CN205096196U - 一种钢瓶清洁系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道，输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接；输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接，输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通；清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶；钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器；所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
Description
技术领域
本实用新型属于一种钢瓶清洁系统。
背景技术
砷烷（AsH3)、膦烷（PH3）、氨气（NH3）等高纯特气和三甲基镓（TMG)、三甲基铟（TMI）、三甲基铝（TMA）等高纯金属有机化合物（简称MO源）是金属有机化学气相沉积技术（MOCVD）、化学束外延技术（CBE）过程中生长光电半导体薄膜材料的最关键基础原材料。金属有机化学气相沉积技术（MOCVD）对特气及MO源的纯度要求特别高，要求其纯度大于或等于99.9999%。特别地，随着MOCVD技术不断地发展，不仅要求高纯特气与MO源等材料本身的纯度的提高，对高纯特气与MO源的储存钢瓶的洁净度也提出了更高的要求。
洁净钢瓶的处理由清洗（包括碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗）、烘干及检漏等三个步骤。目前的处理方法是按照以上三个步骤独立地进行操作，这不仅费时费力，更重要的是洁净效果差，频繁的过程操作带来的洁净钢瓶污染几率和安全事故发生几率增加。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种操作简单、污染几率小、事故发生率小的钢瓶清洁系统。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是，一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道，输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接；输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接，输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通；清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶；钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器；所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪，检漏管路上连接有抽真空管路，抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管，冷阱上连接有真空泵。
本实用新型产生的有益效果是：通过在烘箱底部设置超声波发生器，增强了钢瓶的清洗能力；集清洗、抽烘与检漏一体化，一次拆装即可完成清洗、抽烘与检漏工序，不仅操作简单、节省劳动力和缩短处理时间，提高了效率，而且还避免过程操作引起的污染，保证处理质量；并且本实用新型中只采用一个泵既能实现清洗和抽出，节省设备投资。清洗槽组、输送泵和钢瓶形成循环回路，清洗液可以循环使用，节约化学品用量和减少废液排放。
附图说明
图1为实施例1的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明，但本实用新型的保护范围不限于此。
实施例1
如图1所示，一种钢瓶清洁系统，包括依次串联的清洗液回管8、清洗槽组5和输送泵进液管主管道15，输送泵进液管主管道15的一端与清洗槽组5连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路16和第二支路17，第一支路16和第二支路17分别与清洗液进管7和输送泵6入口连接；输送泵7出口与输送泵出液管主管道18的一端连接，输送泵出液管主管道18的另一端并联有第一输液管19和第二输液管20，第一输液管19的另一端与清洗液进管7连通，第二输液管20的另一端与清洗液回管8连通；清洗液进管7和清洗液回管8之间并联有两干个钢瓶2（钢瓶上设置有进液管4和出液管14，进液管4伸入到钢瓶的底部，进液管4和出液管14分别与清洗液进管7和清洗液回管8连接，进液管4和出液管14上分别设置有阀门21）；钢瓶2设置于烘箱1内，烘箱1底部设置有超声波发生器3；所述第一支路16、输送泵进液管主管道15、输送泵出液管主管道18、第一输液管19、第二输液管20上均设置有阀门21。
清洗液进管7上通过检漏管路22连接有检漏仪13，检漏管路15上连接有抽真空管路9，抽真空管路9上分别连接有冷阱10和惰性气体管12，冷阱10上连接有真空泵11。
使用时，先通过阀门（图中未画出）切断检漏管路22，打开超声波发生器3，打开第二支路17、输送泵进液管主管道15、输送泵出液管主管道18、第一输液管19上的阀门，关闭第一支路16、第二输液管20、进液管4和出液管14上的阀门，依次对待处理的钢瓶2进行碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗，取水样；待水样分析合格后，关闭出液管14、输送泵进液管主管道15和第一输液管19上的阀门，打开第一支路16、第二输液管20、进液管4上的阀门，从而把钢瓶3中的纯水抽走，然后打开检漏管路22，烘箱1加热维持在80~120℃，边烘干边抽真空，直至钢瓶烘干；再通过检漏仪13检测洁净钢瓶2泄漏的情况，检漏合格后钢瓶2重复3~5次惰性气体置换操作，最后充惰性气体至微正压，然后将钢瓶2拆卸，待用。
Claims (2)
1.一种钢瓶清洁系统，其特征在于，包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道，输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接，另一端分成两个支路，分别是第一支路和第二支路，第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接；输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接，输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管，第一输液管的另一端与清洗液进管连通，第二输液管的另一端与清洗液回管连通；清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶；钢瓶设置于烘箱内，烘箱底部设置有超声波发生器；所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
2.如权利要求1所述的钢瓶清洁系统，其特征在于，清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪，检漏管路上连接有抽真空管路，抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管，冷阱上连接有真空泵。
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