CN102593343A - 一种基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的制备方法,该方法是在硅片上生长硅纳米线得到基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料,其硅为核、外围包裹自然氧化层为壳,其硅纳米线直径为20~300nm、长度为150~155μm,该热电材料的热导率常温下为0.97Wm-1K-1,ZT为1.02。本发明得到的热电材料应用时无需去除氧化层,在纳米器件领域和新能源领域具有广阔的应用前景;本发明具有制备方法简单,低成本,高重复性,对环境要求低,适用于大规模工业生产。
Description
技术领域
本发明涉及半导体材料、热电材料领域,具体地说是一种基于双面核/壳结构硅纳米线组热电材料的制备方法。
背景技术
硅纳米线可作为优良的热电材料,其最大的优势在于小尺寸效应。在室温环境下,半导体电子和声子的平均自由程相差很大,在高掺杂半导体中,电子平均自由程为110 nm,而声子能达到300 nm,因此只要硅纳米线直径小于300 nm,热导率κ将会大幅降低,而赛贝克系数S和电导率ρ不会受到明显影响,根据公式 ZT = S2T/κρ,硅纳米线的优值将比体硅高百倍以上。
一般认为具有氧化层的核/壳结构硅纳米线,在核/壳界面存在大量缺陷,这些缺陷会破坏硅纳米线在纳米器件中的应用,限制了电子的传输并且不能保证硅纳米线有效地欧姆接触,要求硅纳米线在应用前期必须经过减小缺陷、分散以及表面氧化层及金属离子处理,才能保证其使用效果。但实验证明,硅纳米线作为热电材料,保留表面自然氧化层,构成核/壳结构,能大幅提高材料热电性能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的制备方法,以解决现有纳米热电材料制备条件苛刻,成本高的问题,提供一种对环境要求低,方法简单,低成本,高重复性,适用于大规模工业生产的新方法。
为实现上述发明目的,本发明的具体技术方案是:
一种基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的制备方法,该方法包括以下具体步骤:
(1) 标准RCA清洗步骤清洗硅片(p-Si,双面抛光,<100> 晶向,电阻率为 0.1-10Ω·cm),氮气吹干备用;
RCA标准清洗步骤为:
a) DHF溶液室温下清洗10分钟,DHF溶液为浓度为5%的稀释HF水溶液;
b) 大量去离子水室温下反复冲洗;
c) SPM溶液120℃清洗10分钟,SPM溶液为Piranha (Sulfuric Peroxide Mixture, SPM),具体溶液配置为H2SO4:H2O2的体积比为VH2O2:VH2SO4 = 3:1;
d) 大量去离子水室温下反复冲洗;
e) APM溶液60℃清洗10分钟,APM溶液为SC-1 清洗液 (Hydrochloric Peroxide Mixture, APM),具体溶液配置为NH4OH:H2O2:H2O的体积比为VNH4OH:VH2O2:VH2O =1:1:5;
f) 大量去离子水室温下反复冲洗;
g) HPM溶液60℃清洗10分钟,HPM溶液为SC-2清洗液 (Hydrochloric Peroxider Mixture, HPM),具体溶液配置为HCl:H2O2:H2O的体积比为VHCl:VH2O2:VH2O = 1:1:6;
h) 大量去离子水室温下反复冲洗;
i) 氮气吹干。
(2) 25 mmol L-1AgNO3和浓度为40%的氢氟酸混合,形成混合溶液,其25 mmol L-1AgNO3和浓度为40%的氢氟酸体积比为1:1,超声使混合溶液均匀分布;将经清洗的硅片完全淹没于混合溶液中进行刻蚀,刻蚀过程中硅片表面与混合溶液液面垂直,并保证硅片两面刻蚀速率相同,反应时间为100~120分钟,硅片双面生长有硅纳米线,其长度为150~155 μm,然后,用大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留;用硝酸去除沉积银;大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留,鼓风干燥箱烘干,制备生成基于双面核/壳结构硅纳米线组热电材料。
传统硅纳米线应用前都需要去除表面氧化层,而发明得到的基于双面核/壳结构硅纳米线组热电材料,其硅纳米线表面的自然氧化层无需去除,即可直接应用;所述双面核/壳结构即硅为核、外围包裹自然氧化层为壳。
本发明都是在常温常压条件下进行的。
本发明的突出特点是:(1) 体硅双面均匀刻蚀,形成双面硅纳米线组结构,硅纳米线长度为150~155 μm;(2) 保留硅纳米线表面自然氧化层,不需要额外增加工艺步骤去除;(3)制备方法简单,成本低,高重复性,适用于大规模工业生产;(4) 常温常压制备环境,一般实验室设备都能达到要求;(5) 制备的双面核/壳结构硅纳米线组热电材料的热导率常温下为0.97 Wm-1K-1,ZT为1.02,热电性能优异。
附图说明
图1中(a)为本发明的基于双面核/壳结构硅纳米线组热电材料扫描电子显微镜(SEM)图,两面硅纳米线长度均为150 μm左右;(b) 为核/壳结构硅纳米线透射电子显微镜(TEM)图,硅核外围包裹自然氧化层;
图2 为拉曼光谱法测试热导率原理示意图。
具体实施方式
实施例
a) 硅片清洗
取大小为1cm×1cm硅片(p型,双面抛光,<100> 晶向,电阻率为 0.1~10 W×cm),用标准RCA清洗步骤清洗硅片氮气吹干备用。
b) 硅片化学刻蚀溶液配制
配置25 mmol L-1AgNO3、氢氟酸(HF浓度为40%)混合溶液(25 mmol L-1AgNO3和浓度为40%HF体积比为1:1)200 mL,超声使混合溶液均匀分布。
c) 硅片化学刻蚀,制备硅纳米线
硅片在化学刻蚀溶液中发生化学置换反应,硅片表面被刻蚀,形成硅纳米线结构,将硅片置于垂直支架(支架作用是保证硅片放入溶液后硅面与液面保持垂直)放入溶液中(硅片完全被溶液淹没),保证硅片两面刻蚀速率相同,反应时间为120 分钟,双面生长的硅纳米线长度在150~155 μm,用大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留;用硝酸去除沉积银;大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留,氮气吹干备用。
d) 测试热电性能
采用拉曼光谱间接测量法测试基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的热导率,常温下热导率为0.974 Wm-1K-1。硅纳米线S2/ρ常温为3.3 × 10-3 Wm-1K-2,根据方程ZT = S2T/κρ,得到常温 (300 K) 基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的优值为:1.02,优于体硅(优值约为0.01),表明基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料是一种优良的热电材料。
e) 硅片的尺寸和硅片化学刻蚀溶液按照上述比例增大,制备生成的基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料也同比例增大,适用于大规模工业生产。
g) 所述制备方法都是在常温常压条件下进行的。
Claims (1)
1.一种基于双面核/壳结构硅纳米线组的热电材料的制备方法,其特征在于该方法包括以下具体步骤:
(1) 标准RCA清洗步骤清洗硅片,氮气吹干备用;
(2) 25 mmol L-1AgNO3和浓度为40%的氢氟酸混合,形成混合溶液,其25 mmol L-1AgNO3和浓度为40%的氢氟酸体积比为1:1,超声使混合溶液均匀分布;将经清洗的硅片完全淹没于混合溶液中进行刻蚀,刻蚀过程中硅片表面与混合溶液液面垂直,并保证硅片两面刻蚀速率相同,反应时间为100~120分钟,硅片双面生长有硅纳米线,其长度为150~155 μm,然后,用大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留;用硝酸去除沉积银;大量去离子水冲洗,去除化学试剂残留,鼓风干燥箱烘干,制备生成基于双面核/壳结构硅纳米线组热电材料;其中,所述硅片为p-Si,双面抛光,<100> 晶向,电阻率为 0.1~10 Ω·cm。
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