CN102580967A - 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统 - Google Patents

一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统 Download PDF

Info

Publication number
CN102580967A
CN102580967A CN2012100431573A CN201210043157A CN102580967A CN 102580967 A CN102580967 A CN 102580967A CN 2012100431573 A CN2012100431573 A CN 2012100431573A CN 201210043157 A CN201210043157 A CN 201210043157A CN 102580967 A CN102580967 A CN 102580967A
Authority
CN
China
Prior art keywords
steel cylinder
cleaning
nozzle
cylinder
high purity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012100431573A
Other languages
English (en)
Inventor
徐昕
郑春宁
尤向东
何波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NANJING ARGO TECH NEW ENERGY MATERIALS Co Ltd
Original Assignee
NANJING ARGO TECH NEW ENERGY MATERIALS Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NANJING ARGO TECH NEW ENERGY MATERIALS Co Ltd filed Critical NANJING ARGO TECH NEW ENERGY MATERIALS Co Ltd
Priority to CN2012100431573A priority Critical patent/CN102580967A/zh
Publication of CN102580967A publication Critical patent/CN102580967A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

本发明公开了一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，喷嘴固定在钢瓶口，连接高压泵及高纯氮气管线，根据钢瓶内壁情况选择合适的洗涤液，用泵加压到5-10Bar后喷入钢瓶，清洗3-10分钟，将去离子水加热到50-80℃并加压到30-60Bar对钢瓶再次清洗，然后通入5.0N以上氮气吹干钢瓶内壁，用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒为合格。本发明还公开了一种与上述清洗方法相配套的高纯硅烷钢瓶清洗系统。本发明很好地解决了钢瓶内部对硅烷气体的二次污染问题，可以保存5.0N的硅烷气体，使产品更加稳定。

Description

一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统
技术领域
本发明涉及一种化工工艺及设备，具体涉及一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统。
背景技术
钢瓶是硅烷气体的一种主要包装容器，一般用钢管热旋压成型，内部做喷丸处理，国家规定钢瓶要定期检验，检验方法主要是做水压试验。
在加工或检验过程中，钢瓶内部有可能存在颗粒、油污、生锈等现象，由于钢瓶的特殊结构，目前还不能有效清洁钢瓶内壁，这样充入高纯硅烷气体，会造成硅烷气体的二次污染，影响气体纯度，并存在安全隐患。
发明内容
本发明的目的是为了克服钢瓶对硅烷气体的二次污染，提供了一种高纯硅烷钢瓶清洗方法。
本发明的另一个目的提供一种与上述清洗方法相配套的高纯硅烷钢瓶清洗系统。
本发明采用的技术方案是：
一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：
（1）用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；
（2）用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5-10Bar（巴）后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3-10分钟；
（4）将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30-60Bar，然后送到热交换器，加热到50-80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2-10分钟；
（5）然后通入纯度为5.0N（当量浓度）以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；
（6）用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
作为优选，上述步骤（3）中洗涤液加压到6Bar。
作为优选，上述步骤（3）中洗涤液清洗时间为5分钟。
作为优选，上述步骤（4）中纯水加压到40Bar。
作为优选，上述步骤（4）中纯水加热到60℃。
作为优选，上述步骤（4）中纯水清洗时间为3分钟。
作为优选，上述步骤（5）中通入氮气的纯度为6.0N。
上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统包括：去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。
有益效果：本发明很好地解决了钢瓶内部对硅烷气体的二次污染问题，可以保存5.0N的硅烷气体，使产品更加稳定。
附图说明
图1为本发明的系统构成示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明：
实施例1
如图1所示：一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：
（1）用内窥镜检查钢瓶5，确定钢瓶5内的污染状况；
（2）用钢瓶翻转机4将钢瓶5倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶5，清洗3分钟；
（4）将去离子水储罐1中的纯水用高压泵2加压到30Bar，然后送到热交换器3，加热到50℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶5再次清洗2分钟；
（5）然后通入纯度为6.0N的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶5吹干钢瓶内壁；
（6）用内窥镜检查钢瓶5状况，钢瓶5内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统包括：去离子水储罐1、高压泵2、热交换器3、钢瓶翻转机4、钢瓶5、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶5倒置安装在钢瓶翻转机4上，所述去离子水储罐1通过管线与高压泵2连接，高压泵2通过管线与热交换器3连接，热交换器3通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶5的钢瓶口处，所述热交换器3与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。
实施例2
一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：
（1）用内窥镜检查钢瓶5，确定钢瓶5内的污染状况；
（2）用钢瓶翻转机4将钢瓶5倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到10Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶5，清洗10分钟；
（4）将去离子水储罐1中的纯水用高压泵2加压到60Bar，然后送到热交换器3，加热到80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶5再次清洗10分钟；
（5）然后通入纯度为6.0N的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶5吹干钢瓶内壁；
（6）用内窥镜检查钢瓶5状况，钢瓶5内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统与实施例1相同。
实施例3
一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：
（1）用内窥镜检查钢瓶5，确定钢瓶5内的污染状况；
（2）用钢瓶翻转机4将钢瓶5倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到6Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶5，清洗5分钟；
（4）将去离子水储罐1中的纯水用高压泵2加压到40Bar，然后送到热交换器3，加热到60℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶5再次清洗3分钟；
（5）然后通入纯度为6.0N的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶5吹干钢瓶内壁；
（6）用内窥镜检查钢瓶5状况，钢瓶5内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统与实施例1相同。
应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

Claims (8)

1.一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：
用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；
用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5-10Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3-10分钟；
将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30-60Bar，然后送到热交换器，加热到50-80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2-10分钟；
然后通入纯度为5.0N以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；
用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（3）中洗涤液加压到6Bar。
3.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（3）中洗涤液清洗时间为5分钟。
4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水加压到40Bar。
5.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水加热到60℃。
6.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水清洗时间为3分钟。
7.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（5）中通入氮气的纯度为6.0N。
8.上述权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统，其特征在于：包括去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。
CN2012100431573A 2012-02-24 2012-02-24 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统 Pending CN102580967A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100431573A CN102580967A (zh) 2012-02-24 2012-02-24 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012100431573A CN102580967A (zh) 2012-02-24 2012-02-24 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102580967A true CN102580967A (zh) 2012-07-18

Family

ID=46470512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012100431573A Pending CN102580967A (zh) 2012-02-24 2012-02-24 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102580967A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104438241A (zh) * 2013-09-24 2015-03-25 上海航天设备制造总厂 一种航天飞行器管路多余物清洗方法
CN105499229A (zh) * 2015-11-27 2016-04-20 洛阳双瑞特种装备有限公司 一种高压容器内表面除油除水方法及检测方法
CN107335670A (zh) * 2017-08-17 2017-11-10 丹阳市方蓝气体设备有限公司 消防钢瓶蒸汽清洗和氮气吹扫一体装置
CN111618666A (zh) * 2020-06-16 2020-09-04 岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司 充装高纯卤素混配气钢瓶内壁的处理方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02268881A (ja) * 1989-04-07 1990-11-02 Nippon Alum Mfg Co Ltd コンテナの洗浄方法
CN2136699Y (zh) * 1992-04-28 1993-06-23 常州飞机制造厂 溶解乙炔气瓶填料高压水清除装置
CN2267873Y (zh) * 1996-08-07 1997-11-19 辽河石油勘探局油气集输公司 液化石油气钢瓶蒸汽吹扫装置
JPH1147710A (ja) * 1997-08-05 1999-02-23 Taisei Corp 各種容器等の被洗浄物の自動洗浄装置
CN101050541A (zh) * 2007-04-24 2007-10-10 南京锗厂有限责任公司 一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法
CN101322972A (zh) * 2008-07-17 2008-12-17 赵洪伟 容器内壁清洗方法及其清洗装置
CN201988547U (zh) * 2010-12-30 2011-09-28 杭州东贝机电设备有限公司 钢瓶内部清洗机
CN202498062U (zh) * 2012-02-24 2012-10-24 南京亚格泰新能源材料有限公司 一种高纯硅烷钢瓶清洗系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02268881A (ja) * 1989-04-07 1990-11-02 Nippon Alum Mfg Co Ltd コンテナの洗浄方法
CN2136699Y (zh) * 1992-04-28 1993-06-23 常州飞机制造厂 溶解乙炔气瓶填料高压水清除装置
CN2267873Y (zh) * 1996-08-07 1997-11-19 辽河石油勘探局油气集输公司 液化石油气钢瓶蒸汽吹扫装置
JPH1147710A (ja) * 1997-08-05 1999-02-23 Taisei Corp 各種容器等の被洗浄物の自動洗浄装置
CN101050541A (zh) * 2007-04-24 2007-10-10 南京锗厂有限责任公司 一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法
CN101322972A (zh) * 2008-07-17 2008-12-17 赵洪伟 容器内壁清洗方法及其清洗装置
CN201988547U (zh) * 2010-12-30 2011-09-28 杭州东贝机电设备有限公司 钢瓶内部清洗机
CN202498062U (zh) * 2012-02-24 2012-10-24 南京亚格泰新能源材料有限公司 一种高纯硅烷钢瓶清洗系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104438241A (zh) * 2013-09-24 2015-03-25 上海航天设备制造总厂 一种航天飞行器管路多余物清洗方法
CN105499229A (zh) * 2015-11-27 2016-04-20 洛阳双瑞特种装备有限公司 一种高压容器内表面除油除水方法及检测方法
CN107335670A (zh) * 2017-08-17 2017-11-10 丹阳市方蓝气体设备有限公司 消防钢瓶蒸汽清洗和氮气吹扫一体装置
CN111618666A (zh) * 2020-06-16 2020-09-04 岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司 充装高纯卤素混配气钢瓶内壁的处理方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102580967A (zh) 一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统
CN205096196U (zh) 一种钢瓶清洁系统
CN203459264U (zh) 一种地面输送机式的喷淋设备
CN103372557A (zh) 一种吹扫净化方法及其装置
CN203091343U (zh) 一种脱脂清洗设备
CN202498062U (zh) 一种高纯硅烷钢瓶清洗系统
CN205673129U (zh) 汽车轮毂加工流水线
CN105540517A (zh) 一种用于药液罐装设备
CN203819803U (zh) 一种包装罐
CN203437019U (zh) 一种酸气回收塔
KR20170093164A (ko) 고압 가스 용기의 세정 방법 및 고압 가스 용기
CN108246699B (zh) 一种高功率激光器用不锈钢箱体的洁净方法
CN202638815U (zh) 一种吹扫净化装置
CN210356649U (zh) 一种酸洗挥发物收集系统
CN203877895U (zh) 一种移动式危险品废液回收装置
CN202808646U (zh) 包含除垢装置的甲烷氯化物的氯化装置
CN204891582U (zh) 金刚石微粉酸洗废气处理装置
CN204380379U (zh) 一种硝酸排放系统
CN203343188U (zh) 铜杆清洗系统
CN203725445U (zh) 高效空气吹扫管
CN216896779U (zh) 一种氦气分装回收纯化系统
CN203927383U (zh) 二氧化碳液体球罐汽化排放气体的回收装置
CN206660957U (zh) 一种尾气处理装置
CN215856347U (zh) 一种可智能控制温度的酸洗槽
CN210993722U (zh) 一种烟气吸收装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120718