺寸。例如，间隙尺寸被设成大约2mm。凸缘303形成于要装配环形薄板41的接合孔302，其中，环形薄板41的端部抵靠该凸缘303。

环形薄板41被形成为具有比接合孔302的内径稍大的外径。像压力装配那样将环形薄板41插入到接合孔302中，直到环形薄板41抵靠凸缘303。环形薄板41的内径d2被设成比接合轴331的外径d1稍小。因此，在将接合轴331插入到环形薄板41中时，接合轴331以通过接合轴331刮削环形薄板41的内周部的方式被插入。如上所述，通过将环形薄板41压力装配到接合孔302以及通过以使得环形薄板41的内周部被刮削的方式将接合轴331插入到接合孔302中，来将环形薄板41固定于接合孔302以及接合轴331。因此，在接合孔302、环形薄板41及接合轴331的任意两者之间未形成间隙。如果在接合孔302、环形薄板41及接合轴331的任意两者之间形成间隙，则转子30和转子轴33之间会由于高速转动而产生沿径向的错位，这导致由于不平衡而产生振动的麻烦。

此外，在根据实施方式2的涡轮分子泵的情况下，以与图3示出的实施方式1的方式相同的方式进行泵的拆卸。可以将相同的拆卸泵的方法应用于图5示出的环形薄板41用作间隙填充构件40的情况。此外，在根据实施方式2的涡轮分子泵的情况下，可以得到与根据实施方式1的效果相同的效果。

（实施方式3）

在实施方式1和2中，沿轴向平坦地形成接合轴300、331的外周面和接合孔330、302的内周面。然而，用于保持粘合剂的槽可以形成于粘合面。

作为实施方式3的图6示出的转子30和转子轴33之间的装配结构示出如上所述的该结构的示例。

作为实施方式3的图6示出的转子30和转子轴33之间的装配结构与作为实施方式1的图2示出的结构的不同点在于，用于保持粘合剂的槽311形成于转子30的接合轴300。

用于保持粘合剂的槽311具有矩形截面，并且沿着周向环状地设置于转子30的接合轴300的外周面。由粘合剂构成的间隙填充构件40被注入转子30的接合轴300的外周面和转子轴33的接合孔330之间的间隙中，并且被注入用于保持粘合剂的槽311中。

当组装实施方式3示出的转子30和转子轴33时，首先将粘合剂涂布于转子30的接合轴300的外周面。这时，在图2示出的实施方式1的情况下，粘合剂可能从上部朝向下部向下流动，或者粘合接可能不以均匀的厚度被涂布。特别地，当在粘合剂没有停止流动的状态下匆忙地进行操作时，会提高这种可能性。

相反，在图6示出的实施方式3的情况下，被涂布的粘合剂填充在形成于接合轴300的槽311中。由于槽311具有边缘，因此粘合剂因为表面张力而被保持于槽311中以及接合轴300的外周面。

因此，根据本发明的实施方式3，具有与实施方式1的有益效果相同的有益效果，此外抑制了粘合剂从轴流失。由于这使得容易处理粘合剂，因此进一步改善了可操作性。优选的是，环状槽311沿着接合轴300的整周以相同的深度和相同的形状延伸。要注意的是，图6中的构造的其他部分与实施方式1中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式4）

图7示出本发明的实施方式4。

图7示出的转子30和转子轴33之间的装配结构在用于保持粘合剂的槽312的形状上与作为实施方式3的图6示出的结构有所不同。

在图6示出的实施方式3中，用于保持粘合剂的槽311为矩形截面。另一方面，在图7中，用于保持粘合剂的槽312具有V形截面。优选的是，像环状槽311一样，环状槽312沿着接合轴300的整周以相同的深度和相同的形状延伸。

图7中的构造的其他部分与实施方式3中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式5）

图8示出本发明的实施方式5。

在图8示出的转子30和转子轴33之间的装配结构与作为实施方式3的图6示出的结构的不同之处在于，形成多个用于保持粘合剂的槽311。

在图6示出的实施方式3中，转子30的接合轴300的外周面仅形成一个用于保持粘合剂的槽311。在图8中，转子30的接合轴300的外周面形成两个用于保持粘合剂的环状槽311。也可以形成三个或更多个环状槽311。环状槽311的截面可以是如图7所示的V形。此外，环状槽311的截面也可以是U形。

图8中的构造的其他部分与实施方式3中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式6）

作为实施方式6的图9示出的转子30和转子轴33之间的装配结构与作为实施方式2的图4示出的结构的不同之处在于，用于保持粘合剂的槽341形成在转子30的接合孔302的内周面。即，不同之处在于，在实施方式6中，用于保持粘合剂的槽341形成于转子30的接合孔302。

具有矩形截面的用于保持粘合剂的槽341在形成于转子30的上侧30a的接合孔302的厚度方向上的中部、在周向上沿着接合孔302的内周面环状地设置。

图9中的构造的其他部分与实施方式2中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式7）

在图6至9示出的实施方式3至6中，用于保持粘合剂的槽311、312、341分别形成于转子30侧。

然而，用于保持粘合剂的槽可以形成于转子轴33侧。

在作为实施方式6的图10示出的转子30和转子轴33的装配结构中，用于保持粘合剂的槽342形成于转子轴33的接合孔330。也就是，实施方式7与图2示出的实施方式2的不同之处在于，用于保持粘合剂的保持槽342形成于转子轴33的接合孔330。

具有V形截面的用于保持粘合剂的槽342在接合孔330的厚度方向上的中部、在周向上沿着转子轴33的接合孔330的内周面环状地设置。

图10中的构造的其他部分与实施方式4中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式8）

图11示出的实施方式7与图4示出的实施方式2的不同之处在于，用于保持粘合剂的槽343形成于转子轴33的接合轴331。

两个用于保持粘合剂的槽343环状地形成在转子轴33的接合轴331的外周面。可以形成一个或两个以上的用于保持粘合剂的环状槽343。截面形状可以是如图7所示的V形。

图11中的构造的其他部分与实施方式2中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式9）

在图6至11示出的实施方式3至8中，用于保持粘合剂的槽形成在转子30侧或者形成在转子轴33侧。

然而，用于保持粘合剂的槽可以形成于转子30和转子轴33两者。在图12示出的实施方式9中，两个用于保持粘合剂的槽344形成在转子30的接合轴300的外周面。此外，一个用于保持粘合剂的槽342形成在转子轴33的接合孔330的内周面。

用于保持粘合剂的槽344和槽342均具有V形截面。此外，用于保持粘合剂的槽344和槽342被定位于不同的高度位置（verticalposition）。

槽342、344的截面形状可以是矩形。此外，槽342、344可以具有彼此不同的截面。槽342、344可以各形成为一个，或可以形成多个槽342与多个槽344。

图12示出的实施方式9与图10示出的实施方式7的不同之处在于，在转子30的接合轴300设置用于保持粘合剂的槽344。图12中的构造的其他部分与图10示出的实施方式7中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（实施方式10）

在图13示出的实施方式10中，一个用于保持粘合剂的槽343形成在转子轴33的接合轴331的外周面。另一方面，两个用于保持粘合剂的槽341形成在转子30的接合孔302的内周面。

用于保持粘合剂的槽343和槽341均具有矩形截面。此外，用于保持粘合剂的槽343和槽341被定位于不同的高度位置。槽341、343的截面形状可以是V形。槽341、343可以具有彼此不同的截面。槽341、343可以各形成为一个，或可以形成多个槽341与多个槽343。

图13示出的实施方式10与图9示出的实施方式6的不同之处在于，在转子33的接合轴331设置用于保持粘合剂的槽343。图13中的构造的其他部分与图9示出的实施方式6中的相同；对相应的构件分配相同的附图标记并且省略了对该构件的说明。

（其他变形例）

已经参照具有矩形或V形截面的那些示例说明了用于保持粘合剂的槽的形状。然而，本发明不限定于此，槽可以采用不同形状。

图14的（a）至（d）示出与保持粘合剂的槽的形状有关的变形例。

在图14的（a）中，槽S具有半圆形或半椭圆形截面。在图14的（b）中，槽S具有截头棱锥形的截面。在图14的（c）中，槽S的截面具有底部平坦并且从顶部到底部倾斜的形状。在图14的（d）中，槽S具有螺旋状截面。

如上所述，根据实施方式1至10，通过在转子30和转子轴33之间的间隙设置间隙填充构件40来实现转子30和转子轴33的装配。因此，与传统的“过盈配合”不同，在装配时不需要加热接合孔和冷却接合轴，因而便于非常高效的装配操作。

间隙填充构件40的剪切强度比转子30和转子轴33剪切强度低并且容易破裂，使得真空泵的拆卸非常容易，从而可以高效地进行转子30的修理/更换。

此外，在这种情况下，与传统的“过盈配合”不同，在拆卸真空泵时不会损坏转子30和转子轴33。这使得在拆卸后更容易重新装配真空泵。

当粘合剂被用作间隙填充构件40时，可以在转子30或转子轴33的至少一方形成用于保持粘合剂的槽。通过这样做，可以防止粘合剂在被涂布于接合面时流失，使得可以高效地进行粘合剂的涂布。

可以单独地使用或以任意的组合来使用上述实施方式。通过这样做，可以单独地或以协同的形式显示出实施方式的有益效果。只要不损害本发明的特征，本发明并不限于上述实施方式。

例如，上述涡轮分子泵为磁轴承类型。然而，可以将本发明应用于除磁轴承以外的类型的涡轮分子泵。此外，不仅可以将本发明应用于涡轮分子泵，也可以将本发明应用于诸如其中螺纹槽转子以高速转动的牵引泵等真空泵。

此外，在本发明的范围内，可以以各种方式对本发明进行变型。简而言之，只要真空泵包括：转子轴，其以能够转动的方式被轴承支撑，并且通过电机而能够以高速转动；转子，其设有抽真空功能部，并且被连接于所述转子轴的轴向上的一个端部；接合部，其设置在所述转子轴和所述转子的连接部，所述接合部包括形成于所述转子轴和所述转子中的一方的接合孔以及形成于所述转子轴和所述转子中的另一方的接合轴，所述接合轴能够插入到所述接合孔中；以及填充构件，所述填充构件的剪切强度比所述转子的剪切强度和所述转子轴的剪切强度低，并且所述填充构件设置在所述转子和所述转子轴之间的间隙中，就可以将本发明应用于该真空泵。

通过引用而将下述优先权申请的公开引用于此：日本专利申请NO.2010–31233。

Claims (11)

1.一种真空泵，其包括：

转子轴，其以能够转动的方式被轴承支撑并且由电机驱动从而能够以高速转动；

转子，其被连接于所述转子轴的轴向上的一个端部并且设置有抽真空功能部；

接合部，其被设置在所述转子轴和所述转子相连接的连接部，所述接合部包括：接合孔，其形成于所述转子轴和所述转子中的一方；接合轴，其形成于所述转子轴和所述转子中的另一方，所述接合轴能够插入到所述接合孔；所述接合孔和所述接合轴之间在所述接合轴径向上形成有间隙；以及

填充构件，其设置在所述接合轴和所述接合孔之间的所述间隙中，所述填充构件的剪切强度比所述转子的剪切强度和所述转子轴的剪切强度都低，

该真空泵构成为通过破坏所述填充构件，从而使所述转子和所述转子轴能够分离。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述填充构件包括粘合剂，所述粘合剂使所述接合孔的内周面和所述接合轴的外周面接合。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

用于保持粘合剂的槽形成于所述接合孔和所述接合轴中的至少一方，所述槽以凹入的方式形成于所述接合孔的内周面或所述接合轴的外周面。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

所述转子轴设置有所述接合轴并且所述转子设置有所述接合孔，以及

用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合轴。

5.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

所述转子轴设置有所述接合孔，所述转子设置有所述接合轴，用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合孔。

6.根据权利要求3至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

7.根据权利要求3至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

多个用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

8.根据权利要求3至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

用于保持粘合剂的所述槽设置于所述接合孔的内周面以及所述接合轴的外周面两者。

9.根据权利要求2至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

用于接收所述粘合剂的逃逸部设置于所述接合轴的根部。

10.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述填充构件包括环状薄板。

11.根据权利要求1至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述填充构件的剪切强度为所述转子的剪切强度的1/5以下。