CN102586752A - 基板固定装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基板固定装置，应用于基板的运送过程，基板固定装置包含：承载座，用以承载基板，承载座中具有多个透孔；第一固定结构，穿过该等透孔并沿基板的法线方向移动，其移动而提供朝向基板法线方向的下压力时将基板抵顶至承载座；第二固定结构，置于承载座的第一侧并透过拉力元件与承载座连接；及滑动轴承结构，分别固定于承载座与第二固定结构，其因应第一固定结构的第一凸出部沿基板法线方向移动的滑入而将第二固定结构推离，以释放基板，并因应第一凸出部沿基板法线方向移动的滑出而通过拉力元件将第二固定结构拉近，以固定基板。
Description
技术领域
本发明是有关于一种基板固定装置，且特别是有关于一种溅镀机台中的基板固定装置。
背景技术
请参见图1A～图1D，其为一传统溅镀机台中的基板固定装置，溅镀机台广泛应用于各类成模制程中，例如，薄膜晶体管与金氧半晶体管等元件的制程中。图1A表示出基板固定装置的上视示意图，其中包含有一承载座91，用以承载该基板90，该承载座91中具有多个透孔910及凹槽99。至于图1B则表示出基板固定装置的侧面示意图，该承载座91中的多个透孔910用以让第一固定结构92的多个插件922穿过该等透孔910，而衬垫923分别设置于该等插件922的端点，至于弹簧924套合于插件922上，该等弹簧一端固接该插件922，另一端接触至该承载座91。当该等插件922因移动平台921下移，便可使得套合于插件922上的弹簧924的回复力而将该等衬垫923沿基板90的法线方向向下移动，进而形成如图1C所示的状态，用以提供下压力来将基板90抵顶至该承载座91而完成固定。
而为能提供衬垫923的容置空间，习知承载座91上具有凹槽99来让衬垫923嵌入。但因进入溅镀工作状态时，承载座91将如图1d的所示，由水平状态转成直立状态，用以靠近溅镀靶材98以及掩膜97，因此，于制程中产生的碎片很可能掉入位于直立状态的承载座91下端的凹槽99中，而堆积凹槽99中的碎片容易造成后续基板90的固定过程中被夹碎而发生连续破片的异常。有鉴于此，如何进一步改善习用装置所造成的缺失，为发展本案的主要目的。
发明内容
发明所要解决的技术问题在于提供一种基板固定装置，应用于基板的运送过程，该基板固定装置包含：承载座，用以承载该基板，该承载座中具有多个透孔；第一固定结构，穿过该等透孔并沿该基板的法线方向移动，其移动而提供朝向该基板法线方向的下压力时将该基板抵顶至该承载座；第二固定结构，设置于该承载座的第一侧并透过拉力元件与该承载座连接；以及滑动轴承结构，分别固定于该承载座与该第二固定结构，其因应该第一固定结构的第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构推离，以释放该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近，以固定该基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该基板可为玻璃基板、透光基板或半导体基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该承载座面积可大于该基板而具有外环部，该外环部中具有该等透孔。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该第一固定结构包含：移动平台，其具有第一凸出部及第二凸出部并可沿该基板法线方向进行往复移动；多个插件，接触至移动平台的第二凸出部并穿过该等透孔；多个弹簧，套合该等插件；以及多个衬垫，分别设置于该等插件的端点，用以于该等插件因应该等弹簧的回复力而沿基板的法线方向移动时，来将基板抵顶至承载座。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中第二凸出部沿基板法线方向向上移动时，压缩该等弹簧而使该等插件沿基板的法线方向向上移动而使该等衬垫向上移动。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该第二固定结构包含：接触部，设置于该承载座的该第一侧，用以抵顶该基板而将该基板固定至该承载座；以及支架部，透过该拉力元件与该承载座连接并分别连接至该接触部与该滑动轴承结构，用以将该滑动轴承结构的移动传递至该接触部。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该接触部包含：接触部主体，连接至该支架部；以及缓冲座，连接至该接触部主体，用以抵顶该基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该缓冲座由一塑料材料来完成。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该滑动轴承结构包含：第一球状轴承，固定于该承载座；以及第二球状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等球状轴承之间而将该第二固定结构推离该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等球状轴承之间，而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近该基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该滑动轴承结构包含：第一圆柱状轴承，固定于该承载座；以及第二圆柱状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等圆柱状轴承之间而将该第二固定结构推离该承载座与该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等圆柱状轴承之间，而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近该承载座以抵顶该基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，该基板固定装置更连接至一旋转机构，该旋转机构用以将该基板固定装置由水平位置旋转至垂直位置，使该第二夹具结构支撑该基板。
根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其设置于溅镀机台中。
附图说明
图1A～图1D，为传统溅镀机台中的基板固定装置的上视示意图与侧面示意图；
图2A～2E，为本案为改善习用装置缺失所发展出来的基板固定装置的上视示意图与侧面示意图；
图3为本案基板固定装置中关于接触部的构造实例图。
【主要元件符号说明】
承载座91 基板90
透孔910 凹槽99
第一固定结构92 多个插件922
衬垫923 移动平台921
弹簧924 溅镀靶材98
掩膜97 基板10
承载座11 外环部111
透孔110 凹槽19
第一固定结构12 第一凸出部120
移动平台121 插件122
衬垫123 弹簧124
第二凸出部125 溅镀靶材18
第二固定结构13 接触部131
支架部132 拉力元件130
滑动轴承结构14 第一球状轴承141
第二球状轴承142 接触部主体1310
缓冲座1311 掩膜17
具体实施方式
请参见图2A～2E，是本案为改善习用装置缺失所发展出来的基板固定装置的上视示意图与侧面示意图，而由图2A中的上视图可看出，本案的基板固定装置利用承载座11来承载基板10，且该承载座11面积大于基板10而具有外环部111，而外环部111两侧上具有多个透孔110，透孔110周围具有凹槽19。至于图中承载座11的下侧则设置有接触部131，用以抵顶该基板10而将该基板10固定至该承载座11，至于该基板10可以是玻璃基板、透光基板或半导体基板等各式基板。
再请参见图2B所示的侧面示意图，其中承载座11中的多个透孔110用以让第一固定结构12的多个插件122穿过该等透孔110，并接触至移动平台121的第二凸出部125，而该等插件122的端点上分别设置有衬垫123。当第二凸出部125沿基板10法线方向向上移动时，使插件122沿基板10的法线方向向上移动，以便使衬垫123向上移动，进而形成可让基板10置入的空间，而套合于插件122的弹簧124同时被压缩。当第二凸出部125沿基板10法线方向向下运动时，该等插件122因应被压缩弹簧124的回复力而推动衬垫123沿基板10的法线方向向下运动，使基板10抵顶至该承载座11。至于第二固定结构13中的接触部131，其设置于承载座11的一侧，而与接触部131相连的支架部132则透过拉力元件130(本图例为一弹簧，当然也可是其它种类的拉力元件)来与承载座11连接。而滑动轴承结构14则分别以第一球状轴承141与第二球状轴承141来固定于承载座11与第二固定结构13，其用以因应第一固定结构12中移动平台121的向上运动，第一凸出部120沿基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构13推开而远离承载座11。此时衬垫123亦远离承载座11，因此基板10便可放置到承载座11上，如图2C所示。而可视基板尺寸与承载座11下方的空间而选择设置一个或多个滑动轴承结构14，而球状轴承也可改用圆柱状轴承，并不被本案所提出的实施例所限制。
然后，将移动平台121的向下运动将带动第一凸出部120沿基板法线方向移动而从第一球状轴承141与第二球状轴承142之间滑出，此时拉力元件130便将该第二固定结构13拉近承载座11与基板10，并可透过接触部131抵顶至基板10。此时衬垫123亦顶抵至承载座11，藉由接触部131与衬垫123的压制，基板10便可固定在承载座11上，如图2D的所示。
在图2E的所示，因进入溅镀工作状态时，承载座11将由水平状态转成直立状态，用以靠近溅镀靶材18以及掩膜17，而本案设计的接触部131将可稳定的托住该基板10，但为了缓冲因水平转直立所造成的下滑力，接触部131可设计成如图3的所示的构造，其主要由两部分来完成，第一部分为接触部主体1310，其可由一般刚性良好的金属完成，例如不锈钢材料。而另外一部分则为缓冲座1311，其可由材质较软的塑料材料来完成，例如聚苯并咪唑(PBI)。
综上所述，本发明利用原本移动平台121的上下运动，进而带动第二固定结构13的水平运动而能固定该基板10，因此可省去承载座11上可能会造成破片的凹槽，进而改善习用手段的缺失。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板固定装置，应用于一基板的运送过程，其特征在于，该基板固定装置包含：
一承载座，用以承载该基板，该承载座中具有多个透孔；
一第一固定结构，穿过该等透孔并沿该基板的法线方向移动，其移动而提供朝向该基板法线方向的一下压力时，将该基板抵顶至该承载座；
一第二固定结构，设置于该承载座的一第一侧并透过一拉力元件与该承载座连接；以及
一滑动轴承结构，分别固定于该承载座与该第二固定结构，其因应该第一固定结构的一第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构推离，以释放该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近，以固定该基板。
2.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该基板为一玻璃基板、一透光基板或一半导体基板。
3.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该承载座面积大于该基板而具有一外环部，该外环部中具有该等透孔。
4.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该第一固定结构包含：
一移动平台，其具有该第一凸出部及一第二凸出部并可沿该基板法线方向进行往复移动；
多个插件，接触至该移动平台的该第二凸出部并穿过该等透孔；
多个弹簧，套合于该等插件；以及
多个衬垫，分别设置于该等插件的端点，用以于该等插件因应该等弹簧的回复力而沿该基板的法线方向移动时，来将该基板抵顶至该承载座。
5.如权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，该第二凸出部沿该基板法线方向向上移动时，压缩该等弹簧而使该等插件沿该基板的法线方向向上移动而使该等衬垫向上移动。
6.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该第二固定结构包含：
一接触部，设置于该承载座的该第一侧，用以抵顶该基板；以及
一支架部，透过该拉力元件与该承载座连接并分别连接至该接触部与该滑动轴承结构，用以将该滑动轴承结构的移动传递至该接触部。
7.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该接触部包含：
一接触部主体，连接至该支架部；以及
一缓冲座，连接至该接触部主体，用以抵顶该基板。
8.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该缓冲座由一塑料材料来完成。
9.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该滑动轴承结构包含：
一第一球状轴承，固定于该承载座；以及
一第二球状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等球状轴承之间而将该第二固定结构推离该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等球状轴承之间，而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近该基板。
10.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该滑动轴承结构包含：
一第一圆柱状轴承，固定于该承载座；以及
一第二圆柱状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等圆柱状轴承之间而将该第二固定结构推离该承载座与该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等圆柱状轴承之间，而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近该承载座以抵顶该基板。
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