CN205096196U - 一种钢瓶清洁系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于一种钢瓶清洁系统,包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道,输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接,另一端分成两个支路,分别是第一支路和第二支路,第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接;输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接,输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管,第一输液管的另一端与清洗液进管连通,第二输液管的另一端与清洗液回管连通;清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶;钢瓶设置于烘箱内,烘箱底部设置有超声波发生器;所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
Description
技术领域
本实用新型属于一种钢瓶清洁系统。
背景技术
砷烷(AsH3)、膦烷(PH3)、氨气(NH3)等高纯特气和三甲基镓(TMG)、三甲基铟(TMI)、三甲基铝(TMA)等高纯金属有机化合物(简称MO源)是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、化学束外延技术(CBE)过程中生长光电半导体薄膜材料的最关键基础原材料。金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)对特气及MO源的纯度要求特别高,要求其纯度大于或等于99.9999%。特别地,随着MOCVD技术不断地发展,不仅要求高纯特气与MO源等材料本身的纯度的提高,对高纯特气与MO源的储存钢瓶的洁净度也提出了更高的要求。
洁净钢瓶的处理由清洗(包括碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗)、烘干及检漏等三个步骤。目前的处理方法是按照以上三个步骤独立地进行操作,这不仅费时费力,更重要的是洁净效果差,频繁的过程操作带来的洁净钢瓶污染几率和安全事故发生几率增加。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种操作简单、污染几率小、事故发生率小的钢瓶清洁系统。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是,一种钢瓶清洁系统,包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道,输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接,另一端分成两个支路,分别是第一支路和第二支路,第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接;输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接,输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管,第一输液管的另一端与清洗液进管连通,第二输液管的另一端与清洗液回管连通;清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶;钢瓶设置于烘箱内,烘箱底部设置有超声波发生器;所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪,检漏管路上连接有抽真空管路,抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管,冷阱上连接有真空泵。
本实用新型产生的有益效果是:通过在烘箱底部设置超声波发生器,增强了钢瓶的清洗能力;集清洗、抽烘与检漏一体化,一次拆装即可完成清洗、抽烘与检漏工序,不仅操作简单、节省劳动力和缩短处理时间,提高了效率,而且还避免过程操作引起的污染,保证处理质量;并且本实用新型中只采用一个泵既能实现清洗和抽出,节省设备投资。清洗槽组、输送泵和钢瓶形成循环回路,清洗液可以循环使用,节约化学品用量和减少废液排放。
附图说明
图1为实施例1的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明,但本实用新型的保护范围不限于此。
实施例1
如图1所示,一种钢瓶清洁系统,包括依次串联的清洗液回管8、清洗槽组5和输送泵进液管主管道15,输送泵进液管主管道15的一端与清洗槽组5连接,另一端分成两个支路,分别是第一支路16和第二支路17,第一支路16和第二支路17分别与清洗液进管7和输送泵6入口连接;输送泵7出口与输送泵出液管主管道18的一端连接,输送泵出液管主管道18的另一端并联有第一输液管19和第二输液管20,第一输液管19的另一端与清洗液进管7连通,第二输液管20的另一端与清洗液回管8连通;清洗液进管7和清洗液回管8之间并联有两干个钢瓶2(钢瓶上设置有进液管4和出液管14,进液管4伸入到钢瓶的底部,进液管4和出液管14分别与清洗液进管7和清洗液回管8连接,进液管4和出液管14上分别设置有阀门21);钢瓶2设置于烘箱1内,烘箱1底部设置有超声波发生器3;所述第一支路16、输送泵进液管主管道15、输送泵出液管主管道18、第一输液管19、第二输液管20上均设置有阀门21。
清洗液进管7上通过检漏管路22连接有检漏仪13,检漏管路15上连接有抽真空管路9,抽真空管路9上分别连接有冷阱10和惰性气体管12,冷阱10上连接有真空泵11。
使用时,先通过阀门(图中未画出)切断检漏管路22,打开超声波发生器3,打开第二支路17、输送泵进液管主管道15、输送泵出液管主管道18、第一输液管19上的阀门,关闭第一支路16、第二输液管20、进液管4和出液管14上的阀门,依次对待处理的钢瓶2进行碱洗、酸洗、自来水洗和纯水洗,取水样;待水样分析合格后,关闭出液管14、输送泵进液管主管道15和第一输液管19上的阀门,打开第一支路16、第二输液管20、进液管4上的阀门,从而把钢瓶3中的纯水抽走,然后打开检漏管路22,烘箱1加热维持在80~120℃,边烘干边抽真空,直至钢瓶烘干;再通过检漏仪13检测洁净钢瓶2泄漏的情况,检漏合格后钢瓶2重复3~5次惰性气体置换操作,最后充惰性气体至微正压,然后将钢瓶2拆卸,待用。
Claims (2)
1.一种钢瓶清洁系统,其特征在于,包括依次串联的清洗液回管、清洗槽组和输送泵进液管主管道,输送泵进液管主管道的一端与清洗槽组连接,另一端分成两个支路,分别是第一支路和第二支路,第一支路和第二支路分别与清洗液进管和输送泵入口连接;输送泵出口与输送泵出液管主管道的一端连接,输送泵出液管主管道的另一端并联有第一输液管和第二输液管,第一输液管的另一端与清洗液进管连通,第二输液管的另一端与清洗液回管连通;清洗液进管和清洗液回管之间并联有若干个钢瓶;钢瓶设置于烘箱内,烘箱底部设置有超声波发生器;所述第一支路、输送泵进液管主管道、输送泵出液管主管道、第一输液管、第二输液管上均设置有阀门。
2.如权利要求1所述的钢瓶清洁系统,其特征在于,清洗液进管上通过检漏管路连接有检漏仪,检漏管路上连接有抽真空管路,抽真空管路上分别连接有冷阱和惰性气体管,冷阱上连接有真空泵。
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