CN102345109A - 用来固定用于涂覆工艺的物品的装置、支架和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用来固定用于涂覆工艺的物品的装置、支架和方法。具体而言,图中显示了一种装置(408),其包括具有通道(928)与枢轴柱(730)的基座(720)、用于选择性地接合玻璃(402)的接合部件(722)、具有与枢轴柱(730)相对应的枢转特征(970)的可旋转促动部件(724),以及固定至基座(720)的定位部件(726)。接合部件(722)可滑动地定位在基座(720)的通道(928)中,定位部件(726)与可旋转促动部件(724)对准,并且定位部件(726)朝着玻璃(402)提供作用力在接合部件(722)上。可旋转促动部件(724)的促动使接合部件(722)沿着基座(720)的通道(928)滑动,从而通过定位部件(726)所提供的作用力固定玻璃(402)。

Description

用来固定用于涂覆工艺的物品的装置、支架和方法
技术领域
本公开针对一种用于固定物品的装置、用于固定物品的支架、以及固定用于涂覆工艺的物品的方法。
背景技术
通常,衬底(例如玻璃)可由于来自边缘缺陷或转角缺陷的裂纹的扩展而失效。因而,衬底上的边缘缺陷或转角缺陷是不希望的。因此,避免导致边缘缺陷和转角缺陷可通过保持对裂纹扩展的抗力而改进衬底的强度,并因而防止重大的破损。因而,衬底的表面的保护是期望的。
在制造工艺期间,可使衬底机械地移动。衬底以多于一个方向或方式的机械运动可需要额外的工艺元件。例如,在单个方向(例如完全地水平方向)上移动衬底可利用某些工艺元件实现。起初在一个方向(例如完全地垂直方向)上移动衬底并且然后在另一方向(例如完全地水平方向)上移动衬底可能需要不同的工艺元件。以组合的方向和/或方式移动衬底(例如使衬底成角度或旋转)可能需要复杂的工艺元件。减少工艺元件的数量和复杂性是期望的,因为其可减少制造系统的成本。
一种用于固定玻璃衬底的装置、用于固定玻璃衬底的支架以及固定玻璃衬底的方法将是本领域中所需的。
发明内容
在一个示例性实施例中,用于固定物品的装置包括具有通道与枢轴柱的基座、用于选择性地接合物品的接合部件、具有与枢轴柱相对应的枢转特征的可旋转促动部件,以及固定至基座的定位部件。在该实施例中,接合部件可滑动地定位在基座的通道中,该定位部件对于可旋转促动部件建立行程限制,并且定位部件朝着物品推进接合部件。可旋转促动部件的旋转使接合部件沿着基座的通道滑动,从而通过定位部件所提供的作用力固定物品。
在另一示例性实施例中,用于固定物品的支架包括至少两个定位在框架中的装置以及多个定位在框架中的支撑垫,该框架用于固定物品。每个装置包括具有通道与枢轴柱的基座、用于选择性地接合物品的接合部件、具有与枢轴柱相对应的枢转特征的可旋转促动部件,以及固定至基座的定位部件,该接合部件可滑动地定位在基座的通道中,定位部件对于可旋转促动部件建立行程限制,并且提供作用力到接合部件上,从而朝着物品推进接合部件。在该实施例中,可旋转促动部件的旋转使接合部件沿着基座的通道滑动,从而通过定位部件所提供的作用力经由接合部件固定物品。框架和多个支撑垫至少在四个方向上限制物品的运动。另外,该至少两个装置的其中一个或多个装置的可旋转促动部件的旋转在至少第五方向和第六方向上限制物品的运动。
在另一示例性实施例中,一种固定物品的方法包括:提供一种装置,促动该装置的可旋转促动部件,以及使可旋转促动部件旋转,从而使该装置的接合部件在该装置的通道中滑动以便接合物品。定位部件朝着物品推进接合部件。该装置包括具有通道与枢轴柱的基座、用于选择性地接合物品的接合部件、具有与枢轴柱相对应的枢转特征的可旋转促动部件,以及固定至基座的定位部件,该接合部件可滑动地定位在基座的通道中,定位部件对于可旋转促动部件建立行程限制,并且提供作用力到接合部件上,从而朝着物品推进接合部件。可旋转促动部件的旋转使接合部件在基座的通道中滑动,从而通过定位部件所提供的作用力而固定物品。
附图说明
图1是用于固定玻璃的支架的一个示例性实施例的横向图。
图2是沿着图1的2-2的剖视图。
图3是沿着图1的3-3的剖视图。
图4是用于固定玻璃的装置的一个示例性实施例的透视图,其定位成用于插入玻璃。
图5是用于固定玻璃的装置的一个示例性实施例的透视图,其定位成用于固定玻璃。
图6是根据一个示例性实施例的装置的分解透视图。
图7是图4的根据线7-7的剖视图。
图8是图5的根据线8-8的剖视图。
图9是一种固定玻璃的方法。
在任何可能之处,将在所有附图中使用相同的参考标号以代表相同的部件。
具体实施方式
提供了一种用于固定玻璃衬底的装置、用于固定物品(例如玻璃衬底)的支架以及固定物品(例如玻璃衬底)的方法。本公开的实施例可保护玻璃免于被不适当地释放,其可包括对玻璃的自动化定位,可包括减少玻璃的运动自由度,和/或可利用玻璃的单向运动而固定玻璃。
在本公开中,当层被描述为位于另一层或衬底的“附近”、“之上”或“上方”时,应当理解,该层可直接接触或者另一层或特征可插入。
图1显示了用于固定玻璃402的支架400。支架400包括框架404、定位在框架404中的支撑垫406,以及至少一个用于固定玻璃402的装置408。在一个实施例中,包括至少两个装置408。玻璃402可以是覆盖物、封装玻璃或用于形成光电模块的任何其它合适玻璃。框架404由两组基本平行的部件410形成,其形成矩形。在某些实施例中,框架404可以是任何其它合适的几何形状(例如圆形、椭圆形、方形、矩形等等)。在一个实施例中,该几何形状包括至少两个基本平行的部件410(例如像在方形、矩形、六边形等等中的那样)。在其它实施例中,框架404可以由没有平行部件410的几何形状形成(例如圆形、椭圆形等等)。框架404在形成其几何形状时可以是连续的,或者可以是不连续的,其中若干较小的部分形成平行部件410。平行部件410可为任何合适的材料,其能够承受与工艺(例如物理汽相淀积或化学汽相淀积)相关联的热量。在一个实施例中,平行部件410中的材料可被选择为减少平行部件410的膨胀和收缩。例如,该材料可以是钨、钨合金、钼、钼合金、铬镍铁合金(Inconel alloy)、钢、不锈钢或钛。虽然上面已关于固定玻璃402进行描述,但是,本公开并不局限于这样,并且可包括其它物品,例如聚合物、陶瓷或金属。
图2是沿图1中的方向2-2得到的框架404的截面图。图3显示了沿图1中的方向3-3得到的框架404的截面图。框架404设置为当玻璃402被定位在衬垫406上并且装置408被附连至框架404时固定玻璃402。框架404可包括用于固定一片玻璃402的衬垫406(见图2)。框架404可包括用于固定两片玻璃402的衬垫406(见图3)(第二片被部分地显示)。衬垫406包括第一部分414和第二部分416。玻璃402可通过靠着衬垫406的第一部分414定位并与衬垫406的第二部分416对准而被定位在框架404中。框架404还包括挡块407,其包括突出物或其它特征,以防止或限制玻璃402沿Y方向的运动。
当将玻璃402靠着衬垫406的第一部分414定位时,玻璃402在至少四个方向上被固定。例如,参见图1,衬垫406和挡块407可在正X方向(在图1到图3中示出)和负X方向以及正Y方向(在图1中示出)和负Y方向上固定玻璃402(或限制该运动)。在一个实施例中,衬垫406可进一步在负Z方向上固定玻璃402,同时在正Z方向(在图2和图3中示出)上保持不固定。在一个实施例中,衬垫406和挡块407可在正X方向和负X方向、正Y方向和负Y方向以及负Z方向上固定玻璃402。衬垫406和挡块407可固定玻璃402,同时容许在温度升高期间与玻璃402的膨胀相关联的运动。
框架404可另外地或可选地包括用于固定玻璃402的装置408。同第一装置408相比,第二装置408可被定位在框架404的另一平行部件410上。在框架404的周边可包括更多的装置408或更少的装置408。所包括的装置408的数量可与框架404的几何形状和/或所包括的衬垫406的数量相对应。在一个实施例中,装置408可定位在衬垫406附近,其可减少施加至玻璃402的应力。在被促动时,装置408可在另外的方向(例如正Z方向)上固定玻璃402。在一个实施例中,当接合装置408时,可在所有方向上固定玻璃402。
图4和图7显示了处于未促动位置的装置408。图5和图8显示了处于促动位置的装置408。图6显示了装置408的分解图。如图4中所见,装置408包括基座720、接合部件722、可旋转促动部件724以及定位部件726。可旋转促动部件724从图4和图7中所示位置的促动使接合部件722沿基座720滑动,从而在定位部件726推进接合部件722时固定玻璃402,以保持图5和图8中所示的位置。因而,装置408可在促动和缩回时固定和释放玻璃402。在一个实施例中,可连续地或同时促动多个装置408,因而,容许玻璃402的另外的固定。这样的促动可通过任何合适的方法完成,包括但不局限于机械连杆、计算机控制的促动器、自动机械和/或手动地。如图4到图8中所示,促动销725可定位用于自动促动。例如,促动销725可延伸并设置为用于从自动机械或被其它外部装置接近。
基座720包括通道928(在图6中示出)和枢轴柱730(在图6中示出)。基座720可通过定位在孔940内的紧固件732(在图4到图5中示出)而固定到支架400的框架404上。定位部件726可通过紧固件742(在图4到图5中示出)固定在基座720上,紧固件742被定位通过孔968并在孔944(在图6中示出)中。紧固件732和紧固件742可从相同方向装卸,从而使得对于组件的接近更为容易,和/或使得装置408的调整更为容易。紧固件732与枢轴柱730相对沿着通道928定位。这样的定位允许装置408在尺寸上更小。紧固件742定位在通道928的相对两侧,从而提供定位部件726的大体上对称的安装,其施加居中的负载在接合部件722上。
基座720可由适合于与各种汽相淀积工艺相关联的温度升高的任何合适材料制成。例如,基座可由铝制成。基座720的部分(例如枢轴柱730和/或通道928)可包括另外或备选的材料。例如,基座720可包括在基座720与接合部件722之间具有预定摩擦系数的材料,从而控制用于在通道928中滑动接合部件722所需的作用力。
如图6中所示,通道928包括第一部分934,其相对于第二部分936成一定角度。通道928还包括第三部分938,其相对于第二部分936成不为零度的角度。这些部分的大小和角度可影响用于促动可旋转促动部件724的作用力的量,并可容许装置408的平滑操作。枢轴柱730可设置为用于容纳可旋转促动部件724,从而允许围绕轴线的枢转或旋转。在其它实施例中,可使用允许枢转运动的其它合适装置。
再参见图6,接合部件722选择性地与接合玻璃402(见图1),并且可滑动地定位在基座720的通道928中。接合部件722可由聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亚胺(vespel)、聚苯并咪唑(celazole)或容许接合部件722在通道928内滑动(例如带有0.4或更低的摩擦系数)的任何合适材料制成,其耐高温和/或不易在玻璃上刮伤。在一个实施例中,接合部件722的材料可被选择为减少或消除摩擦系数由于软化、变形和/或膨胀(可由高温造成)的增加。另外地或备选地,形成接合部件722的材料的热导率可低于装置408的其它部分。需要接合部件722具有低的热导率(例如小于大约10W/m·k)。在一个实施例中,接合部件722可设置为用以防止接触玻璃时的热冲击(冷式或热式),从而防止玻璃破裂。
接合部件722具有与通道928的宽度相对应的宽度。例如,接合部件722的宽度略微小于通道928,并且可包括不对涂覆工艺造成脱气或化学影响的任何合适的干式润滑剂。例如,该干式润滑剂可以是MoS2(二硫化钼)或石墨。
如图6中所示,在通道928附近,接合部件722包括接合表面946、联接表面948和滑动表面950。接合表面946可以是基本平坦的,并且可定位成选择性地使玻璃402邻靠在装置408上,接合部件722通过可旋转促动部件724的旋转引起的促动而被推进。接合表面946可包括用于保护玻璃402的另外的特征。例如,接合表面946可包括例如细线网或高温软塑料或橡胶和/或较少可能损伤或刮伤玻璃402的表面的特征这样的材料。另外地或备选地,接合表面946可包括用于在装置408被促动以固定玻璃402时使作用力大体上均匀地分布在玻璃402上的材料和/或特征。
联接表面948从接合表面946延伸至滑动表面950。联接表面948相对于接合表面946和滑动表面950成一定角度。联接表面948的角度与通道928的第三部分938的角度相对应,并且以一定角度定位,该角度在装置408被促动以固定玻璃402时足以建立和保持接合部件722的延伸定位。
滑动表面950在装置408被促动以固定玻璃402时沿着通道928的第一部分934和第二部分936滑动。当装置408被完全促动时(例如使可旋转促动部件724完全旋转),滑动表面950靠着通道928定位,其中基本上所有滑动表面950都接触通道928。在一个实施例中,在装置408被完全促动后,可实现一种制动效应。如本文所使用的术语“制动效应”指一种物理效应,其涉及定位部件726响应可旋转促动部件724的促动达到预定的点而作用在接合部件722上的力。该预定的点可以是任何合适的点。例如,该预定的点可以接近完全促动,并且物理效果可以是喀哒声音。在另一实施例中,制动效应可在接合部件722缩回时产生。
再参见图6,在通道928的远侧,接合部件722可包括前表面952、与接合表面946相对应的(例如相对的)表面954、与联接表面948相对应的表面956,以及与滑动表面950相对应的表面958。前表面952可相对于表面954成角度,从而在可旋转促动部件724通过旋转而促动以释放玻璃402后,在与定位部件726一起作用以固定接合部件722时,提供一种制动机构。前表面952的增加的角度以及定位部件726的相应部分960的增加的角度可增加促动可旋转促动部件724以固定玻璃402所需的作用力的量。前表面952的减小的角度以及相应部分960的减小的角度可不将接合部件722阻止在预期水平。在一个实施例中,前表面952的角度与对应于联接表面948的表面956以及定位部件726的对应部分960基本上相同。
接合部件722的表面958还包括槽962,其设置为用于容纳旋转促动部件724的销964。在旋转促动部件724被促动以固定玻璃402时,销964选择性地朝着玻璃402推进接合部件722。在旋转促动部件724被促动以释放玻璃402后,销964选择性地远离玻璃402推进接合部件722。接合部件722的推进可被定位部件726中的凹部966约束(通过在一个或多个方向上抑制销964的运动超过预定限制)。
定位部件726通过延伸穿过开口968到孔944中的紧固件(未示出)而固定到基座720上。定位部件726通过对于可旋转促动部件724建立行程限制而提供对准,并朝着玻璃402提供作用力到接合部件722上。定位部件726包括相应部分960以用于提供作用力到接合部件722上。在一个实施例中,定位部件726可由回火钢制成以防止永久性变形,并保持高温条件下提供作用力到接合部件722上的能力。例如,定位部件726可由17-7 PH不锈钢或具有相似硬度的另一合适材料形成以避免松弛。另外地或备选地,可预先选择定位部件726的厚度,从而使该限制对应于预定量的作用力以促动可旋转促动部件724。
可旋转促动部件724包括与枢轴柱730相对应的枢转特征970。枢转特征970可以是比枢轴柱730的直径略微更大的圆柱。可旋转促动部件724还包括促动销725。促动销725设置为用于促动可旋转促动部件724。销964和促动销725可被压入和焊接到臂974上,从而形成可旋转促动部件724。臂974可成形为带有垂直部分或任何其它合适的几何形状,从而容许促动销725的促动导致销964选择性地推进接合部件722。
如图9中所示,一种固定玻璃的示例性方法包括:提供任何合适的装置(方框1202),从而允许可旋转促动部件724的促动,以便使接合部件722在基座720的通道928中滑动以固定玻璃402,使可旋转促动部件724(方框1204)促动,从而使接合部件在通道中滑动(方框1206),使玻璃与接合部件722接合(方框1208),并经由接合部件722从定位部件726提供作用力在玻璃上(方框1210),从而固定玻璃402。
虽然已经参照优选实施例描述了本公开,但是,本领域技术人员应当理解,在不脱离本公开的范围的情况下,可做出各种调整,并且对于其元件可替换等同物。另外,在不脱离本公开的实质范围的情况下,可作出许多修改以使特定的情形或材料适应本公开的教导。因此,本公开不意图限于作为用于实现本公开构思的最佳模式而公开的特定实施例,相反,本公开将包括落在所附权利要求的范围内的所有实施例。

Claims (10)

1.一种用于固定玻璃(402)的装置(408),所述装置(408)包括:
基座(720),所属基座(720)具有通道(928)和枢轴柱(730);
用于选择性地接合所述玻璃(402)的接合部件(722),所述接合部件(722)能滑动地定位在所述基座(720)的所述通道(928)中;
可旋转促动部件(724),所述可旋转促动部件(724)具有与所述枢轴柱(730)相对应的枢转特征(970);以及,
固定至所述基座(720)的定位部件(726),所述定位部件(726)与所述可旋转促动部件(724)对准,并提供作用力到所述接合部件(722)上,所述作用力朝向所述玻璃(402);
其中,所述可旋转促动部件(724)的促动使所述接合部件(722)沿着所述基座(720)的所述通道(928)滑动,从而通过所述定位部件(726)提供的所述作用力固定所述玻璃(402)。
2.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述可旋转促动部件(724)还包括第一销(964)和第二销(725),所述第一销(964)设置为用于促动,并且所述第二销(725)设置为用于在所述第一销(964)被促动时推进所述接合部件(722)。
3.根据权利要求2所述的装置(408),其特征在于,所述第一销(964)包括用于自动化促动的特征。
4.根据权利要求2所述的装置(408),其特征在于,所述第一销(964)和所述第二销(725)被焊接到所述可旋转促动部件(724)上。
5.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述可旋转促动部件(724)的所述促动产生卡扣效应。
6.根据权利要求5所述的装置(408),其特征在于,所述促动的可旋转促动部件(724)的反向旋转使所述接合部件(722)在所述基座的所述通道(928)中远离所述玻璃(402)滑动,从而释放所述玻璃(402)。
7.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述接合部件(722)具有低的热导率。
8.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述定位部件(726)设置为用于侧向地调整所述玻璃(402)上的作用力的分布。
9.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述装置(408)还包括用于固定所述玻璃(402)的框架,所述装置(408)被定位在所述框架(404)中。
10.根据权利要求1所述的装置(408),其特征在于,所述装置(408)设置为用于与第二装置(408)一起促动。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103708716A (zh) * 2013-12-20 2014-04-09 广州福耀玻璃有限公司 压制模具的玻璃定位装置
CN105452524A (zh) * 2013-08-02 2016-03-30 应用材料公司 用于基板的支承布置
CN110168131A (zh) * 2017-01-23 2019-08-23 应用材料公司 基板保持器

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9082799B2 (en) * 2012-09-20 2015-07-14 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. System and method for 2D workpiece alignment
CN105452523B (zh) * 2013-08-02 2019-07-16 应用材料公司 用于基板的保持布置以及使用所述用于基板的保持布置的设备和方法
WO2016015745A1 (en) * 2014-07-28 2016-02-04 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for holding a substrate during layer deposition in a vacuum chamber

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201324984Y (zh) * 2008-12-25 2009-10-14 浙江名媛工艺饰品有限公司 一种夹具锁紧机构

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3297313A (en) * 1965-01-12 1967-01-10 Stevens Nichols Universal clamp fixture
US5022636A (en) * 1990-03-26 1991-06-11 Chick Machine Tool Inc. Workholding apparatus
US5487538A (en) * 1994-08-10 1996-01-30 Giaser Tool Co. Workpiece holding assembly
US6186092B1 (en) * 1997-08-19 2001-02-13 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for aligning and controlling edge deposition on a substrate
JP2000100117A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気テープカートリッジの組立方法及び組立装置
US6530566B1 (en) * 2002-01-23 2003-03-11 Auto Craft Tool & Die Co., Inc. Pivoting clamp block
US20060207508A1 (en) * 2005-03-16 2006-09-21 Applied Materials, Inc. Film deposition using a spring loaded contact finger type shadow frame
KR101216000B1 (ko) * 2007-08-23 2012-12-28 히라따기꼬오 가부시키가이샤 부품이송장치 및 방법
US7900898B2 (en) * 2007-10-12 2011-03-08 GM Global Technology Operations LLC Method and apparatus for fixturing a panel
CN102150251B (zh) * 2008-09-08 2013-06-19 芝浦机械电子株式会社 基板处理装置及基板处理方法
DE102009010164A1 (de) * 2009-02-23 2010-09-02 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten
US8181326B2 (en) * 2011-03-10 2012-05-22 General Electric Company Method and apparatus for installing a seal

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201324984Y (zh) * 2008-12-25 2009-10-14 浙江名媛工艺饰品有限公司 一种夹具锁紧机构

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105452524A (zh) * 2013-08-02 2016-03-30 应用材料公司 用于基板的支承布置
CN105452524B (zh) * 2013-08-02 2018-12-11 应用材料公司 用于基板的支承布置以及用于使用用于基板的支承布置的设备和方法
CN103708716A (zh) * 2013-12-20 2014-04-09 广州福耀玻璃有限公司 压制模具的玻璃定位装置
CN103708716B (zh) * 2013-12-20 2016-02-24 广州福耀玻璃有限公司 压制模具的玻璃定位装置
CN110168131A (zh) * 2017-01-23 2019-08-23 应用材料公司 基板保持器
CN110168131B (zh) * 2017-01-23 2022-06-07 应用材料公司 基板保持器

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