CN102592931B - 扫描装置及等离子体加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种扫描装置以及等离子体加工设备，所述扫描装置用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其中，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。本发明的扫描装置不仅可以在二维方向扫描盒内的托盘，而且可以对托盘的位置进行校准。

Description

扫描装置及等离子体加工设备

技术领域

本发明属于等离子体加工设备领域，涉及一种扫描装置以及含有该扫描装置的等离子体加工设备。

背景技术

等离子体加工设备主要包括传输腔室和工艺腔室，其中，传输腔室用于传输晶片，工艺腔室用于对晶片进行工艺处理。为了提高等离子体加工设备的产能，将放置晶片的多个托盘放置在托盘盒内，并在等离子体加工设备增设装卸载腔室，从而对晶片进行批量生产，同时减少由环境压力向传输腔室压力切换的时间。

图1为设置有托盘盒的装卸载腔室的结构示意图，图2为装卸载腔室去掉装卸载腔室的顶部以及托盘盒盖板后的俯视图。请一并参阅图1和图2，装卸载腔室1的一侧设有手动门2，托盘盒4由手动门2放入装卸载腔室1。装卸载腔室1与手动门2相对的另一侧设有门阀3，装卸载腔室1借助门阀3与传输腔室(图中未示出)连通。在装卸载腔室1的底部设有可以上下移动的升降机构6，托盘盒4放置在升降机构6的顶部。升降机构6的一端自装卸载腔室1的底部伸出，并与升降机构驱动单元(图中未示出)连接。在托盘盒4内设有多个槽位18，每一槽位18对应放置一个托盘5。使用时，首先将盛放晶片24的托盘5放置在托盘盒4的槽位18上，再将托盘盒4放入装卸载腔室1内。在实施工艺过程之前，为了检验每个槽位18是否有托盘5以及托盘5的放置位置是否正常，在装卸载腔室1内设有光电传感器7，以判断托盘盒4内的状况，如槽位18是否有托盘5，或者，托盘5的放置位置是否准确。然而，光电传感器7是通过光路的遮挡情况来判断托盘5的状况，虽然可以判断每个槽位18是否有托盘5，但是，其只能在一维方向进行判断。当托盘5在水平方向上的位置存在偏差时，如托盘5的一部分自托盘盒4内滑出，光电传感器7无法输出正确的状态。另外，光电传感器7的光源和接收器容易受环境的干扰，导致光电传感器7得出错误的状态信息。此外，光电传感器7输出的状态信号需要经处理才能得出操作员能够识别的状态信息，这降低了扫描装置的可靠性。

发明内容

本发明要解决的技术问题就是针对等离子体加工设备中存在的上述缺陷，提供一种扫描装置，其不仅可以判断托盘盒内的每个槽位是否有托盘，而且还能判断托盘在二维方向的位置状况，同时还能对托盘的位置进行校准。

此外，本发明还提供一种等离子体加工设备，其上的扫描装置可以准确地判断托盘盒内对应的槽位是否有托盘，而且还能准确地判断托盘在二维方向的位置是否准确以及对托盘的位置进行校准。

解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种扫描装置，用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述定位部件用于在水平方向上校准托盘的位置，以沿水平方向将偏离的托盘推入槽位；所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。

其中，所述定位部件和所述接触传感器均为多个，且每一所述接触传感器对应一所述定位部件，多个所述定位部件沿所述支架的轴向间隔设置且相邻两定位部件之间的间距与所述托盘盒内相邻两槽位之间的间距相同。

其中，所述定位部件为设有一圆弧形接触面的部件，而且所述圆弧形接触面的曲率与所述托盘的外轮廓的曲率相同，所述接触传感器设置在所述圆弧形接触面位置处。

其中，在所述定位部件的底端设有朝向所述托盘方向凸出的凸部，或者，在所述定位部件的底端和顶端各设有一朝向所述托盘方向凸出的凸部。

其中，所述驱动单元包括弹性部件以及推动机构，所述弹性部件的两端分别与所述支架和所述支撑体连接，所述弹性部件对所述支架施加朝向所述支撑体方向的作用力以使所述接触传感器远离所述托盘；所述推动机构包括凸轮、压紧转轴以及压紧转轴电机，所述压紧转轴与所述支撑体平行设置，所述凸轮设置在所述压紧转轴的一端，所述压紧转轴的另一端与所述压紧转轴电机连接，所述凸轮在所述压紧转轴电机的驱动下转动，从而向所述支架施加朝向所述托盘方向的作用力以使所述接触传感器接触所述托盘。

其中，所述支撑体为中空的结构件，所述支架设置在所述支撑体的内部且与所述支撑体同轴，在所述支撑体上与所述凸轮相对的位置设有开口，所述凸轮可从所述开口伸出。

其中，所述凸轮为椭圆形凸轮或偏心轮。

其中，还包括伸缩部件，所述伸缩部件与所述支撑体同轴设置，所述伸缩部件的自由端连接所述支撑体的底部、所述伸缩部件的固定端设置在用于放置所述托盘盒的装卸载腔室的室壁上。

其中，所述伸缩部件为中空波纹管，所述支撑体套设于所述中空波纹管内，且所述压紧转轴的轴身与所述中空波纹管的自由端相连。

其中，所述接触传感器为微动开关。

其中，还包括移动机构，所述移动机构设置所述装卸载腔室上，所述移动机构包括升降电机、螺杆以及与所述螺杆相配合的移动部件，所述螺杆平行于所述中空波纹管、所述螺杆的一端通过轴承设置在所述装卸载腔室的室壁上、且所述螺杆的另一端与所述升降电机连接，所述移动部件螺接在所述螺杆上并与所述中空波纹管的自由端相连接，所述升降电机用于驱动所述螺杆正旋转或反旋转以使所述移动部件沿所述螺杆滑动，且所述移动部件用于通过沿所述螺杆滑动带动所述中空波纹管伸缩进而使所述支撑体升降。

其中，还包括移动机构，所述移动机构设置在用于放置所述托盘盒的装卸载腔室上，所述移动机构包括旋转轴、旋转臂以及电机，所述旋转轴设置在所述装卸载腔室的内室壁上，所述旋转臂的一端设置在所述旋转轴上，所述支撑体设置在所述旋转臂的另一端，所述电机与所述旋转轴连接，并可驱动所述旋转轴转动。

本发明还提供一种等离子体加工设备，包括装卸载腔室以及扫描装置，所述扫描装置用于对放置在所述装卸载腔室内托盘盒中的托盘进行扫描，所述扫描装置采用本发明提供的所述扫描装置。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的扫描装置，通过接触传感器对托盘盒内的托盘进行扫描，不仅可以判断托盘盒内的槽位是否有托盘，而且还具有以下优点：第一，接触传感器不易受外界环境的干扰，从而可以提高扫描装置判断结果的准确性；第二，接触传感器输出的状态信号无需再进行后续的程序处理，从而可以提高扫描装置判断结果的可靠性；第三，接触传感器在朝向托盘移动的过程中可以在二维方向对托盘盒内的托盘进行扫描，从而提高判断托盘位置的准确性。此外，定位部件不仅可以辅助接触传感器实现扫描操作，而且还可以对托盘的位置进行校准。

作为本发明的一个实施例，在支架的长度方向间隔设置多个定位部件和接触传感器，可以使托盘盒内的每一个托盘在竖直方向的位置相同，这样有利于提高后续机械手的取片操作的准确性。

类似地，本发明提供的等离子体加工设备，采用本发明提供的扫描装置，通过接触传感器对托盘盒进行扫描，不仅可以判断托盘盒的槽位内是否有托盘，而且还具有以下优点：第一，接触传感器不易受外界环境的干扰，从而可以提高扫描装置扫描结果的准确性；第二，接触传感器输出的状态信号无需再进行后续的程序处理，从而可以提高扫描装置扫描结果的可靠性；第三，接触传感器在自托盘盒开口处朝向托盘盒内部移动的过程中对托盘盒进行扫描，因此，可以在二维方向判断托盘的位置是否准确。此外，定位部件不仅可以辅助接触传感器实现扫描操作，而且还可以对托盘位置进行校准。

附图说明

图1为设置有托盘盒的装卸载腔室的结构示意图；

图2为装卸载腔室去掉装卸载腔室的顶部以及托盘盒盖板后的俯视图；

图3为本发明第一实施例提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室的结构示意图；

图4为本发明提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室在去掉装卸载腔室的顶部以及托盘盒盖板后的俯视图；

图5为本发明提供的定位部件的俯视图；

图6为本发明提供的定位部件的侧视图；

图7为本发明提供的另一种定位部件的结构图；以及

图8为本发明第二实施例提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室的结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的扫描装置及等离子体加工设备进行详细描述。

实施例一

图3为本发明提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室的侧视图，图4为本发明提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室在去掉装卸载腔室的顶部以及托盘盒盖板后的俯视图。请一并参阅图3和图4，在装卸载腔室1的一侧设有手动门2，托盘盒4通过手动门2放入装卸载腔室1内或从装卸载腔室1内取出。托盘盒4内设有多个槽位18，每一槽位18对应地放置一个托盘5，每个托盘5又可放置多个晶片24。在装卸载腔室1上还设有门阀3，门阀3与手动门2相对设置，装卸载腔室1通过门阀3与传输腔室(图中未示出)连通。当门阀3打开后，机械手(图中未示出)通过门阀3进入装卸载腔室1实施取放托盘5的操作。在装卸载腔室1内设有可以上下移动的升降机构6，托盘盒4放置在升降机构6的顶部，升降机构6的一端自装卸载腔室1的底部伸出并与升降机构驱动单元(图中未示出)连接，在升降机构驱动单元的驱动下，升降机构6带动托盘盒4在装卸载腔室1内上下运动。

本实施例的扫描装置不完全设置在装卸载腔室1内，即其部分部件设置在装卸载腔室1的外部。具体地，扫描装置包括驱动单元、支撑体7、支架11、多个定位部件12以及多个接触传感器13，其中，多个定位部件12沿支架11的轴向间隔地设置在支架11上，每一定位部件12水平对应一槽位18，并且相邻定位部件12之间的间距与托盘盒4内相邻槽位18之间的间距相同；每一接触传感器13对应地设置在一定位部件12上且朝向托盘盒4内一用于放置托盘5的槽位18；支架11位于装卸载腔室1内并设置在支撑体7上，支架11在驱动单元的作用下可远离或靠近支撑体7以使接触传感器13远离或接触托盘5。

图5为本发明提供的定位部件的俯视图，图6为本发明提供的定位部件的侧视图。请一并参阅图5和图6，定位部件12为设有圆弧形接触面121的部件，而且圆弧形接触面121的曲率与托盘5的外轮廓的曲率相同。当定位部件12向托盘5移动时，圆弧形接触面121向托盘5施加水平方向的作用力，从而将托盘5推入槽位18，即在水平方向对托盘5的位置进行校准。在定位部件12的底端设有朝向托盘方向凸出的第一凸部122，第一凸部122向托盘5施加向上的作用力。这样，当托盘5没有完全放入槽位18时，即倾斜放置在槽位18时，借助第一凸部122施加向上的作用力有可能将托盘5推入槽位18内，从而使托盘5的放置位置更准确。接触传感器13设置在圆弧形接触面121位置，当圆弧形接触面121向托盘5施加水平方向的作用力时，接触传感器13接触托盘5，且托盘5将使接触传感器13输出状态信号。若接触传感器13没有输出状态信号，则表明与之对应的槽位18未放置托盘5。本实施例中，其可以采用微动开关或其它类似于微动开关的接触传感器，由于接触传感器13不易受外界环境的影响，可以提高扫面装置判断槽位18是否有托盘5的准确性。此外，接触传感器13输出的状态信号无需进行信号处理程序，可以减少因后续处理而导致得出错误结果的可能性，从而提高扫描装置的可靠性。

图7为本发明提供的又一种定位部件的侧视图。请参阅图7，定位部件12的底端和顶端分别设有一朝向托盘方向凸出的第一凸部122和第二凸部123，当定位部件12靠近托盘5时，托盘5插入第一凸部122和第二凸部123之间，从而可以对托盘5的位置进行更好的校准。不难理解，即使定位部件仅包括圆弧形接触面121，而不包括第一凸部122和第二凸部123，同样能够借助圆弧形接触面121能够对托盘5水平方向的位置进行校准。

再如图3所示，驱动单元包括弹性部件14以及推动机构，弹性部件14的两端分别与支架11和支撑体7连接。当支架11远离支撑体7时，弹性部件14向支架11施加朝向支撑体7方向的作用力，以使支架11靠近支撑体7，进而使接触传感器远离托盘。弹性部件14可以采用弹簧、皮筋或其它具有弹性的部件。推动机构包括凸轮10、压紧转轴9以及压紧转轴电机23。在本实施例中，由于支撑体7为一中空的结构件，如中空的圆柱体或中空的长方体或者中空的其它结构，支撑体7的底部自装卸载腔室1内伸出，压紧转轴9可设置在支撑体7的内部且与支撑体7同轴，压紧转轴9的另一端自支撑体7的内部伸出并与压紧转轴电机23连接；凸轮10设置在压紧转轴9的一端，且在支撑体7上与凸轮10相对的位置设有开口，在压紧转轴电机23的驱动下，压紧转轴9带动凸轮10转动，凸轮10可通过该开口伸出而向支架11施加朝向托盘方向的作用力，从而使支架11远离支撑体7，即朝向托盘5运动。在本实施例中，凸轮10的形状可为椭圆形，也可以采用具有外周缘曲率不同的其它形状的凸轮，如偏心轮。

本实施例的扫描装置为配合支撑体7的上下升降，还包括伸缩部件，该伸缩部件与支撑体7同轴地设置在装卸载腔室1的外部，且该伸缩部件的自由端连接支撑体7的底部、其固定端设置在装卸载腔室1的外室壁上。具体地，伸缩部件可为一中空波纹管8，支撑体7套设于中空波纹管8内，在这里可通过驱动中空波纹管8的伸缩而带动支撑体7上下升降；进一步地，压紧转轴9穿过中空波纹管8，并可通过密封轴承15使中空波纹管8的轴身与中空波纹管8的自由端相连；密封轴承15既可用于支承压紧转轴9，即压紧转轴9可通过密封轴承15自由转动，又可用于密封装卸载腔室1，由此，中空波纹管8的伸缩在带动支撑体7上下升降的同时也可带动整个驱动单元的上下升降，以避免扫描装置阻碍机械手取放托盘5。可以理解，压紧转轴9也可以通过密封轴承设置在支撑体7上，即将压紧转轴9通过密封轴承设置在支撑体7的内部。

本实施例扫描装置还包括移动机构，该移动机构位于装卸载腔室1的外部，且用于驱动伸缩部件的伸缩，即用于驱动中空波纹管8的伸缩。请参阅图3，移动机构包括升降电机19、螺杆20以及与螺杆20相配合的移动部件21，其中，螺杆20与中空波纹管8平行设置，螺杆20的一端通过轴承22设置在装卸载腔室1底部的外室壁上，另一端与升降电机19连接。移动部件21螺接在螺杆20上，并连接中空波纹管8的自由端。升降电机19用于驱动螺杆20正旋转或反旋转以使移动部件21沿螺杆20滑动，且移动部件21用于通过沿螺杆20滑动而驱动中空波纹管8进行伸缩，进而使中空波纹管8的自由端带动支撑体7以及整个驱动单元升降。

不难理解，由于驱动单元、支架11、定位部件12以及接触传感器13均直接或间接的与支撑体7连接，移动支撑体7也可采用其他的方式移动驱动单元、支架11、定位部件12以及接触传感器13。因此，本实施例中，只要将支撑体7与移动机构的移动部件21直接或间接连接，即能够将驱动单元、支架11、定位部件12以及接触传感器13移到其它位置，从而避免影响机械手取放托盘5的操作。

上述扫描装置的操作步骤如下：从手动门2将托盘盒4放置在升降机构6的顶端，升降电机19转动，使支撑体7向上运动至托盘盒4位置，并使每个定位部件12与对应的槽位18在同一水平面。压紧转轴电机23转动而带动压紧转轴9旋转，且凸轮10在压紧转轴9驱动下进行旋转进而推动支架11朝向托盘盒4方向移动。当托盘5与定位部件12的圆弧形接触面接触时，定位部件12将推动托盘5使其向槽位18的内侧移动，即向图中的左侧移动，从而实现对托盘5的位置校准。与此同时，接触传感器13受到挤压而输出状态信号。压紧转轴电机23继续转动，使凸轮10停止对托盘5施加作用力，同时，弹性部件14向支架11施加指向支撑体7方向的作用力，从而使定位部件12远离托盘盒4。至此，扫描装置完成对托盘5的扫描和校准操作。升降电机19转动，支撑体7向下移动离开托盘盒4。

本实施例中，在支架11上设置多个定位部件12以及与定位部件12数量对应的接触传感器13，驱动单元执行一个操作即可完成托盘盒4的扫描及位置校准，这不仅可以提高扫描的速度，而且还可以使托盘盒4内的托盘5在竖直方向上的位置相同，这样可以提高机械手抓取托盘5的准确性。

实际应用中，在升降电机19内设置安全负载保护机构，以避免因托盘5部分滑出托盘盒4而导致升降电机19损坏。当升降电机19的负载超过安全负载时，升降电机19发出报警信号，同时停止转动。压紧转轴电机23同样设有安全负载保护机构，当压紧转轴电机23的负载超过安全负载时，压紧转轴电机23发出报警信号，同时停止转动，从而避免压紧转轴电机23的损坏。

实施例二

相对于实施例一扫描装置不完全设置在装卸载腔室1内，本实施例的扫描装置完全设置在装卸载腔室1的内部。图8为本发明第二实施例提供的包含有托盘盒以及扫描装置的装卸载腔室的结构示意图。请参阅图8，支撑体7仍为一中空的结构件，但支撑体7的底部并不自装卸载腔室1内伸出，而是整体置于中空波纹管8的上部，且压紧转轴9设置在支撑体7的内部且与支撑体7同轴设置的同时，压紧转轴9并不穿过中空波纹管8；再者，中空波纹管8与支撑体7同轴地设置在装卸载腔室1的内部，且该中空波纹管8的自由端连接支撑体7的底部、其固定端设置在装卸载腔室1底部的内室壁上；移动机构中的螺杆20的一端通过轴承22设置在装卸载腔室1底部的内室壁上、另一端与升降电机19连接。且由于扫描装置完全设置在装卸载腔室1的内部，因此，中空波纹管8的自由端与压紧转轴9之间不需要采用密封轴承连接，只需普通轴承即可实现支承压紧转轴9的目的。因此，将移动机构设置在装卸载腔室1的内部可以降低扫描装置的制作成本以及装配成本。

进一步地，当扫描装置完全设置在装卸载腔室1的内部时，可不通过伸缩部件(即中空波纹管8)以及用于驱动伸缩部件进行伸缩的移动机构。而是采用如下结构，即，移动机构包括旋转轴、旋转臂以及电机，旋转轴以可转动方式设置在装卸载腔室1的内壁上，电机与旋转轴连接，旋转臂的一端设置在旋转轴上，支撑体7设置在旋转臂的另一端。当电机带动旋转轴转动时，旋转臂可带动支撑体7转动，从而使支撑体7水平移动到其他不影响机械手取放托盘5操作的位置。由于驱动单元、支架11、定位部件12以及接触传感器13均直接或间接的与支撑体7连接。因此，支撑体7的转动可以使驱动单元、支架11、定位部件12以及接触传感器13移动到其它位置，从而避免影响机械手取放托盘5的操作。

上述实施例提供的扫描装置，通过接触传感器对托盘盒内的托盘进行扫描，不仅可以判断托盘盒的槽位是否有托盘，而且还具有以下优点：第一，接触传感器不易受外界环境的干扰，从而可以提高扫描装置判断结果的准确性；第二，接触传感器输出的状态信号无需再进行后续的程序处理，从而可以提高扫描装置判断结果的可靠性；第三，接触传感器是在朝向托盘方向移动的过程中对托盘盒进行扫描，因此，可以在二维方向判断托盘的位置是否准确，即可以在移动方向以及竖直方向判断托盘的位置是否准确。此外，定位部件不仅可以辅助接触传感器实现扫描操作，而且还可以在其移动的过程中对托盘位置进行校准。

另外，本实施例还提供一种等离子体加工装置，包括装卸载腔室以及扫描装置，扫描装置设置在装卸载腔室内，以对放置在装卸载腔室内的托盘盒的托盘位置进行扫描和校准，扫描装置采用上述实施例中提供的扫描装置。采用本发明提供的扫描装置，通过接触传感器对托盘盒进行扫描，不仅可以判断托盘盒的槽位内是否有托盘，而且还具有以下优点：第一，接触传感器不易受外界环境的干扰，从而可以提高扫描装置判断结果的准确性；第二，接触传感器输出的状态信号无需再进行后续的程序处理，从而可以提高扫描装置判断结果的可靠性；第三，接触传感器在朝向托盘方向的移动过程中对托盘盒进行扫描判断，因此，可以在二维方向判断托盘的位置是否准确，即可以在移动方向以及竖直方向判断托盘的位置是否准确。此外，定位部件不仅可以辅助接触传感器实现扫描操作，而且还可以在其移动的过程中对托盘位置进行校准。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种扫描装置，用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其特征在于，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，其中，

所述接触传感器设置在所述定位部件上；

所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述定位部件用于在水平方向上校准托盘的位置，以沿水平方向将偏离的托盘推入槽位；

所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。

2.根据权利要求1所述扫描装置，其特征在于，所述定位部件和所述接触传感器均为多个，且每一所述接触传感器对应一所述定位部件，多个所述定位部件沿所述支架的轴向间隔设置且相邻两定位部件之间的间距与所述托盘盒内相邻两槽位之间的间距相同。

3.根据权利要求1所述扫描装置，其特征在于，所述定位部件为设有一圆弧形接触面的部件，而且所述圆弧形接触面的曲率与所述托盘的外轮廓的曲率相同，所述接触传感器设置在所述圆弧形接触面位置处。

4.根据权利要求3所述扫描装置，其特征在于，在所述定位部件的底端设有朝向所述托盘方向凸出的凸部，或者，在所述定位部件的底端和顶端各设有一朝向所述托盘方向凸出的凸部。

5.根据权利要求1所述扫描装置，其特征在于，所述驱动单元包括弹性部件以及推动机构，所述弹性部件的两端分别与所述支架和所述支撑体连接，所述弹性部件对所述支架施加朝向所述支撑体方向的作用力以使所述接触传感器远离所述托盘；所述推动机构包括凸轮、压紧转轴以及压紧转轴电机，所述压紧转轴与所述支撑体平行设置，所述凸轮设置在所述压紧转轴的一端，所述压紧转轴的另一端与所述压紧转轴电机连接，所述凸轮在所述压紧转轴电机的驱动下转动，从而向所述支架施加朝向所述托盘方向的作用力以使所述接触传感器接触所述托盘。

6.根据权利要求5所述扫描装置，其特征在于，所述支撑体为中空的结构件，所述支架设置在所述支撑体的内部且与所述支撑体同轴，在所述支撑体上与所述凸轮相对的位置设有开口，所述凸轮可从所述开口伸出。

7.根据权利要求5所述扫描装置，其特征在于，所述凸轮为椭圆形凸轮或偏心轮。

8.根据权利要求5扫描装置，其特征在于，还包括伸缩部件，所述伸缩部件与所述支撑体同轴设置，所述伸缩部件的自由端连接所述支撑体的底部、所述伸缩部件的固定端设置在用于放置所述托盘盒的装卸载腔室的室壁上。

9.根据权利要求8所述扫描装置，其特征在于，所述伸缩部件为中空波纹管，所述支撑体套设于所述中空波纹管内，且所述压紧转轴的轴身与所述中空波纹管的自由端相连。

10.根据权利要求1所述扫描装置，其特征在于，所述接触传感器为微动开关。

11.根据权利要求1-10任意一项所述扫描装置，其特征在于，还包括移动机构，所述移动机构设置用于放置所述托盘盒的装卸载腔室上，所述移动机构包括升降电机、螺杆以及与所述螺杆相配合的移动部件，所述螺杆平行于所述中空波纹管、所述螺杆的一端通过轴承设置在所述装卸载腔室的室壁上、且所述螺杆的另一端与所述升降电机连接，所述移动部件螺接在所述螺杆上并与所述中空波纹管的自由端相连接，所述升降电机用于驱动所述螺杆正旋转或反旋转以使所述移动部件沿所述螺杆滑动，且所述移动部件用于通过沿所述螺杆滑动带动所述中空波纹管伸缩进而使所述支撑体升降。

12.根据权利要求1-10任意一项所述扫描装置，其特征在于，还包括移动机构，所述移动机构设置在用于放置所述托盘盒的装卸载腔室上，所述移动机构包括旋转轴、旋转臂以及电机，所述旋转轴设置在所述装卸载腔室的内室壁上，所述旋转臂的一端设置在所述旋转轴上，所述支撑体设置在所述旋转臂的另一端，所述电机与所述旋转轴连接，并可驱动所述旋转轴转动。

13.一种等离子体加工设备，包括装卸载腔室以及扫描装置，所述扫描装置用于对放置在所述装卸载腔室内托盘盒中的托盘进行扫描，其特征在于，所述扫描装置采用权利要求1-12任意一项所述扫描装置。