CN102489802B - 一种微冲压模具原位制造装置 - Google Patents

Abstract

一种微冲压模具原位制造装置，属于精密机械制造领域。本发明所述的装置利用微细电火花方法实现了微型冲头和凹模的原位制造，省去了微冲压模具中微型冲头与凹模的二次装配，保证了冲头与凹模上的工作孔之间的间隙均匀性。所述微冲压模具采用分体式三层结构，四套导向机构均布设置在模具连接板和下模座之间，每个精密导柱的下端固装在凹模固定板上，每个精密导柱穿过第二层，每个精密导柱的上端可与第一层相配合，每个精密导柱与其上两个导套过盈配合；四套压边装置均布设置在上模座和压料板之间；四个顶出弹簧位于第二层和第三层之间。本发明可实现微冲孔、微拉深以及微胀形等多种微成形工艺，特别适合微孔类零件和微杯件的低成本批量制造。

Description

一种微冲压模具原位制造装置

技术领域

本发明涉及一种微冲压模具原位制造装置，特别适合于微孔的高质量制造，属于精密机械制造领域。

背景技术

微孔类零件广泛应用于微电子集成电路、生物医疗、印染纺织等领域，其零件尺寸或特征尺寸在亚毫米或微米级。同时，随着微系统技术的发展和逐步进入实用化，产品的微型化对微孔类零件的尺寸精度、断面质量以及生产效率等提出了更高的要求。

公开号为CN101406914B、公开日为2010年6月16日、名称为《微冲孔模具》的发明专利提出了一种微冲孔模具，与激光打孔、微细电火花等加工方法相比，能够有效提高微孔加工效率和冲孔精度。然而，当微孔直径达到微米量级时，以厚度20μm金属箔、直径为50μm微孔的冲孔为例，冲裁间隙c/t采用5％时，微冲孔模具的凸凹模单边间隙仅为1μm。传统的基于滚珠导套的模具导向及定位方式，模具装配过程中难以满足冲裁间隙的均匀性要求。

台湾Chern等人提出了一种基于微细电火花技术的微冲孔装置，首先采用微细电火花加工微型冲头，然后利用加工的微型冲头加工所需的凹模。由于不需要冲头和凹模的二次装配，能够保证冲裁间隙均匀性要求，冲出最小直径为100μm的微孔(G.L.Chern，Y.E.Wu andS.F.Liu Development of a micro-punching machine and study on the influence of vibrationmachining in micro-EDM，J.Mater.Process.Technol.180(2006)102-109)。这种方法由于在微冲孔过程中没有相应的压边装置，微孔的断面质量较差，冲头寿命难以保证。

发明内容

本发明针对现有微冲孔模具中冲裁间隙均匀性难以保证的问题，提出了一种微冲压模具原位制造装置。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：

本发明所述原位制造装置包括XY精密移动平台、高分辨CCD视觉系统和块电极，所述块电极安装在XY精密移动平台上的工作臂上，高分辨CCD视觉系统固定在XY精密移动平台上，所述原位制造装置还包括微细电火花主轴系统和微冲压模具；XY精密移动平台的设置高度与微细电火花主轴系统的微冲压模具的冲头的位置一致；所述微细电火花主轴系统包括直流电机、直流电机带轮、直流电机连接板、旋转主轴、从动带轮、主轴夹持体、碳刷、微冲压模具的冲头、旋转主轴夹头、主轴绝缘板和主轴L型支架；旋转主轴的下端设有旋转主轴夹头，直流电机固定在直流电机连接板上，旋转主轴通过压紧件安装在主轴夹持体内，微冲压模具的冲头固定在旋转主轴夹头上，且旋转主轴、旋转主轴夹头和微冲压模具的冲头三者同轴，旋转主轴的上端放置于碳刷的中心孔内，主轴夹持体及碳刷固定在主轴绝缘板上，直流电机带轮与安装在旋转主轴上端的从动带轮通过皮带相连，主轴绝缘板固定在主轴L型支架上；所述微冲压模具采用分体式结构，包括由从上至下叠置且固定在一起的模具连接板、上模座和上模板构成的第一层、由从上至下叠置且固定在一起的中间垫板和压料板构成的第二层、由从上至下叠置且固定在一起的凹模固定板和下模座构成第三层、四套导向机构、四套压边装置、四个顶出弹簧、凹模、冲头导套和两个档板；每套导向机构包括精密导柱和两个导套，每套压边装置包括压边力弹簧、压边力螺柱、压边力螺钉和挡圈；第一层、第二层、第三层由上至下依次设置，模具连接板与微细电火花主轴系统的主轴夹持体的下端面连接；旋转主轴的下端位于模具连接板上中心处开有的主轴通孔、旋转主轴上的旋转主轴夹头位于上模座中心处开有的夹头通孔内，微冲压模具的冲头经由上模板上的冲头通孔并穿出所述冲头通孔；中间垫板的中心处设有微冲压模具的冲头可穿过的中间垫板通孔，中间垫板通孔的下方的设有冲头导套，所述冲头导套安装在压料板上，位于冲头导套正下方的凹模安装在凹模固定板上；四套导向机构均布设置在模具连接板和下模座之间，每个精密导柱的下端固装在凹模固定板上，每个精密导柱穿过第二层，每个精密导柱的上端可与第一层中的上模座及上模板上的导向通孔相配合，每个精密导柱与压料板之间设有一个导套，每个精密导柱与上模板之间设有另一个导套，每个精密导柱与其上两个导套过盈配合；四套压边装置均布设置在上模座和压料板之间，每个压边力螺柱由下至上依次穿过压料板、中间垫板，且压边力螺柱上的螺帽顶在压料板上的螺帽阶梯孔的台肩上，通过挡圈及压边力螺钉将压边力弹簧套装在压边力螺柱上，压边力螺钉与压边力螺柱螺纹连接；在上模板及上模座开设四个压边装置阶梯孔，每套压边装置的正上方对应于一个压边装置阶梯孔，第一层下行时，压边装置阶梯孔上的台肩与相应的挡圈的上端面接触；四个顶出弹簧位于第二层和第三层之间，且均布设置在凹模固定板上；凹模固定板两侧各固定有一个档板，顶出弹簧的伸长长度和挡板共同决定凹模固定板和压料板之间的距离。

本发明的有益效果是：

本发明所述装置利用微细电火花加工方法加工微型冲头，然后利用微型冲头作为电极，原位加工冲孔凹模，省去了微冲压模具中微型冲头与凹模的二次装配，确保冲头与凹模上的工作孔同轴度，即保证了冲头与凹模上的工作孔之间的间隙均匀性。本发明同时解决了现有基于微细电火花的微冲孔装置的模具中由于在微冲孔过程中没有相应的压边装置，致使微孔的断面质量较差、冲头寿命短等问题，满足了阵列微孔类零件高精度、低成本批量制造要求。

本发明所述装置在装配时，微冲压模具中的第二层(及其上的压边装置及凹模)是通过精密导柱与第一层及第三层进行定位，在冲头制作、凹模原位加工以及冲头修整过程中，只需将第二层(及其上的压边装置及凹模)移走，完成冲头制作、凹模原位加工以及冲头修整这些步骤后，再把第二层(及其上的压边装置及凹模)安装在第一层及第三层之间，以进行微冲孔加工，整个过程不会影响微冲压模具的装配精度，实现了微冲压模具的原位制造。

本发明所述的微冲压模具原位制造装置可以实现微冲孔、微拉深以及微胀形等多种微成形工艺，特别适合微孔类零件的低成本批量制造。

附图说明

图1是本发明的整体结构主视图，图2是图1的右视图，图3是微细电火花主轴系统的主视图(2-11表示主轴绝缘板挡板)，图4是图3的A-A剖视图，图5是图3的右视图，图6是图5的俯视图，图7是微细电火花主轴系统2和微冲压模具3装配在一起的部视图(第一层Ⅰ上行，即开模状态)，图8是微细电火花主轴系统2和微冲压模具3装配在一起的部视图(合模状态)，图9是图7的B-B向视图，图10是图7的C-C向视图(10-螺栓、11-定位销)；图11是利用本发明进行冲头制作的工作状态图，图12是图11的D部放大图；图13是利用本发明进行凹模原位加工的工作状态图，图14是图13的E部放大图，图15是利用微冲压模具的冲头对凹模进行原位加工的装配放大图(图中，凹模上的长孔3-16-1是利用机械加工得到的，凹模上端的工作孔3-16-2是利用微冲压模具的冲头进行原位加工得到的，长孔3-16-1和工作孔3-16-2是相通的)；图16是利用本发明进行冲头修整的工作状态图，图17是图16的F部放大图，图18是利用微冲压模具的冲头、块电极以及片电极的装配关系放大图。

具体实施方式

具体实施方式一：如图1～10所示，本实施方式所述的原位制造装置包括XY精密移动平台1、高分辨CCD视觉系统4和块电极5，所述块电极5安装在XY精密移动平台1上的工作臂1-1上，高分辨CCD视觉系统4固定在XY精密移动平台1上，所述原位制造装置还包括微细电火花主轴系统2和微冲压模具3；XY精密移动平台1的设置高度与微细电火花主轴系统2的微冲压模具的冲头2-8的位置一致；所述微细电火花主轴系统2包括直流电机2-1、直流电机带轮2-2、直流电机连接板2-5、旋转主轴2-6、从动带轮2-4、主轴夹持体2-7、碳刷2-3、微冲压模具的冲头2-8、旋转主轴夹头2-9、主轴绝缘板2-10和主轴L型支架2-12；旋转主轴2-6的下端设有旋转主轴夹头2-9，直流电机2-1(通过螺钉)固定在直流电机连接板2-5上，旋转主轴2-6通过压紧件2-13安装在主轴夹持体2-7内(在压紧件2-13和主轴夹持体2-7的作用下，旋转主轴2-6只能绕自身轴线旋转，不能沿轴向上下移动)，微冲压模具的冲头2-8固定在旋转主轴夹头2-9上，且旋转主轴2-6、旋转主轴夹头2-9和微冲压模具的冲头2-8三者同轴，旋转主轴2-6的上端放置于碳刷2-3的中心孔内(微细电火花加工过程中通过碳刷2-3上电)，主轴夹持体2-7及碳刷2-3(通过螺栓)固定在主轴绝缘板2-10上，直流电机带轮2-2与安装在旋转主轴2-6上端的从动带轮2-4通过皮带相连以实现微细电火花加工过程中主轴旋转，主轴绝缘板2-10(通过螺栓)固定在主轴L型支架2-12上；所述微冲压模具3采用分体式结构，包括由从上至下叠置且固定在一起的模具连接板3-1、上模座3-2和上模板3-3构成的第一层Ⅰ、由从上至下叠置且固定在一起的中间垫板3-5和压料板3-10构成的第二层Ⅱ、由从上至下叠置且固定在一起的凹模固定板3-7和下模座3-8构成第三层Ⅲ、四套导向机构、四套压边装置、四个顶出弹簧3-9、凹模3-16、冲头导套3-17和两个档板3-15；每套导向机构包括精密导柱3-4和两个导套3-6，每套压边装置包括压边力弹簧3-12、压边力螺柱3-11、压边力螺钉3-14和挡圈3-13；第一层Ⅰ、第二层Ⅱ、第三层Ⅲ由上至下依次设置，模具连接板3-1与微细电火花主轴系统2的主轴夹持体2-7的下端面连接；旋转主轴2-6的下端位于模具连接板3-1上中心处开有的主轴通孔3-1-1、旋转主轴2-6上的旋转主轴夹头2-9位于上模座3-2中心处开有的夹头通孔3-2-1内，微冲压模具的冲头2-8经由上模板3-3上的冲头通孔3-3-1并穿出所述冲头通孔3-3-1；中间垫板3-5的中心处设有微冲压模具的冲头2-8可穿过的中间垫板通孔3-5-1，中间垫板通孔3-5-1的下方的设有冲头导套3-17，所述冲头导套3-17安装在压料板3-10上，位于冲头导套3-17正下方的凹模3-16安装在凹模固定板3-7上；四套导向机构均布设置在模具连接板3-1和下模座3-8之间，每个精密导柱3-4的下端固装在凹模固定板3-7上，每个精密导柱3-4穿过第二层Ⅱ，每个精密导柱3-4的上端可与第一层Ⅰ中的上模座3-2及上模板3-3上的导向通孔3-2-3-3相配合，每个精密导柱3-4与压料板3-10之间设有一个导套3-6，每个精密导柱3-4与上模板3-3之间设有另一个导套3-6，每个精密导柱3-4与其上两个导套3-6过盈配合；四套压边装置均布设置在上模座3-2和压料板3-10之间，每个压边力螺柱3-11由下至上依次穿过压料板3-10、中间垫板3-5，且压边力螺柱3-11上的螺帽顶在压料板3-10上的螺帽阶梯孔3-10-1的台肩上，通过挡圈3-13及压边力螺钉3-14将压边力弹簧3-12套装在压边力螺柱3-11上，压边力螺钉3-14与压边力螺柱3-11螺纹连接；在上模板3-3及上模座3-2开设四个压边装置阶梯孔3-3-2，每套压边装置的正上方对应于一个压边装置阶梯孔3-3-2，第一层Ⅰ下行时，压边装置阶梯孔3-3-2上的台肩3-2-2与相应的挡圈3-13的上端面接触；四个顶出弹簧3-9位于第二层Ⅱ和第三层Ⅲ之间，且均布设置在凹模固定板3-7上；凹模固定板3-7两侧各固定有一个档板3-15，顶出弹簧3-9的伸长长度和挡板3-15共同决定凹模固定板3-7和压料板3-10之间的距离。

为了实现微细电火花主轴系统2与微冲压模具3绝缘，模具连接板3-1采用绝缘效果好得绝缘陶瓷材料。微细电火花主轴系统2与微冲压模具3的相互位置关系通过销钉进行定位，保证各个部件的同轴精度。工作时，通过主轴L型支架2-12将微细电火花主轴系统2固定在基于直线电机驱动微冲压系统的上工作台7上，下模座3-8与基于直线电机驱动微冲压系统的下工作台8进行连接。

本实施方式中当第一层Ⅰ下行合模时，压边装置阶梯孔3-3-2上的台肩3-2-2与相应的挡圈3-13的上端面接触后，第二层Ⅱ在第一层Ⅰ的作用下，共同下行直至冲头导套3-17与凹模3-16上的金属箔板(待加工件)接触，完成合模，第二层Ⅱ停止下行，如图8所示；此时第一层Ⅰ与第二层Ⅱ之间的间隙H为0.5～1.2mm。第一层Ⅰ在微冲压系统上工作台7的作用下继续下行进行冲压过程，与此同时，压边装置中的压边力弹簧3-12进一步产生压缩，产生的压缩量为0.4～1.1mm，所述压缩量产生的向下方向的力通过压料板3-10传递给冲头导套3-17，用于为冲头导套3-17和凹模3-16之间的金属箔板(待加工件)提供压边力。

本实施方式中的XY精密移动平台1中的工作臂1-1在XY水平面内移动。为现有技术范畴。“XY精密移动平台1”可选用日本Suruga Seiki Co.生产的型号为KS211-200的XY精密移动平台。

所述高分辨CCD视觉系统4为现有技术范畴。“高分辨CCD视觉系统4”可选用徐州豪立电子有限公司生产的型号为DM-01的CCD视觉系统。

具体实施方式二：如图16～18所示，本实施方式所述原位制造装置还包括片电极6，所述片电极6设置在块电极5的上端面上。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：如图1～2所示，本实施方式所述原位制造装置还包括固定座9，所述XY精密移动平台1安装在固定座9上。其它组成及连接关系与具体实施方式一或二相同。

具体实施方式四：本实施方式所述导向机构的导向精度为±1μm。其它组成及连接关系与具体实施方式一、二或三相同。

具体实施方式五：本实施方式所述从动带轮2-4为铜带轮。其它组成及连接关系与具体实施方式四相同。

具体实施方式六：本实施方式所述主轴绝缘板2-10为大理石板。其它组成及连接关系与具体实施方式一、二或三相同。

针对本发明再进行如下阐述(如图1至图18)：

所述的微冲压模具采用分体结构，分为三层，每层中各板采用螺钉连接，采用销钉定位。为尽量提高精度，减小模具装配时各板间的误差，对模具结构进行精简，采用较少的板数的紧凑结构。模具采用精密导柱3-4和导套3-6进行精确导向。为了提高导向精度，采用负间隙导向模架(导柱3-4和导套3-6过盈配合)，导向精度为±1μm。精密导柱3-4采用倒装式结构(如图7和图8)，下端固定在凹模固定板3-7上。

凹模3-16放置于凹模固定板3-7中进行固定。冲头3-18夹持在旋转主轴3-19上，并采用冲头导套3-17进行导向及保护。挡板3-15固定在凹模固定板3-7侧面，对压料板3-10在开模时进行限位。

合模时采用弹簧3-12、螺柱3-11、螺钉3-14和挡圈3-13的组合结构，可以避免模具板之间的刚性碰撞，推压料板3-10进行合模，同时在冲孔过程中对金属箔板(待加工件)提供压边力。另外冲孔时弹簧3-12的最后变形量，提供冲孔过程所需的行程。

开模时，随着上层模具(3-1、3-2和3-3)的向上移动，中间层(3-5和3-10)在顶出弹簧3-9的作用下向上移动，当压料板3-10移动到与挡板3-15平齐时，第二层完成开模。顶出弹簧3-9的伸长长度和挡板3-15共同决定凹模固定板3-7和压料板3-10之间的距离。继续上移后，第一层也完成开模。

装置连续冲孔时，压料板3-10和凹模固定板3-7之间的距离提供冲孔时送料装置(送料臂)的送料空间，送料臂能够在直线电机驱动的XY移动平台的带动下，使金属箔板沿水平两个方向进行移动，完成阵列孔冲孔送料过程。

利用本发明进行冲头制作、凹模原位加工以及冲头修整的具体过程为：

第一阶段、冲头制作：首先将微冲压模具第二层(中间垫板3-5和压料板3-10构成的压料部分)以及其上的压边装置及凹模移除，采用块电极5磨削方法加工微型冲头2-8的工作端；在微细电火花加工过程中，微冲压模具的冲头2-8通过碳刷2-3上电并接电源正极，块电极5接电源负极；

第二阶段、凹模原位加工：采用加工的微型冲头2-8作为电极原位加工凹模4-3(凹模4-3上的工作孔3-16-2)；在该过程中，凹模3-16接电源正极，微冲压模具的冲头2-8通过碳刷2-3上电，并接电源负极；

第三阶段、冲头修整：采用片电极6(片电极6设置在块电极5的上端面上)刃拷微型冲头2-8，将在第二阶段中微型冲头2-8电极损耗部分去除。在该过程中，微冲压模具的冲头2-8通过碳刷2-3上电并接电源正极，片电极6接电源负极；

完成上述三个步骤后，安装微冲压模具的第二层(中间垫板3-5和压料板3-10)及其上的压边装置及凹模，开始冲压实验。

模具原位制造过程中采用高分辨CCD视觉系统4进行在线测量，以确保微型模具的加工尺寸。

本发明所述的装置利用微细电火花方法实现了微型冲头和凹模的原位制造，省去了微冲压模具中微型冲头与凹模的二次装配，保证了冲头与凹模上的工作孔之间的间隙均匀性。同时解决了现有原位制造设备中由于没有相应的压边装置，致使微孔的断面质量较差、冲头寿命短等问题，满足了阵列微孔类零件高精度、低成本批量制造要求。

Claims (6)

1.一种微冲压模具原位制造装置，所述原位制造装置包括XY精密移动平台(1)、高分辨CCD视觉系统(4)和块电极(5)，所述块电极(5)安装在XY精密移动平台(1)上的工作臂(1-1)上，高分辨CCD视觉系统(4)固定在XY精密移动平台(1)上，其特征在于：所述原位制造装置还包括微细电火花主轴系统(2)和微冲压模具(3)；XY精密移动平台(1)的设置高度与微细电火花主轴系统(2)的微冲压模具的冲头(2-8)的位置一致；所述微细电火花主轴系统(2)包括直流电机(2-1)、直流电机带轮(2-2)、直流电机连接板(2-5)、旋转主轴(2-6)、从动带轮(2-4)、主轴夹持体(2-7)、碳刷(2-3)、微冲压模具的冲头(2-8)、旋转主轴夹头(2-9)、主轴绝缘板(2-10)和主轴L型支架(2-12)；旋转主轴(2-6)的下端设有旋转主轴夹头(2-9)，直流电机(2-1)固定在直流电机连接板(2-5)上，旋转主轴(2-6)通过压紧件(2-13)安装在主轴夹持体(2-7)内，微冲压模具的冲头(2-8)固定在旋转主轴夹头(2-9)上，且旋转主轴(2-6)、旋转主轴夹头(2-9)和微冲压模具的冲头(2-8)三者同轴，旋转主轴(2-6)的上端放置于碳刷(2-3)的中心孔内，主轴夹持体(2-7)及碳刷(2-3)固定在主轴绝缘板(2-10)上，直流电机带轮(2-2)与安装在旋转主轴(2-6)上端的从动带轮(2-4)通过皮带相连，主轴绝缘板(2-10)固定在主轴L型支架(2-12)上；

所述微冲压模具(3)采用分体式结构，包括由从上至下叠置且固定在一起的模具连接板(3-1)、上模座(3-2)和上模板(3-3)构成的第一层(Ⅰ)、由从上至下叠置且固定在一起的中间垫板(3-5)和压料板(3-10)构成的第二层(Ⅱ)、由从上至下叠置且固定在一起的凹模固定板(3-7)和下模座(3-8)构成第三层(Ⅲ)、四套导向机构、四套压边装置、四个顶出弹簧(3-9)、凹模(3-16)、冲头导套(3-17)和两个档板(3-15)；每套导向机构包括精密导柱(3-4)和两个导套(3-6)，每套压边装置包括压边力弹簧(3-12)、压边力螺柱(3-11)、压边力螺钉(3-14)和挡圈(3-13)；第一层(Ⅰ)、第二层(Ⅱ)、第三层(Ⅲ)由上至下依次设置，模具连接板(3-1)与微细电火花主轴系统(2)的主轴夹持体(2-7)的下端面连接；旋转主轴(2-6)的下端位于模具连接板(3-1)上中心处开有的主轴通孔(3-1-1)、旋转主轴(2-6)上的旋转主轴夹头(2-9)位于上模座(3-2)中心处开有的夹头通孔(3-2-1)内，微冲压模具的冲头(2-8)经由上模板(3-3)上的冲头通孔(3-3-1)并穿出所述冲头通孔(3-3-1)；中间垫板(3-5)的中心处设有微冲压模具的冲头(2-8)可穿过的中间垫板通孔(3-5-1)，中间垫板通孔(3-5-1)的下方的设有冲头导套(3-17)，所述冲头导套(3-17)安装在压料板(3-10)上，位于冲头导套(3-17)正下方的凹模(3-16)安装在凹模固定板(3-7)上；

四套导向机构均布设置在模具连接板(3-1)和下模座(3-8)之间，每个精密导柱(3-4)的下端固装在凹模固定板(3-7)上，每个精密导柱(3-4)穿过第二层(Ⅱ)，每个精密导柱(3-4)的上端可与第一层(Ⅰ)中的上模座(3-2)及上模板(3-3)上的导向通孔(3-2-3-3)相配合，每个精密导柱(3-4)与压料板(3-10)之间设有一个导套(3-6)，每个精密导柱(3-4)与上模板(3-3)之间设有另一个导套(3-6)，每个精密导柱(3-4)与其上两个导套(3-6)过盈配合；

四套压边装置均布设置在上模座(3-2)和压料板(3-10)之间，每个压边力螺柱(3-11)由下至上依次穿过压料板(3-10)、中间垫板(3-5)，且压边力螺柱(3-11)上的螺帽顶在压料板(3-10)上的螺帽阶梯孔(3-10-1)的台肩上，通过挡圈(3-13)及压边力螺钉(3-14)将压边力弹簧(3-12)套装在压边力螺柱(3-11)上，压边力螺钉(3-14)与压边力螺柱(3-11)螺纹连接；在上模板(3-3)及上模座(3-2)开设四个压边装置阶梯孔(3-3-2)，每套压边装置的正上方对应于一个压边装置阶梯孔(3-3-2)，第一层(Ⅰ)下行时，压边装置阶梯孔(3-3-2)上的台肩(3-2-2)与相应的挡圈(3-13)的上端面接触；

四个顶出弹簧(3-9)位于第二层(Ⅱ)和第三层(Ⅲ)之间，且均布设置在凹模固定板(3-7)上；凹模固定板(3-7)两侧各固定有一个档板(3-15)，顶出弹簧(3-9)的伸长长度和挡板(3-15)共同决定凹模固定板(3-7)和压料板(3-10)之间的距离。

2.根据权利要求1所述的一种微冲压模具原位制造装置，其特征在于：所述原位制造装置还包括片电极(6)，所述片电极(6)设置在块电极(5)的上端面上。

3.根据权利要求2所述的一种微冲压模具原位制造装置，其特征在于：所述原位制造装置还包括固定座(9)，所述XY精密移动平台(1)安装在固定座(9)上。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种微冲压模具原位制造装置，其特征在于：所述导向机构的导向精度为±1μm。

5.根据权利要求4所述的一种微冲压模具原位制造装置，其特征在于：所述从动带轮(2-4)为铜带轮。

6.根据权利要求1、2或3所述的一种微冲压模具原位制造装置，其特征在于：所述主轴绝缘板(2-10)为大理石板。

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