CN102419475B - Mems光阀及其制造方法、具有该mems光阀的显示装置 - Google Patents

Abstract

一种MEMS光阀及其制造方法、具有该MEMS光阀的显示装置，MEMS光阀包括：层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；第一电极，其与所述第一可动光栅相连；第二电极，其与所述第二可动光栅相连；第二电极与第一电极相对设置，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光。本技术方案可以加快固定光栅的透光、遮光速度，从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程，降低光阀状态转换所需的功耗，提高转换的速度。

Description

MEMS光阀及其制造方法、具有该MEMS光阀的显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及具有MEMS光阀及其制造方法、具有该MEMS光阀的显示装置。

背景技术

近年来，随着信息通讯领域的迅速发展，对各种类型的显示设备的需求越来越大。目前主流的显示装置主要有：阴极射线管显示器(CRT)，液晶显示器(LCD)，等离子体显示器(PDP)，电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)等。由于液晶显示装置具有：轻、薄、占地小、耗电小、辐射小等优点，被广泛应用于各种数据处理设备中，例如电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等。

液晶显示装置主要包括：基底，在该基底内设有背光源；像素电极，位于所述基底上，基底上还具有TFT(薄膜晶体管开关)阵列，该TFT(薄膜晶体管开关)阵列用于与像素电极电连接，控制像素电极的电位；公共电极，以及位于像素电极和公共电极之间的液晶层。通过TFT(薄膜晶体管开关)阵列给像素电极提供电势，使公共电极和像素电极之间具有电势差，通过该电势差使液晶层中的液晶偏转，根据电势差的大小控制液晶偏转的角度，从而可以控制背光源发出的光透过液晶层的多少。液晶显示装置中，使用的背光源为白光，而且只有偏振光才可以通过液晶层，这将会损失50％的光，使光的利用率仅有50％，当光通过彩色滤光板，光的效率最多只有33％，因此液晶显示装置中光的利用率比较低。此外，液晶显示装置还具有其他方面的缺陷：例如视角范围小，结构复杂、成本高等。

随着MEMS技术的发展，显示装置中，利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透光率。TFT-MEMS借助现有TFT-LCD平板微加工技术，用高速高效的MEMS光阀替换液晶，不再需要偏光片、彩色滤光板，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制造成本。

2007年9月18日公开的公开号为US7271945B2的美国专利公开了一种用MEMS光阀的显示装置，然而MEMS光阀机电驱动移动距离较大、功耗较高、速度较低。

发明内容

本发明解决的问题是现有技术的显示装置中的MEMS光阀移动距离大、功耗高。

为解决上述问题，本发明提供一种MEMS光阀，包括：

层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；

第一电极，其与所述第一可动光栅相连；

第二电极，其与所述第二可动光栅相连；

第二电极与第一电极相对设置，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光。

可选的，所述第一可动光栅、第二可动光栅为矩形，所述第一电极和第二电极位于第一可动光栅和第二可动光栅移动方向的延长线上，位于第一可动光栅和第二可动光栅的同一侧，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

可选的，所述固定光栅具有多个开孔，所述第一可动光栅具有多个开孔，所述第二可动光栅具有多个开孔，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔均为矩形；

所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；

所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；

所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。

可选的，当所述第一电极和第二电极不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅的每一个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡；当第一电极和第二电极带异种电荷，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔三者重合。

可选的，在第一可动光栅和第二可动光栅相对的两侧都具有第一电极和第二电极。

可选的，所述第一可动光栅、第二可动光栅为圆形，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔和第二可动光栅的开孔为围绕圆心排列的开孔阵列，所述第一电极位于第一可动光栅半径的延长线上，所述第二电极位于第二可动光栅半径的延长线上，且第一电极和第二电极两者的相对面垂直于固定光栅的表面，在第一电极和第二电极的带动下，第一可动光栅和第二可动光栅绕圆心旋转。

可选的，还包括：基底，所述固定光栅位于基底上；

第一弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第一弹性悬臂面对第一可动光栅的侧面具有第一导电层，所述第一导电层作为所述第一电极；

第二弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第二弹性悬臂的面对第二可动光栅的侧面具有第二导电层，所述第二导电层作为所述第二电极；

所述第一弹性悬臂和第二弹性悬臂相对设置，第一弹性悬臂的两端和第二弹性悬臂的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一弹性悬臂与第一可动光栅通过悬杆连接，第二弹性悬臂与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

可选的，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞，所述第一导电层与所述第一插塞电连接，所述第二导电层与所述第二插塞电连接；

所述第一弹性悬臂的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述第二弹性悬臂的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

可选的，还包括：基底，所述固定光栅位于基底上；

第一电极和第二电极为弧形或类弧形的折线形；

所述第一电极和第二电极相对设置，第一电极和第二电极的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一电极与第一可动光栅通过悬杆连接，第二电极与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

可选的，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞；

所述第一电极的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述第二电极的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

本发明还提供一种显示装置，包括，基底，位于基底内的背光源，以及位于基底上的所述的MEMS光阀。

本发明还提供一种MEMS光阀的制造方法，包括步骤：

提供基底，在所述基底上形成图案化的第一不透光层作为固定光栅；

在所述固定光栅上形成具有第一开口的图案化的第一牺牲层，在所述第一开口填充导电材料形成第一插塞；

在所述图案化的第一牺牲层上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆；

在所述第一弹性悬臂的侧面沉积导电材料形成第一导电层，所述第一导电层和所述第一插塞电连接，所述第一导电层作为第一电极；

形成第二牺牲层，覆盖所述图案化的第二不透光层、图案化的第一牺牲层，图案化所述第二牺牲层和图案化后的第一牺牲层，在第二牺牲层和图案化后的第一牺牲层中形成第二开口，在所述第二开口填充导电材料形成第二插塞；

在所述图案化后的第二牺牲层上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆；

在所述第二弹性悬臂的侧面沉积导电材料形成第二导电层，所述第二导电层和所述第二插塞电连接，所述第二导电层作为第二电极；

去除所述图案化的第一牺牲层、图案化的第二牺牲层。

可选的，在所述图案化的第一牺牲层上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆包括：

形成第二不透光层，覆盖所述图案化的第一牺牲层；

光刻、刻蚀所述第二不透光层形成图案化的第二透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆。

可选的，在形成第一牺牲层之前还包括：光刻、刻蚀所述第一弹性悬臂、第一导电层，预留出与第二弹性悬臂连接的悬杆的位置。

可选的，在所述第二牺牲层上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆包括：

形成第三不透光层，覆盖所述图案化的第二牺牲层；

光刻、刻蚀所述第三不透光层形成图案化的第三不透光层作为第二可动光栅，与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

当第一电极和第二电极带异种电荷，则同时相向移动吸合，且带动第一可动光栅和第二可动光栅移动，使得固定光栅的开孔透光或者不透光，也就是说，在本实施例中第一电极和第二电极都可动，从而通过第一电极和第二电极的相向运动，可以加快固定光栅的透光、遮光速度，从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程，降低光阀状态转换所需的功耗，提高转换的速度。并且在透光和遮光的过程中，第一电极和第二电极吸合后，即使断电仍然可以保持此状态，从而降低功耗，达到了节能的效果。

进一步的，所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。在第一电极和第二电极不加电压的情况下，第一电极和第二电极不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅的每一个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡，使得光线不能透过，在给第一电极和第二电极施加电压后，则第一可动光栅和第二可动光栅相向移动从而使得光线可以透光光阀。这样使得在同样面积的第一可动光栅和第二可动光栅上，透光开孔的面积可以为不透光区域面积的两倍，有效的提高了透光率；节省了光栅面积。

附图说明

图1是本发明具体实施例的MEMS光阀的不透光状态的平面示意图；

图2是本发明具体实施例的MEMS光阀的透光状态的平面示意图；

图3是图1所示的MEMS光阀沿图1所示的A-A方向的剖面结构示意图；

图4是图2所示的MEMS光阀沿图2所示的A-A方向的剖面结构示意图；

图5是本发明另一实施例的MEMS光阀的平面示意图；

图6是本发明再一实施例的MEMS光阀的平面示意图；

图7是本发明实施例的具有MEMS光阀的显示装置的剖面结构示意图；

图8是具体实施例的MEMS光阀的制造方法的流程图；

图9至图13是MEMS光阀的制造方法沿图1所示的A-A方向的剖面结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施方式的限制。

第一实施例

图1是本发明第一实施例的MEMS光阀的不透光状态的平面示意图；图2是本发明第一具体实施例的MEMS光阀的透光状态的平面示意图；图3是图1所示的MEMS光阀沿图1所示的A-A方向的剖面结构示意图；图4是图2所示的MEMS光阀沿图2所示的A-A方向的剖面结构示意图。下面结合图1至图4对本发明的具体实施例进行说明。

结合参考图1至图4，本发明的MEMS光阀，包括：层叠放置的固定光栅100、第一可动光栅110和第二可动光栅120；第一电极130，其与所述第一可动光栅110相连；第二电极140，其与所述第二可动光栅120相连；第二电极140与第一电极130相对设置，当第一电极130和第二电极140带异种电荷时，第一电极130和第二电极140相向移动吸合，则带动第一可动光栅110和第二可动光栅120相向移动，使得固定光栅100透光或者不透光。

本发明第一实施例的MEMS光阀10中，固定光栅100，具有多个开孔102；第一可动光栅110，其与所述固定光栅100叠层放置，具有多个开孔112，第一可动光栅的开孔112和所述固定光栅的开孔102对应；第二可动光栅120，与所述固定光栅100、第一可动光栅110叠层放置，其上具有多个开孔122，第二可动光栅120的开孔122和所述固定光栅100的开孔102对应；第一电极130，其与所述第一可动光栅110绝缘相连；第二电极140，其与所述第二可动光栅120绝缘相连；第二电极140与第一电极130相对设置。

固定光栅100位于基底101上，所述固定光栅100为矩形，在其上具有1行开孔102，当然该开孔102也可以为阵列排布的开孔阵列，在本实施例中仅以1行开孔102为例进行说明，该行开孔102的排列方向为垂直于固定光栅100的两个相对边100a和100b方向。

第一可动光栅110为矩形，与固定光栅100平行层叠放置，第一可动光栅110上具有多个开孔112，第一可动光栅的开孔112和所述固定光栅的开孔102对应。第一可动光栅110的两个相对边110a和110b分别对应固定光栅100的边100a和100b，第一可动光栅110的相对边110a和110b分别连接有垂直于边100a的悬杆114。该第一实施例中，MESM光阀还包括，第一弹性悬臂116，与悬杆114的另一端连接，第一弹性悬臂116为弧形或类弧形的折线形，第一弹性悬臂116面对第一可动光栅110的侧面具有第一导电层，该第一导电层作为第一电极130，在图3和图4的示例中，第一弹性悬臂116的顶面以及两侧面均形成有第一导电层，但实际应用中，仅面对第一可动光栅110的侧面的第一导电层作为第一电极使用。在本实施例中第一弹性悬臂116为类弧形的三折线形，第一弹性悬臂116的三折线的中间一段连接悬杆114。在固定光栅100上具有第一插塞117a，第一弹性悬臂116的两端可以通过第一插塞117a连接固定光栅100，从而使得第一可动光栅110可以得到支撑，悬浮在固定光栅100上方；第一插塞117a与第一电极130电连接，也就是说，第一电极130即第一导电层与第一插塞117a电连接。在本实施例中，第一可动光栅110可以利用不透光金属材料，第一弹性悬臂116和悬杆114利用绝缘材料，保证第一可动光栅110、悬杆114和第一电极130之间绝缘。这样在第一电极130和第二电极140吸合的时候，第一可动光栅及其悬杆和第二可动光栅及其悬杆不会吸合。也可以为，第一可动光栅110、第一弹性悬臂116和悬杆114均利用绝缘材料，三者为一体结构。

第二可动光栅120为矩形，与固定光栅100以及第一可动光栅110平行层叠放置，具体为：第一可动光栅110位于固定光栅100上方，第一可动光栅110上方第二可动光栅120位于第一可动光栅110上方。第二可动光栅120具有多个开孔122，第二可动光栅的开孔122和所述固定光栅的开孔102对应。第二可动光栅120的两个相对边120a和120b分别对应固定光栅100的边100a和100b，第二可动光栅120的相对边120a和120b分别连接有垂直于边100a的悬杆114。在该实施例中，MEMS光阀还包括：第二弹性悬臂118，与连接第二可动光栅120的悬杆114的另一端连接，第二弹性悬臂118为弧形或类弧形的折线形，其要求和第一弹性悬臂116的形状相同。第二弹性悬臂118面对第二可动光栅120的侧面具有第二导电层，该第二导电层作为第二电极140，在图3和图4的示例中，第二弹性悬臂118的顶面以及两侧面均形成有第二导电层，但实际应用中，仅面对第二可动光栅120的侧面的第二导电层作为第二电极使用。在该实施例中，第二弹性悬臂118为类弧形的三折线形，在第二弹性悬臂118的三折线的中间一段连接悬杆114。第二弹性悬臂118和第一弹性悬臂116相对，从而使得第一电极130和第二电极140相对，当第一电极130和第二电极140带异种电荷则相互吸引。并且第二弹性悬臂118的两端连接固定光栅100，从而使得第二可动光栅120可以得到支撑，悬浮在第二可动光栅120上方。具体为：在固定光栅100上具有第二插塞117b，第二弹性悬臂118的两端可以通过第二插塞117b连接固定光栅100，从而使得第二可动光栅120可以得到支撑，悬浮在固定光栅100上方；且第二插塞117b与第二电极140电连接，也就是说，第二电极140即第二导电层与第二插塞117b电连接。在本实施例中，第二可动光栅120可以利用不透光金属材料，第二弹性悬臂118和悬杆114利用绝缘材料，保证第二可动光栅120、悬杆114和第二电极140之间绝缘。这样在，第一电极130和第二电极140吸合的时候，第一可动光栅及其悬杆和第二可动光栅及其悬杆不会吸合。也可以为，第二可动光栅120、第二弹性悬臂118和悬杆114均利用绝缘材料，三者为一体结构。

第一电极130和第二电极140的相对面垂直于固定光栅100的表面。

在本实施例中，优选的，固定光栅的开孔102、第一可动光栅的开孔112、第二可动光栅的开孔122均为矩形。固定光栅的开孔102之间的距离为固定光栅开孔宽度d2的一半；第一可动光栅的开孔112宽度d3和固定光栅的开孔102宽度d2相同，第一可动光栅的开孔112之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；第二可动光栅的开孔122宽度d1和固定光栅的开孔102宽度d2相同，第二可动光栅的开孔122之间的距离和固定光栅开孔102之间的距离相同。上述开孔的宽度为沿第一可动光栅或第二可动光栅移动方向的宽度。

结合参考图1和图3，在第一电极130和第二电极140不加电压的情况下，即在第一电极130和第二电极140不带电荷或者带同种电荷，所述固定光栅100的每一个开孔102一半宽度被第一可动光栅110遮挡，另一半宽度被第二可动光栅120遮挡，使得光线不能透过。

结合参考图2和图4，当第一电极130和第二电极140带异种电荷，第一电极130和第二电极140相向移动吸合，且带动第一可动光栅110和第二可动光栅120移动，第一可动光栅110向右移动，第二可动光栅120向左移动，即第一可动光栅110和第二可动光栅120相向运动，在第一电极130和第二电极140吸合在一起后，固定光栅100的开孔102、第一可动光栅的开孔112、第二光栅的开孔122三者重合，在该状态下固定光栅的开孔102完全透光。

这样使得在同样面积的第一可动光栅和第二可动光栅上，透光开孔的面积可以为不透光区域面积的两倍，有效的提高了透光率；节省了光栅面积。在本实施例中第一电极130和第二电极140都可动，从而通过第一电极130和第二电极140的相向运动，可以加快固定光栅100的透光率、遮光速度，从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程，降低光阀状态转换所需的功耗，提高转换的速度。并且在透光和遮光的过程中，第一电极130和第二电极140吸合后，即使断电仍然可以保持此状态，从而降低功耗，达到了节能的效果。

当第一电极130和第二电极140其中一个加电压，或者两个加相反的电压，则第一电极130和第二电极140带异种电荷，相互吸引相向移动，在第一电极130和第二电极140的带动下，第一可动光栅110和第二可动光栅120相向移动。

在该第一实施例中，第一弹性悬臂116和第二弹性悬臂118以及第一电极130和第二电极140设置固定光栅的两相对侧，在其他实施例中，所述第一弹性悬臂116和第二弹性悬臂118以及第一电极130和第二电极140也可以只设置在固定光栅100的边100a的一侧或者只设置在边100b一侧。

在其他实施例中，所述固定光栅100上可以设置轨道或者卡槽用于支撑第一可动光栅和第二可动光栅，并且使其可以在固定光栅上滑动。

需要说明的是，第一实施例中，第一弹性悬臂116和第二弹性悬臂118为弧形或类弧形的三折线形，但第一实施例中，第一弹性悬臂116和第二弹性悬臂118的形状不限于弧形或类弧形的三折线形，可以为满足第一电极、第二电极之间相互吸引或远离的任何形状。例如，参考图5，第一弹性悬臂116和第二弹性悬臂118还可以为相对设置的圆弧形，或者相对设置的类弧形的二折线。

在第一实施例的变化例中，第一弹性悬臂116的材料为导电材料，由该第一弹性悬臂116充当第一电极130，第二弹性悬臂118的材料为导电材料，由该第二弹性悬臂118充当第二电极140。也就是说，在该变化例中，第一电极130和第二电极140为弧形或类弧形的折线形；所述第一电极130和第二电极140相对设置，第一电极130和第二电极140的两端相互靠近且与固定光栅100固定连接，第一电极130的中心与第一可动光栅110通过悬杆114连接，第二电极140的中心与第二可动光栅120通过悬杆114连接，且第一电极130和第二电极140的相对面垂直于固定光栅100的表面。第一电极130的两端与第一插塞117a电连接，第二电极140的两端与第二插塞117b电连接。与第一电极、第二电极连接的悬杆为绝缘材料，第一可动光栅、第二可动光栅可以为透光的金属材料，也可以为不透光的绝缘材料。

该变化例中，其他方面与第一实施例相同，在此不做赘述。

第二实施例

图6是本发明第二实施例的MEMS光阀的平面示意图。在第二实施例中，如图6所示，所述固定光栅200为圆形，在其上具有1圈开孔，当然该开孔也可以为沿圆周的阵列排布的开孔阵列，在本实施例中仅以1圈开孔为例进行说明。

第一可动光栅210为圆形，与固定光栅200平行层叠放置，第一可动光栅210上具有多个开孔212，第一可动光栅的开孔和所述固定光栅的开孔对应。第一可动光栅210对应设置在固定光栅200上方，第一可动光栅210的同一直径与圆周的相交点上分别连接有悬杆214，悬杆214连接第一弹性悬臂216，第一弹性悬臂216为弧形或类弧形的折线形，在图6所示的实施例中，第一弹性悬臂216为三折线形，折线形的中间一段连接悬杆214。并且第一弹性悬臂216的两端连接固定光栅200，从而使得第一可动光栅210可以得到支撑，悬浮在固定光栅200上方。

第二可动光栅220为圆形，与固定光栅200和第一可动光栅210平行层叠放置，第二可动光栅220上具有多个开孔222，第二可动光栅220的开孔222和所述固定光栅200的开孔202对应。第一可动光栅210位于固定光栅200上方，第二可动光栅220位于所述第一可动光栅210上方。第二可动光栅220的同一直径与圆周的相交点上分别连接有悬杆214，悬杆214连接第二弹性悬臂218，第二弹性悬臂218为弧形或类弧形的折线形，其要求和第一弹性悬臂216的形状相同，在图6所示的实施例中，第二弹性悬臂218为三折线形，三折线形的中间一段连接悬杆214。第二弹性悬臂218和第一弹性悬臂216相对设置。

在该第二实施例中，第一弹性悬臂216面对第二弹性悬臂218的侧面具有第一导电层，该第一导电层作为第一电极；第二弹性悬臂218面对第一弹性悬臂216的侧面具有第二导电层，该第二导电层作为第二电极；基底或固定光栅上具有第一插塞和第二插塞，所述第一插塞与第一导电层电连接，所述第二插塞与第二导电层电连接。此种实现方式，与第一实施例相同，详细可以参考第一实施例。

在上述两个实施例中，第一导电层作为第一电极可以位于第一弹性悬臂面对第二弹性悬臂的侧面的中央区域或者整个侧面，第二导电层作为第二电极可以位于第二弹性悬臂面对第一弹性悬臂的侧面的中央区域或者整个侧面。

在第二实施例的变化例中，第一弹性悬臂216的材料为导电材料，由该第一弹性悬臂216充当第一电极230，第二弹性悬臂218的材料为导电材料，由该第二弹性悬臂218充当第二电极240。也就是说，在该变化例中，第一电极230和第二电极240为弧形或类弧形的折线形；所述第一电极230和第二电极240相对设置，第一电极230和第二电极240的两端相互靠近且与固定光栅200固定连接，第一电极230的中心与第一可动光栅210通过悬杆214连接，第二电极240的中心与第二可动光栅220通过悬杆214连接，且第一电极230和第二电极240的相对面垂直于固定光栅100的表面。在固定光栅或基底上具有第一插塞和第二插塞，第一电极230的两端与第一插塞电连接，第二电极240的两端与第二插塞电连接。

第一电极230和第二电极240的相对面垂直于固定光栅200的表面。

参考图6，第一电极230和第二电极240不加电压的情况下，第一电极230和第二电极240不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅200的每一个开孔202一部分被第一可动光栅210遮挡，另一部分被第二可动光栅220遮挡，使得光线不能透过；当第一电极230和第二电极240其中一个加电压，或者两个加相反的电压，则第一电极230和第二电极240带异种电荷，相互吸引，在第一电极230和第二电极240的带动下，第一可动光栅210和第二可动光栅220沿垂直于悬杆方向相对旋转，例如在本实施例中，第一可动光栅顺时针旋转，第二可动光栅逆时针旋转，所述固定光栅的开孔，第一可动光栅的开孔212和第二可动光栅的开孔重合，从而光线可以透过。在本实施例中，优选的，在同一圆周上，上述开孔的面积为开孔之间的面积的2倍，这样在相同面积的光栅上可以将透光率提高2倍。

在其他实施例中，所述第一弹性悬臂216和第二弹性悬臂218以及第一电极230和第二电极240也可以只设置在直径与圆周相交的一个点上。

在上述实施例中，不对固定光栅的形状进行限定，可以为具有透光的开孔的任意形状，透光开孔的形状也可以为任意形状。

在以上所述第一实施例及其变化例、第二实施例以及其变化例中，第一可动光栅、第二可动光栅、第一弹性悬臂、第二弹性悬臂、悬杆和固定光栅、第一电极、第二电极的材料也不做限定。例如具体的，第一弹性悬臂可以为金属，与第一弹性悬臂连接的悬杆为绝缘材料，第一可动光栅为金属；第二弹性悬臂可以为金属，与第二弹性悬臂连接的悬杆为绝缘材料，第二可动光栅为金属。除此之外，还可以为第一弹性悬臂及其悬杆、第一可动光栅、第二弹性悬臂及其悬杆、第二可动光栅同为金属，只要满足第一可动光栅和第一电极之间绝缘，第二可动光栅和第二电极之间绝缘。还可以为第一弹性悬臂及其悬杆、第一可动光栅、第二弹性悬臂及其悬杆、第二可动光栅同为绝缘材料。

第一电极和第二电极的材料可以是金属，如金、银、铜、铝、钛、铬、钼、镉、镍、钴等其中之一或者其中的组合；也可以是导电非金属，如非晶硅、多晶硅、非晶锗硅、多晶锗硅等等。

相应的，参考图7，本发明还提供了一种显示装置，该显示装置包括基底300，位于基底内的背光源以及位于基底上的上述实施例中的MEMS光阀305，MEMS光阀的固定光栅形成在所述基底300上。显示装置还包括：封盖层310和密封盖320，所述封盖层310在四周包围所述MEMS光阀、在顶部遮盖所述MEMS光阀，且在所述封盖层310的顶部具有开口；所述密封盖320密封所述开口。在本发明具体实施例中，密封盖320不仅密封开口，而且也覆盖整个封盖层310的顶部。所述封盖层310和所述密封盖320的材料可以选自氧化硅、氮化硅、碳化硅或氮氧化硅或者它们的任意组合。密封盖320可以起到密封显示装置的作用，防止水蒸气、灰尘、杂质等进入显示装置内，这样可以提高显示装置的寿命。

相应的，本发明还提供了一种MEMS光阀的制造方法，下面结合图8至图13以及具体实施例对本发明的MEMS光阀的制造方法进行说明。

MEMS光阀的制造方法

图8为MEMS光阀的制造方法的流程图，图9至图13是的MEMS光阀的制造方法的剖面结构示意图，下面结合参考图8以及图9至图13对MEMS光阀的制造方法进行说明。

首先，结合参考图8和图9，执行步骤S10：提供基底101，在基底101上形成图案化的第一不透光层作为固定光栅100。具体形成方法为：在所述基底101上形成第一不透光层，然后图案化所述第一不透光层形成矩形区域，并且在所述第一不透光层中形成开孔102，具有开孔102的矩形区域的第一不透光层作为固定光栅100。具体的，本实施例的MEMS光阀为应用于显示装置中的MEMS光阀，因此所述第一不透光层为形成在基底101上。第一不透光层的材料可以选自金、银、铜、铝、钛、铬、钼等，可以是其中之一，也可以是它们的任意组合，本发明具体实施例中优选为铝。其中，形成第一不透光层的方法可以为化学气相沉积或物理气相沉积。然后，利用光刻和刻蚀在第一不透光层中形成矩形区域，并且在矩形区域形成可以透光的多个开孔102，该开孔可以在不透光层上沿矩形的长和宽方向垂直的阵列排布，从而形成开孔阵列。除此之外，也可以利用光刻和刻蚀在第一不透光层中形成圆形区域，并且在圆形区域形成可以透光的多个开孔，该开孔可以在不透光层上沿圆形的圆周阵列排布，从而形成开孔阵列。

接着，结合参考图8、图10和图3，执行步骤S20：在所述固定光栅100上形成具有第一开口的图案化的第一牺牲层103，在所述第一开口填充导电材料形成第一插塞117a。在图10的剖切位置处未能显示出第一开口和第一插塞，在之后的工艺中，去除牺牲层后可以显示第一插塞。在本发明具体实施例中，第一牺牲层103的材料为非晶碳，其形成方法为CMOS工艺中的普通的化学气相沉积工艺。具体的工艺条件为：利用等离子体增强化学气相沉积形成非晶碳层，所述等离子体增强化学气相沉积的温度为350℃～450℃，气压为1torr～20torr，RF功率为800W～1500W，反应气体包括：C₃H₆和He，反应气体流量为1000sccm～3000sccm，其中C₃H₆∶He为2∶1～5∶1。

图案化的第一牺牲层的形成方法为：形成第一牺牲层，然后光刻、刻蚀第一牺牲层形在第一牺牲层中形成第一开口。第一开口中填充导电材料后形成第一插塞117a，该第一插塞117a位于固定光栅100上，在其他实施例中也可以位于基底上。

接着，结合参考图8、图11和图3，执行步骤S30：在所述图案化的第一牺牲层103上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅110、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂116、悬杆114。具体的，在所述图案化的第一牺牲层上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅，与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆包括：形成第二不透光层，覆盖所述图案化的第一牺牲层；光刻、刻蚀所述第二不透光层形成图案化的第二透光层作为第一可动光栅，与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆。第二不透光层的材料为绝缘不透光材料。其中，形成第一不透光层的方法可以为化学气相沉积或物理气相沉积。然后，利用光刻和刻蚀在第一不透光层中形成矩形区域以及与矩形区域相连的第一弹性悬臂116，并且在矩形区域形成可以透光的多个开孔112，该开孔112和固定光栅中的开孔102对应，可以在不透光层上沿矩形的长和宽方向垂直的阵列排布，从而形成开孔阵列。而第一电极和第二电极需要形成电容，为了使第一电极和第二电极的相对面具有一定的面积，第一弹性悬臂和第二弹性悬臂的相对侧面应该具有一定高度，确保第一电极和第二电极可以形成需要的电容，因此，第一弹性悬臂和之后形成的第二弹性悬臂的宽度即沿垂直基底方向的高度需要较高，而第一可动光栅110、第二可动光栅120的厚度可以比第一弹性悬臂和之后形成的第二弹性悬臂的宽度小，如果是这种情况，需要先对需要形成第一可动光栅的第二不透光层部分进行减薄刻蚀工艺，然后再对整个不透光层进行刻蚀形成第一可动光栅、悬杆、第一弹性悬臂。当然，也可以是第一可动光栅110、第二可动光栅120的厚度与第一弹性悬臂和之后形成的第二弹性悬臂的宽度相同，此时则不需要减薄工艺。

除此之外，也可以利用光刻和刻蚀在第一不透光层中形成圆形区域，并且在圆形区域形成可以透光的多个开孔，该开孔可以在不透光层上沿圆形的圆周阵列排布，从而形成开孔阵列。具有开孔阵列的矩形或者圆形第二不透光层即第一可动光栅110，第一弹性悬臂116为弧形或类弧形的折线形，例如在本实施例中，第一弹性悬臂116为三折线形，其两端连接所述第一插塞117a，第一弹性悬臂116的中间一段通过悬杆114连接第一可动光栅110的边缘。

继续结合参考图8、图11和图3，执行步骤S40：在所述第一弹性悬臂116的侧面沉积导电材料形成第一导电层，所述第一导电层和所述第一插塞电连接，所述第一导电层作为第一电极130。在该实施例中，第一弹性悬臂116的侧面以及顶面均沉积了导电材料，在具体应用中，仅与第二弹性悬臂相对侧面上的第一导电层作为第一电极130。该第一电极130与第一插塞117a电连接。在该实施例中，为了实现第一插塞与第一电极的电连接，形成第一弹性悬臂116后，可以对第一弹性悬臂116对应第一插塞的位置进行刻蚀，在第一弹性悬臂形成开口或通孔，然后在开口后通孔内沉积导电材料使第一插塞延伸到第一弹性悬臂116中，使第一插塞与第一弹性悬臂116顶面的导电层电连接，实现第一电极与第一插塞的电连接。

需要说明的是，本发明中第一插塞与第一电极电连接的方式不限于以上所述的方式，本领域技术人员可以根据实际需求做具体的调整。

接着，结合参考图8、图12和图3，执行步骤S50：形成第二牺牲层104，覆盖所述图案化的第二不透光层、图案化的第一牺牲层103，图案化所述第二牺牲层104和图案化后的第一牺牲层103，在第二牺牲层和图案化后的第一牺牲层中形成第二开口，在所述第二开口填充导电材料形成第二插塞117b。在图12的剖切位置处未能显示出第二开口和第二插塞117b，在之后的工艺中，去除牺牲层后可以显示第二插塞117b。

在该实施例中，形成第二牺牲层104之前，还包括：光刻、刻蚀所述第一弹性悬臂116、第一导电层，预留出与第二弹性悬臂118连接的悬杆114b的位置。在该实施例中，由于在第二可动光栅的两侧均形成有第二弹性悬臂，其中一侧悬杆114b的形成位置被位于该侧的第一弹性悬臂116和第一导电层阻挡，因此需要首先对第一弹性悬臂116、第一导电层刻蚀，预留出与第二弹性悬臂118连接的悬杆114b的位置。位于另一侧的与第二弹性悬臂118连接的悬杆114a没有被位于同侧的第一弹性悬臂116、第一导电层阻挡，因此不需要进行刻蚀。

在本发明具体实施例中，第二牺牲层104的材料为非晶碳，其形成方法为CMOS工艺中的普通的化学气相沉积工艺。和形成第一牺牲层103的步骤相同，不再赘述。在本实施例中，形成第二牺牲层104后，在第二牺牲层104、第一牺牲层103中形成第二开口，第二开口中填充导电材料后形成第二插塞117b，该第二插塞117b位于固定光栅100上，在其他实施例中也可以位于基底上。

接着，继续结合参考图8、图12和图3，执行步骤S60：在所述第二牺牲层104上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅120、与第二可动光栅120相连的第二弹性悬臂118、悬杆114。具体的，在所述第二牺牲层上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆包括：形成第三不透光层，覆盖所述图案化的第二牺牲层；光刻、刻蚀所述第三不透光层形成图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆。第三不透光层的材料为绝缘不透光材料。形成第三不透光层的方法可以为化学气相沉积或物理气相沉积，在本实施例中优选的铝。然后，利用光刻和刻蚀在第三不透光层中形成矩形区域以及与矩形区域相连的第二弹性悬臂118，并且在矩形区域形成可以透光的多个开孔122，该开孔122和固定光栅中的开孔102对应，可以在不透光层上沿矩形的长和宽方向垂直的阵列排布，从而形成开孔阵列。第二可动光栅120的厚度可以比第二弹性悬臂的宽度小，如果是这种情况，需要先对需要形成第二可动光栅的第三不透光层部分进行减薄刻蚀工艺，然后再对整个第三不透光层进行刻蚀形成第二可动光栅、悬杆、第一弹性悬臂。当然，也可以是第二可动光栅120的厚度与第二弹性悬臂的宽度相同，此时则不需要减薄工艺。

除此之外，也可以利用光刻和刻蚀在第三不透光层中形成圆形区域，并且在圆形区域形成可以透光的多个开孔，该开孔可以在不透光层上沿圆形的圆周阵列排布，从而形成开孔阵列。具有开孔阵列的矩形或者圆形第三不透光层即第二可动光栅120，第二弹性悬臂118为弧形或类弧形的折线形，例如在本实施例中，第二弹性悬臂118为三折线形，其两端连接所述第二插塞，第二弹性悬臂118的中间一段通过悬杆114连接第二可动光栅120的边缘。

在其它实施例中，所述第一弹性悬臂116也可以不通过悬杆114直接与第一可动光栅110相连，所述第二弹性悬臂118也可以不通过悬杆114直接与第二可动光栅120相连。

继续结合参考图8、图12和图3，执行步骤S70：在所述第二弹性悬臂118的侧面沉积导电材料形成第二导电层，所述第二导电层和所述第二插塞电连接，所述第二导电层作为第二电极140。在该实施例中，第二弹性悬臂118的侧面以及顶面均沉积了导电材料，在具体应用中，仅与第一弹性悬臂相对侧面上的第二导电层作为第二电极140。在该实施例中，为了实现第二插塞与第二电极的电连接，形成第二弹性悬臂118后，可以对第二弹性悬臂118对应第二插塞的位置进行刻蚀，在第二弹性悬臂118形成开口或通孔，然后在开口或通孔内沉积导电材料使第二插塞延伸到第二弹性悬臂118中，使第二插塞与第二弹性悬臂118顶面的导电层电连接，实现第二电极与第二插塞的电连接。

需要说明的是，本发明中第二插塞与第二电极电连接的方式不限于以上所述的方式，本领域技术人员可以根据实际需求做具体的调整。

第一电极130和第二电极140的相对面垂直于固定光栅100的表面，从而第一电极130和第二电极140构成电容。

结合参考图8、图13和图3，执行步骤S80：去除所述图案化后的第一牺牲层103和图案化后的第二牺牲层104。去除第一牺牲层103和第二牺牲层104后，第一插塞117a和第二插塞117b在图中的剖切位置即可以示出。

第二电极140与第一电极130相对设置，当第一电极130和第二电极140带异种电荷吸合，则带动第一可动光栅110和第二可动光栅120移动，使得固定光栅100的开孔透光或者不透光。

以上所述为本发明第一实施例的MEMS光阀的制造方法，但本发明第一实施例的MEMS光阀的制造方法不限于以上所述方法，本领域技术人员根据以上实施例的MEMS光阀的制造方法，可以推知制造第一实施例的MEMS光阀的其他方法。

以上所述具体实施例的MEMS光阀的制造方法，第二不透光层、第三不透光层均为绝缘材料，因此可以根据上述方法形成一体结构的第一弹性悬臂及与其连接的悬杆、第一可动光栅、第二弹性悬臂及与其连接的悬杆、第二可动光栅。

当第二不透光层、第三不透光层的材料选自金、银、铜、铝、钛、铬、钼等导电材料时，在刻蚀第二不透光层、第三不透光层形成一体结构的第一弹性悬臂及与其连接的悬杆、第一可动光栅、第二弹性悬臂及与其连接的悬杆、第二可动光栅后，由于悬杆和第一电极、第二电极之间需要绝缘相连，例如可以刻蚀第二不透光层使悬杆和第一电极断开后填充绝缘材料，刻蚀第三不透光层使悬杆和第二电极断开后填充绝缘材料。

关于本发明的MEMS光阀的制造方法，本领域技术人员根据本发明的教导可以推导出若干与本发明具体实施例不同的方法，在此不对各种方法进行一一赘述。本领域技术人员，可以根据第一弹性悬臂及与其连接的悬杆、第一可动光栅、第二弹性悬臂及与其连接的悬杆、第二可动光栅他们的材料以及具体结构，选择适应的方法。

以上实施例中的制作方法只是示意性说明，不对本发明的保护范围进行限定，除了上述实施例之外，第一弹性悬臂、悬杆、第一可动光栅还可以为多层的结构，例如都包括一层相连的绝缘材料，在第一可动光栅和第一弹性悬臂上电极有不透光金属材料，第二弹性悬臂、悬杆、第二可动光栅同样道理，因此只要满足与本发明的结构相同，功能相同的方案都在本发明的保护范围之内。

本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (15)

1.一种MEMS光阀，其特征在于，包括：

基底，位于所述基底上层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；第一电极，其与所述第一可动光栅绝缘相连；

第二电极，其与所述第二可动光栅绝缘相连；第二电极与第一电极相对设置且位于第一可动光栅、第二可动光栅的同一侧，所述第一电极、第二电极的相对面垂直于所述固定光栅的表面，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光；

还包括：

位于所述基底上或所述固定光栅上的第一插塞、第二插塞；

所述第一电极充当第一弹性悬臂、第二电极充当第二弹性悬臂；或者，还包括第一弹性悬臂、第二弹性悬臂，所述第一电极位于所述第一弹性悬臂，所述第二电极位于所述第二弹性悬臂；

第一弹性悬臂、第二弹性悬臂通过所述第一插塞、第二插塞与所述基底或固定光栅连接，且所述第一插塞与所述第一电极电连接，第二插塞与第二电极电连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述第一可动光栅、第二可动光栅为矩形，所述第一电极和第二电极位于第一可动光栅和第二可动光栅移动方向的延长线上。

3.根据权利要求2所述MEMS光阀，其特征在于，

所述固定光栅具有多个开孔，所述第一可动光栅具有多个开孔，所述第二可动光栅具有多个开孔，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔均为矩形；

所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；

所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；

所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。

4.根据权利要求3所述的MEMS光阀，其特征在于，当所述第一电极和第二电极不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅的每一个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡；当第一电极和第二电极带异种电荷，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔三者重合。

5.根据权利要求4所述的MEMS光阀，其特征在于，在第一可动光栅和第二可动光栅相对的两侧都具有第一电极和第二电极。

6.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述第一可动光栅、第二可动光栅为圆形，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔和第二可动光栅的开孔为围绕圆心排列的开孔阵列，所述第一电极位于第一可动光栅半径的延长线上，所述第二电极位于第二可动光栅半径的延长线上，在第一电极和第二电极的带动下，第一可动光栅和第二可动光栅绕圆心旋转。

7.根据权利要求5或6所述的MEMS光阀，其特征在于，

具有第一电极的第一弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第一弹性悬臂一侧面具有第一导电层，所述第一导电层作为所述第一电极；

具有第二电极的第二弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第二弹性悬臂一侧面具有第二导电层，所述第二导电层作为所述第二电极；

第一弹性悬臂和第二弹性悬臂相对设置，第一弹性悬臂的两端和第二弹性悬臂的两端相互靠近，第一弹性悬臂与第一可动光栅通过悬杆连接，第二弹性悬臂与第二可动光栅通过悬杆连接。

8.根据权利要求7所述的MEMS光阀，其特征在于，

所述第一弹性悬臂的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述第二弹性悬臂的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

9.根据权利要求5或6所述的MEMS光阀，其特征在于，

充当第一弹性悬臂的第一电极和充当第二弹性悬臂的第二电极为弧形或类弧形的折线形；

第一电极和第二电极的两端相互靠近，第一电极与第一可动光栅通过悬杆连接，第二电极与第二可动光栅通过悬杆连接。

10.根据权利要求9所述的MEMS光阀，其特征在于，

所述充当第一弹性悬臂的第一电极的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述充当第二弹性悬臂的第二电极的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

11.一种显示装置，其特征在于，包括：权利要求1-10任意一项所述的MEMS光阀；位于所述基底内的背光源。

12.一种权利要求8所述的MEMS光阀的制造方法，其特征在于，包括步骤：

提供基底，在所述基底上形成图案化的第一不透光层作为固定光栅；

在所述固定光栅上形成具有第一开口的图案化的第一牺牲层，在所述第一开口填充导电材料形成第一插塞；

在所述图案化的第一牺牲层上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆；

在所述第一弹性悬臂的侧面沉积导电材料形成第一导电层，所述第一导电层和所述第一插塞电连接，所述第一导电层作为第一电极；

形成第二牺牲层，覆盖所述图案化的第二不透光层、图案化的第一牺牲层，图案化所述第二牺牲层和图案化后的第一牺牲层，在第二牺牲层和图案化后的第一牺牲层中形成第二开口，在所述第二开口填充导电材料形成第二插塞；

在所述图案化的第二牺牲层上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆；

在所述第二弹性悬臂的侧面沉积导电材料形成第二导电层，所述第二导电层和所述第二插塞电连接，所述第二导电层作为第二电极；

去除所述图案化的第一牺牲层、图案化的第二牺牲层。

13.根据权利要求12所述的MEMS光阀的制造方法，其特征在于，在所述图案化的第一牺牲层上形成图案化的第二不透光层，所述图案化的第二不透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆包括：

形成第二不透光层，覆盖所述图案化的第一牺牲层；

光刻、刻蚀所述第二不透光层形成图案化的第二不透光层作为第一可动光栅、与第一可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆。

14.根据权利要求12所述的MEMS光阀的制造方法，其特征在于，在形成第一牺牲层之前还包括：光刻、刻蚀所述第一弹性悬臂、第一导电层，预留出与第二弹性悬臂连接的悬杆的位置。

15.根据权利要求12所述的MEMS光阀的制造方法，其特征在于，在所述第二牺牲层上形成图案化的第三不透光层，图案化的第三不透光层作为第二可动光栅、与第二可动光栅相连的第二弹性悬臂、悬杆包括：

形成第三不透光层，覆盖所述图案化的第二牺牲层；

光刻、刻蚀所述第三不透光层形成图案化的第三不透光层作为第二可动光栅，与第二可动光栅相连的第一弹性悬臂、悬杆。