CN102713737B - 液晶显示装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够削减工时和部件费的液晶显示装置及该液晶显示装置的制造方法。本发明的液晶显示装置(100)包括液晶显示面板(105)和触摸面板(106)，液晶显示面板(105)和触摸面板(106)中的任一个面板被作为液晶显示面板(105)与触摸面板(106)之间的位置对准的基准，另一个面板已与上述一个面板进行了位置对准，该液晶显示装置在另一个面板配置有已与配置在一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记，第二对准标记包括透明部件。

Description

液晶显示装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及具备触摸功能的液晶显示装置及该液晶显示装置的制造方法。
背景技术
近年来，提供有对液晶显示面板赋予作为信息显示功能以外的功能的触摸功能、实现了提高对于利用者的便利性的高功能的液晶显示装置(例如，参照专利文献1)。
具体而言，作为这样的液晶显示装置，提供有包括作为显示包括字符串和图像的信息的显示部的液晶显示面板和被安装在该液晶显示面板的显示面一侧或其相反一侧的触摸面板的液晶显示装置。
而且，在这样的液晶显示装置中，通过除了利用液晶显示面板的信息显示功能以外还设置利用触摸面板的操作输入功能，能够对利用者提供与来自利用者的指示输入相应的信息显示等各种各样的服务。
也就是说，液晶显示装置构成为：在液晶显示面板的显示面显示操作输入画面，并且触摸面板检测利用者对操作输入画面的操作输入。而且，液晶显示装置构成为：根据触摸面板的检测结果，将上述显示面从操作输入画面变更为显示了利用者所期望的信息的显示画面，由此能够显示利用者所期望的信息。
但是，静电电容方式的触摸面板(多触摸)被内嵌(In cell)于液晶显示面板的、具有高附加价值的液晶显示装置，其生产的可能性非常高，进一步，与历来的具备触摸面板功能的液晶显示装置相比较，被期待能够大幅削减其工时、大幅降低其部件费的效果。以下对这样的液晶显示装置进行说明。
图11是上述的液晶显示装置的概略结构图。如图11所示，该液晶显示装置500包括液晶显示面板505和触摸面板506。而且，液晶显示面板505包括TFT基板501、彩色滤光片基板502和玻璃基板503。此外，触摸面板506包括玻璃基板503和保护膜504。
如图11所示，在液晶显示装置500中，依次形成有液晶显示面板505和触摸面板506，如上所述，触摸面板506被内嵌于液晶显示面板505。
而且，在配置在玻璃基板503的背面侧的彩色滤光片基板502上的已有图案与配置在玻璃基板503的正面侧的保护膜504下的设计图案之间，需要用于在这些图案间设定最佳的相对位置关系的对准。以下对该对准进行说明。
图12是用于说明玻璃基板503的背面侧与正面侧之间的对准的图。如图12所示，在彩色滤光片基板502上形成有对准标记51。该对准标记51的平面形状为十字形(参照图12的I)。
而且，玻璃基板503上的设计图案以对准标记51为基准进行其位置对准。
在玻璃基板503上形成有相对于对准标记51为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记52。该对准标记52的平面形状也为十字形(参照图12的J)。
这样的对准标记51和对准标记52例如能够如以下那样形成。图13是用于说明对准标记51和对准标记52的形成顺序的图。
首先，如图13(a)所示，在玻璃基板503上沉积金属膜52b。该金属膜52b在玻璃基板503的整个面沉积。
接着，如图13(b)所示，在金属膜52b上形成抗蚀剂图案53。该抗蚀剂图案53是用于除去沉积于在彩色滤光片基板502上形成有多个对准标记51的对准区域的上方的金属膜52b的图案。另外，抗蚀剂图案53的设计图案不进行以对准标记51为基准的位置对准。
接着，如图13(c)所示，依照抗蚀剂图案53除去金属膜52b，即，除去彩色滤光片基板502上的对准区域的上方的金属膜52b。在这样除去金属膜52b后，除去抗蚀剂图案53。
接着，如图13(d)所示，在留下的金属膜52b上形成抗蚀剂图案54。该抗蚀剂图案54是用于形成对准标记52的图案。抗蚀剂图案54的设计图案以对准标记51为基准进行位置对准。
接着，如图13(e)所示，依照抗蚀剂图案54除去金属膜52b，即，在玻璃基板503上形成对准标记52。
接着，如图13(f)所示，除去金属膜52b后，除去抗蚀剂图案54。
最后，如图13(g)所示，在玻璃基板503和对准标记52上沉积保护膜504。
此外，图11和图12所示的对准标记51和对准标记52能够如下所述那样形成。图14是用于说明对准标记51和对准标记52的形成顺序的图。
首先，如图14(a)所示，在玻璃基板503上沉积金属膜52b。沉积该金属膜52b时，在彩色滤光片基板502上的对准区域的上方配置有用于防止在该对准区域的上方沉积金属膜52b的沉积防止掩模55。因此，彩色滤光片基板502上的对准区域的上方进入该沉积防止掩模55的影子(受到该沉积防止掩模55的遮挡)，不沉积金属膜52b。
接着，如图14(b)所示，在沉积金属膜52b后，除去沉积防止掩模55。
接着，如图14(c)所示，在金属52b上形成抗蚀剂图案54。该抗蚀剂图案54是用于形成对准标记52的图案。抗蚀剂图案54的设计图案以对准标记51为基准进行位置对准。
接着，如图14(d)所示，依照抗蚀剂图案54除去金属膜52b，即，在玻璃基板503上形成对准标记52。
接着，如图14(e)所示，在除去金属膜52b后，除去抗蚀剂图案54。
最后，如图14(f)所示，在玻璃基板503和对准标记52上沉积保护膜504。
此外，在上述的液晶显示装置之外还存在以下那样的构成部分。图15是上述的液晶显示装置的其它概略结构图。如图15所示，该液晶显示装置600包括触摸面板605和液晶显示面板606。而且，触摸面板605包括保护膜601和玻璃基板602。此外，液晶显示面板606包括玻璃基板602、彩色滤光片基板603和TFT基板604。
如图15所示，在液晶显示装置600，依次形成有触摸面板605和液晶显示面板606，如上所述，触摸面板605被内嵌(in cell)于液晶显示面板606。
而且，在配置在玻璃基板602的背面侧的保护膜601上的已有图案与配置在玻璃基板602的正面侧的彩色滤光片基板603下的设计图案之间，需要用于在这些图案间设定最佳的相对位置关系的对准。以下对该对准进行说明。
图16是用于说明玻璃基板602的背面侧与正面侧之间的对准的图。如图16所示，在保护膜601上形成有对准标记61。该对准标记61的平面形状为十字形(参照图16的K)。
而且，玻璃基板602上的设计图案以对准标记61为基准进行其位置对准。
在玻璃基板602上形成有相对于对准标记61为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记62。该对准标记62的平面形状也为十字形(参照图16的L)。
这样的对准标记61和对准标记62例如能够如以下那样形成。图17是用于说明对准标记61和对准标记62的形成顺序的图。
首先，如图17(a)所示，在玻璃基板602上沉积金属膜62b。该金属膜62b在玻璃基板602的整个面沉积。
接着，如图17(b)所示，在金属膜62b上形成抗蚀剂图案63。该抗蚀剂图案63是用于除去沉积在保护膜601上形成有多个对准标记61的对准区域的上方的金属膜62b的图案。另外，抗蚀剂图案63的设计图案不进行以对准标记61为基准的位置对准。
接着，如图17(c)所示，依照抗蚀剂图案63除去金属膜62b，即，除去保护膜601上的对准区域的上方的金属膜62b。在像这样除去金属膜62b后，除去抗蚀剂图案63。
接着，如图17(d)所示，在留下的金属膜62b上形成抗蚀剂图案64。该抗蚀剂图案64是用于形成对准标记62的图案。抗蚀剂图案64的设计图案以对准标记61为基准进行位置对准。
接着，如图17(e)所示，依照抗蚀剂图案64除去金属膜62b，即，在玻璃基板602上形成对准标记62。
接着，如图17(f)所示，除去金属膜62b后，除去抗蚀剂图案64。
最后，如图17(g)所示，在玻璃基板602和对准标记62上形成彩色滤光片基板603。
此外，图15和图16所示的对准标记61和对准标记62能够如下所述那样形成。图18是用于说明对准标记61和对准标记62的形成顺序的图。
首先，如图18(a)所示，在玻璃基板602上沉积金属膜62b。沉积该金属膜62b时，在保护膜601上的对准区域的上方配置有用于防止在该对准区域的上方沉积金属膜62b的沉积防止掩模65。因此，保护膜601上的对准区域的上方受到该沉积防止掩模65的遮挡，不沉积金属膜62b。
接着，如图18(b)所示，在沉积金属膜62b后，除去沉积防止掩模65。
接着，如图18(c)所示，在金属膜62b上形成抗蚀剂图案64。该抗蚀剂图案64是用于形成对准标记62的图案。抗蚀剂图案64的设计图案以对准标记61为基准进行位置对准。
接着，如图18(d)所示，依照抗蚀剂图案64除去金属膜62b，即，在玻璃基板602上形成对准标记62。
接着，如图18(e)所示，在除去金属膜62b后，除去抗蚀剂图案64。
最后，如图18(f)所示，在玻璃基板602和对准标记62上形成彩色滤光片基板603。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本公开专利公报“特开2008-9054号公报(2008年1月7日公开)”
发明内容
发明所要解决的问题
但是，在上述那样的液晶显示装置中还存在削减其工时、降低其部件费的余地。
例如，如图12所示，在配置在玻璃基板503的背面侧的彩色滤光片基板502上的已有图案与配置在玻璃基板503的正面侧的保护膜504下的设计图案之间，在这些图案间需要对准。
但是，为了进行该对准，如图13(b)和图13(c)所示，必须除去沉积在彩色滤光片基板502上的对准区域上方的金属膜52b，使得能够检测在玻璃基板503的背面侧形成的对准标记51。
此外，如图14(a)所示，必须另外制作沉积防止掩模55。当然，优选削减其工时和其部件费。
可以说在图16所示的情况下也与此相同。
鉴于上述问题，本发明的目的在于，提供能够削减其工时和其部件费的液晶显示装置及该显示装置的制造方法。
用于解决问题的方案
为了达到上述目的，本发明的液晶显示装置包括触摸面板和液晶显示面板，该触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板被作为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准，另一个面板已与上述一个面板进行了位置对准，在另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记，该第二对准标记包括透明部件。
在上述液晶显示装置中，能够在以与第一对准标记进行位置对准的方式对透明部件进行图案化时，检测隔着透明部件先形成的第一对准标记，以该被检测出的第一对准标记为基准对透明部件进行图案化。
因此，不需要现有技术中需要的、在以先形成的第一对准标记为基准的图案化以前，将构成第二对准标记的部件部分地除去的工序，其结果是，能够实现液晶显示装置的工时和其部件费的削减。
本发明的液晶显示装置的制造方法是在以触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与上述一个面板进行位置对准的结构中，在上述另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，该液晶显示装置的制造方法包括：在构成上述另一个面板的透明基板的整个面配置透明部件的工序；和以与上述第一对准标记进行位置对准的方式对上述透明部件进行图案化的工序，该图案化的结果，残留在上述透明基板上的上述透明部件成为上述第二对准标记。
在上述液晶显示装置的制造方法中，能够在以与第一对准标记进行位置对准的方式对透明部件进行图案化时，检测隔着透明部件先形成的第一对准标记，以该被检测出的第一对准标记为基准对透明部件进行图案化。
因此，不需要在现有技术中需要的、在以先形成的第一对准标记为基准的图案化以前，将构成第二对准标记的部件部分地除去的工序，其结果是，能够实现液晶显示装置的工时和其部件费的削减。
本发明的液晶显示装置的制造方法是在以触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与上述一个面板进行位置对准的结构中，在上述另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，该液晶显示装置的制造方法包括如下工序：以与上述第一对准标记进行位置对准的方式对构成上述另一个面板的透明基板进行图案化，该图案化的结果，在上述透明基板上形成的凸形状部成为上述第二对准标记。
在上述液晶显示装置的制造方法中，能够在以与第一对准标记进行位置对准的方式对透明部件进行图案化时，检测隔着透明基板先形成的第一对准标记，以该被检测出的第一对准标记为基准对透明部件进行图案化。
因此，不需要现有技术中需要的、在以先形成的第一对准标记为基准的图案化以前，将构成第二对准标记的部件部分地除去的工序，其结果是，能够实现液晶显示装置的工时和其部件费的削减。
发明的效果
本发明的液晶显示装置包括触摸面板和液晶显示面板，该触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板被作为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准，另一个面板已与上述一个面板进行了位置对准，在另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记，该第二对准标记包括透明部件。
因此，能够得到能够提供能够削减其工时和其部件费的液晶显示装置及该液晶显示装置的制造方法的效果。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的液晶显示装置的概略结构的截面图。
图2是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧与正面侧之间的对准的图。
图3是表示上述液晶显示装置的制造方法的各工序的图，(a)～(f)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图4是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧和正面侧之间的其它对准的图。
图5是表示上述液晶显示装置的其它制造方法的各工序的图，(a)～(e)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图6是表示本发明的另一个实施方式的液晶显示装置的概略结构的截面图。
图7是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧和正面侧之间的对准的图。
图8是表示上述液晶显示装置的制造方法的各工序的图，(a)～(f)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图9是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧与正面侧之间的其它对准的图。
图10是表示上述液晶显示装置的其它制造方法的各工序的图，(a)～(e)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图11是表示现有的液晶显示装置的概略结构的截面图。
图12是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧与正面侧之间的对准的图。
图13是表示上述液晶显示装置的制造方法的各工序的图，(a)～(g)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图14是表示上述液晶显示装置的其它制造方法的各工序的图，(a)～(f)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图15是表示现有的液晶显示装置的概略结构的截面图。
图16是用于说明上述液晶显示装置的玻璃基板的背面侧与正面侧之间的对准的图。
图17是表示上述液晶显示装置的制造方法的各工序的图，(a)～(g)是表示各工序结束后的状态的截面图。
图18是表示上述液晶显示装置的其它制造方法的各工序的图，(a)～(f)是表示各工序结束后的状态的截面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的附图中的记载中，对相同或相似的部分标注相同或相似的附图标记。不过，附图是示意图，厚度与平面尺寸之间的关系、各层厚度的比例等与现实的部件不同。此外，在图面相互间也包括彼此的尺寸的关系和/或比例不同的部分。
(实施方式1)
图1是表示本发明的实施方式1的液晶显示装置的概略结构的截面图。如图1所示，本实施方式的液晶显示装置100包括液晶显示面板105和触摸面板106。
液晶显示面板105包括TFT基板101、彩色滤光片基板102和玻璃基板103。此外，触摸面板106包括玻璃基板103和保护膜104。
玻璃基板103在其背面侧(一个主面一侧)配置有TFT基板101和彩色滤光片基板102，在其正面侧(另一个主面一侧)配置有保护膜104。
即，玻璃基板103和配置在其背面侧的TFT基板101以及彩色滤光片基板102构成液晶显示面板105。此外，玻璃基板103和配置在其正面侧的保护膜104构成触摸面板106。
而且，在液晶显示装置100，液晶显示面板105和触摸面板106依次形成，触摸面板106被内嵌于液晶显示面板105。
TFT基板101包括呈矩阵状配置有TFT和像素电极的、玻璃等透明的绝缘基板。
彩色滤光片基板102包括玻璃等绝缘基板，该绝缘基板配置有设置在与玻璃基板103相对的一侧的多个黑矩阵(BM)和设置在由黑矩阵划分而得的区域的彩色滤光片。
此外，在TFT基板101与彩色滤光片基板102之间夹入封入有液晶材料的液晶层(省略图示)。
而且，在配置在玻璃基板103的背面侧的彩色滤光片基板102上的已有图案与配置在玻璃基板103的正面侧的保护膜104下的设计图案之间，需要用于在这些图案之间设定最佳的相对位置关系的对准。以下对该对准进行说明。
图2是用于说明玻璃基板103的背面侧与正面侧之间的对准的图。如图2所示，在彩色滤光片基板102上形成有对准标记(第一对准标记)11。该对准标记11的平面形状为十字形状(参照图2的A)。此外，其尺寸为50μm×50μm。
当然，对准标记11的平面形状并不仅限于十字形状。例如其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记11的平面形状及其尺寸只要选择适合于对准标记11的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
进一步，对准标记11例如使用配置在彩色滤光片基板102上的黑矩阵用金属膜即可。由此，不需要另外沉积用于形成对准标记11的金属膜，因此能够更加削减液晶显示装置100的工时和其部件费。
而且，玻璃基板103上的设计图案以对准标记11为基准进行其位置对准。
在玻璃基板103上，形成有相对于对准标记11为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记(第二对准标记)12。该对准标记12的平面形状也为十字形状(参照图2的B)。
当然，对准标记12的平面形状与上述的对准标记11同样不仅限于十字形状。例如，其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记12的平面形状和尺寸只要选择适合于对准标记12的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
进一步，在液晶显示装置100中，对准标记12包括ITO、IZO、ZnO等公知的透明导电膜(透明部件)。而且，在对准标记12上配置有后述的不透明膜(不透明部件)13。
不透明膜13的平面形状只要至少为覆盖整个对准标记12的平面形状那样的形状，就能够为任意的形状。
接着，对对准标记11、对准标记12和不透明膜13的形成顺序进行说明。图3是用于说明对准标记11、对准标记12和不透明膜13的形成顺序的图。
首先，如图3(a)所示，在玻璃基板103上沉积透明导电膜12a。该透明导电膜12a在玻璃基板103的整个面沉积。
透明导电膜12a例如使用构成触摸面板106的触摸电极用透明导电膜即可。该触摸电极用透明导电膜是在玻璃基板103上形成的。由此，不需要另外沉积用于形成对准标记12的透明导电膜，因此能够更加削减液晶显示装置100的工时和其部件费。
接着，如图3(b)所示，在透明导电膜12a上形成抗蚀剂图案14。该抗蚀剂图案14是用于形成对准标记12的图案。抗蚀剂图案14的设计图案以对准标记11为基准进行位置对准。
此处，在现有的液晶显示装置500中，如图13(b)所示，将抗蚀剂图案53形成在金属膜52b上。而且，抗蚀剂图案53是用于除去沉积在彩色滤光片基板502上的对准区域的上方的金属膜52b的图案。
这是因为，在玻璃基板503上的整个面沉积有金属膜52b的状态下，不能检测出彩色滤光片基板502上的对准标记51。
即，在现有的液晶显示装置500中，为了以对准标记51为基准进行玻璃基板503上的设计图案的位置对准，如上所述，需要暂且除去沉积在彩色滤光片基板502上的对准区域的上方的金属膜52b的工序。
这在削减液晶显示装置500的工时、降低其部件费方面是非常大的问题。
与此相对，在液晶显示装置100中，通过由透明导电膜12a构成对准标记12，如图3(b)所示，能够通过在玻璃基板103上的整个面沉积而成的透明导电膜12a来检测对准标记11，以对准标记11为基准进行玻璃基板103上的设计图案的位置对准。
由此，不需要图13(b)所示那样的、为了检测对准标记51而暂且除去金属膜52b的工序，其结果是，能够削减液晶显示装置100的工时、降低其部件费。
接着，如图3(c)所示，依照抗蚀剂图案14除去透明导电膜12a，即，在玻璃基板103上形成对准标记12。
接着，如图3(d)所示，在玻璃基板103和对准标记12上沉积金属膜13a。该金属膜13a在玻璃基板103的整个面沉积。而且，在沉积金属膜13a之后，在金属膜13a上形成抗蚀剂图案15。
金属膜13a是用于使由透明导电膜12a构成的对准标记12不透明的膜。与对准标记11同样，对准标记12的上方的设计图案以对准标记12为基准进行其位置对准。因此，需要使对准标记12形成为不透明，以使对准标记12变得能够检测。
金属膜13a例如使用在玻璃基板103上形成的、构成触摸面板106的金属配线用的金属膜即可。由此，不需要另外沉积用于使对准标记12不透明的金属膜，因此能够更加削减液晶显示装置100的工时和其部件费。
接着，如图3(d)所示，在金属膜13a上形成抗蚀剂图案15。该抗蚀剂图案15是用于形成使对准标记12不透明的不透明膜13的图案。抗蚀剂图案15的设计图案例如以对准标记12为基准进行位置对准。当然也可以以对准标记11为基准进行位置对准。
此外，如上所述，不透明膜13的平面形状只要至少为覆盖整个对准标记12的平面形状那样的形状，就能够为任意的形状。这是因为，不透明膜13的平面形状只要至少为覆盖对准标记12的整个平面形状那样的形状，就能够使得对准标记12的平面形状不透明，能够对其进行检测。
接着，如图3(e)所示，依照抗蚀剂图案15除去金属膜13a，即，在玻璃基板103上形成不透明膜13。然后，在除去金属膜13a后，除去抗蚀剂图案15。
最后，如图3(f)所示，在玻璃基板103和不透明膜13上沉积保护膜104。
如以上说明的那样，根据本发明的实施方式1的液晶显示装置100，通过由透明导电膜12a构成对准标记12，能够通过在玻璃基板103上的整个面沉积而成的透明导电膜12a检测对准标记11，并以对准标记11为基准进行玻璃基板103上的设计图案的位置对准。
由此，不需要为了检测对准标记11而暂且除去透明导电膜12a的工序，其结果是，能够削减液晶显示装置100的工时、降低其部件费。
(实施方式2)
接着，对本发明的实施方式2进行说明。在本实施方式中，与上述实施方式1同样，在配置在玻璃基板(透明基板)103的背面侧的彩色滤光片基板102上的已有图案与配置在玻璃基板103的正面侧的保护膜104下的设计图案之间，需要用于在这些图案间设定最佳的相对位置关系的对准。
本实施方式与上述实施方式1的不同点在于对准中使用的对准标记的形成顺序。图4是用于说明玻璃基板103的背面侧与正面侧之间的对准的图。
如图4所示，在彩色滤光片基板102上形成有对准标记11。该对准标记11的平面形状为十字形状(参照图4的C)。另外，因为对准标记11与上述实施方式1相同，所以此处省略其说明。
在玻璃基板103上，形成有相对于对准标记11为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记(第二对准标记)16。该对准标记16的平面形状也为十字形状(参照图4的D)。
此处，对准标记16与上述实施方式1的对准标记12的不同点在于，在玻璃基板103上，从该玻璃基板103的一部分形成凸形状，将该凸形状(凸形状部)用作对准标记16。
凸形状的形成例如与玻璃基板103的薄膜化时同时进行即可。由此，不需要另外进行用于形成对准标记16的玻璃基板103的薄膜化，因此能够更加削减液晶显示装置100的工时和其部件费。
另外，对准标记16的平面形状与上述的对准标记11同样，不仅限于十字形状。例如其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记16的平面形状及其尺寸只要选择适合于对准标记16的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
而且，在对准标记16上，与上述实施方式1同样，配置有不透明膜13。另外，不透明膜13与上述实施方式1相同，因此省略其说明。
接着，对对准标记11、对准标记16和不透明膜13的形成顺序进行说明。图5是用于说明对准标记11、对准标记16和不透明膜13的形成顺序的图。
首先，如图5(a)所示，在玻璃基板103上形成抗蚀剂图案17。该抗蚀剂图案17是用于形成对准标记16的图案。抗蚀剂图案17的设计图案以对准标记11为基准进行位置对准。
接着，如图5(b)所示，依照抗蚀剂图案17除去玻璃基板103，即，在玻璃基板103上形成包括使用其一部分而形成的凸形状的对准标记16。
接着，如图5(c)所示，在玻璃基板103和对准标记16上沉积金属膜13a。而且，在沉积金属膜13a之后，在金属膜13a上形成抗蚀剂图案18。另外，金属膜13a与上述实施方式1相同，因此省略其说明。
接着，在金属膜13a上形成抗蚀剂图案18。该抗蚀剂图案18是用于形成使对准标记16不透明的不透明膜13的图案。抗蚀剂图案18的设计图案例如以对准标记16为基准进行位置对准。当然也可以以对准标记11为基准进行位置对准。
接着，如图5(d)所示，依照抗蚀剂图案18除去金属膜13a，即，在玻璃基板103上形成不透明膜13。然后，在除去金属膜13a后，除去抗蚀剂图案18。
最后，如图5(e)所示，在玻璃基板103和不透明膜13上沉积保护膜104。
如以上说明的那样，根据本发明的实施方式2的液晶显示装置100，通过由作为玻璃基板103的一部分的凸形状构成对准标记16，能够通过玻璃基板103检测对准标记11，并以对准标记11为基准进行玻璃基板103上的设计图案的位置对准。
因此，能够削减液晶显示装置100的工时、降低其部件费。
(实施方式3)
接着，对本发明的实施方式3进行说明。图6是表示本发明的实施方式3的液晶显示装置的概略结构的截面图。如图6所示，本实施方式的液晶显示装置200包括液晶显示面板205和触摸面板206。
液晶显示面板205包括保护膜201和玻璃基板202。此外，触摸面板206包括玻璃基板202、彩色滤光片基板203和TFT基板204。
玻璃基板202在其背面侧(一个主面一侧)配置有保护膜201，在其正面侧(另一个主面一侧)配置有彩色滤光片基板203和TFT基板204。
即，玻璃基板202和配置在其背面侧的保护膜201构成触摸面板205。此外，玻璃基板202和配置在其正面侧的彩色滤光片基板203以及TFT基板204构成液晶显示面板206。
而且，在液晶显示装置200中，触摸面板205和液晶显示面板206依次形成，触摸面板205被内嵌于液晶显示面板206。
彩色滤光片基板203包括玻璃等绝缘基板，该绝缘基板配置有设置在与玻璃基板202相对的一侧的多个黑矩阵(BM)和设置在由黑矩阵划分而得的区域的彩色滤光片。
TFT基板204包括呈矩阵状配置有TFT和像素电极的、玻璃等透明的绝缘基板。
此外，在彩色滤光片基板203与TFT基板204之间夹入封入有液晶材料的液晶层(省略图示)。
而且，在配置在玻璃基板202的背面侧的保护膜201上的已有图案与配置在玻璃基板202的正面侧的彩色滤光片基板203下的设计图案之间，需要用于在这些图案之间设定最佳的相对位置关系的对准。以下对该对准进行说明。
图7是用于说明玻璃基板202的背面侧与正面侧之间的对准的图。如图7所示，在保护膜201上形成有对准标记(第一对准标记)21。该对准标记21的平面形状为十字形状(参照图7的E)。此外，其尺寸为50μm×50μm。
当然，对准标记21的平面形状并不仅限于十字形状。例如其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记21的平面形状和尺寸只要选择适合于对准标记21的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
进一步，对准标记21例如使用配置在保护膜201上的、构成触摸面板205的金属配线用的金属膜即可。由此，不需要另外沉积用于形成对准标记21的金属膜，因此能够更加削减液晶显示装置200的工时和其部件费。
而且，玻璃基板202上的设计图案以对准标记21为基准进行其位置对准。
在玻璃基板202上，形成有相对于对准标记21为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记(第二对准标记)22。该对准标记22的平面形状也为十字形状(参照图7的F)。
当然，对准标记22的平面形状与上述的对准标记21同样不仅限于十字形状。例如其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记22的平面形状和尺寸只要选择适合于对准标记22的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
进一步，在液晶显示装置200，对准标记22包含丙烯酸树脂和/或环氧树脂等公知的透明树脂膜(透明部件)。而且，在对准标记22上配置有后述的不透明膜(不透明部件)23。
不透明膜23的平面形状只要至少为覆盖整个对准标记22的平面形状那样的形状，就能够为任意的形状。
接着，对对准标记21、对准标记22和不透明膜23的形成顺序进行说明。图8是用于说明对准标记21、对准标记22和不透明膜23的形成顺序的图。
首先，如图8(a)所示，在玻璃基板202上涂敷透明树脂膜22a。该透明树脂膜22a被涂敷在玻璃基板202的整个面。
透明树脂膜22a例如使用配置在玻璃基板202上的、构成彩色滤光片基板203的柱的感光性透明树脂膜即可。由此，不需要另外涂敷用于形成对准标记22的透明树脂膜，因此能够更加削减液晶显示装置200的工时和其部件费。
接着，如图8(b)所示，在透明树脂膜22a上形成抗蚀剂图案24。该抗蚀剂图案24是用于形成对准标记22的图案。抗蚀剂图案24的设计图案以对准标记21为基准进行位置对准。
在液晶显示装置200，通过由透明树脂膜22a构成对准标记22，能够通过在玻璃基板202上的整个面涂敷而成的透明树脂膜22a检测对准标记21，以对准标记21为基准进行玻璃基板202上的设计图案的位置对准。
接着，如图8(c)所示，依照抗蚀剂图案24除去透明树脂膜22a，即，在玻璃基板202上形成对准标记22。
接着，如图8(d)所示，在玻璃基板202和对准标记22上沉积金属膜23a。该金属膜23a在玻璃基板202的整个面沉积。而且，在沉积金属膜23a之后，在金属膜23a上形成抗蚀剂图案25。
金属膜23a是用于使由透明树脂膜22a构成的对准标记22不透明的膜。与对准标记21同样，对准标记22的上方的设计图案以对准标记22为基准进行其位置对准。因此，需要使对准标记22形成为不透明，以使对准标记22变得能够检测。
金属膜23a例如使用配置在玻璃基板202上的、配置在彩色滤光片基板203上的黑矩阵用金属膜即可。由此，不需要另外沉积用于形成不透明膜23的金属膜，因此能够更加削减液晶显示装置200的工时和其部件费。
接着，在金属膜23a上形成抗蚀剂图案25。该抗蚀剂图案25是用于形成使对准标记22不透明的不透明膜23的图案。抗蚀剂图案25的设计图案例如以对准标记22为基准进行位置对准。当然也可以以对准标记21为基准进行位置对准。
此外，如上所述，不透明膜23的平面形状只要至少为覆盖整个对准标记22的平面形状那样的形状，就能够为任意的形状。这是因为，不透明膜23的平面形状只要至少为覆盖对准标记22的整个平面形状那样的形状，就能够使得对准标记22的平面形状不透明，能够对其进行检测。
接着，如图8(e)所示，依照抗蚀剂图案25除去金属膜23a，即，在玻璃基板202上形成不透明膜23。然后，在除去金属膜23a后，除去抗蚀剂图案25。
最后，如图8(f)所示，在玻璃基板202和不透明膜23上形成彩色滤光片基板203。
如以上说明的那样，根据本发明的实施方式3的液晶显示装置200，通过由透明树脂膜22a构成对准标记22，能够通过在玻璃基板202上的整个面沉积而成的透明树脂膜22a检测对准标记21，并以对准标记21为基准进行玻璃基板202上的设计图案的位置对准。
因此，不需要为了检测对准标记21而暂且除去透明树脂膜22a的工序，其结果是，能够削减液晶显示装置200的工时、降低其部件费。
另外，在本实施方式中，通过利用金属膜23a覆盖对准标记22来使对准标记22形成为不透明，但是本发明并不仅限于此。
例如，也可以通过对包括透明树脂膜22a的对准标记22照射激光进行黑化(黑化处理)，使对准标记22形成为不透明。
(实施方式4)
接着，对本发明的实施方式4进行说明。在本实施方式中，与上述实施方式3同样，在配置在玻璃基板202的背面侧的保护膜201上的已有图案与配置在玻璃基板202的正面侧的彩色滤光片基板203下的设计图案之间，需要用于在这些图案间设定最佳的相对位置关系的对准。
本实施方式与上述实施方式3的不同点在于对准中使用的对准标记的形成顺序。图9是用于说明玻璃基板202的背面侧与正面侧之间的对准的图。
如图9所示，在保护膜201上形成有对准标记21。该对准标记21的平面形状为十字形状(参照图9的G)。另外，因为对准标记21与上述实施方式3相同，所以此处省略其说明。
在玻璃基板202上，形成有相对于对准标记21为最佳的位置关系的设计图案，在其一部分包含对准标记26(第二对准标记)。该对准标记26的平面形状也为十字形状(参照图9的H)。
此处，对准标记26与上述实施方式3的对准标记22的不同点在于，在玻璃基板202上，从该玻璃基板202的一部分形成凸形状，将该凸形状用作对准标记26。
凸形状的形成例如与进行玻璃基板202的薄膜化同时进行即可。由此，不需要另外进行用于形成对准标记26的玻璃基板202的薄膜化，因此能够更加削减液晶显示装置200的工时和其部件费。
另外，对准标记26的平面形状与上述的对准标记21同样，不仅限于十字形状。例如其平面形状和尺寸也可以为四角形状(50μm×50μm)、圆形状(直径50μm)。总之，对准标记26的平面形状及其尺寸只要选择适合于对准标记26的检测方法的平面形状及其尺寸即可。
而且，在对准标记26上，与上述实施方式3同样，配置有不透明膜23。另外，不透明膜23与上述实施方式3相同，因此省略其说明。
接着，对对准标记21、对准标记26和不透明膜23的形成顺序进行说明。图10是用于说明对准标记21、对准标记26和不透明膜23的形成顺序的图。
首先，如图10(a)所示，在玻璃基板202上形成抗蚀剂图案27。该抗蚀剂图案27是用于形成对准标记26的图案。抗蚀剂图案27的设计图案以对准标记21为基准进行位置对准。
接着，如图10(b)所示，依照抗蚀剂图案27除去玻璃基板202，即，在玻璃基板202上形成包括使用其一部分形成的凸形状的对准标记26。
接着，如图10(c)所示，在玻璃基板202和对准标记26上沉积金属膜23a。而且，在沉积金属膜23a之后，在金属膜23a上形成抗蚀剂图案28。另外，金属膜23a与上述实施方式3相同，因此省略其说明。
接着，在金属膜23a上形成抗蚀剂图案28。该抗蚀剂图案28是用于形成使对准标记26不透明的不透明膜23的图案。抗蚀剂图案28的设计图案例如以对准标记26为基准进行位置对准。当然也可以以对准标记21为基准进行位置对准。
接着，如图10(d)所示，依照抗蚀剂图案28除去金属膜23a，即，在玻璃基板202上形成不透明膜23。然后，在除去金属膜23a后，除去抗蚀剂图案28。
最后，如图10(e)所示，在玻璃基板202和不透明膜23上形成彩色滤光片基板203。
如以上说明的那样，根据本发明的实施方式4的液晶显示装置200，通过由作为玻璃基板202的一部分的凸形状构成对准标记26，能够通过玻璃基板202检测对准标记21，并以对准标记21为基准进行玻璃基板202上的设计图案的位置对准。
因此，能够削减液晶显示装置200的工时、降低其部件费。
另外，在本实施方式中，通过利用金属膜23a覆盖对准标记26来使对准标记26形成为不透明，但是本发明并不仅限于此。
例如，也可以通过对由玻璃基板202的凸形状构成的对准标记26照射激光进行黑化(黑化处理)，使对准标记26形成为不透明。
本发明并不限定于上述各实施方式，能够在权利要求所示的范围内进行各种变更，将在不同的实施方式中分别公开的技术方法适当地进行组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。
这样，本发明的液晶显示装置包括触摸面板和液晶显示面板，该触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板被作为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准，另一个面板已与上述一个面板进行了位置对准，在另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记，该第二对准标记包括透明部件。
优选：上述透明部件是设置在构成上述另一个面板的透明基板的凸形状部。特别优选：上述透明部件通过如下方式形成：在上述透明基板的与上述一个面板相对的主面一侧，除去位于要设置上述凸形状部的区域的周围的上述透明基板。
在这种情况下，能够与进行透明基板的薄膜化同时进行凸形状的形成，因此，不需要另外进行用于形成第二对准标记的透明基板的薄膜化，因此能够更加削减液晶显示装置的工时和其部件费。
优选：上述透明基板通过如下方式形成：从沉积在构成上述另一个面板的透明基板的与上述一个面板相对的主面上的透明膜，除去位于要配置上述第二对准标记的上述主面上的区域的周围的上述透明膜。
在这种情况下，例如在透明部件使用构成触摸面板的触摸电极用透明导电膜即可。由此，不需要另外沉积用于形成第二对准标记的透明部件，因此能够更加削减液晶显示装置的工时和其部件费。
优选：在上述另一个面板，以覆盖上述第二对准标记的方式还配置有不透明部件。
在这种情况下，能够使包括透明部件的第二对准标记不透明。
因此，能够以第二对准标记为基准，对第二对准标记上方的设计图案进行位置对准。
因此，对于第二对准标记上方的设计图案，能够提高其位置对准精度。
优选：上述第二对准标记通过利用激光的照射进行的黑化处理而形成为不透明。
在这种情况下，不需要覆盖第二对准标记的不透明部件，因此能够更加削减液晶显示装置的工时和其部件费。
本发明的液晶显示装置的制造方法是在以触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与上述一个面板进行位置对准的结构中，在上述另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，该液晶显示装置的制造方法包括：在构成上述另一个面板的透明基板的整个面配置透明部件的工序；和以与上述第一对准标记进行位置对准的方式对上述透明部件进行图案化的工序，该图案化的结果，残留在上述透明基板上的上述透明部件成为上述第二对准标记。
优选如下方式：还包括在配置在上述透明基板的整个面的上述透明部件上形成通过上述透明部件与第一对准标记进行位置对准的抗蚀剂图案的工序，使用上述抗蚀剂图案，对上述透明部件进行图案化。
在这种情况下，通过被图案化的透明部件检测第一对准标记，抗蚀剂图案与该被检测出的第一对准标记进行位置对准。
因此，能够以该被检测出的第一对准标记为基准，对透明部件进行图案化。
本发明的液晶显示装置的制造方法是在以触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为上述触摸面板与上述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与上述一个面板进行位置对准的结构中，在上述另一个面板配置有已与配置在上述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，该液晶显示装置的制造方法包括如下工序：以与上述第一对准标记进行位置对准的方式对构成上述另一个面板的透明基板进行图案化，该图案化的结果，在上述透明基板上形成的凸形状部成为上述第二对准标记。
优选如下方式：还包括在上述透明基板上形成通过上述透明基板与第一对准标记进行位置对准的抗蚀剂图案的工序，使用上述抗蚀剂图案，对上述透明基板进行图案化。
在这种情况下，通过被图案化的透明基板检测第一对准标记，抗蚀剂图案与该被检测出的第一对准标记进行位置对准。
因此，能够以该被检测出的第一对准标记为基准对透明基板进行图案化。
优选还包括以覆盖上述第二对准标记的方式配置不透明部件的工序。
在这种情况下，能够使由透明部件或透明基板构成的第二对准标记不透明。
因此，能够以第二对准标记为基准，对第二对准标记上方的设计图案进行位置对准。
因此，对于第二对准标记上方的设计图案，能够提高其位置对准精度。
优选：还包括通过对上述第二对准标记照射激光使其黑化而使上述第二对准标记不透明的工序。
在这种情况下，不需要覆盖包括透明部件或透明基板的第二对准标记的不透明部件，因此能够更加削减液晶显示装置的工时和其部件费。
产业上的可利用性
本发明能够应用于具备触摸面板功能的液晶显示装置。具体而言，作为液晶显示装置，例如能够用于有源矩阵型的液晶显示装置，并且用于电泳型显示器、扭转向列球型显示器、使用细微的棱镜薄膜的反射型显示器、数字微镜器件等使用光调制元件的显示器，除此以外，在作为发光元件使用有机EL元件、无机EL元件、LED(Light EmittingDiode：发光二极管)等能够改变发光亮度的元件的显示器、场发射显示器(FED)、等离子体显示器中也能够利用。
附图标记的说明
11、21    对准标记(第一对准标记)
12、16、22、26    对准标记(第二对准标记，凸形状部)
12a    透明导电膜(透明部件)
13、23    不透明膜(不透明部件)
14、15、17、18、24、25、27、28    抗蚀剂图案
22a    透明树脂膜(透明部件)
100、200    液晶显示装置
101、204    TFT基板
102、203    彩色滤光片基板
103、202    玻璃基板(透明基板)
104、201    保护膜
105、206    液晶显示面板
106、205    触摸面板

Claims (12)

1.一种液晶显示装置，其特征在于：
包括共用透明基板的被内嵌的触摸面板和液晶显示面板，该触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板被作为所述触摸面板与所述液晶显示面板之间的位置对准的基准，另一个面板已与所述一个面板进行了位置对准，
在所述另一个面板配置有已与配置在所述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记，该第二对准标记包括透明部件。
2.如权利要求1所述的液晶显示装置，其特征在于：
所述透明部件是设置在构成所述另一个面板的透明基板的凸形状部。
3.如权利要求2所述的液晶显示装置，其特征在于：
所述透明部件通过如下方式形成：在所述透明基板的与所述一个面板相对的主面一侧，除去位于要设置所述凸形状部的区域的周围的所述透明基板。
4.如权利要求1所述的液晶显示装置，其特征在于：
所述透明基板通过如下方式形成：从沉积在构成所述另一个面板的透明基板的与所述一个面板相对的主面上的透明膜，除去位于要配置所述第二对准标记的所述主面上的区域的周围的所述透明膜。
5.如权利要求1至4中任一项所述的液晶显示装置，其特征在于：
在所述另一个面板，以覆盖所述第二对准标记的方式还配置有不透明部件。
6.如权利要求1至4中任一项所述的液晶显示装置，其特征在于：
所述第二对准标记通过利用激光的照射进行的黑化处理而形成为不透明。
7.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
其是在以共用透明基板的被内嵌的触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为所述触摸面板与所述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与所述一个面板进行位置对准的结构中，在所述另一个面板配置有已与配置在所述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，
该液晶显示装置的制造方法包括：
在构成所述另一个面板的透明基板的整个面配置透明部件的工序；和
以与所述第一对准标记进行位置对准的方式对所述透明部件进行图案化的工序，该图案化的结果，残留在所述透明基板上的所述透明部件成为所述第二对准标记。
8.如权利要求7所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
还包括在配置在所述透明基板的整个面的所述透明部件上形成通过所述透明部件与第一对准标记进行位置对准的抗蚀剂图案的工序，
使用所述抗蚀剂图案，对所述透明部件进行图案化。
9.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
其是在以共用透明基板的被内嵌的触摸面板和液晶显示面板中的任一个面板为所述触摸面板与所述液晶显示面板之间的位置对准的基准、将另一个面板与所述一个面板进行位置对准的结构中，在所述另一个面板配置有已与配置在所述一个面板上的第一对准标记进行了位置对准的第二对准标记的液晶显示装置的制造方法，
该液晶显示装置的制造方法包括如下工序：以与所述第一对准标记进行位置对准的方式对构成所述另一个面板的透明基板进行图案化，该图案化的结果，在所述透明基板上形成的凸形状部成为所述第二对准标记。
10.如权利要求9所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
还包括在所述透明基板上形成通过所述透明基板与第一对准标记进行位置对准的抗蚀剂图案的工序，使用所述抗蚀剂图案，对所述透明基板进行图案化。
11.如权利要求7至10中任一项所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
还包括以覆盖所述第二对准标记的方式配置不透明部件的工序。
12.如权利要求7至10中任一项所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：
还包括通过对所述第二对准标记照射激光使其黑化而使所述第二对准标记不透明的工序。
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