CN220516829U - 旋转臂及半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转机构、夹取机构以及驱动机构；旋转机构包括第一动力构件以及旋转架，夹取机构在第一方向上设置于旋转架的两侧，两侧的夹取机构相对设置；第一动力构件连接于旋转架，以驱动旋转架带动夹取机构旋转；驱动机构用于驱动夹取机构动作，以使夹取机构夹取或松开。本申请提供的旋转臂通过夹取机构夹取晶圆，在搬运过程中，能够更好地固定晶圆，避免晶圆在搬运过程中发生偏移滑片。另外，夹取机构可活动，因而，其能够适配更多种规格尺寸的晶圆，通用性更高。

Description

旋转臂及半导体检测设备

技术领域

本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。

背景技术

近年来，半导体设备发展迅速，半导体量检测设备是半导体制造过程中对芯片性能与缺陷的进行检测的关键设备。目前检测晶圆的半导体检测设备的主体腔体主要由前置样品交换室和样品量测室构成，由于量测样品需要，需要在前置样品交换室抽完真空后通过旋转臂托起晶圆，并将其传输至进样品量测室。

然而，现有的旋转臂的通用性较差，难以匹配不同尺寸规格的晶圆。现有旋转臂通过承托搬运方式搬运晶圆，然而该种搬运方式易导致晶圆在运输过程中发生偏移滑片，甚至出现碎片。

实用新型内容

本申请提供了一种旋转臂及半导体检测设备，以解决现有技术提出的偏移滑片的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种旋转臂，该旋转臂包括旋转机构、夹取机构以及驱动机构；旋转机构包括第一动力构件以及旋转架，夹取机构在第一方向上设置于旋转架的两侧，两侧的夹取机构相对设置；第一动力构件连接于旋转架，以驱动旋转架带动夹取机构旋转；驱动机构用于驱动夹取机构动作，以使夹取机构夹取或松开。

在本申请可选的实施例中，夹取机构包括固定挡板组件以及活动挡板组件；固定挡板组件与活动挡板组件在第一方向上间隔设置，活动挡板组件相对固定挡板组件靠近旋转架的旋转中心；驱动机构用于驱动活动挡板组件在第一方向上靠近或远离固定挡板组件。

在本申请可选的实施例中，驱动机构包括第二动力构件、凸轮、伸缩杆以及弹性件；凸轮活动连接于旋转架，第二动力构件连接于凸轮，以用于驱动凸轮相对旋转架旋转，凸轮的旋转中心与旋转架的旋转中心同心设置；伸缩杆以及弹性件在第一方向上设置于凸轮的两侧，伸缩杆沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件、另一端抵接于凸轮；弹性件沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件、另一端连接于旋转架。

在本申请可选的实施例中，凸轮包括两个凸面以及两个凹面，两个凸面关于凸轮的旋转中心对称设置，两个凹面关于凸轮的旋转中心对称设置。

在本申请可选的实施例中，弹性件外套于伸缩杆。

在本申请可选的实施例中，固定挡板组件包括固定块以及固定挡板，活动挡板组件包括活动块以及活动挡板；固定块连接于旋转架，活动块活动连接于旋转架，固定挡板及活动挡板分别连接于固定块及活动块。

在本申请可选的实施例中，固定挡板及活动挡板均包括转接板段以及承托板段；承托板段连接于转接板段并沿第一方向延伸，固定挡板的转接板段连连接于固定块，活动挡板的转接板段连接于活动块；在同一夹取机构中，固定挡板中的承托板段与活动挡板中的承托板段面向彼此设置。

在本申请可选的实施例中，夹取机构还包括防滑垫，防滑垫设置于承托板段。

根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，该半导体检测设备包括前置样品交换室、样品量测室、第一基座、第二基座以及上述的旋转臂；第一基座设置于前置样品交换室内，第二基座设置于样品量测室内，旋转臂连接于样品量测室并用于交换第一基座及第二基座上的晶圆。

在本申请可选的实施例中，还包括阀门，阀门用于通断前置样品交换室与样品量测室；在阀门断开前置样品交换室与样品量测室的状态下，旋转架及两侧的夹取机构位于样品量测室中；在阀门连通前置样品交换室与样品量测室的状态下，两侧的夹取机构中的一者位于第一基座的上方、另一者位于第二基座的上方，以用于分别夹取对应的晶圆。

综上所述，本申请提供的旋转臂及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

在本申请提供的旋转臂中，通过旋转机构调节夹取机构的位置，使得夹取机构位于搬运工位，通过驱动机构驱动夹取机构动作，从而实现夹取或松开晶圆以进行搬运。相较于现有技术中采用旋转臂承托晶圆的搬运方案，本申请提供的旋转臂通过夹取机构夹取晶圆，在搬运过程中，能够更好地固定晶圆，避免晶圆在搬运过程中发生偏移滑片。另外，夹取机构可活动，因而，其能够适配更多种规格尺寸的晶圆，通用性更高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图；

图2为根据本申请其中一个实施例提供的旋转臂的在一视角下的剖视图；

图3出示了图2中的旋转臂在另一视角下的示意图；

图4出示了图3中的凸轮的示意图。

附图标记如下：

100、旋转臂；101、联轴器；102、传动轴；

110、旋转机构；111、第一动力构件；112、旋转架；1121、固定筒；1122、连接杆；

120、夹取机构；121、固定挡板组件；1211、固定块；1212、固定挡板；122、活动挡板组件；1221、活动块；1222、活动挡板；123、防滑垫；12a、第一夹取机构；12b、第二夹取机构；

130、驱动机构；131、第二动力构件；132、凸轮；1321、凸面；1322、凹面；133、伸缩杆；134、弹性件；

R1、前置样品交换室；R2、样品量测室；201、第一基座；202、第二基座；203、阀门。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图。请参阅图1，该半导体检测设备包括前置样品交换室R1、样品量测室R2、第一基座201、第二基座202以及旋转臂100。第一基座201设置于前置样品交换室R1，第二基座202设置于样品量测室R2，旋转臂100连接于样品量测室R2。

需要说明的是，该半导体检测设备可用于晶圆检测，晶圆检测工艺必须处于真空环境中，样品量测室R2维持有检测所需的真空环境，位于样品量测室R2中的第二基座202用于承放晶圆。

应理解地，如若将大气端的待检测晶圆直接放置于样品量测室R2中的第二基座202上，需要频繁对样品量测室R2进行抽真空，以达到检测的真空度，由于样品量测室R2的容积较大，抽真空时间过长，效率偏低，并且频繁对样品量测室R2破真空，易导致污染样品量测室R2中的元器件。

目前，采用在样品量测室R2的上游设置前置样品交换室R1，对前置样品交换室R1抽真空，待检测晶圆从大气端进入到前置样品交换室R1进行过渡后，将样品交换室R1与样品量测室R2连通，再将待检测晶圆传送至样品量测室R2中进行量测，由于前置样品交换室R1的容积远小于样品量测室R1，因而抽真空时间大大减少，提高作业效率。

需要说明的是，在第一基座201上承放的为待检测晶圆，在第二基座202上承放的已检测晶圆，在前置样品交换室R1以及样品量测试R2连通的情况下，旋转臂100动作以将待检测晶圆放置于第二基座202上，并将已检测晶圆放置于第一基座201上。可见，在本实施例中，旋转臂100用于交换第一基座201及第二基座202上的晶圆。

图2为根据本申请其中一个实施例提供的旋转臂100的在一视角下的剖视图。请参阅图2，该旋转臂100包括旋转机构110、夹取机构120以及驱动机构130。旋转机构110包括第一动力构件111以及旋转架112，夹取机构120在第一方向上设置于旋转架112的两侧，两侧的夹取机构120相对设置。第一动力构件111连接于旋转架112，以驱动旋转架112带动夹取机构120旋转。驱动机构130用于驱动夹取机构120动作，以使夹取机构120夹取或松开。

具体地，通过旋转机构110调节夹取机构120的位置，使得夹取机构120位于搬运工位，通过驱动机构130驱动夹取机构120动作，从而实现夹取或松开晶圆以进行搬运。相较于现有技术中采用旋转臂承托晶圆的搬运方案，本申请提供的旋转臂100通过夹取机构120夹取晶圆，在搬运过程中，能够更好地固定晶圆，避免晶圆在搬运过程中发生偏移滑片。另外，夹取机构120可活动，因而，其能够适配更多种规格尺寸的晶圆，通用性更高。

请参阅图1，在一些可选的实施例中，该半导体检测设备还包括阀门203，阀门203用于通断前置样品交换室R1与样品量测室R2。在阀门203断开前置样品交换室R1与样品量测室R2的状态下，旋转架112及两侧的夹取机构120位于样品量测室R2中。

在阀门203连通前置样品交换室R1与样品量测室R2的状态下，两侧的夹取机构120中的一者位于第一基座201的上方、另一者位于第二基座202的上方，以用于分别夹取对应的晶圆。

在本实施例中，通过阀门203控制前置样品交换室R1与样品量测室R2之间的通断，阀门203处于关闭状态下，前置样品交换室R1与样品量测室R2断开，即两腔室彼此分隔。此时表明，前置样品交换室R1还未达到真空压力要求。

在前置样品交换室R1达到真空压力要求的条件下，阀门203由关闭状态切换至打开状态，前置样品交换室R1与样品量测室R2连通。相应地，旋转臂100动作，旋转架112旋转以带动两侧的夹取机构120，从而调节两侧的夹取机构120的位置，使得两侧的夹取机构120分别位于第一基座201以及第二基座202的上方，以达到晶圆夹取位置，从而夹取对应的晶圆。

为了便于理解本方案，下述结合附图1详细说明通过旋转臂100在前置样品交换室R1与样品量测室R2之间搬运样品的流程。为了便于说明，两侧的夹取机构120分别为第一夹取机构12a以及第二夹取机构12b。

在阀门203处于关闭状态下，旋转架112处于零位并位于样品量测室R2内，相应地，第一夹取机构12a及第二夹取机构12b均位于样品量测室R2内。待检测晶圆被传入前置样品交换室R1中并放于第一基座201上，然后对前置样品交换室R1进行抽真空，使得前置样品交换室R1达到真空压力要求。

阀门203切换至打开状态，使得前置样品交换室R1与样品量测室R2连通，第一动力构件111驱动旋转架112旋转90°，以将第一夹取机构12a旋入至前置样品交换室R1中的第一基座201的上方以准备夹取待检测晶圆，并将第二夹取机构12b旋入至样品量测室R2中的第二基座202的上方以准备夹取已检测晶圆(如图1所示)。

通过驱动机构130同步驱动第一夹取机构12a及第二夹取机构12b动作，进而夹取待检测晶圆以及已检测晶圆。接着第一动力构件111驱动旋转架112旋转180°，交换待检测晶圆以及已检测晶圆位置，从而将待检测晶圆放入样品量测室R2中的第二基座202的上方，并将已检测晶圆放入前置样品置换室R1中的第一基座201的上方。

通过驱动机构130同步驱动第一夹取机构12a及第二夹取机构12b动作，进而松开待检测晶圆以及已检测晶圆，将待检测晶圆置于第二基座202，将已检测晶圆置于第一基座201，从而交换晶圆位置。

接着第一动力构件111驱动旋转架112复位(旋转至零位)，阀门203切换至关闭状态，对前置样品交换室R1进行破真空即可取出位于第一基座201上的已检测晶圆，相应地，可对位于第二基座202上的待检测晶圆进行检测。

图3出示了图2中的旋转臂100在另一视角下的示意图。请参阅图2及图3，在一些可选的实施例中，该夹取机构120包括固定挡板组件121以及活动挡板组件122。固定挡板组件121与活动挡板组件122在第一方向上间隔设置，活动挡板组件122相对固定挡板组件121靠近旋转架112的旋转中心。驱动机构130用于驱动活动挡板组件122在第一方向上靠近或远离固定挡板组件121。

在本实施例中，固定挡板组件121固定于旋转架112上，活动挡板组件122活动连接于旋转架112上，即活动挡板组件122能够相对旋转架112活动。应理解地，驱动机构130驱动活动挡板组件122靠近固定挡板组件121时，夹取机构120进行夹取动作。驱动机构130驱动活动挡板组件122远离固定挡板组件121时，夹取机构120进行松开动作。

应理解地，固定挡板组件121与活动挡板组件122之间的间距决定了可搬运晶圆的尺寸，由于活动挡板组件122可在第一方向上运动，因而固定挡板组件121与活动挡板组件122之间的间距可调，可适配尺寸不同的晶圆，即通用性更好。

在一些可选的实施例中，驱动机构130包括第二动力构件131、凸轮132、伸缩杆133以及弹性件134。其中，凸轮132活动连接于旋转架112，第二动力构件131连接于凸轮132，以用于驱动凸轮132相对旋转架112旋转，凸轮132的旋转中心与旋转架112的旋转中心同心设置。

伸缩杆133及弹性件134在第一方向上设置于凸轮132的两侧，伸缩杆133沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件122、另一端抵接于凸轮132。弹性件134沿第一方向延伸且一端连接于活动挡板组件122、另一端连接于旋转架112。

在本实施例中，两侧的伸缩杆133以及两侧的弹性件134均关于旋转架112的旋转中心对称布置，弹性件134处于拉伸状态，从而为活动挡板组件122提供朝向旋转架112的旋转中心的拉力，进而确保连接于活动挡板组件122的伸缩杆133的一端始终抵接于凸轮132。

第二动力构件131能够驱动凸轮132旋转，由于伸缩杆133的一端始终维持抵接于凸轮132的状态，因而伸缩杆133跟随凸轮132的周侧曲面位置变化而在第一方向上往复运动，进而带动活动挡板组件122远离或靠近固定挡板组件121。

另外，凸轮132与旋转架112同旋转中心，如此，第一动力构件111驱动旋转架112运动时，避免导致凸轮132跟随旋转架112偏心转动。

请结合图1和图2，在具体应用中，第一动力构件111及第二动力构件131均采用电机，第一动力构件111以及第二动力构件131位于样品量测室R2外并相对设置，第一动力构件111的输出轴及第二动力构件131的输出轴均通过联轴器101配合传动轴102的驱动结构以分别驱动旋转架112以及凸轮132。

请参阅图3，在一些可选的实施例中，旋转架112包括固定筒1121以及多根连接杆1122，固定筒1121设置于旋转架112的旋转中心，多个连接杆1122关于固定筒1121中心对称设置。凸轮132收容于固定筒1121的筒腔内。第一动力构件111通过传动轴102连接于固定筒1121，从而驱动旋转架112旋转。

在本实施例中，伸缩杆133的一端穿过固定筒1121的周壁，从而抵接于凸轮132上，弹性件134位于固定筒1121与活动挡板组件122之间。

在进一步可选的实施例中，弹性件134外套于伸缩杆133。换言之，伸缩杆133能够限定弹性件134的活动位置，而且也能够引导弹性件134伸缩。当然弹性件134并不局限于外套于伸缩杆133上，保证弹性件134能够提供预紧力作用于伸缩杆133上即可。在本实施例中，弹性件134可采用例如弹簧、弹性橡胶等，可根据需求选择。

图4出示了图3中的凸轮132的示意图。请参阅图4，在进一步可选的实施例中，凸轮132包括两个凸面1321以及两个凹面1322，两个凸面1321关于凸轮132的旋转中心对称设置，两个凹面1322关于凸轮132的旋转中心对称设置。

在本实施例中，两个凸面1321位于第一方向的状态下，两个凸面1321分别抵接于两侧的伸缩杆133，以使活动挡板组件122靠近固定挡板组件121。两个凹面1322位于第一方向的状态下，两个凹面1322分别抵接于两侧的伸缩杆133，以使活动挡板组件122远离固定挡板组件121。

图4所示实施例中，两个凸面1321的中心连线与两个凹面1322的中心连线垂直交叉。换言之，第二动力构件131驱动凸轮132旋转90°即可改变夹取机构120的状态。

在一些可选的实施例中，固定挡板组件121包括固定块1211以及固定挡板1212，活动挡板组件122包括活动块1221以及活动挡板1222。固定块1211连接于旋转架112，活动块1221活动连接于旋转架112，固定挡板1212及活动挡板1222分别连接于固定块1211及活动块1221。

在本实施例中，固定挡板1212通过固定块1211以与旋转架112相连，活动挡板1222通过活动块1221以与旋转架112相连，活动块1221能够相对旋转架112在第一方向上运动。需要说明的是，在夹取搬运晶圆时，晶圆位于固定挡板1212以及活动挡板1222之间且需要尽量保证晶圆水平。因而对固定挡板1212以及活动挡板1222二者之间的水平度具有要求。

假若将固定挡板1212与活动挡板1222直接与旋转架112相连，在安装过程中难以调试固定挡板1212及活动挡板1222二者之间的水平度，因而在本实施例中，通过固定块1211及活动块1221进行过渡连接，便于在装配过程中调整固定挡板1212及活动挡板1222二者之间的水平度。

在具体应用中，固定块1211固定于连接杆1122的端部，活动块1221活动连接于连接杆1122并位于固定挡板组件121与固定筒1121之间。

在进一步可选的实施例中，固定挡板1212及活动挡板1222均包括转接板段以及承托板段。承托板段连接于转接板段并沿第一方向延伸，固定挡板1212的转接板段连接于固定块1211，活动挡板1222的转接板段连接于活动块1221。在同一夹取机构120中，固定挡板1212中的承托板段与活动挡板1222中的承托板段面向彼此设置。

在本实施例中，固定挡板1212以及活动挡板1222均为弯折板结构，转接板段用于连接固定块1211或活动块1221，承托板段用于托起晶圆。应理解地，上述指出的调整固定挡板1212及活动挡板1222二者之间的水平度，是指固定挡板1212的承托板段与活动挡板1222中的承托板段二者处于同一平面。

在图2所示实施例中，固定挡板1212及活动挡板1222的截面均呈L形，即转接板段与承托板段垂直连接，当然并不局限于图示实施例。

在进一步可选的实施例中，夹取机构120还包括防滑垫123，防滑垫123设置于承托板段。具体地，夹取机构120夹取晶圆的状态下，晶圆的边缘位于承托板段的防滑垫123上，通过防滑垫123进一步防止晶圆滑动，避免滑片。

在进一步可选的实施例中，固定挡板组件121以及活动挡板组件122均为圆弧形结构且面向彼此设置。如此适配晶圆的外形，以便于夹取晶圆。在本实施例中，固定块1211及活动块1221均呈弧形设置，相应地，固定挡板1212的转接板段及活动挡板1222的转接板段均呈弧形以对应贴合固定块1211及活动块1221，连接于转接板段的承托板段也呈弧形。

在上述的各实施例中，以将该旋转臂100用于搬运晶圆举例说明，当然，该旋转臂100并不局限于晶圆搬运。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种旋转臂，其特征在于，所述旋转臂(100)包括旋转机构(110)、夹取机构(120)以及驱动机构(130)；

所述旋转机构(110)包括第一动力构件(111)以及旋转架(112)，所述夹取机构(120)在第一方向上设置于所述旋转架(112)的两侧，两侧的所述夹取机构(120)相对设置；

所述第一动力构件(111)连接于所述旋转架(112)，以驱动所述旋转架(112)带动所述夹取机构(120)旋转；

所述驱动机构(130)用于驱动所述夹取机构(120)动作，以使所述夹取机构(120)夹取或松开。

2.根据权利要求1所述的旋转臂，其特征在于，

所述夹取机构(120)包括固定挡板组件(121)以及活动挡板组件(122)；

所述固定挡板组件(121)与所述活动挡板组件(122)在所述第一方向上间隔设置，所述活动挡板组件(122)相对所述固定挡板组件(121)靠近所述旋转架(112)的旋转中心；

所述驱动机构(130)用于驱动所述活动挡板组件(122)在所述第一方向上靠近或远离所述固定挡板组件(121)。

3.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，

所述驱动机构(130)包括第二动力构件(131)、凸轮(132)、伸缩杆(133)以及弹性件(134)；

所述凸轮(132)活动连接于所述旋转架(112)，所述第二动力构件(131)连接于所述凸轮(132)，以用于驱动所述凸轮(132)相对所述旋转架(112)旋转，所述凸轮(132)的旋转中心与所述旋转架(112)的旋转中心同心设置；

所述伸缩杆(133)以及所述弹性件(134)在所述第一方向上设置于所述凸轮(132)的两侧，所述伸缩杆(133)沿所述第一方向延伸且一端连接于所述活动挡板组件(122)、另一端抵接于所述凸轮(132)；

所述弹性件(134)沿所述第一方向延伸且一端连接于所述活动挡板组件(122)、另一端连接于所述旋转架(112)。

4.根据权利要求3所述的旋转臂，其特征在于，所述凸轮(132)包括两个凸面(1321)以及两个凹面(1322)，两个所述凸面(1321)关于所述凸轮(132)的旋转中心对称设置，两个所述凹面(1322)关于所述凸轮(132)的旋转中心对称设置。

5.根据权利要求3所述的旋转臂，其特征在于，所述弹性件(134)外套于所述伸缩杆(133)。

6.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，所述固定挡板组件(121)包括固定块(1211)以及固定挡板(1212)，所述活动挡板组件(122)包括活动块(1221)以及活动挡板(1222)；

所述固定块(1211)连接于所述旋转架(112)，所述活动块(1221)活动连接于所述旋转架(112)，所述固定挡板(1212)及所述活动挡板(1222)分别连接于所述固定块(1211)及所述活动块(1221)。

7.根据权利要求6所述的旋转臂，其特征在于，

所述固定挡板(1212)及所述活动挡板(1222)均包括转接板段以及承托板段；

所述承托板段连接于所述转接板段并沿所述第一方向延伸，所述固定挡板(1212)的转接板段连连接于所述固定块(1211)，所述活动挡板(1222)的转接板段连接于所述活动块(1221)；

在同一所述夹取机构(120)中，所述固定挡板(1212)中的承托板段与所述活动挡板(1222)中的承托板段面向彼此设置。

8.根据权利要求7所述的旋转臂，其特征在于，所述夹取机构(120)还包括防滑垫(123)，所述防滑垫(123)设置于所述承托板段。

9.一种半导体检测设备，其特征在于，包括前置样品交换室(R1)、样品量测室(R2)、第一基座(201)、第二基座(202)以及根据权利要求1至8中任一项所述的旋转臂(100)；

所述第一基座(201)设置于所述前置样品交换室(R1)内，所述第二基座(202)设置于所述样品量测室(R2)内，所述旋转臂(100)连接于所述样品量测室(R2)并用于交换所述第一基座(201)及所述第二基座(202)上的晶圆。

10.根据权利要求9所述的半导体检测设备，其特征在于，还包括阀门(203)，所述阀门(203)用于通断所述前置样品交换室(R1)与所述样品量测室(R2)；

在所述阀门(203)断开所述前置样品交换室(R1)与所述样品量测室(R2)的状态下，所述旋转架(112)及两侧的所述夹取机构(120)位于所述样品量测室(R2)中；

在所述阀门(203)连通所述前置样品交换室(R1)与所述样品量测室(R2)的状态下，两侧的所述夹取机构(120)中的一者位于所述第一基座(201)的上方、另一者位于所述第二基座(202)的上方，以用于分别夹取对应的晶圆。