CN102436082A - 平板状被检查体的检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种平板状被检查体的检查装置，其无需更换面板支承座并且不管被检查体是否具有偏光板都能够正确地检查被检查体，该平板状被检查体的检查装置包括：第1底座，其具有第1开口；4个第2底座，其共同形成与第1开口相对的第2开口；以及至少1个升降装置，其与至少1个第2底座对应，用于使对应的第2底座升降。升降装置配置于第1底座和较长的4个第2底座之间，用于将对应的第2底座可升降地支承于第1底座，该第1底座具有在上下方向上贯穿的第1开口，该4个第2底座以共同形成与第1开口相对的第2开口的方式呈框状配置于第1底座的上方。

Description

平板状被检查体的检查装置

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶显示面板这种平面状被检查体的装置。

背景技术

用于对液晶显示面板这种矩形的平面状被检查体进行点亮检查的检查装置具有用于安装被检查体的面板支承座。该面板支承座包括4个面板支承部，该4个面板支承部共同形成用于支承被检查体的支承面。这些面板支承部应配置为在被检查体外周4个边的边缘部支承被检查体，以在稳定地支承被检查体的同时，形成成为检查用光的通路的矩形开口。

但是，在这种被检查体中，存在4个边的尺寸、即外周尺寸根据最终产品的屏幕尺寸的种类而不同的各种被检查体。作为能够利用1个面板支承座来检查这种多类型被检查体的检查装置，具有例如专利文献1所记载的检查装置。

专利文献1所记载的检查装置包括：板状的工作台底座(table ba se)，其具有第1开口；面板支承座，其留有间隔地配置于该工作台底座的上方，用于支承被检查体；以及结合装置，其配置于上述工作台底座和上述面板支承座之间，用于结合上述工作台底座和上述面板支承座。

上述面板支承座是通过组装成卍形而共同形成与上述第1开口相对的矩形的第2开口的4个移动片，其包括分别具有用于支承被检查体的面板支承部的4个移动片，上述结合装置用于以使各移动片能够在与上述工作台底座平行的面上二维移动的方式结合上述移动片和上述工作台底座。

根据该检查装置，各移动片能够在与上述工作台底座平行的面上移动，因此能够根据被检查体的外周尺寸改变由上述4个移动片形成的第2开口的大小、即4个面板支承部的配位。由此，能够利用1个面板支承座来检查各种类型的被检查体。

但是，在被照射检查的被检查体中，除了其外周尺寸不同的被检查体之外，还存在将液晶封装在2张玻璃基板内而成的仅为阵列基板的被检查体、以及在上述阵列基板的单面或双面上设置有用于收集通过该阵列基板的光的偏光的偏光板而成的被检查体。

上述偏光板以覆盖阵列基板的大致整个表面的方式设置，但在设计上，无法在阵列基板的配置有用于通电的多个端子的端子部及该端子部的背面侧的部分设置上述偏光板。该端子部设置在沿阵列基板外周的4个边的任意边、一般是相邻的2个边的边缘部。

因而，在被检查体的与面板支承座相对的面上具有偏光板的情况下，在端子部或在其背面侧不具有偏光板的边缘部的厚度尺寸与除此以外的具有偏光板的边缘部的厚度尺寸不同。其结果，被检查体的被支承部相对于面板支承座的高度不同。

例如，在为了相对于上述工作台底座平行地支承不具有偏光板的仅为阵列基板的平坦的被检查体而使4个面板支承部的支承面的高度相同的面板支承座中，若将具有偏光板的被检查体载置于面板支承座，则其被检查体与对应于偏光板的厚度尺寸的角度相应地相对于工作台底座倾斜而支承于面板支承座。该被检查体的倾斜可能会导致在检查时用于检查的触头不能与上述端子准确地接触。

因而，被检查体在具有偏光板的情况和不具有偏光板的情况下，欲利用面板支承座相对于上述工作台底座平行地支承被检查体，需要准备作为用于仅为阵列基板的被检查体而4个面板支承部的支承面的高度对齐的面板支承座、以及用于检查在阵列基板上安装有偏光板的被检查体的、使得用于支承与端子部对应的边缘部的板支承部的支承面的高度比用于支承其他边缘部的面板支承部的支承面的高度高出与偏光板的厚度尺寸相应的量的面板支承座，根据被检查体是否具有偏光板来更换面板支承座。但是，面板支承座的更换作业繁杂，而且由于近年的液晶面板大型化，使得面板支承座也大型化，增加了更换作业的繁杂程度及危险性。

专利文献1：日本特开2007-40747号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于实现无需更换面板支承座并且不管被检查体是否具有偏光板都能够正确地检查被检查体。

用于解决问题的方案

本发明的平板状被检查体的检查装置包括：第1底座，其具有在上下方向上贯穿的第1开口；4个长的第2底座，其配置于上述第1底座的上方，并共同形成与上述第1开口相对的矩形的第2开口，并且分别具有用于共同支承平板状被检查体的支承面；以及至少1个升降装置，其与至少1个上述第2底座对应，并配置于对应的上述第2底座和上述第1底座之间，用于在上述第1底座上以能够升降的方式支承对应的上述第2底座。

也可以是，上述升降装置包括驱动机构和至少1个升降机构，该驱动机构安装于上述第1底座或上述第2底座，并用于使该升降机构驱动。

也可以是，上述升降机构包括：彼此相对的第1固定构件和第2固定构件，该第1固定构件和第2固定构件分别安装于上述第1底座的上侧和上述第2底座的下侧；以及可动构件，其以沿上述第2底座的长度方向能够移动的方式结合于上述第1固定构件和上述第2固定构件，并且利用上述驱动机构使该可动构件沿上述第2底座的长度方向移动；上述第1固定构件和上述可动构件之间或上述第2固定构件和上述可动构件之间以沿相对于上述第2底座的长度方向倾斜的方向能够相对于可动构件相对移动的方式相结合，上述升降装置还包括多个移动限制机构，该移动限制机构允许上述第2底座相对于上述第1底座升降，但至少阻止上述第2底座沿上述第2底座的长度方向移动。

也可以是，上述第1固定构件和上述第2固定构件中的至少一者包括第1导轨，该第1导轨安装于上述第1底座和上述第2底座中的至少一者，并沿上述第2底座的长度方向延伸，上述可动构件包括：第1引导件，其以沿上述第1导轨能够移动的方式结合于上述第1导轨；第1楔形构件，其安装于上述第1引导件，并具有相对于上述第2底座的长度方向倾斜的第1倾斜部；以及第2导轨，其安装于上述第1倾斜部，并沿该第1倾斜部的倾斜方向延伸；上述第1固定构件和上述第2固定构件中的另一者包括：第2引导件，其以沿上述第2导轨能够移动的方式结合于上述第2导轨；以及第2楔形构件，其安装于上述第1底座和上述第2底座中的另一者，并具有与上述第1倾斜部平行相对的第2倾斜部，在该第2倾斜部上安装有上述第2引导件。

也可以是，在上述检查装置中，在2个、3个或4个上述第2底座上分别配置有上述升降装置。

也可以是，上述第1开口包括下侧的第3开口和上侧的矩形的第4开口，上述第1底座包括：工作台底座，其具有上述第3开口和上表面；长的4个移动片，其在上述工作台底座的上方配置为形成上述第4开口；以及结合装置，其配置于上述工作台底座和上述移动片之间，并将上述移动片以在与上述工作台底座的上表面平行的面上能够二维移动的方式结合于上述工作台底座的上表面，以改变上述第4开口的大小；上述第2底座与上述移动片分别对应，并配置于对应的上述移动片的上侧。

也可以是，上述移动限制机构包括：直线轴套，其安装于上述第1底座和上述第2底座中的任意一者，并具有在上述升降机构的升降方向上贯穿的孔；以及轴，其固定于上述第1底座和上述第2底座中的另一者，并贯穿上述孔。

也可以是，上述检查装置还包括对准装置，该对准装置用于对支承在上述支承面上的平板状被检查体进行定位，上述第2底座包括用于指定上述支承面的一部分的面板支承部，上述对准装置包括：第1推动机构和第1定位机构，其分别配置于相对的一对上述第2底座中的一者和另一者，并位于上述支承面的外侧；以及第2推动机构和第2定位机构，其分别配置于相对的另一对上述第2底座中的一者和另一者；上述推动机构和上述定位机构各自包括：至少1个按压构件，其用于向定位机构或推动机构按压支承在上述面板支承部上的平板状被检查体；以及至少1个对准驱动机构，其用于使上述按压构件沿与该按压构件对应的上述第2底座的长度方向及宽度方向移位；上述定位机构的上述对准驱动机构克服相对的推动机构的按压力而以能够解除的方式维持对应的上述按压构件在进退方向上的位置。

发明的效果

在本发明中，能够使至少1个第2底座利用与其对应的升降装置相对于其他第2底座升降。因此，能够根据被检查体在被支承面支承的被支承部上是否具有偏光板，调整至少1个第2底座相对于其他第2底座的高度，由此能够以正确的姿势在支承面上支承被检查体。其结果，无需更换面板支承座，就能够根据有无偏光板来正确地检查被检查体。

附图说明

图1是表示本发明的检查装置的第1实施例的立体图；

图2是表示第1实施例中的移动机构的概略图；

图3是表示第1实施例中的升降装置的侧视图；

图4是表示第1实施例中的升降装置的立体图；

图5是放大了图3中A部分的侧视图；

图6是放大了图3中B部分的剖面图；

图7是表示图5中A部分的升降装置的下降状态的侧视图；

图8是表示对准装置的侧视图；

图9是表示对准装置的推动机构的立体图；

图10是表示对准装置的定位机构的立体图；

图11是对准装置的动作的概略图；

图12是表示本发明的检查装置的第2实施例的概略图；

图13是表示第2实施例中的移动机构的立体图。

具体实施方式

(用语的说明)

在本发明中，在图3中，称上下方向为Z方向或上下方向，称左右方向为X方向或左右方向，称纸背面方向为Y方向或前后方向。但是，这些方向根据检查时的被检查体的姿势而不同。

因此，本发明的检查装置可在由X方向及Y方向限定的XY面成为水平面的状态、相对于水平面倾斜的状态等任意状态下使用。

(第1实施例)

参照图1～图3，检查装置10是以液晶显示面板这种平板状被检查体12为对象，用作将该被检查体12连接于预定的电路而进行点亮检查这种检查的装置。

被检查体12包括阵列基板16和偏光板18，该阵列基板16在2张透明的基板之间封装有液晶，该偏光板18粘贴于阵列基板16的两个表面上，用于收集所通过的光的偏光。但是，被检查体12存在不含有偏光板18的被检查体、仅在阵列基板16的上表面和下表面的任意一者上粘贴有偏光板18的被检查体。

阵列基板16呈矩形形状，此外沿矩形的边的几个边缘部作为设置有多个端子的端子部20，端子部20以外的区域作为显示部22。偏光板18仅设置于显示部22，在端子部20及其背面侧未设置有偏光板18。即，被检查体12的厚度尺寸在设置有偏光板18的显示部22和未设置有偏光板18的端子部20之间不同。在图1中，阵列基板16在矩形的相邻的2个边上具有端子部20。

参照图1，检查装置10包括：第1底座24，其在中央区域具有在上下方向上贯穿的第1开口；面板支承座14，其具有4个第2底座26，该4个第2底座26以共同形成与上述第1开口相对的矩形的第2开口的方式留有间隔地配置于第1底座24的上方；以及升降装置28，其配置于各第2底座26和第1底座24之间，用于将各第2底座26以能够升降的方式支承于第1底座24上。

在第1底座24的下方留有间隔地配置有背光单元(未图示)，该背光单元用于自下方照射支承于面板支承座14的被检查体12。上述第1及第2开口起到向配置于面板支承座14上的被检查体12的显示部22引导该背光单元(未图示)的光的通路作用。

各第2底座26包括长板状的面板支承部26a和长的板状构件26b，此外以面板支承部26a自板状构件26b的宽度方向上的一个边缘部立起的方式、并以使板状构件26b位于XY面上(处于水平)的方式，将面板支承部26a和板状构件26b结合成L字形。各第2底座26的沿面板支承部26a的长度方向的上端表面成为共同支承被检查体12的支承面26c。

参照图2，第1底座24包括：板状的工作台底座30，其具有起到上述第1开口的下侧部分作用的第3开口；长板状的4个移动片32a～32d，该4个移动片32a～32d以形成起到上述第1开口的上侧部分作用的第4开口的方式组装成卍形；以及结合装置34，其配置于移动片32a～32d和工作台底座30之间，将移动片32a～32d以能够沿X方向和Y方向二维移动的方式结合于工作台底座30。

(关于移动片)

相对的一对移动片32a、32b在XY平面上沿Y方向留有间隔并与X方向平行地延伸，此外相对的另一对移动片32c、32d在XY平面上沿X方向留有间隔并与Y方向平行地延伸。这些移动片32a～32d利用结合装置34以能够在XY平面上二维移动来改变第4开口的大小的方式结合于工作台底座30。

相邻的2个移动片32利用适宜的结合部件结合为沿X方向(或Y方向)能够一体移动、或沿Y方向(或X方向)能够各自移动。由此，相邻的移动片32以不会妨碍对方的移动片32独自向Y方向(或X方向)移动的方式相结合。

作为这种结合部件，例如可以使用沿X方向(或Y方向)延伸而朝第4开口侧敞开的具有梯形截面形状的燕尾槽和可滑动地嵌合于该燕尾槽的燕尾榫这两者的组合。燕尾槽形成于相邻的2个移动片32的一者的在宽度方向靠向第4开口的一侧，燕尾榫形成于相邻的2个移动片32的另一者的长度方向上的一端边缘部。此外，还可以取代燕尾槽和燕尾榫的组合，使用导轨和可滑动且不能脱离地结合于该导轨的引导件的组合这种其他结合部件。

(关于结合装置)

参照图2，结合装置34包括长板状的一对第1滑动件36和长板状的一对第2滑动件38，该一对第1滑动件36以在X方向上留有间隔并沿Y方向延伸、并且沿X方向能够移动的方式安装于工作台底座30，该一对第2滑动件38在第1滑动件36的上方以在Y方向上留有间隔并沿与X方向平行的方向延伸、并且沿Y方向能够移动的方式安装于工作台底座30。

第1及第2滑动件36、38以井字形配置在工作台底座30的上表面。各第1滑动件36以能够滑动的方式其一端部和另一端部结合于沿X方向延伸的导轨42。各第2滑动件38以能够滑动的方式其一端部和另一端部结合于沿Y方向延伸的导轨44。各第2滑动件38利用第1及第2结合构件40a、40b以沿Y方向能够移动方式结合于两个第1滑动件36。

结合构件40a、40b分别以沿Y方向能够移动的方式结合于一对导轨46a(或一对导轨46b)，并且以沿X方向能够移动的方式结合于一对导轨48a(或一对导轨48b)，该一对导轨46a(或一对导轨46b)设置于对应的第1滑动件36，并且沿该第1滑动件36的长度方向延伸，该一对导轨48a(或一对导轨48b)设置于对应的第2滑动件38，并且沿该第2滑动件38的长度方向延伸。由此，结合构件40a、40b相对于工作台底座30能够在XY面上二维移动。

在图示的例子中，沿X方向延伸的移动片32a、32b分别具有设置于下侧并X方向延伸的导轨41a、41b。导轨41a、41b分别以相对于设置在结合构件40b、40b上的一对引导件43b、43b能够相对移动的方式结合于该一对引导件43b、43b。由此，移动片32a、32b分别以能够沿X方向移动且不能沿Y方向移动的方式结合于第2滑动件38、38。

同样，沿Y方向延伸的移动片32c、32d分别具有设置于下侧并沿Y方向延伸的导轨41c、41d。导轨41c、41d分别以相对于设置在结合构件40a、40a上的一对引导件43a、43a能够相对移动的方式结合于该一对引导件43a、43a。由此，移动片32c、32d分别以能够沿Y方向移动且不能沿X方向移动的方式结合于第1滑动件36、36。

第1及第2滑动件36、38分别利用移动片驱动机构50在X方向(或Y方向)上移动，可解除地维持于这种移动方向上的适宜位置。

作为各移动片驱动机构50使用这种机构，该机构包括：马达，其配置于工作台底座30的上表面；滚珠丝杠，其以沿X方向(或Y方向)延伸的状态连结于上述马达，利用该马达使该滚珠丝杠旋转；螺母，其与该滚珠丝杠螺纹结合，并且利用连结器具连结于第1及第2滑动件36、38。马达是能够控制位置的马达，以如脉冲马达那样可解除地维持旋转角度位置。

例如，若利用对应的移动片驱动机构50使两个第1滑动件36沿相聚相分的方向(X方向)移动，则借助结合构件40a、40a结合于第1滑动件36、36并沿Y方向延伸的移动片32c、32d与结合构件40a、40a一起沿相聚相分的方向(X方向)移动，并且借助上述燕尾槽、燕尾榫等结合部件连结于移动片32c、32d的移动片32a、32b伴随移动片32c、32d的移动沿X方向移动。

当第1滑动件36沿X方向移动时，通过设置于移动片32a、32b上并沿X方向延伸的导轨41a、41b同设置于各结合构件上的引导件43b、43b之间的相对移动，能够允许移动片32a、32b相对于第2滑动件38、38沿X方向移动。

此外，若利用对应的移动片驱动机构50使两个第2滑动件38沿相聚相分的方向(Y方向)移动，则借助结合构件40b、40b连结于第2滑动件38、38并沿Y方向延伸的移动片32a、32b与结合构件40b、44b一起沿相聚相分的方向(Y方向)移动，并且利用上述燕尾槽、燕尾榫等结合部件连结于移动片32a、32b的移动片32c、32d伴随移动片32a、32b的移动沿Y方向移动。

当第2滑动件38沿Y方向移动时，通过设置于移动片32c、32d上并沿Y方向延伸的导轨41c、41d同设置于结合构件40b、40b上的引导件43a、43a之间的相对移动，能够允许移动片32c、32d相对于第1滑动件36、36沿Y方向移动。

由此，4个移动片32a～32d以改变第4开口的大小的方式移动。其结果，能够根据应检查的被检查体12的平面尺寸改变第4开口、乃至之后说明的第2开口的大小。该作业在对被检查体12进行点亮试验之前先进行。

(关于升降装置)

参照图3～图6，各第2底座26留有间隔地配置于对应的移动片32的正上方，升降装置28配置于第2底座26和对应的移动片32之间，以能够相对于对应的移动片32进行升降地支承第2底座26。

参照图4，升降装置28包括：4个升降机构52，其用于能够升降地支承第2底座26；驱动机构54，其连结于这些升降机构52，用于使升降机构52驱动；6个移动限制机构56，其用于允许第2底座26在上下方向(Z方向)上升降，但阻止第2底座26在左右方向及前后方向(X方向及Y方向)上移动。根据被检查体12的尺寸、重量及面板支承座14的大小等确定升降机构52、驱动机构54及移动限制机构56的数量。

驱动机构54包括：两个第1驱动力传递构件79，该两个第1驱动力传递构件79在对应的移动片32的长度方向上留有间隔，并沿与移动片32的长度方向垂直的方向延伸；第2驱动力传递构件80，其连结于两个第1驱动力传递构件79；驱动源82，其连结于第2驱动力传递构件80，用于使对应的第2驱动力传递构件80沿对应的移动片32的长度方向移动；以及支承构件84，其安装于移动片32，用于以能够沿移动片32的长度方向移动的方式支承第1驱动力传递构件79。

各第1驱动力传递构件79具有沿移动片32的宽度方向延伸的长的板状(或棒状)的形状，此外其一端或另一端结合于在移动片32的宽度方向上留有间隔地配置的一对升降机构52。第2驱动力传递构件80具有沿移动片32的长度方向延伸的长的板状(或棒状)的形状，此外第2驱动力传递构件80连结于两个第1驱动力传递构件79，其一端连结于驱动源82。

驱动源82用于使第2驱动力传递构件80沿移动片32的长度方向移动，由此借助连结于第2驱动力传递构件80的第1驱动力传递构件79使升降机构52驱动。驱动源82可以是气压缸体、液压缸体这种流体压缸体机构。该缸体机构是其缸体安装于移动片32或第2底座26，其柱塞杆连结于第2驱动力传递构件80。

但是，驱动源82可以取代缸体机构而包括如脉冲马达那样能够控制旋转角度位置的马达。在此情况下，第2驱动力传递构件80具有滚珠丝杠和螺纹结合于该滚珠丝杠的螺母，第1驱动力传递构件79结合于上述螺母。由此，通过利用上述马达使上述滚珠丝杠旋转，使上述螺母沿移动片32的长度方向进退，进而借助第1驱动力传递构件79使后述的可动构件62沿移动片32的长度方向移动。

参照图3、图4及图6，移动限制机构56包括直线轴套86和轴88，该直线轴套86具有在上下方向上贯穿的贯通孔，该轴88嵌合于直线轴套86的贯通孔中。直线轴套86和轴88分别安装于第2底座26和移动片32。移动限制机构56还包括与直线轴套86的贯通孔连续而设置于第2底座26的孔89。

轴88的直径比直线轴套86的孔直径稍小，但具有与直线轴套86的孔大致相同的直径尺寸。由此，轴88阻止直线轴套86相对于轴88沿X方向和Y方向移动，进而阻止第2底座26相对于移动片32沿X方向和Y方向移动。

但是，在直线轴套86的贯通孔的内壁上设置有多个球体，轴88相对于直线轴套86在上下方向上能够滑动，因此第2底座26能够相对于移动片32沿上下方向移动即进行升降。

参照图5，各升降机构52包括：第1及第2固定构件58、60，该第1及第2固定构件58、60分别安装于移动片32的上表面和第2底座26的下表面；以及可动构件62，其以沿第2底座26的长度方向能够移动的方式结合于第1及第2固定构件58、60。

第1固定构件58包括安装于移动片32的第1导轨64。可动构件62包括：第1引导件66，其以沿第1导轨64能够滑动的方式结合于第1导轨64；第1楔形构件68，其安装于第1引导件66的上部；以及第2导轨70，其安装于第1楔形构件68的上部。第2固定构件60包括：第2引导件72，其以沿第2导轨70能够滑动的方式结合于第2导轨70；以及第2楔形构件74，其安装于第2引导件72的上部及第2底座26的下表面。

第1楔形构件68的上部成为相对于移动片32的长度方向倾斜的第1倾斜部76。第2楔形构件74的下表面成为与第1倾斜部76平行的第2倾斜部78。

第2导轨70以沿第1倾斜部76的倾斜方向延伸且不能移动的方式安装于第1倾斜部76。以能够滑动的方式结合于第2导轨70的第2引导件72以不能移动的方式安装于第2倾斜部78。

第1导轨64以沿移动片32的长度方向延伸且不能移动的方式安装于移动片32的上表面。以能够滑动的方式结合于第1导轨64的第1引导件66以不能移动的方式安装于第1楔形构件68的下部。

利用驱动源82的动力借助第1及第2驱动力传递构件79、80使第1楔形构件68在移动片32的长度方向上移动，从而使第2底座26相对于移动片32升降。即，参照图5和图7，若第1楔形构件68及安装于该第1楔形构件68的第2导轨70在移动片32的长度方向上移动，则第2楔形构件74及安装于该第2楔形构件74的第2底座26沿在第1倾斜部76的倾斜方向上延伸的第2导轨70相对于第1楔形构件68以下滑或上滑的方式移动。

此时，由于利用移动限制机构56阻止第2底座26在移动片32的长度方向上移动，因此只有第1楔形构件68在移动片32的长度方向上移动。由此，第2底座26相对于移动片32不会在其长度方向上移动，而是下降或上升。此外，第1导轨64及第1引导件66使第1楔形构件68仅在长度方向上的移动顺畅。

第1导轨64及第1引导件66也可以分别对调安装于第1楔形构件68和移动片32的上表面，此外，第2导轨70和第2引导件72也可以分别对调安装于第2楔形构件74的下部和第1楔形构件68的上部。

而且，也可以不使用导轨及引导件，而以使第1楔形构件68接触于第2楔形构件74的第2倾斜部78及移动片32的上表面的方式配置第1楔形构件68，此外，也可以在第1楔形构件68的上部和下部、第2倾斜部78的下表面以及移动片32的上表面上呈片状设置低摩擦物质，利用该低摩擦物质使第1楔形构件68的移动顺畅。

第1及第2固定构件58、60包括绕沿移动片32的宽度方向延伸的轴线旋转的辊这种旋转构件。此外，第1及第2固定构件58、60也可以分别以能够旋转的方式安装于第2底座26的下表面及移动片32的上表面。此时，可动构件62能够沿上述旋转构件的旋转方向顺畅地移动。此外，第1及第2固定构件58、60也可以分别对调安装于第2底座26的下表面及移动片32的上表面。此外，可动构件62也可以对调上部和下部而配置。

升降机构52可以包括螺纹式起重器这种起重器。在此情况下，驱动机构54既可以包括如脉冲马达那样能够控制旋转角度位置的马达作为驱动源，也可以是利用该马达使螺纹式起重器的螺纹部分旋转而使上述起重器沿Z方向伸缩这种升降部件。

升降装置28可以包括以沿Z方向伸缩的方式配置的缸体这种驱动机构54，不借助升降机构52而直接使第2底座26相对于移动片32升降。但是，由于驱动机构54一般在其驱动方向上具有较大的尺寸，因此驱动机构54以在移动片32的长度方向上伸缩的方式驱动，借助升降机构52使第2底座26升降。

与利用驱动机构54直接使第2底座26升降的情况相比较，升降装置28能够有效利用位于第2底座26和移动片32之间并在移动片32的长度方向上较长的空间。升降装置28也可以不包括驱动机构54，而是由升降作业的作业者使升降机构52工作。

在检查装置10中，在用于在与上述工作台底座30的上表面平行的面上二维移动的4个移动片32上分别配置升降装置28，以可升降地支承各第2底座26，从而三维地调整支承面26c的位置，因此无需更换面板支承座，就能够利用共用的面板支承座来检查各种被检查体。

在本实施例中，在4个第2底座26上分别配置有升降装置28，但可根据成为检查对象的被检查体12的端子部20数量，在1个、2个或3个第2底座26上分别配置上述那种升降装置28。关于未配置升降装置28的第2底座26，需要通过增加板状构件26b的宽度尺寸、或在第2底座26和移动片32之间配置用于对齐板状构件26b的高度的构件等方法，预先对齐4个支承面26c的高度。

在本实施例中，此外，以由1个升降装置28使1个第2底座26升降的方式，在第2底座26和第1底座24之间配置升降装置28，但也可以以由1个升降装置28使2个或3个第2底座26升降的方式，在第2底座26和第1底座24之间配置升降装置28。

在由升降装置28使第2底座26无级地升降的情况下，只要以使3个第2底座26能够独立升降的方式配置升降装置28，即使在具有偏光板18的被检查体12的任意一个边的边缘部上设置有端子部20，也能够通过使该3个第2底座26升降，使面板支承座14在不会倾斜被检查体12的情况下与工作台底座30平行地支承被检查体12。

(关于对准装置)

参照图1及图8～图11，在第1实施例中，检查装置10还包括对准装置90，该对准装置90用于在与支承面26c平行的面上二维地进行被检查体12的对准。对准装置90包括第1推动机构92、第1定位机构94、第2推动机构96和第2定位机构98，该第1推动机构92和第1定位机构94分别配置于相对的一对第2底座26的一者和另一者上并位于支承面26c的外侧，该第2推动机构96和第2定位机构98分别配置于相对的另一对第2底座26的一者和另一者上。

推动机构92、96分别用于使被检查体12相对于与推动机构92、96相对的定位机构94、98进退。相反，定位机构94、98分别用于确定被检查体12在X方向(或Y方向)上的基准位置。

参照图8～图10，推动机构92、96及定位机构94、98各自包括：按压构件100，其高度与面板支承面大致相同，在俯视下位于面板支承面的外侧；支柱状的移动体102，其支承有按压构件100；对准驱动机构104，其用于使移动体102乃至按压构件100进退；以及支承板106，其用于支承按压构件100、移动体102和对准驱动机构104。

在图示的例子中，移动体102沿上下延伸，具有支柱状的形状。按压构件100是利用安装销108以能够绕沿Z方向延伸的轴线旋转的方式安装于移动体102的上端部上并具有与Z方向平行的面的辊，但按压构件100也可以是其他构件。

支承板106以能够沿板状构件26b的长度方向(X方向或Y方向)移动的方式安装于一对导轨110，该一对导轨110设置于板状构件26b的上表面。两个导轨110在板状构件26b的宽度方向(Y方向或X方向)上留有间隔，并沿长度方向(X方向或Y方向)平行的方向延伸。

支承板106利用引导件112安装于一个导轨110上，而且载置在另一个导轨110的上表面上。因此，一个导轨110起到导向导轨的作用。另一个导轨110在长度方向(X方向或Y方向)的多个部位分别具有向上方敞开的内螺纹孔114。

在另一个导轨110上载置有带状的固定配件118，并且以相对于支承板106不能相对移动的方式设置，该固定配件118具有在长度方向上延伸的长孔116，。固定配件118利用自上方插入到长孔116中与内螺纹孔114螺纹结合的螺栓120可解除地安装于另一个导轨110。由此，各支承板106可解除地固定于长度方向上的预定位置。

上述的结果，推动机构92、96及定位机构94、98分别可解除地固定于长度方向上的预定位置。因此，另一个导轨110起到可解除地固定推动机构92、96及定位机构94、98在长度方向上的位置的固定导轨的作用。但是，也可以通过改变与螺栓120螺纹结合的内螺纹孔114、及固定配件118相对于螺栓120的位置，根据被检查体12的种类、大小等选择推动机构92、96及定位机构94、98在长度方向上的位置。

各对准驱动机构104包括：一对导轨122，该一对导轨122在支承板106的宽度方向(Y方向或X方向)上留有间隔，并沿支承板106的长度方向(X方向或Y方向)延伸；滑动件124，其以沿支承板106的宽度方向能够移动的方式嵌合于各导轨122；连结板126，其用于连结2个滑动件124；以及驱动源128，其用于使按压构件100沿支承板106的宽度方向移动。

滑动件124安装于连结板126的下表面。驱动源128安装于支承板106的上表面。移动体102以竖立状态安装于连结板126的上侧。但是，也可以将移动体102和连结板126设置为一体的构造。

如图10所示，推动机构92、96的各驱动源128使用气压缸体、液压缸体这种流体压缸体机构。该缸体机构中，其缸体安装于支承板106，其柱塞杆连结于滑动件124。

因此，推动机构92、96的各对准驱动机构104通过利用驱动源128使滑动件124相对于第2底座26的面板支承部26a进退，使按压构件100相对于安装于面板支承座14的被检查体12在X方向或Y方向上进退。

如图9和图11所示，定位机构94、98的各驱动源128使用如脉冲马达那样能够控制旋转角度位置的马达。因此，定位机构94、98的各对准驱动机构104还包括滚珠丝杠130和螺母132，该滚珠丝杠130自对应的驱动源128沿支承板106的宽度方向延伸，利用对应的驱动源128使滚珠丝杠130旋转，该螺母132螺纹结合于滚珠丝杠130。

定位机构94、98的各对准驱动机构104通过利用驱动源128使滚珠丝杠130旋转，使螺母132相对于第2底座26的面板支承部26a进退，由此使按压构件100相对于安装于面板支承座14的被检查体12进退。

例如，如图11所示，具有上述构造的对准装置90使得用于X方向上的定位机构98的按压构件100在X方向上移动，维持被检查体12在X方向上的基准位置，并且利用用于X方向上的推动机构96的按压构件100向用于X方向上的定位机构98的按压构件100按压被检查体12。由此，实现被检查体12在X方向上对准。

通过使得用于Y方向上的定位机构94、94及用于Y方向上的推动机构92、92如上述那样工作，进行被检查体在Y方向上的对准。

如上述那样，定位机构94、98及各对准驱动机构104可改变且可解除地维持按压构件100在X方向或Y方向上的前进位置。此外，定位机构94、98的各对准驱动机构104克服相对的推动机构92、96的按压力而可解除地维持对应的按压构件100在进退方向上的位置。

参照图12和图13，在检查装置200中，组装成井字形的4个移动片134利用结合装置142以能够在XY平面上二维移动来改变第4开口的大小的方式结合于工作台底座30。

结合装置142包括长板状的一对第1滑动件144和长板状的一对第2滑动件146，该一对第1滑动件144以在X方向上留有间隔并沿Y方向延伸、并且沿X方向能够移动的方式安装于工作台底座30，该一对第2滑动件146在第1滑动件144的上方以在Y方向上留有间隔并沿与X方向平行的方向延伸、并且沿Y方向能够移动的方式安装于工作台底座30。

移动片134a、134b、134c、134d分别与一个滑动件146、另一个滑动件146、一个滑动件144及另一个滑动件144相对应，支承于对应的滑动件。

第1及第2滑动件144、146设置于工作台底座30的上表面。此外，第1及第2滑动件144、146分别以能够移动的方式各自的一端部及另一端部结合于在X方向上延伸的导轨148及在Y方向上延伸的导轨150。

由于第1及第2滑动件144、146没有彼此结合，因此在XY平面上沿X方向或Y方向能够独立移动。被这些滑动件支承的移动片134a～134d伴随对应的滑动件的移动而移动。

第1及第2滑动件144、146分别被移动片驱动机构152沿X方向(或Y方向)移动，而可解除地维持在这种移动方向上的适宜位置。各移动片驱动机构152可以是与第1实施例中的移动片驱动机构50相同的机构。

(第2实施例)

参照图12及图13，检查装置200包括：第1底座24，其呈井字形组装长板状的4个移动片134而成；面板支承座14，其具有以留有间隔的方式配置于各移动片134上方的第2底座136、138；以及升降装置28，其配置于各移动片134和对应的第2底座136、138之间，用于将对应的第2底座136、138以能够升降的方式支承于移动片134。

4个移动片134是通过将在Y方向留有间隔并沿X方向延伸的一对移动片134a、134b以及在X方向留有间隔并沿Y方向延伸的一对移动片134c、134d装配成井字形，与第1实施例相同地形成第4开口。

第1实施例相同，与移动片134a及移动片134b对应的第2底座136、136包括长板状的面板支承部136a和长的板状构件136b，以使面板支承部136a和板状构件136b在长度方向对齐、使面板支承部136a的宽度方向成为Z方向、使板状构件136b的宽度方向成为X方向(或Y方向)的状态，将面板支承部136a和板状构件136b结合成L字形。第2底座136、136配置于移动片134a及移动片134b的上方。

与移动片134c及移动片134d对应的第2底座138、138包括用于构成面板支承部138a的更换部件、以及板状构件138b。板状构件138b配置在位于对应的移动片134c和移动片134d的上方并位于移动片134a和移动片134b的下方的位置。

各板状构件138b以利用升降装置28相对于移动片134c及移动片134d能够升降的方式，在上下方向上留有间隔地配置在移动片134a及移动片134b的组合和移动片134c及移动片134d的组合这两个组合之间。

各更换部件安装于与移动片134c或移动片134d对应的第2底座138、138的上表面。如之后说明那样，关于各更换部件，在移动移动片134a、134b、乃至第2底座136、136之后，安装尺寸与相对的移动片134a、134b之间的间隔相适合的更换部件。面板支承部136a、138a分别包括支承面136c、138c，利用这些支承面，形成用于支承被检查体112的面板支承面。

上述的结果，4个移动片134a～134d以改变第4开口的大小的方式移动。在确定移动片134a～134d的位置之后，将与移动片134a、134b的间隔相适合的上述更换部件安装于与移动片134c、134d对应的第2底座138。

在检查装置200中，在用于在与工作台底座30的上表面平行的面上二维移动的4个移动片32上配置升降装置28，以可升降地支承第2底座136、138，因此能够三维地调整第2底座136、138的位置。其结果，无需更换面板支承座，就能够利用1个的面板支承座来检查各种被检查体。

在第2实施例中，检查装置可以与第1实施例相同地包括对准装置的推动机构92、96和定位机构94、98。

在上述的实施方式中，均使对准装置均具有定位机构，但也可以取代各定位机构而使用定位销。在此情况下，例如只要去除各定位机构的按压构件100、移动体102、对准驱动机构104等，将定位销以如移动体102那样自板状构件26b或支承板106向面板支承部26a的外侧立起的方式配置于板状构件26b或支承板106即可。

本发明并不仅限于上述实施例，只要不脱离权利要求书中所记载的主旨的范围，就可以进行各种变更。

Claims (8)

1.一种平板状被检查体的检查装置，包括：

第1底座，其具有在上下方向上贯穿的第1开口；

4个长的第2底座，其配置于上述第1底座的上方，并共同形成与上述第1开口相对的矩形的第2开口，并且分别具有用于共同支承平板状被检查体的支承面；以及

至少1个升降装置，其与至少1个上述第2底座对应，并配置于对应的上述第2底座和上述第1底座之间，用于在上述第1底座上以能够升降的方式支承对应的上述第2底座。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

上述升降装置包括驱动机构和至少1个升降机构，该驱动机构安装于上述第1底座或上述第2底座，并用于使该升降机构驱动。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

上述升降机构包括：彼此相对的第1固定构件和第2固定构件，该第1固定构件和第2固定构件分别安装于上述第1底座的上侧和上述第2底座的下侧；以及可动构件，其以沿上述第2底座的长度方向能够移动的方式结合于上述第1固定构件和上述第2固定构件，并且利用上述驱动机构使该可动构件沿上述第2底座的长度方向移动；

上述第1固定构件和上述可动构件之间或上述第2固定构件和上述可动构件之间以沿相对于上述第2底座的长度方向倾斜的方向能够相对于可动构件相对移动的方式相结合，

上述升降装置还包括多个移动限制机构，该移动限制机构允许上述第2底座相对于上述第1底座升降，但至少阻止上述第2底座沿上述第2底座的长度方向移动。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

上述第1固定构件和上述第2固定构件中的至少一者包括第1导轨，该第1导轨安装于上述第1底座和上述第2底座中的至少一者，并沿上述第2底座的长度方向延伸，

上述可动构件包括：第1引导件，其以沿上述第1导轨能够移动的方式结合于上述第1导轨；第1楔形构件，其安装于上述第1引导件，并具有相对于上述第2底座的长度方向倾斜的第1倾斜部；以及第2导轨，其安装于上述第1倾斜部，并沿该第1倾斜部的倾斜方向延伸；

上述第1固定构件和上述第2固定构件中的另一者包括：第2引导件，其以沿上述第2导轨能够移动的方式结合于上述第2导轨；以及第2楔形构件，其安装于上述第1底座和上述第2底座中的另一者，并具有与上述第1倾斜部平行相对的第2倾斜部，在该第2倾斜部上安装有上述第2引导件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，

在2个、3个或4个上述第2底座上分别配置有上述升降装置。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，

上述第1开口包括下侧的第3开口和上侧的矩形的第4开口，

上述第1底座包括：工作台底座，其具有上述第3开口和上表面；长的4个移动片，其在上述工作台底座的上方配置为形成上述第4开口；以及结合装置，其配置于上述工作台底座和上述移动片之间，并将上述移动片以在与上述工作台底座的上表面平行的面上能够二维移动的方式结合于上述工作台底座的上表面，以改变上述第4开口的大小；

上述第2底座与上述移动片分别对应，并配置于对应的上述移动片的上侧。

7.根据权利要求3或4所述的检查装置，其中，

上述移动限制机构包括：直线轴套，其安装于上述第1底座和上述第2底座中的任意一者，并具有在上述升降机构的升降方向上贯穿的孔；以及轴，其固定于上述第1底座和上述第2底座中的另一者，并贯穿上述孔。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其中，

上述检查装置还包括对准装置，该对准装置用于对支承在上述支承面上的平板状被检查体进行定位，

上述第2底座包括用于指定上述支承面的一部分的面板支承部，

上述对准装置包括：第1推动机构和第1定位机构，其分别配置于相对的一对上述第2底座中的一者和另一者，并位于上述支承面的外侧；以及第2推动机构和第2定位机构，其分别配置于相对的另一对上述第2底座中的一者和另一者；

上述推动机构和上述定位机构各自包括：至少1个按压构件，其用于向定位机构或推动机构按压支承在上述面板支承部上的平板状被检查体；以及至少1个对准驱动机构，其用于使上述按压构件沿与该按压构件对应的上述第2底座的长度方向及宽度方向移位；

上述定位机构的上述对准驱动机构克服相对的推动机构的按压力而以能够解除的方式维持对应的上述按压构件在进退方向上的位置。

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