CN102346105A - 排气分析系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种将在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体的一部分导入并进行分析气体分析装置(3)以及气体分析系统(100),其设有为了对在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体进行控制、或确保自身和其它的测定精度,取得从测定对象气体流路(12)被导入的一部分测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量等进行测定的对象物测定单元(35);取得气体流量测定单元(34),其对所述对象物测定单元(35)所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元(36),将与所述取得气体流量测定单元(34)所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路(12)的分流点的下游侧。
Description
技术领域
本发明涉及一种对包含于发动机的排出气体的粒子状物质等进行测定的气体分析装置以及气体分析系统。
背景技术
为了对在测定对象气体流路中流通的测定对象气体进行分析,将其一部分分流以供测定的情况下,分流部分的流量使得测定对象气体流路内的流量相应减少,因此,存在对该测定对象气体的控制或自身和其它的测定产生影响、带来不良问题的情况。
例如,在专利文献1中记载了如下的构成,使由稀释气体稀释内燃机的排出气体而得稀释排出气体(即测定对象气体)在小型通道(即、测定对象气体流路)中流动,并且从该小型通道分流稀释排出气体的一部分并引导到煤粒子测定装置,在该煤粒子测定装置中,通过捕集过滤器捕集包含于该稀释排出气体的煤粒子(以下称为粒子状物质)以进行质量测定。
于是,这里通过在小型通道的下游配置的CVS装置,使得在小型通道内流动一定流量的稀释排出气体,并且能够对排出气体向小型通道的导入流量进行控制。这是为了通过对所述稀释气体向小型通道的导入流量的控制来间接地对排出气体向小型通道的导入流量进行控制。
但是,上述的流量控制的前提是,导入小型通道即测定对象气体流路的气体流量和导出的气体流量相等。因此,若煤粒子测定装置从小型通道分流取得一部分的稀释排出气体的话,则导致排出气体向小型通道的导入流量产生误差,由此排出气体的稀释比控制或CVS装置等的测定也会产生误差。
因此,在专利文献1中,捕集了煤粒子之后,使从煤粒子测定装置导出的稀释排出气体全部回流到小型通道中,以解除所述误差。又,在该专利文献1中,如第4页的第2段以及图1所示,使来自煤粒子测定装置的稀释排出气体回流之前,在该回流流路中流通适当流量的空气,并在回流时切换阀以阻断该空气。这是为了使在回流开始时小型通道内不会产生大的压力变动。
但是,如上述的专利文献1,若使提供给测定的测定对象气体照原样返回测定对象气体的流路,则可以通过形成回流流路来回避测定误差等,但是,存在由测定装置对测定对象气体进行稀释或吸收的情况,而使得测定对象气体无法照原样返回测定气体流路的问题。
例如,对所述粒子状物质的数量进行计数的粒子状物质计数装置将取得的测定对象气体在其内部稀释,因此无法使测定对象气体照原样返回。以往,粒子状物质计数装置所取得的测定对象气体的流量与在测定对象气体流路流动的测定对象气体的流量相比并不是很多,因此若是少量的话,即使不返回测定对象气体,也可以控制在容许的误差范围内,但是,近年来对测量精度要求进一步提高,在小型通道等这样的测定对象气体流路中流动的测定对象气体的流量变小的话,则由测定对象气体不返回原流路而引起的稀释比等的误差也变得不能被容许。
列举具体的数值例,以往例如所述粒子状物质计数装置所取得的测定对象气体(稀释排出气体)的流量为0.1~0.5L/min,在所述CVS装置中流动的稀释排出气体的流量被设定为50L/min。这样的话,对于稀释排出气体的稀释比最大产生1%(=0.5/50)左右的误差。但是,近年来作为稀释比的容许误差被要求在0.5%以内,根据情况被要求在0.1%以内,因此,上述的1%的误差超过了容许范围。
现有技术文献
专利文献
专利文献1特开平3-218436号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是为了解决所涉及的问题点而提出的,其主要目的在于,对于将在测定对象气体流路中流通的测定对象气体的一部分导入并分析的气体分析装置乃至气体分析系统,即使将被导入的测定对象气体稀释或者吸收,也可以填补所述测定对象气体流路内的流量,从而可以确保对在测定对象气体流路中流动的测定对象气体的控制、自身以及其他的测定精度。
解决问题的技术手段
即本发明的气体分析装置包括:气体导入端口,其连通设在测定对象气体流路的分流点,导入在该测定对象气体流路中流动的测定对象气体的一部分;对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元,将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧。
本发明的气体分析系统,包括:测定对象气体流路,其流通测定对象气体;定流量器,其为了将在所述测定对象气体流路流动的测定对象气体的流量设为一定,而设在该测定对象气体流路上,使一定流量的测定对象气体通过;分岐流路,其从设在所述测定对象气体流路的定流量器的上游侧的分流点分岐;气体导入端口,其连接于所述分岐流路,将测定对象气体的一部分导入;对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元,将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧且所述定流量器的上游侧。
根据上述的本发明,即使对象物测定单元将取得的测定对象气体稀释或者吸收,也因与该取得流量等流量的其它气体被返回到所述测定对象气体流路中,使得流入该测定对象气体流路中的流量和从其中流出的流量相等,从而能够确保在测定对象气体流路中导入、导出的气体的流量控制以及测定对象物的测定精度。
在所述对象物测定单元中,在取得一部分从所述气体导入端口导入的测定对象气体的情况下,优选使从所述气体导入端口导入的测定对象气体的残留部分加上所述其它的气体、从所述测定对象气体流路的分流点的下游侧返回。其原因在于使返回的气体成分尽可能地接近原来的测定对象气体,以例如可以将设置其它的测定装置的情况下的对测定精度的影响保持在最低限度,或者可以更高精度地控制气体流量。
作为是本发明的效果更加显著的构成,列举为包括:包括:排出气体流路,其使从内燃机排出的排出气体的一部分流入;稀释气体流路,其使用于稀释所述排出气体的稀释气体流入;测定对象气体流路,其使流入所述排出气体流路的排出气体和流入所述稀释气体流路的稀释气体合流、并使这些混合气体即测定对象气体流通;定流量器,其为了将在所述测定对象气体流路流动的测定对象气体的流量保持为一定,而设在该测定对象气体流路上,使一定流量的测定对象气体通过;分岐流路,其从设在所述测定对象气体流路的定流量器的上游侧的分流点分岐;气体导入端口,其连接于所述分岐流路,将测定对象气体的一部分导入;对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;气体返回单元,其将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧且所述定流量器的上游侧。
根据本发明,可以是其它的测定装置的测定精度提高。例如包括:流量控制单元,其通过控制所述稀释气体的流入流量来控制所述排出气体的流入流量,将从所述内燃机排出的排出气体的流量与流入所述排出气体流路的排出气体的流量之比保持为一定;捕集过滤器,其使在所述测定对象气体流路的所述分歧点的下游侧流动的测定对象气体通过,并且捕集该测定对象气体所包含的粒子状物质,所述气体分析系统构成为能够基于所述捕集过滤器所捕集的粒子状物质的质量和所述流量比,计算从所述内燃机排出的排出气体中所包含的粒子状物质的质量。这样可以高精度地控制排出气体的流入流量,因此,其结果是能够使利用排出气体中的粒子状物质的过滤器捕集法的质量测定精度提高。
作为所述对象物测定单元的具体例,例如可以包括:对取得的测定对象气体进行稀释的稀释机构;和对由所述稀释机构稀释后的测定对象气体中所包含的粒子状物质的粒子数进行计数的粒子数计数机构。
发明的效果
根据上述构成的本发明,即使对象物测定单元将取得的测定对象气体稀释或者吸收,也因与该取得流量等流量的其它气体被返回到所述测定对象气体流路中,使得流入该测定对象气体流路中的流量和从其中流出的流量相等,从而能够确保在测定对象气体流路中导入、导出的气体的流量控制以及测定对象物的测定精度。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的气体分析系统的整体构成图。
图2是该实施形态的气体分析装置的内部流体电路图。
图3是本发明的其它实施方式的气体分析装置的内部流体电路图。
符号说明
100…气体分析系统
PI…气体导入端口
3…气体分析装置
34…取得气体流量测定单元
35…对象物测定单元
36…气体返回单元
具体实施方式
下面,参照附图对本发明的气体分析系统100的一实施方式进行说明。
本实施方式的气体分析系统100对内燃机Eg的排出气体所包含的粒子状物质(PM)进行测量,基本来说如图1所示,包括:流量控制机构1,其构成为使所述排出气体混合稀释气体(这里指的是空气)生成作为测定对象气体的混合气体,并使该混合气体以一定的流量流通,通过控制所述稀释气体的流入流量来控制排出气体的流入流量;和捕集过滤器2,其设在所述混合气体在其中流动的测定对象气体流路(以下也称为混合气体流路12)上,捕集该混合气体中所包含的PM。
下面对各部分进行详细叙述。
所述流量控制机构1包括:其插入内燃机Eg的排气管Ex、以使排出气体的一部分流入的排出气体流路11;使稀释气体在其中流动的稀释气体流路14;连接于该排出气体流路11和稀释气体流路14、混合排出气体和稀释气体的所述混合气体流路12;设在所述混合气体流路12的终端部的定流量器13。
所述混合气体流路12除了包括通常的配管121之外,还包括例如被称为小型通道或微型通道的混合器122。定流量器13由例如罗茨鼓风机(ル一ツブロア)等的吸引泵131和连接在其下游的临界节流孔132构成,用于以一定流量使气体通过。又,由该定流量器13所规定的流量为例如50L/min。
在稀释气体流路14的始端部,安装有可变节流孔等的流量控制器15,可以调整向该混合气体流路12的稀释气体的流入流量,并且在所述排气管Ex中安装图中未显示的流量计,该流量计用于对在排气管Ex中流动的排出气体的流量进行测定。
然后,根据图中未显示的计算机等的电子控制电路所发出的指令控制所述流量控制机构1,并控制稀释气体向混合气体流路12的流入流量,用以使例如使在排气管Ex中流动的排出气体的流量和在测定对象气体流路中流动的排出气体的流量比为一定。
所述捕集过滤器2设在混合气体流路12中的混合器122的下游,使流过该设置部分的混合气体流路12的混合气体全部通过该捕集过滤器2,捕集该混合气体所包含的PM。该捕集过滤器2是已知的,这里省略关于其材质等的详细说明。
于是,基于该捕集过滤器2所捕集的PM的质量,能够计算出从内燃机Eg所排出的排出气体中所包含的PM的质量。即,如上所述,由于在排气管Ex中流动的排出气体的流量(从内燃机Eg排出的排出气体的总流量)为qTOTAL,其与在测定对象气体流路中流动的排出气体的流量qPART的比保持一定,设比为R=qTOTAL/qPART,捕集过滤器2所捕集的PM的质量为mTRAP,则从内燃机排出的排出气体中所包含的PM的质量mTOTAL可以表示为:mTOTAL=R·mTRAP,即可以根据捕集过滤器2所捕集的PM的质量的来求得。
对上述的构成进行补充,在本实施方式中,还设置气体分析装置3,其使在所述混合气体流路12流动的混合气体的一部分分流、对该混合气体中所包含的测定对象物即PM进行测定。
如图1、图2所示,该气体分析装置3包括:连接于分岐流路4的终端的气体导入端口PI,该分岐流路4在所述混合气体流路12的捕集过滤器2的上游侧分岐;取得从该气体导入端口PI导入的混合气体的一部分,并对混合气体中所包含的PM的粒子数进行计数的对象物测定单元35;对该对象物测定单元35所取得的混合气体的流量进行测定的取得气体流量测定单元34;使与所述取得气体流量测定单元34所测定的气体流量相等的流量的其它气体返回到所述混合气体流路12的气体返回单元36。
参照图2对该气体分析装置3的内部构造进行详细叙述。导入所述气体导入端口PI的混合气体通过灰尘去除单元(例如旋风分尘器)31去除灰尘之后,分流到旁流路33和采样流路32。
旁流路33被导入了大部分的导入到气体导入端口PI的混合气体(约95%~99%),并原封不动地从第1气体导出端口PO1向外部导出。在旁流路33流动的混合气体的流量通过质量流量控制器等的定流量器MFC4控制为一定(这里为例如10L/min)。另外,所述第1气体导出端口PO1通过连接路5连通到所述混合气体流路12的定流量器13和捕集过滤器2之间。由此,从混合气体流路12分流到分岐流路4并流入气体分析装置3的混合气体的大部分,即除去了被导入到所述采样流路32的混合气体的混合气体,通过所述旁流路33以及所述连接路5,再次返回到混合气体流路12,流入该混合气体流路12的定流量器13。又,设在所述旁流路33上的符号P是强制地使混合气体向混合气体流路12流动的泵。
被导入采样流路32的残留的混合气体(这里为0.1~0.5L/min,约1%~5%)经过所述取得气体流量测定单元34被导入到所述对象物测定单元35。
该取得气体流量测定单元34由例如设在采样流路32上的流体阻件(这里是节流孔)FO,和对该流体阻件FO的前后的差压以及下游侧的绝对压力进行测定的压力计P2、P3,根据所述各压力计P2、P3测定的压力能够计算出在采样流路32中流动的气体的流量。
所述对象物测定单元35从上游开始依次设有第1稀释机构351、分流量控制机构352、脱水器单元EU、第2稀释机构353,其后配置有对PM的粒子数进行计数的粒子数计数机构CPC。
第1稀释机构351由连接于采样流路以使稀释气体(这里是空气)流入的第1稀释流路351a和设在该连接点的下游的第1混合器PND1构成。在第1稀释流路351a设有质量流量控制器MFC1,能够对稀释气体的流入流量进行控制。
分流量控制机构352将从所述第1稀释机构351输出的稀释混合气体的一部分分流,从所述第2气体导出端口PO2向外部排出,并且将残留的气体导入后述的脱水器单元EU。具体地说,包括:从所述第1稀释机构351的输出流路351b分岐的第1分流路352a;设在该第1分流路352a的定流量器(这里是临界节流孔)CFO2;连接于所述第1分流路352a的定流量器CFO2的上游侧的流量控制气体导入路352b;设在所述流量控制气体导入路352b的质量流量控制器MFC2。于是,通过由质量流量控制器MFC2对从流量控制气体导入路352b向所述第1分流路352a送入的流量控制气体(这里是空气)的流量进行控制,来间接地对从所述第1稀释机构输出流路351b向第1分流路352a流入的混合气体的流量进行控制。
脱水器单元EU是汽化器,在这里设置用于去除挥发性的粒子等。
第2稀释机构353对从脱水器单元EU输出的稀释混合气体进行进一步地稀释,在这里由连接于脱水器单元EU的输出流路EUa以流入稀释气体(这里是空气)的第2稀释流路353a和设在该连接点的下游的第2混合器PND2构成。在第2稀释流路353a设有质量流量控制器MFC3,能够对稀释气体的流入流量进行控制。
这些经过第1稀释机构351、第2稀释机构353等而被稀释的混合气体,其一部分的一定流量被导入第2分流路355a,经过该第2分流路355a的定流量器(这里是临界节流孔)CFO3,从第2气体排出端口PO2排出,另一方面,剩余的部分被导入所述粒子数计数机构CPC。
该粒子数计数机构CPC例如将乙醇、丁醇等的有机气体以过饱和状态混入并附着于排出气体中的PM,由此使PM成长为大直径,将成长了的PM从狭缝排出,由激光对排出的粒子进行计数。图2中,符号T1、T2为温度计,符号P1为压力计,BC为缓冲罐。
所涉及的构成中,可以通过取得气体流量测定单元34所测定的稀释前的混合气体的导入流量以及各质量流量控制器MFC1~MFC3的流量计算出稀释比,该稀释比表示被导入粒子数计数机构CPC的混合气体被从最初流入采样流路32的稀释前的混合气体稀释到什么程度,另外,被导入粒子数计数机构CPC的混合气体的流量可以通过由设在其前段的温度计T2和压力计P1所测定的温度以及压力计算出来,基于此,可以计算出最初流入采样流路32的稀释前的混合气体中所包含的PM的粒子数。
又,在本实施方式中,通过所述各质量流量控制器MFC1~MFC3的流量控制,可以对最初流入采样流路32的稀释前的混合气体的流量进行控制。
另,作为本实施方式的特征构成的所述气体返回单元36将与所述对象物测定单元35所取得的混合气体的流量等流量的其它气体(这里是例如空气)返回到所述混合气体流路12的分流点的下游侧。
具体地如图2所示,该气体返回单元36包括:将其它气体供给到旁流路33的其它气体供给流路36a;设在该其它气体供给流路36a上、对其它气体的供给流量进行控制的流量控制器MFC5(这里是质量流量控制器)。图2中符号F为过滤器。
所述其它气体供给流路36a,其终端位于所述旁流路33的定流量器的下游、连接于泵的上游,从该其它气体供给流路36a供给的其它气体,与在从所述气体导入端口PI导入的混合气体中没有供于所述对象物测定单元35的测定的混合气体、即在该旁流路33流动的混合气体合流,并经过所述第1气体导出端口PO1、连接路5,流入所述混合气体流路12的定流量器13。
以所述取得气体流量测定单元34所测定的混合气体的流量作为目标值被赋予给所述流量控制器MFC5,由此,该流量的空气通过其它气体供给流路36a被送入连接路5。
若是这样的结构,与在混合气体流路12的途中、即捕集过滤器2的上游被分流到气体分析装置3的与混合气体等量的气体,被返回到混合气体流路12中过滤器2的下游并流入流量器13,因此,可以使流入混合气体流路12而成为混合气体的排出气体以及稀释气体的合计流量与从混合气体流路12流出的气体流量高精度地一致。
其结果是,从该实施方式来说,可以以极高的精度控制所述流量控制机构1的排出气体的流入流量。于是,可以高精度地控制被导入所述混合器122的排出气体和稀释气体的稀释比,可以高精度地保持在排气管Ex流动的排出气体的流量和从该排气管Ex分流的排出气体的流量的比,或者其结果是,可以以极高地精度对捕集过滤器2所捕集的PM的质量进行测定。
又,本发明并不限定于上述的实施方式。
例如,如图3所示,也可以将被导入气体分析装置3的混合气体全部替换为其它的气体(例如空气)返回到混合气体流路12。此时,气体分析装置3即被视为对象物测定单元35,取得气体流量测定单元34以例如所述流体阻件(这里是节流孔)FO、压力计P2、P3、和质量流量控制器MFC4为构成要素。在图3中,能够例如通过将作为热气体导入的空气转换为压缩空气,来省略位于质量流量控制器MFC5和第1气体导入端口PO1之间的泵P。
另外,测定对象气体可以不仅是排出气体和稀释气体的混合气体,也可以是没有被稀释的排出气体。车载型的气体分析装置等优选为这种状态。而且,作为测定对象气体可以不仅是内燃机的排出气体,也能够适用于锅炉等的燃烧机关或化学反应炉等导出的气体等的各种气体。
另外,稀释气体可以不仅是空气,还可以是例如惰性气体等。关键的是,本发明中测定对象气体可不仅是其本身,也可包括该测定对象气体和其它的气体混合而成的气体,而被视为其它气体,该气体可为任意种类。
另外,气体分析装置不限于对粒子状物质进行计数,可以将本发明适用于各种分析装置。
另外,本发明并不限于所述实施形态,在不脱离该主旨的范围内可以做各种变形。
产业上的可利用性
根据上述的本发明,即使对象物测定单元将取得的测定对象气体稀释或者吸收,也因与该取得流量等流量的其它气体被返回到所述测定对象气体流路中,使得流入该测定对象气体流路中的流量和从其中流出的流量相等,从而能够确保在测定对象气体流路中导入、导出的气体的流量控制以及测定对象物的测定精度。
Claims (6)
1.一种气体分析装置,其特征在于,包括:
气体导入端口,其连通设在测定对象气体流路的分流点,导入在该测定对象气体流路中流动的测定对象气体的一部分;
对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;
取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;
气体返回单元,将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧。
2.如权利要求1所述的气体分析装置,其特征在于,
所述对象物测定单元取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体的一部分,
所述气体返回单元,对从所述气体导入端口导入的测定对象气体的剩余气体加上所述其它气体,并将其返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧。
3.一种气体分析系统,其特征在于,包括:
测定对象气体流路,其流通测定对象气体;
定流量器,其为了将在所述测定对象气体流路流动的测定对象气体的流量保持为一定,而设在该测定对象气体流路上,使一定流量的测定对象气体通过;
分岐流路,其从设在所述测定对象气体流路的定流量器的上游侧的分流点分岐;
气体导入端口,其连接于所述分岐流路,将测定对象气体的一部分导入;
对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;
取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;
气体返回单元,将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧且所述定流量器的上游侧。
4.一种气体分析系统,其特征在于,包括:
排出气体流路,其使从内燃机排出的排出气体的一部分流入;
稀释气体流路,其使用于稀释所述排出气体的稀释气体流入;
测定对象气体流路,其使流入所述排出气体流路的排出气体和流入所述稀释气体流路的稀释气体合流、并使这些混合气体即测定对象气体流通;
定流量器,其为了将在所述测定对象气体流路流动的测定对象气体的流量保持为一定,而设在该测定对象气体流路上,使一定流量的测定对象气体通过;
分岐流路,其从设在所述测定对象气体流路的定流量器的上游侧的分流点分岐;
气体导入端口,其连接于所述分岐流路,将测定对象气体的一部分导入;
对象物测定单元,其取得从所述气体导入端口导入的测定对象气体,对该测定对象气体所包含的测定对象物的量或者浓度进行测定;
取得气体流量测定单元,其对所述对象物测定单元所取得的测定对象气体的流量进行测定;
气体返回单元,其将与所述取得气体流量测定单元所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路的分流点的下游侧且所述定流量器的上游侧。
5.如权利要求4所述的气体分析系统,其特征在于,还包括:
流量控制单元,其通过控制所述稀释气体的流入流量来控制所述排出气体的流入流量,将从所述内燃机排出的排出气体的流量与流入所述排出气体流路的排出气体的流量比保持为一定;
捕集过滤器,其使在所述测定对象气体流路的所述分歧点的下游侧流动的测定对象气体通过,并且捕集该测定对象气体所包含的粒子状物质,
所述气体分析系统构成为能够基于所述捕集过滤器所捕集的粒子状物质的质量和所述流量比,计算从所述内燃机排出的排出气体中所包含的粒子状物质的质量。
6.如权利要求4或5所述的气体分析系统,其特征在于,
所述对象物测定单元包括:对取得的测定对象气体进行稀释的稀释机构;和对由所述稀释机构稀释后的测定对象气体中所包含的粒子状物质的粒子数进行计数的粒子数计数机构。
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Legal Events
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |