CN102324086B - 一种用于不同型号探针台的Map图转换方法 - Google Patents

一种用于不同型号探针台的Map图转换方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于UF200探针台到EG4000探针台的Map图转换方法，通过解析两种探针台的Map图文件格式及存储信息，再对UF200探针台的Map图的信息进行提取，然后按EG4000的Map图格式进行写入；该方法实现了UF200探针台到EG4000探针台的Map图转换，本发明解决了两种类型探针台无缝读取Map图并进行分析，提高了设备利用率，节省了资金，扩大了生产。

Description

一种用于不同型号探针台的Map图转换方法
技术领域
本发明涉及到集成电路的晶圆测试时不同探针台之间测试Map图共享，属于集成电路测试技术领域。
背景技术
由于集成电路制造工艺的不断进步，晶圆直径达到了300mm，管芯的线条达90nm或更微细、芯片面积更小，一枚晶圆上可以制作万个以上管芯；对管芯的测试由测试系统和探针台(Prober)经过精密对接共同完成，通过晶圆测试对所有管芯进行分类：即失效的管芯和合格的管芯、或需要修复的管芯；为了满足先进的工艺和自动化的要求，现在很少用墨点来区分管芯的好与坏，而是采用电子式Map图，该Map图是探针台在测试过程中自动生成的。Map图不仅记录着管芯的好与坏还记载着被测管芯的其它测试状态信息；把测试过的晶圆和电子式Map图同步传递到下一道工序，比如：把Map图输入，该工序的设备就能自动完成操作，真正做到了生产线自动化，因此Map的生成和应用很重要。由于国际上还没有制定探针台的Map图格式文件通用标准，所以不同类型的探针台生成的Map图格式及信息存在差异，探针台之问也不能相互读取。
EG4000系列(适应直径200mm晶圆测试)的探针台是美国伊智(Electroglas)公司制造的，推向市场较早，该系列探针台在全球的工艺线上拥有量较多，也是行业内最大设备供应商之一。
UF200系列(适应直径200mm晶圆测试)探针台是日本东京精密(TSK)公司制造的，UF200探针台具有运行速度快、时间短，精度高，操作灵活等优点，该公司近几年技术发展快，产品市场份额不断提高，逐渐成为业内最主流的探针台。因此，EG4000探针台和UF200探针台是目前装机量最大的两类探针台。
两种类型探针台同时运行在测试生产线上，鉴于测试生产项目的需求，一款产品经常需要两种探针台参与测试，会生成不同格式的两种Map图，不能相互读出，一款被测产品自始至终只能选择同一类型探针台进行测试，常常出现设备调度难题，严重影响着生产线的产量。
发明内容
本发明基于上述的需求，通过解析两种探针台的Map图文件格式及存储信息，再对UF200探针台的Map图的信息进行提取，然后按EG4000的Map图格式进行写入；该方法实现了UF200探针台到EG4000探针台的Map图转换，本发明解决了两种类型探针台无缝读取Map图并进行分析，提高了设备利用率，节省了资金，扩大了生产。
本发明所采用的技术方案是：
两种类型款探针台生成的Map图文件开头文件部分，信息不完全一致，同时排列顺序也不尽相同。因此在生成新的EG4000Map图文件时需要根据其格式要求，从UF200头文件中筛选并补充UF200探针台不包含的信息。
UF200探针台的Map图文件存储坐标数据的方式为：对圆形晶圆的外切正方形内所有区域进行管芯规格尺寸的分解，产生最大行数乘以最大列数的分解单元(其中包括实际管芯和虚拟管芯)，再将每个分解单元从左到右，从上到下的顺序逐一写进Map图文件中，信息主要包括管芯的X、Y坐标、是否测试及其测试结果(Not Tested/Pass Die/Fail Die)、测试结果BIN值以及测试管芯属性等。
EG4000Map图中数据存储特点是以行为单位进行存储的。它只记录有效管芯信息，首先记录每一行行头的X、Y坐标以及管芯个数，再依次将其BIN值罗列出来，然后按上述方法将下一行信息记录，直到最后一行信息记录完成。
为了能够把UF200提供的离散信息整合成EG4000探针台认可的行信息，采用十六进制模式打开UF200Map图文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个管芯的主要参数提取出来放到自定义模块数组中，然后对该数组中的管芯信息进行判断，再根据EG4000的数据格式提取从左到右第一个有效管芯的坐标，计算该行的有效管芯数量，并将属于同一行的有效管芯B IN值串联并保存以备写入EG4000Map文件时调用，再依序将数组信息写入目标文件中，最后将指向文件以及路径设为EG4000探针台能够辨识输出的状态。
采用上述方案，进行了转换，经使用已验证其真实可靠，虽然因为两种类型探针台Map图显示软件在色彩显示上有所差异，但是转换前后的结果完全一致。
附图说明
下面结合附图和具体实施方案做进一步说明：
图1UF200与EG4000MAP图头文件对应关系示意图
图2UF200系列Map图管芯信息存储示意图
图3EG4000系列Map图管芯信息存储示意图
图4UF200原始Map图
图5转换后的EG4000Map图
具体实施方式
下面通过实例详细说明本发明的方法
首先解剖两种探针台的文件格式与信息。
UF200与EG4000MAP图头文件对应关系如图1所示，两款探针台生成的Map图文件在头文件部分，信息不完全一致，同时排列顺序也不尽相同。
UF200Map图存储管芯信息如图2所示，bin值为1表示为合格管芯，bin 2为某测试项失效管芯；Not Tested为没有经过测试的虚拟管芯和标记管芯，XY表示为管芯坐标，Pass Die表示为合格管芯，Fail Die表示为失效管芯，Marking Die表示为管芯测试属性；，Probing Die表示为管芯测试属性。
EG4000Map图管芯信息存储示意图如图3所示，数据存储特点是以行为单位进行存储。它只记录有效管芯信息，首先记录每一行行头的X、Y坐标以及管芯个数，再依次将其BIN值罗列出来，然后按上述方法将下一行信息记录，直到最后一行信息记录完成。
其次，编写软件进行转换。
UF200的Map图文件存储坐标数据的方式可以描述为对圆形wafer的外切正方形内所有区域进行die尺寸的分解，产生最大行数乘以最大列数个的分解单元(其中包括实际管芯和虚拟管芯)，再将每个分解单元从左到右，从上到下的顺序逐一写进Map图文件中，信息主要包括X、Y坐标，是否测试及其结果(Not Tested/Pass Die/Fail Die)，测试结果BIN值，以及测试管芯属性等。
根据UF200提供的离散信息，将每个管芯的主要参数提取出来放到自定义模块数组中，然后对该数组中的管芯信息进行判断，提取从左到右第一个有效管芯的坐标，计算该行的有效管芯数量，并将属于同一行的有效管芯BIN值串联整合成EG4000所认可的行信息，并保存以备写入EG4000Map文件时调用；再依序将数组信息写入目标文件中，最后将指向文件以及路径设为EG4000探针台能够辨识输出的状态。
对一枚测试过的晶圆进行Map图转换，UF200原始Map图(由MapEditor V01.08软件读取)如图4所示。同一片wafer转换后的EG 4000Map图(由EG Map Magic V6.1软件读取)如图5所示。
对图4、图5进行对比，虽然两款探针台Map图显示软件在色彩显示上有所差异，但是转换前后的结果完全一致。

Claims (1)

1.一种用于UF200探针台到EG4000探针台的Map图转换方法，该方法对UF200探针台的Map图的信息进行提取，然后按照EG4000探针台的Map图格式进行写入，在生成新的EG4000探针台的Map图文件时根据其格式要求，从UF200探针台的Map图文件的头文件中筛选并补充UF200探针台的Map图文件不包含的信息，其特征在于包括如下步骤：
采用十六进制模式打开UF200探针台的Map图文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个管芯的主要参数提取出来放到自定义模块数组中，所述主要参数包括：管芯的X、Y坐标、是否测试及其测试结果、测试结果BIN值以及测试管芯属性；
对上述自定义模块数组中的管芯参数进行判断；
根据EG4000探针台的Map图的数据格式提取，从左到右第一个有效管芯的坐标，记录每一行行头的X、Y坐标以及有效管芯个数，并将属于同一行的有效管芯BIN值串联并保存以备写入EG4000探针台的Map文件时调用；
依序将根据EG4000探针台的Map图的数据格式提取的信息写入目标文件，最后将指向文件以及路径设为EG4000探针台能够辨识输出状态。
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