CN102345759B - 真空保护阀 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了一种真空保护阀，包括：上阀体(401)；下阀体(403)，与所述上阀体套合；调节螺栓(404)，与所述下阀体(403)连接；阀芯(407)，置于所述下阀体(401)中，并与所述调节螺栓(404)套合；活动阀座(408)，置于所述下阀体(403)中，并与所述阀芯(407)抵接；传动杆(410)，置于所述上阀体(401)和所述活动阀座(408)中，并与所述阀芯(407)抵接；感压腔(412)，连接于所述上阀体(401)，并与所述传动杆(410)抵接。

Description

真空保护阀

技术领域

本发明涉及真空吸持技术领域，且特别涉及一种真空保护阀。

背景技术

吸盘等真空元件被大量运用于工件吸持等场合，这种场合通常采用集中式真空系统，如图1所示，即数个吸盘120共用一个真空源110，从而提高真空气源的利用效率。但该真空系统存在真空串扰的潜在问题：即因吸盘老化、工件破损、工件位置错误等原因，使得系统中的某个真空吸盘失效，在吸持工况下与外界大气直接连通时，将导致真空供气管路中的真空度明显下降。由于失效吸盘与其它真空吸盘共用真空，系统真空度的下降将使得其它吸盘无法维持正常吸力，可能导致整个真空系统瘫痪。此时，若其他真空吸盘正在吸附工件，将导致工件脱落等事故。因此，集中式真空系统必须采取措施避免真空串扰现象发生。

目前在真空系统设计中通常采用限制管径、设置节流阀等措施缓解上述问题。但上述方法对设计精度的要求较高，且不合理的设计可能导致系统在真空吸持和破坏真空的工况下流量过小、真空终端响应速度降低，甚至影响破坏真空、高压吹扫等工况。

为解决上述问题，FESTO公司设计了真空高效阀(型号：ISV-M4/M6/M10)，该阀件结构如图2A及图2B所示，包括壳体210、弹簧220、浮子230、过滤器240、固定螺丝250、吸盘260等零件。其中弹簧220、浮子230和过滤器240被限制在壳体210和固定螺丝250构成的空腔中，且弹簧220将浮子230压在过滤器250上。浮子230外径略小于壳体内径，浮子230末端开孔；吸盘260中的空气可通过浮子230外壁与壳体210内壁的间隙、以及浮子230末端开孔而向上进入真空源；前者截面积较大，为主流道。其工作原理详述如下：当吸盘260末端直接暴露在大气下，如图2A所示，由于浮子230后为真空，在前后压差的作用下，浮子230克服弹簧220的预紧力，被向上吸附在壳体210上部，此时浮子230顶部与壳体210紧密接触，空气经浮子230外壁、壳体210内壁的主流道封闭，仅能穿过浮子230末端的开孔流入真空源。当物体接触到吸盘260后，如图2B所示，流量减少，浮子230前后的压差随之减小；弹簧220克服压差后把浮子230向下推，打开浮子230外部、壳体210内部的流道，在吸盘中产生完全真空。基于该设计，当装有该阀件的真空吸盘260出现失效而与外界大气直接连通时，浮子230下方压力增大，浮子230在压差作用下向上关闭主流道，少量空气仅能通过浮子230末端开孔而被吸入真空源，从而保护真空源的真空度，进而防止该真空系统得其他真空终端受到影响。该阀件的设计核心思想是通过阀芯上下的压差来控制阀芯启闭，其结构紧凑，便于大量使用，但存在的问题是阀件动作对系统真空度的依赖程度较高；当系统真空度因工况而发生变化时，可能影响阀件的正常动作。同时，为保证阀芯上下压差，浮子230外壁与壳体210内壁的间隙较小，导致该阀件在全开状态下的通径有限，从而限制了吸附工况的响应速度、以及所连接吸盘的尺寸和吸附能力，并影响高压吹扫等工况。

还例如实用新型专利《真空保持器》(李浩玄，中国台湾，申请日2007.9.25，公告日2008.9.3，专利号ZL 200720178215.8)也提出了一种真空保持器以求解决上述问题。如图3所示，该专利在真空吸盘310的上部设计一个腔体320，内含磁性钢珠321，外设磁簧开关330。当真空吸盘310漏气时，钢珠321在漏气的推动下上升、堵住上开口(322)并触发开关(330)，以使真空源维持真空并提供报警。该方案结构简单且有报警功能，但也存在明显缺点：(1)在吸持工况下，当真空吸盘310接触工件、且从破坏真空为吸持状态时，真空吸盘310下部空腔的气体在向上流入真空源的过程中亦可能推动钢球321上行并堵住腔体320上开口，从而影响甚至妨碍吸持工况的正常进行；(2)在破坏真空工况下，由于钢球321上部压力大于下部压力，钢球被压紧在腔体320下开口，气体从上开口向下开口的流动被限制甚至阻止，从而可能影响破坏真空工况的正常进行并降低响应速度；(3)当反向通高压空气以进行管道吹扫清洁时，钢球321被压紧在腔体320下开口，气体从上开口向下开口的流动被限制甚至阻止，从而影响高压吹扫工况的正常进行。

发明内容

本发明旨在解决现有技术中，因避免真空串扰现象而导致真空系统在真空吸持和破坏真空的工况下流量过小、真空终端响应速度降低，甚至影响破坏真空、高压吹扫工况等技术问题。

有鉴于此，本发明提供一种真空保护阀，其特征在于，包括：上阀体；下阀体，与所述上阀体套合；调节螺栓，与所述下阀体连接；阀芯，置于所述下阀体中，并与所述调节螺栓套合；活动阀座，置于所述下阀体中，并与所述阀芯抵接；传动杆，置于所述上阀体和所述活动阀座中，并与所述阀芯抵接；感压腔，连接于所述上阀体，并与所述传动杆抵接。

进一步的，所述上阀体，包括：真空出口；同心通孔，贯穿于所述上阀体，与所述真空出口连通，并与所述传动杆间隙配合；偏心沉孔，与所述真空出口连通；限位凸台，设置与所述上阀体底部；过滤器，设置于所述真空出口中。

进一步的，所述下阀体与所述上阀体连接处设置有阀体密封圈。

进一步的，所述下阀体，包括：真空进口，设置于所述下阀体一侧；密封凸台，以承托所述活动阀座，下阀体壁与所述活动阀座间隙配合。

进一步的，所述调节螺栓与所述下阀体连接处设置有调节螺栓密封圈。

进一步的，所述阀芯，包括：球座；钢球，设置于所述球座上。

进一步的，所述钢球直径为5～12mm。

进一步的，所述真空保护阀，还包括阀芯弹簧，其两端分别连接于所述阀芯与所述调节螺栓。

进一步的，所述活动阀座，包括：座体；高压流道，设置于所述座体的边缘；节流孔，设置于所述座体上；真空流道，设置于所述座体中心；锥孔，设置于所述真空流道下部；限位槽，环绕设置于所述座体面上。

进一步的，所述节流孔直径为0.2～1mm。

进一步的，所述活动阀座的直径大于所述密封凸台的直径。

进一步的，所述真空保护阀，还包括阀座弹簧，其两端分别连接所述上阀体和所述活动阀座。

进一步的，所述传动杆，为上粗下细的阶梯轴结构。

进一步的，所述传动杆的上部直径为2～5mm，下部直径为1～3mm。

进一步的，所述感压腔，包括：上盖板，具有多个小孔；下盖板，盖合于所述上盖板，形成一腔体；金属膜片，设置于所述上盖板与下盖板之间，将所述腔体分为上下两个空腔；膜片垫片，设置于所述金属膜片下；连接螺柱，设置于所述下盖板底部，用于与所述上阀体连接；滤网，设置于所述上盖板上。

进一步的，所述上下两个空腔的高度为2～10mm。

进一步的，所述连接螺柱与所述上阀体连接处设置有感压腔密封圈。

利用本发明提供的真空保护阀可以达到以下的有益效果：

1.在真空终端和真空源之间采用该真空保护阀，可以根据终端真空度来控制流量；当该终端发生泄露时，能够通过真空保护阀的节流状态来有效保护系统真空度，防止出现该路流量过大而影响其它终端的正常工作。

2.该真空保护阀的开启条件取决于用气终端的真空度，不受系统真空度的影响，从而提高了真空保护阀动作的可靠性。

3.由于采用“依据终端的真空度，分两个阶段控制流量来实现系统真空保护”的方法，真空保护阀动作后，依据所设置的开启真空度的不同，工件完全吸持和脱附的时间可控制在0.5～3s之内，响应速度无明显降低。

4.在吸持工况初期和脱附工况后期，真空保护阀处于节流状态，使得真空终端吸持、脱附工件的动作比较柔和。

5.对高压吹扫等其它功能无显著影响。

6.便于调节，真空保护阀的开启真空度可调，从而对各种真空终端、真空源有很强的适应能力。

7.可用于大口径真空终端的场合。

8.结构简单，便于维修，可靠性高。

9.体积小，安装方便。

附图说明

图1所示为现有技术中集中式真空系统的结构示意图；

图2A及图2B所示为现有技术中真空系统中的真空安全阀的结构示意图；

图3所示为现有技术中真空系统中的真空保持器的结构示意图；

图4所示为本发明一实施例提供的真空保护阀的结构示意图；

图5所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中上阀体的结构示意图；

图6所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中下阀体的结构示意图；

图7所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中阀芯的结构示意图；

图8所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中活动阀座的结构示意图；

图9所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中感应腔的结构示意图；

图10A、10B及10C所示为本发明一实施例提供的真空保护阀作动过程示意图。

具体实施方式

为使本发明的技术特征更明显易懂，下面结合附图，给出具体实施例，对本发明做进一步的描述。

请参见图4，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀的结构示意图。该真空保护阀，包括：上阀体401；下阀体403，与所述上阀体套合；调节螺栓404，与所述下阀体403连接；阀芯407，置于所述下阀体401中，并与所述调节螺栓404套合；活动阀座408，置于所述下阀体403中，并与所述阀芯407抵接；传动杆410，置于所述上阀体401和所述活动阀座408中，并与所述阀芯407抵接；感压腔412，连接于所述上阀体401，并与所述传动杆410抵接。调节螺栓404旋入下阀体403底部通孔的内螺纹中，并借助调节螺栓密封圈405来实现连接处的可靠密封。下阀体403底部通孔内螺纹的总长大于调节螺栓404外螺纹的总长，使得后者可在一定范围内调整旋入深度。

请参见图5，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中上阀体401的结构示意图。所述上阀体401的材质可为不锈钢、黄铜、铝或工程塑料，其包括：真空出口505；同心通孔501，贯穿于所述上阀体401，与所述真空出口505连通，并与所述传动杆410间隙配合，用以引导传动杆410的轴向运动；偏心沉孔502，与所述真空出口505连通；限位凸台503，设置与所述上阀体401底部。上阀体401下部的内螺纹旋入下阀体403上部的外螺纹中，并借助阀体密封圈402实现可靠密封；过滤器504，设置于所述真空出口505中。

请参见图6，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中下阀体403的结构示意图。所述下阀体403的材质可为不锈钢、黄铜、铝或工程塑料，其包括：密封凸台601，设置于所述下阀体403中部，以承托所述活动阀座408；真空进口602，设置于所述下阀体403一侧；活动阀座408的外圆面与下阀体403上部沉孔的内壁为间隙配合，使得活动阀座408可在限位凸台503和密封凸台601所限制的空间内轴向运动。

请参见图7，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中阀芯407的结构示意图。阀芯407包括：钢球701和球座702，两者焊接或粘接成一体。钢球直径为Φ5～12mm。球座702的外圆与调节螺栓404上部沉孔的内圆为间隙配合，使得阀芯407可在活动阀座408和调节螺栓404所限制的空间内轴向运动。阀芯弹簧406的一端嵌入球座702底部沉孔，另一端嵌在调节螺栓404上部沉孔凸台的外圈。

请参见图8，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中活动阀座408的结构示意图。活动阀座408由工程塑料或铝制成，其包括：高压流道801，设置于所述座体的边缘；节流孔802，设置于所述座体上；真空流道804，设置于所述座体中心；锥孔803，设置于所述真空流道804下部；限位槽805，环绕设置于所述座体面上。活动阀座408周面的最小直径大于密封凸台601的外圈直径，从而保证当活动阀座408落座在密封凸台601上时，能够在接触面上可靠密封。阀芯弹簧406将阀芯407顶在活动阀座408下部，并使钢球701与锥孔803紧密配合以实现可靠密封。在调节螺栓404的设计调节行程中，钢球701与锥孔803均能可靠贴合。阀座弹簧409两端分别嵌在限位凸台503外圈和限位槽805内部，并将活动阀座408压在密封凸台601上。

活动阀座408外围均匀设置数个高压流道801，其周面的最小直径大于密封凸台601的外圈直径，从而保证当活动阀座408落座在密封凸台601上时，能够在接触面上可靠密封。阀体上均匀设置数个直径Φ0.2～1mm的节流孔802，中心设锥孔803和真空流道804，阀面上开有阀座弹簧409的限位槽805。阀座弹簧409两端分别嵌在限位凸台503外圈和限位槽805内部，并将活动阀座408压在密封凸台601上。

请参见图9，其所示为本发明一实施例提供的真空保护阀中感应腔的结构示意图。所述感压腔412，包括：上盖板902，具有多个小孔907；下盖板905，盖合于所述上盖板902，形成一腔体；金属膜片903，设置于所述上盖板902与下盖板905之间，将所述腔体分为上下两个空腔；膜片垫片906，设置于所述金属膜片903下；连接螺柱904，设置于所述下盖板905底部，用于与所述上阀体401连接；滤网901，设置于所述上盖板902上。所述连接螺柱904与所述上阀体401连接处设置有感压腔密封圈411。

上盖板902、下盖板905和连接螺柱904采用不锈钢或黄铜制成。滤网901与上盖板902、金属膜片903与膜片垫片906、下盖板905与连接螺柱904分别采用焊接或粘接等方式可靠连接。上盖板902、金属膜片903、下盖板905翻边、焊接成一体，形成两个高度为2～10mm的独立空腔；上部空腔通过小孔907、滤网901与外部大气连通，故金属膜片903上表面为当地大气压力；下部空腔通过连接螺柱904中部通孔、上阀体401内部流道与真空出口505连通，故金属膜片903下表面为真空出口505的压力；非工作状态下，真空源不提供真空度，阀体内部空腔通过真空进口602、真空出口505与外界大气连通，金属膜片903的上、下空腔内的压力均为外界大气压。连接螺柱904旋入于上阀体401上部沉孔的螺纹中，并紧压感压腔密封圈411，以保证感压腔412、上阀体401连接处的可靠密封。

阀芯弹簧406的选型需保证在设计的吸持工况下，当真空进口602为设计真空度、真空出口505为当地大气压，且调节螺栓404旋至设计调节行程的下端、即阀座弹簧409的预紧力较小时，其预紧力仍略高于传动杆410重力、阀芯407重力、金属膜片903装配预紧力、以及钢球701上下表面压力差等的合力；阀座弹簧409的选择需保证在非工作状态下，当调节螺栓404旋至设计调节行程的上端、即阀芯弹簧406的预紧力较大时，阀座弹簧409的预紧力仍略高于活动阀座408承受的向上开启力，从而使得在非工作状态下，在调节螺栓404的设计调节行程中，活动阀座408可靠落座于密封凸台601之上。

传动杆410采用上粗下细的阶梯轴结构设计，上部直径为Φ2～5mm，下部为Φ1～3mm。上部插入上阀体401的同心通孔501中，顶部与膜片垫片906接触；下部通过真空流道804和锥孔803，顶住落座于活动阀座408的钢球701的上表面。传动杆410的长度略大于自由状态下膜片垫片906下表面到钢球701上表面的距离，从而使得时金属膜片903在非工作状态时产生较小的向上预变形，从而产生一定的装配预紧力。

为了更详细阐述本发明实施例提供的真空保护阀的作动原理，请结合参见图10A、10B及10C。

非工作工况下，真空源不提供真空度，金属膜片903的上、下空腔内的压力均为外界大气压。阀内各部件的相对位置如图4所示。钢球701落座于锥孔803内，活动阀座408落座于密封凸台601上，真空进口602通过活动阀座408上的节流孔802与真空出口505连通。

正常吸持工况的初始阶段，请参见图10A，此时真空终端与吸持工件可靠接触，真空源向真空进口602提供真空度。真空终端的空气通过真空出口505、过滤器504和偏心沉孔502进入活动阀座408上部空腔，再经过活动阀座408上的节流孔802流入活动阀座408的下部空腔，最后通过真空进口602流出真空保护阀。由于真空终端被吸持工件所密封，其内部的真空度逐渐提高，金属膜片903下方腔体的压力亦随之降低；在两侧压差的作用下，对传动杆410向下的推力逐渐增加。但由于此时终端的真空度较小，金属膜片903两侧压差、传动杆410重力和阀芯407重力等因素的合力尚不能克服阀芯弹簧406的预紧力，故钢球701仍落座于锥孔803内，真空流道804仍处于截止状态。同时，活动阀座408的上部压力高于下部压力；在压差和阀座弹簧409的作用下，活动阀座408可靠落座于密封凸台601上，从而阻止空气经高压流道801从活动阀座408下部流入下阀体403的内部空腔。在此工况下，阀内流动阻力较大，从真空进口602流出空气的流量被活动阀座408上的节流孔802限制在允许范围内，终端的真空度柔和增长。

随着真空终端吸持工况的进行，真空出口505的真空度均逐渐提高。金属膜片903下侧腔体的真空度逐渐降低，对传动杆410施加的推力逐渐增大。当真空出口505的真空度达到设定值时，传动杆410克服阀芯弹簧406的预紧力，将钢球701向下推离锥孔803，开启真空流道804，请参见图10B。此时，阀内阻力较小，大部分空气通过真空流道804、极少量通过节流孔802被抽吸至真空进口602，终端真空度迅速提高。随着真空出口505真空度的持续提高，金属膜片903两侧压差持续增大，锥孔803的流道面积随之持续增大。当真空度达到一定程度后，金属膜片903和膜片垫片906向下的位移被感压腔412的下盖板905所限制，从而保护金属膜片903不因压差过大而损坏。

脱附工况是吸持工况的逆向运行工况。当控制真空保护阀动作、将保护阀的真空进口602与大气连通时，外界空气经由锥孔803、真空流道804、偏心沉孔502、过滤器504和真空出口505流入真空终端，该终端的真空度迅速降低，金属膜片903两侧压差随之减小，对传动杆410的向下推力亦降低。当真空度降至设定值时，金属膜片903对传动杆410的推力、传动杆410重力和阀芯407重力等因素的合力不足以克服阀芯弹簧406的预紧力，钢球701回复至锥孔803内并将真空流道804封闭。随后，外界空气从节流孔802较缓慢地流入真空出口505，真空终端的真空度缓慢降低，工件柔和脱附。

某些真空系统要求部分真空终端在工作一段时间后，需反向通入高压空气以吹扫终端和管道内部的尘埃和异物。小型真空保护阀在真空出口安装过滤器504，以将尘埃和异物阻挡在真空出口505，防止它们进入阀体内部堵塞节流孔802、或沉积在密封面上导致阀芯407、活动阀座408、下阀体403的密封不严。在高压吹扫工况下，控制真空保护阀动作，将保护阀的真空进口602与高压气体连通，高压气体到达活动阀座408的下部，克服阀座弹簧409的预紧力并向上推开活动阀座408，阀内流动阻力很小，请参见图10C。大部分高压空气通过高压流道801、极少量通过节流孔802流至活动阀座408的上方空腔，并通过偏心沉孔502、过滤器504和真空出口505流入终端。在此工况下，金属膜片903的下侧压力高于上侧压力，金属膜片903向上移动并被感压腔412的上盖板902所限制，从而保护金属膜片903不因压差过大而损坏。

若因终端失效、工件破损、工件位置错误等原因，导致真空终端与外界大气直接连通，则真空出口505处的真空度迅速降低至低于设定值，金属膜片903下方的压力迅速升高，钢球701在阀芯弹簧406预紧力的作用下迅速回复至锥孔803内，并将真空流道804封闭。此时真空保护阀内部的流动状态与图10A一致，终端泄漏的空气只能通过活动阀座408上的节流孔802缓慢流入真空源中，其流量被限制在允许范围内；从而保护该系统的真空度不会出现明显降低，进而确保其它真空终端不受影响。

综上所述，利用本发明实施例提供的真空保护阀，可以达到以下的有益效果：

1、可以实现根据终端真空度来控制流量；当该终端发生泄露时，能够通过真空保护阀的节流状态来有效保护系统真空度，防止出现该路流量过大而影响其它终端的正常工作。

2.实现开启条件取决于用气终端的真空度、而不受系统真空度的影响，从而提高了真空保护阀动作的可靠性。

3.由于采用“依据终端的真空度，分两个阶段控制流量来实现系统真空保护”的方法，控制真空保护阀动作后，依据所设置的开启真空度的不同，工件完全吸持和脱附的时间可控制在0.5～3s之内，响应迅速。

4.在吸持工况初期和脱附工况后期，真空保护阀处于节流状态，使得真空终端吸持、脱附工件的动作比较柔和。

5.活动阀座408、高压流道801和阀座弹簧409等设计可保证真空保护阀在高压吹扫工况下的通径较大、流动阻力较小，从而对其效果无显著影响。同时，由于真空出口处安装过滤器504，可有效阻挡灰尘、异物等进入阀体及阀后的真空管路，保持系统清洁。

6.真空保护阀的开启真空度可调。从而对各种真空终端、真空源有很强的适应能力。

7.基于本发明的真空保护阀，可实现较大的全开通径，可用于大口径吸盘等需要较高流量的真空终端。

8.真空保护阀内部结构简单，感压腔412、上阀体401、下阀体403、调节螺栓404间采用螺纹连接和密封圈密封，连接、密封可靠且便于维修。采用过滤器504、滤网901的设计可有效防止灰尘、异物等进入阀体，保证真空保护阀的可靠性。

9.真空进、出口采用G1/4”接头的连接管路，估算该真空保护阀的最大直径为Φ40～60mm，高度为50～80mm。真空出口505、真空进口602内均有标准螺纹，便于与进、出管路相连。由于该真空保护阀体积较小，可安装在真空终端附近或与之直接连接。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (11)

1.一种真空保护阀，其特征在于，包括上阀体、下阀体、调节螺栓、阀芯、活动阀座、传动杆和感压腔；其中， 

所述上阀体包括：真空出口；同心通孔，贯穿于所述上阀体，与所述真空出口连通，并与传动杆间隙配合；偏心沉孔，与所述真空出口连通；限位凸台，设置于所述上阀体底部；过滤器，设置于所述真空出口中； 

所述下阀体与所述上阀体套合，包括：真空进口，设置于所述下阀体一侧；密封凸台，以承托所述活动阀座，下阀体壁与所述活动阀座间隙配合； 

所述调节螺栓与所述下阀体连接； 

所述阀芯置于所述下阀体中，并与所述调节螺栓套合； 

所述活动阀座置于所述下阀体中，并与所述阀芯抵接，包括：座体，高压流道，设置于所述座体的边缘；节流孔，设置于所述座体上；真空流道，设置于所述座体中心；锥孔，设置于所述真空流道下部；限位槽，环绕设置于所述座体面上； 

所述传动杆置于所述上阀体和所述活动阀座中，并与所述阀芯抵接； 

所述感压腔连接于所述上阀体，并与所述传动杆抵接，包括：上盖板，具有多个小孔；下盖板，盖合于所述上盖板，形成一腔体；金属膜片，设置于所述上盖板与下盖板之间，将所述腔体分为上下两个空腔；膜片垫片，设置于所述金属膜片下；连接螺柱，设置于所述下盖板底部，用于与所述上阀体连接； 滤网，设置于所述上盖板上；阀芯弹簧，其两端分别连接于所述阀芯与所述调节螺栓；阀座弹簧，其两端分别连接所述上阀体和所述活动阀座。 

2.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述下阀体与所述上阀体连接处设置有阀体密封圈。 

3.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述调节螺栓与所述下阀体连接处设置有调节螺栓密封圈。 

4.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述阀芯，包括： 

球座； 

钢球，设置于所述球座上。 

5.根据权利要求4所述的真空保护阀，其特征在于，所述钢球直径为5～12mm。 

6.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于所述节流孔直径为0.2～1mm。 

7.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述活动阀座的直径大于所述密封凸台的直径。 

8.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述传动杆，为上粗下细的阶梯轴结构。 

9.根据权利要求8所述的真空保护阀，其特征在于，所述传动杆的上部直径为2～5mm，下部直径为1～3mm。 

10.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述上下两个空腔 的高度分别为2～10mm。 

11.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述连接螺柱与所述上阀体连接处设置有感压腔密封圈。 

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