CN102672599A - 板状体的研磨装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种板状体的研磨装置，具有：板状体贴附部，其贴附板状体；板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。

Description

板状体的研磨装置
技术领域
本发明涉及板状体的研磨装置。
背景技术
板状体，特别是适用于液晶显示器用的玻璃板因其表面的微小的凹凸、波纹成为导致图像变形的原因，所以用研磨装置去除所述微小的凹凸、波纹。作为这种研磨装置，一般公知有如下研磨装置，将被托架保持的玻璃板压靠到设置于研磨平台的研磨垫上，并且使研磨平台及托架相对旋转而对玻璃板进行研磨。
专利文献1开示的研磨装置在膜体上安装有吸附保持玻璃板的吸附片，该膜体铺设于托架上。另外，向上述膜体和上述托架之间供给加压流体，被上述吸附片保持的玻璃板在上述加压流体的压力的作用下被按压于研磨垫。由此，根据专利文献1的研磨装置，由上述加压流体对玻璃板的各部分施加的压力为均匀的压力，因此具有能够一边平坦地研磨玻璃板一边去除玻璃板的表面的微小凹凸这种优点。
上述吸附片是发泡聚氨酯制，经由聚碳酸酯等中间片与上述膜体粘接，该中间片的拉伸方向的刚性设定得比上述吸附片的拉伸方向的刚性高。由此，在专利文献1的研磨装置中，吸附片不会从中间片剥离，所以具有可以防止吸附片剥离卷起这种优点。另外，膜体构成为由树脂层和纤维层构成的双层构造。
专利文献1：WO2007/020859号公报
但是，专利文献1的膜体具有直接接受加压流体并向玻璃板传递研磨压力的功能和在玻璃板的研磨中承受在相对旋转的玻璃板和研磨垫之间产生的研磨阻力的功能。即，膜体受到因加压流体而膨胀的方向的力及因研磨阻力而反复向拉伸方向伸缩的力。因此，膜体的寿命短，需要频繁的进行膜体的更换，因此，具有不能提高玻璃板的生产性这种问题。
发明内容
本发明是鉴于这种问题而开发的，其目的在于，提供一种可以提高板状体的生产性的板状体的研磨装置。
为了实现所述目的，本发明提供一种板状体的研磨装置，具有：板状体贴附部，其贴附板状体；板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，所述平面部分由通过板状体保持部保持的板状部件构成，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
根据本发明，首先，使板状体贴附在板状体贴附部的平面部分所具备的贴附部，接着，使该板状体贴附部被板状体保持部保持。而且，使板状体保持部和研磨件相对接近，将板状体按压在研磨件上，并且使板状体保持部及研磨件沿着板状体的研磨面相对移动，而对板状体的研磨面进行研磨。
在本发明中，因未使用膜体而对板状体进行研磨，所以能够提高板状体的生产性。板状体贴附部的平面部分因研磨阻力，反复受到向拉伸方向伸缩的力，所以优选为刚性高的金属制。另外，通过使用杨氏模量等弹性率大的金属或增加板厚，可以提高刚性。
另外，根据本发明，在从加压流体供给单元向板状部件和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，贴附于所述贴附部的板状体由所述加压流体的压力而按压于研磨件。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，所以可以一边平坦地研磨板状体一边去除板状体的表面的微小凹凸。
优选本发明的所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，在所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
根据本发明，在从加压流体供给单元向膜体和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，因膜体膨胀，从而贴附于所述贴附部的板状体在所述加压流体的压力的作用下按压在研磨件上。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，所以可以平坦地研磨板状体并去除板状体的表面的微小凹凸。
另外，本发明的板状体的研磨装置具有如现有的研磨装置那样的膜体，但本发明的膜体仅具备将板状体加压于研磨件的功能。即，就在研磨中生成的研磨阻力而言，是由板状体贴附部的平面部分(板状部件)承受。即，本发明使将板状体加压于研磨件的部件(膜体)和承受研磨阻力的部件(平面部分：板状部件)作为不同的部件，可以实现膜体的长寿命化。
本发明优选在所述板状体保持部与所述板状部件接触的部位具有密封部。
根据本发明，利用密封部防止从加压流体供给单元供给的加压流体的泄漏，因此能够高效地向板状体传递加压流体的压力。
优选本发明的所述平面部分由具有开口面的箱状体的平面部分构成，所述箱状体经由所述开口面而由所述板状体保持部保持。
根据本发明，首先，使板状体贴附于在构成板状体贴附部的箱状体的平面部分所具备的贴附部，接着，使该箱状体经由开口面保持于板状体保持部。而且，使板状体保持部和研磨件相对近接，将板状体按压于研磨件，并且使板状体保持部及研磨件沿着板状体的研磨面相对移动，对板状体的研磨面进行研磨。在本发明中也未使用膜体而对板状体进行研磨，所以可以提高板状体的生产性。
优选本发明具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
根据本发明，在从加压流体供给单元向箱状体和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，通过使箱状体向研磨件移动，贴附于所述贴附部的板状体在所述加压流体的压力的作用下被按压于研磨件。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，因此可以平坦地研磨板状体并去除板状体的表面的微小凹凸。
优选本发明在所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
根据本发明，从加压流体供给单元向膜体和板状体保持部之间的空间供给加压流体时，膜体膨胀，由此贴附于所述贴附部的板状体在所述加压流体的压力的作用下按压于研磨件。由此，根据本发明，由所述加压流体对板状体的各部分施加的压力为均匀的压力，可以平坦地研磨板状体并去除板状体的表面的微小凹凸。
另外，本发明具有如现有的研磨装置那样的膜体，但该膜体仅具备将板状体加压于研磨件的功能。即，在研磨中产生的研磨阻力由箱状体的平面部分承受。即，本发明使将板状体加压于研磨件的部件(膜体)和承受研磨阻力的部件(平面部分)作为不同的部件，因此可以实现膜体的长寿命化。
优选本发明在所述板状体保持部与所述箱状体接触的部位具有密封部。
根据本发明，由于可以利用密封部防止从加压流体供给单元供给的加压流体的泄漏，所以能够高效地向板状体传递加压流体的压力。
优选本发明的所述平面部分水平地配置，在该平面部分的上方配置有所述研磨件。
根据本发明，可以是在平面部分的上方配置了研磨件的方式的研磨装置，即是在板状体保持部的上方公开有研磨件的研磨装置。该研磨装置，在为箱状体经由开口面保持于板状体保持部的研磨装置的情况下具备板状体保持部(阳)嵌合于箱状体的开口面(阴)的嵌套式的嵌合部的构造。该情况下，板状体的研磨所使用的研磨液直接落下，所以可以防止研磨液从所述嵌套式的嵌合部浸入板状体保持部的内侧。
优选本发明的所述平面部分水平地配置，在该平面部分的下方配置有所述研磨件。
根据本发明，也可以是在平面部分的下方配置有研磨件的方式的研磨装置，即在板状体保持部的下方公开有研磨件的研磨装置。
利用本发明的板状体的研磨装置，能够提高板状体的生产性。
附图说明
图1是表示实施方式的研磨装置的整体构造的平面图；
图2是托架和帆布的组装立体图；
图3是表示研磨台的实施方式的侧面图；
图4是表示帆布相对于托架的安装构造的主要部分放大剖面图；
图5是表示研磨平台的构成的包含局部剖视部的立体图；
图6是表示使用了膜体的研磨部的其它构成的主要部分放大剖面图；
图7是表示使用了箱状体的研磨部的其它构成的示意图。
具体实施方式
下面，根据附图详细说明本发明的研磨装置的优选实施方式。
图1是表示实施方式的研磨装置10的整体构造的平面图。图2是托架52和帆布14的组装立体图。图3是表示研磨台的实施方式的侧面图。
图1所示的实施方式的研磨装置10是将例如一边超过1000mm、厚度为0.2mm～0.7mm的大型的玻璃板G的研磨面研磨成液晶显示器用玻璃板需要的平坦度的研磨装置。优选研磨对象玻璃板G的大小的一边的长度超过1000mm，更优选为2000mm以上(2200mm×2500mm以上)，进一步优选2800mm以上(2800mm×3000mm以上)。
研磨装置10主要具备搬入研磨前的玻璃板G的玻璃板搬入用输送带12、将玻璃板G贴附在帆布(板状体贴附部)14上的玻璃板贴附台16、第一研磨台18、第二研磨台20、从帆布14卸下研磨完成后的玻璃板G的玻璃板拆卸台22、玻璃板搬出用输送带24、帆布清洗台26、帆布干燥台28、及帆布送回输送带30。
下面，为了说明简便，对于玻璃板贴附台16、第一研磨台18、第二研磨台20、玻璃板拆卸台22、帆布清洗台26、及帆布干燥台28，仅记载为工作台16、18、20、22、26、28。
研磨装置10中设置有从工作台16向工作台18搬送帆布14的搬送装置150、从工作台18向工作台20搬送帆布14的搬送装置152、及从工作台20向工作台22搬送帆布14的搬送装置154。这些搬送装置150、152、154为相同构成，利用集中控制研磨装置10的控制部200控制其动作，图1上在左右方向上同步往复移动。
利用玻璃板搬入用输送带12搬入的研磨前的玻璃板G被吸附保持于设置于机器人32的臂33上的吸附垫34。而且，利用臂33的旋转动作从玻璃板搬入用输送带12移载到输送带36，利用输送带36搬送到工作台16。
在工作台16上，研磨前的玻璃板G贴附于帆布14上。对于该贴附方法进行说明时，帆布14在工作台16中被未图示的升降装置保持，玻璃板G位于帆布14的下方，帆布14利用升降装置下降移动，图2所示的帆布14的安装于背板(平面部分：板状部件)38的发泡聚氨酯制的吸附片(贴附部)39按压于玻璃板G的非研磨面。利用该按压力，玻璃板G的非研磨面经由吸附片39拆卸自如地贴附于背板38上。其后，帆布14保持于图1的搬送装置150上，搬送到图3的工作台18，在此保持于研磨头50的托架(板状体保持部)52上。
如图2所示，帆布14在相同的矩形状的上框40和下框42之间铺设了矩形状的背板38后，由未图示的螺栓连接上框40和下框42，由此构成。背板38、上框40、及下框42由可充分耐受研磨时的研磨压力及玻璃板G的研磨阻力的材质例如铝等金属构成。另外，背板38的厚度优选2～4mm左右。若背板38的厚为2mm以上，则可以充分地耐受上述研磨压力及上述研磨阻力。帆布38的厚度若为4mm以内，成为易于向玻璃板G传递后述的压缩空气(加压流体)产生的研磨压力。
下面，对图3所示的研磨头50进行说明。工作台18的研磨头50及工作台20的研磨头50为相同的构成，所以标注相同的标号进行说明。
研磨头50具备主体壳体51，主体壳体51中内置有未图示的公转驱动机构部。该公转驱动机构部由行星齿轮机构部和电动机构成，利用该电动机驱动的行星齿轮机构部的输出轴与沿垂直方向垂下的主轴56连结。另外，托架52与该主轴56连结。因此，驱动上述行星齿轮机构部时，托架52及帆布14以规定的公转中心为中心进行公转。
此外，主体壳体51经由滑块158与升降机构156连结。利用该升降机构156，主体壳体51相对于滑块158进行升降，由此托架52相对于工作台18的圆形研磨垫(研磨件)58、及工作台20的圆形研磨垫(研磨件)60进退移动，并且与如图4所示的安装于背板38的吸附片39贴附的玻璃板G的研磨面被图3的研磨垫58、60以规定的研磨压力按压。
也可以从研磨装置10卸下滑块158，将主体壳体51与升降机构156直接连结。
研磨垫58如图5所示贴附于研磨平台62的上表面。该研磨平台62经由轴承65旋转自如地支承于研磨工作台64，其旋转中心设定于和研磨垫58的中心轴同轴上。另外，在研磨平台62的侧面设置有齿轮部66，利用电动机68旋转的齿轮67与该齿轮部66啮合。此外，齿轮部66构成为以研磨垫58的中心轴为中心的圆弧状。因此，通过驱动电动机68，研磨垫58以其中心轴为中心旋转(自转)。
另外，研磨工作台64滑移自如地支承在平行配置的一对导轨69、69上。由于具备使研磨工作台64沿导轨69、69往复动作的驱动部(未图示)，研磨垫58在需要时沿水平方向摆动。研磨垫58的摆动方向可以是与图1的搬送装置150的搬送方向正交的方向，也可以是与该搬送方向平行的方向。即也可以是使研磨垫58沿水平方向摆动的方向。
用于向研磨垫58的背侧供给浆料的多个软管(未图示)与图5的研磨平台62连结。为了不使这些软管缠绕，研磨垫58以从规定的基准位置起在规定的角度范围内旋转的方式限制其旋转。从上述软管向研磨垫58的背侧供给的浆料通过贯通研磨垫58的内部的浆料供给孔向研磨垫58的表面供给。
另外，研磨垫58的旋转角度的范围、旋转速度等旋转动作、每单位时间的公转转速等公转动作由图1的控制部200独立地控制。
对于研磨垫60的各部构成，由于与上述的研磨垫58的构成相同，所以在此省略其说明。
另一方面，如图3所示在工作台18的滑块158上安装有直动导轨70、70。直动导轨70、70与导轨72、72嵌合。该导轨72、72如图1的虚线所示朝向对工台18的主轴56及托架52进行维修的维修台74设置。
另外，也与如图3的工作台20的滑块158一样地安装直动导轨70、70，直动导轨70、70与导轨160、160嵌合。该导轨160、160如图1的虚线所示朝向对工作台20的主轴56、托架52进行维修的维修工作台76设置。
也可以从研磨装置10卸下滑块158，直动导轨70、70直接安装于升降装置156。
下面，对图2及图4所示的托架52进行说明。图4是表示帆布14相对于托架52的安装构造的主要部分放大剖面图。
在托架52的4边部设置有用于将帆布14保持于托架52的多个保持部80、80…。保持部80如图4所示由按压托架52的4边部的端部52A的圆盘82、按压帆布14的上框40的4边部的端部40A的圆盘84、连接圆盘82和圆盘84的销86构成。如上所述按压圆盘82及圆盘84的按压单元内设于托架52内，例如，通过将气缸的活塞与销86连结，使活塞收缩，由此将圆盘82及圆盘84拉近，将圆盘82按压于端部52A，并且将圆盘84按压于端部40A。上述按压单元不限于上述气缸，另外，保持部80的形式也不限于本例。即，只要是能够将帆布14拆装自如地保持于托架52的构成，怎样的构成都可以。
另一方面，在托架52的下表面的周缘内侧形成有沿着周缘的支架88，在该支架88的下表面安装有密封部件(密封部)90。在托架52上，将帆布14保持于保持部80，玻璃板G被按压于研磨垫58、60时，背板38的上表面压接于密封部件90。由此，托架52和帆布14之间形成有气密性高的空气室(空间)54。形成气密性高的空气室54时，施加于玻璃板G的各部分的压力为均匀的压力，因此可以一边平坦地研磨玻璃板G一边去除玻璃板G的表面的微小凹凸。
在托架52上开设有向空气室54喷出压缩空气(加压流体)的喷射口98、98...。这些喷射口98、98...经由在托架52的上表面具备的空气室100与用图3中虚线所示的空气供给路径102连通。空气供给路径102经由安装于研磨头50的未图示旋转接头向研磨头50的外部延伸设置，经由阀104与空气泵(加压流体供给单元)106连接。因此，打开阀104时，来自空气泵106的压缩空气经由空气供给路径102、图4的空气室100、及喷射口98而向空气室54供给。由此，压缩空气的压力经由背板38传递到玻璃板G上，在该压力的作用下，玻璃板G的研磨面被图3的研磨垫58、60按压而进行研磨。另外，供给至空气室54的压缩空气通过密封部件90密闭空气室54，因此抑制了从空气室54泄漏。由此，压缩空气的压力被高效地传递到玻璃板G上。
图1所示的在工作台20的玻璃板G的研磨完成后，在此将帆布14从托架52卸下，由搬送装置154搬送到工作台22。而且，在工作台22上从帆布14卸下研磨完成后的玻璃板G。被卸下的玻璃板G由输送带138搬送，而且被安装在机器人140的臂142的吸附头144吸附，通过机器人140的动作移载到玻璃板搬出用输送带24上，向研磨装置10的外部运出。
另外，通过输送带146将卸下了玻璃板G的帆布14搬送至工作台26，在此，进行水清洗。通过输送带148将水清洗完成后的帆布14搬送到工作台28，在此进行加热干燥。而且，通过帆布送回输送带30将干燥完成后的帆布14搬送到工作台16，再利用于玻璃板G的贴附。以上为研磨装置10的整体构成。
研磨台根据用途既可以是一台，也可以是两台以上。考虑效率、成本时，优选具备粗研磨台和精研磨台这两个工作台，根据情况，为了高品质目的也可以增加精研磨台。
下面，对如上所述构成的研磨装置10的作用进行说明。
首先，在工作台16上使玻璃板G贴附于在帆布14的背板38贴附的吸附片39上。接着，将该帆布14搬送到工作台18，水平保持于托架52。接着，使帆布14和研磨垫58、60相对接近，在压缩空气的压力作用下将玻璃板G按压于研磨垫58、60，并且使帆布14及研磨垫58、60沿玻璃板G的研磨面相对移动，而对玻璃板G的研磨面进行研磨。
图4是表示设置于工作台18、20的研磨部的构成的局部剖面图。上述研磨部将供给至托架52的空气室54的压缩空气的压力经由帆布14的背板38及吸附片39传递至玻璃板G，通过研磨垫58、60对玻璃板G的研磨面进行研磨。
在实施方式的研磨装置10中未使用膜体而使用帆布14对玻璃板G进行研磨，因此，可以从玻璃板G的生产工序中省略膜体的更换工序。由此，玻璃板G的生产性提高。
在实施方式中表示了通过压缩空气的压力对玻璃板G进行研磨的例子，但不限于此，也可以应用通过托架52相对于研磨垫58、60的进入力向玻璃板G供给研磨压力的研磨装置。
图6表示使用膜体92作为向玻璃板G传递研磨压力的部件的其它研磨部的方式。
上述研磨部利用供给至托架52的空气室54的压缩空气的压力使膜体92膨胀，将膨胀了的膜体92的按压力经由帆布14的背板38及吸附片39传递到玻璃板G上，利用研磨垫58、60对玻璃板G的研磨面进行研磨。在该研磨部中也是，由于压缩空气的压力对玻璃板G的各部分施加的压力为均匀的压力，因此能够一边平坦地研磨玻璃板G一边去除玻璃板G的表面的微小凹凸。
在本例中具有膜体92，但本例的膜体92安装于托架52上，仅具备对玻璃板G向研磨垫58、60加压的功能。即，在玻璃板G的研磨中产生的研磨阻力由帆布14的背板38承受。即，本例使将玻璃板G加压于研磨垫58、60的部件(膜体92)和承受研磨阻力的部件(背板38)作为不同的部件，因此与专利文献1的膜体相比，可以延长其寿命。
在图6所示的方式中也可以在托架52的支架88上设置图4所示的密封部件90。由此，空气室54的气密性提高。
在图1～图6所示的方式中例示了在水平配置的背板38的下方配置有研磨垫58、60的研磨装置10，但在背板38的上方配置有研磨垫58、60的研磨装置也可适用。
图7是表示使用了箱体(箱状体)94的研磨部的其它构成的示意图。
图7所示的研磨部在水平配置的背板38的上方配置有研磨垫58、60。
背板38安装于下表面具有开口面的箱体94的上表面(平面部分)。在该背板38的上表面粘接吸附片39，在吸附片39的上表面贴附玻璃板G的非研磨面。
从箱体94的开口面，托架52嵌套式地嵌合至箱体94的内部空间部。而且，在托架52的上表面缘部安装有密封部件90，该密封部件90与箱体94的上壁的内侧面接触。由此，在托架52和箱体94之间形成有空气室54。向该空气室54供给压缩空气时，箱体94向研磨垫58、60上升，贴附于吸附片39的玻璃板G由压缩空气的压力按压于研磨垫58、60。由此，在该研磨部，由压缩空气对玻璃板G的各部分施加的压力为均匀的压力，因此可以一边平坦地研磨玻璃板G一边去除玻璃板G的表面的微小凹凸。
也可以在托架52上安装双点划线所示的膜体92，向膜体92和托架52之间的空气室54供给压缩空气。另外，也可以不使用压缩空气，利用托架52的上升力得到研磨压力。
另外，图7的研磨部是具备托架52的上部(阳)与箱体94的开口面(阴)嵌合的嵌套式的嵌合部的构造。该情况下，玻璃板G的研磨所使用的浆料(研磨液)直接落下，因此能够防止浆料从上述嵌套式嵌合部浸入托架52的内侧的空气室54。
本例的研磨部在水平配置的背板38的上方配置研磨垫58、60，但在背板38的下方配置有研磨垫58、60的研磨装置中也适用本例。
下面表示工作台18、20的规格的一例。
研磨压力：2kPa～25kPa
研磨浆料：从研磨平台浆料供给孔供给使氧化铈分散于水中的研磨浆料
研磨垫58：发泡聚氨酯制且表面具有流动浆料的槽(槽间距4.5mm、槽宽1.5mm、槽深1～5mm)
研磨垫60：软制氨基甲酸酯绒面革状且表面具有流动浆料的槽(槽间距4.5mm、槽宽1.5mm、槽深1～5mm)
玻璃板G的厚度：0.2mm～0.7mm
玻璃板G的形状：一边超过1000mm的矩形状玻璃板
玻璃板G的非研磨面：由贴附于帆布14的背板38的聚氨酯制的吸附垫密接保持
帆布14的背板38即使长期使用，也不会劣化、损伤，因此，在试验中能够确认可以急剧减少帆布14的更换作业。由此，能够掌握到玻璃板的生产性提高。
参照特定的实施方式详细说明了本发明，但本领域技术人员可知可以不脱离本发明的范围和精神地施加各种修正、变更。
本申请基于2011年3月15日提出的日本专利申请2011-056733，其内容在此作为参照引用。
标号说明
G...玻璃板、10...研磨装置、12...玻璃板搬入用输送带、14...帆布、16...玻璃板贴附台、18...第一研磨台、20...第二研磨台、22...玻璃板拆卸台、24...玻璃板搬出用输送带、26...帆布清洗台、28...帆布干燥台、30...帆布送回输送带、32...机器人、33...臂、34...吸附垫、36...输送带、38...背板、39...吸附片、40...上框、42...下框、50...研磨头、51...主体壳体、52...托架、54...空气室、56...主轴、58...研磨垫、60...研磨垫、62...研磨平台、70...直动导轨、72...导轨、74...维修台、76...维修台、80...保持部、82、84...圆盘、86...销、88...支架、90...密封部件、92...膜体、94...箱体、98...喷射口、100...空气室、102...空气供给路径、104...阀、106...空气泵、138...输送带、140...机器人、142...臂、144...吸附头、146、148...输送带、150、152、154...搬送装置、160...导轨、200...控制部

Claims (9)

1.一种板状体的研磨装置，具有：
板状体贴附部，其贴附板状体；
板状体保持部，其保持所述板状体贴附部；及
研磨件，其与所述板状体贴附部对向配置，对由所述板状体贴附部贴附的所述板状体的研磨面进行研磨，其中，
所述板状体贴附部在所述研磨件的对向面具有平面部分，在该平面部分具备板状体的贴附部，
所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
2.如权利要求1所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分由通过所述板状体保持部保持的板状部件构成，
在所述板状部件和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
3.如权利要求1或2所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述板状体保持部与所述板状部件接触的部位具有密封部。
4.如权利要求1所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分由具有开口面的箱状体的平面部分构成，
所述箱状体经由所述开口面而由所述板状体保持部保持。
5.如权利要求4所述的板状体的研磨装置，其中，
具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
6.如权利要求4所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述箱状体和所述板状体保持部之间的空间配置有安装于所述板状体保持部的膜体，
所述板状体的研磨装置具有加压流体供给单元，所述加压流体供给单元向所述膜体和所述板状体保持部之间的空间供给加压流体。
7.如权利要求5或6所述的板状体的研磨装置，其中，
在所述板状体保持部与所述箱状体接触的部位具有密封部。
8.如权利要求1～6中任一项所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分水平地配置，在该平面部分的上方配置有所述研磨件。
9.如权利要求1～6中任一项所述的板状体的研磨装置，其中，
所述平面部分水平地配置，在该平面部分的下方配置有所述研磨件。
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