CN102315393A - 激光诱致热成像用膜的去除装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括：基板台，该基板台上设置有基板；辊单元，相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气从而将该供体薄膜从该基板上分离。

Description

激光诱致热成像用膜的去除装置
技术领域
本发明涉及一种激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)用膜的去除装置，尤其涉及一种将附着在基板上的激光诱致热成像(LITI)用膜稳定地去除的装置。
背景技术
在平板显示器中，有机电致发光显示器的优点在于，无论尺寸如何，其均可作为运动图像的显示介质，因为有机电致发光显示器的响应时间为1毫秒或更少，功耗低，并且由于是自发光的因而具有出色的视角。此外，由于有机电致发光显示器能够基于现有的半导体处理技术，利用简单的工艺，在低温下制造，因此，作为下一代平板显示器而颇具吸引力。
根据有机电致发光装置中使用的材料和工艺，有机电致发光显示器一般可分为采用湿法的聚合物型装置和采用沉积法的低分子量型装置。
但是，用于聚合物或低分子量发光层的成图法中，喷墨打印法存在的缺点在于，用于除发光层外的有机层的材料有限，且用于喷墨打印的结构必须形成在基板上。此外，采用沉积法对发光层成图时，由于使用了金属掩膜，因而难以制造大型显示装置。
作为这种成图法的代替技术，激光诱致热成像(Laser Induced ThermalImaging，LITI)法最近发展起来。
LITI法将光源发出的激光转变成热能，进而依次将成图材料转移到靶基板上，形成图形。
在LITI法中，供体薄膜覆盖作为受体的整个基板，供体薄膜和基板固定在平台上。此外，供体薄膜与基板通过层压处理进一步结合在一起，然后再进行激光成像，以形成图形。
应注意的是，上述说明仅用于理解背景技术，并不是对该领域内公知技术的说明。
常规地，在从基板上去除供体薄膜的处理中，供体薄膜会起皱，基板上的已成像部分会受到损坏。因此，需要解决该问题。
发明内容
本发明的一个方面在于提供一种通过根据辊子位置朝供体薄膜相继喷射空气从而将激光诱致热成像用供体膜从基板上稳定地去除的装置。
根据本发明的一个方面，提供了一种激光诱致热成像用膜的去除装置，包括：基板台，该基板台上设置有基板；辊单元，用于相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气。
所述喷射单元可以包括：穿过所述基板台的多个排气管；与该排气管连通的集气管；与该集气管连通的供气管；以及与该供气管连通并通过该供气管提供气动压的供气泵。
所述排气管可以围绕所述基板设置。
所述喷射单元可以根据所述辊单元的位置相继喷射空气。
附图说明
通过下文结合附图对实施例进行说明，可以清楚本发明的上述及其它方面、特征和优点，其中：
图1为根据本发明示例性实施例的激光诱致热成像(Laser Induced ThermalImaging，LITI)用膜的去除装置的示意图；
图2为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的示意图；
图3为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第一阶段喷射的示意图；
图4为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第二阶段喷射的示意图；
图5为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第三阶段喷射的示意图；以及
图6为根据本发明示例性实施例的所述装置的喷射单元的第四阶段喷射的示意图。
具体实施方式
现在将参考附图，详细地对本发明的实施例进行说明。应注意的是，附图并未按照精确的比例绘制，为方便描述和清楚起见，线条厚度或组件尺寸有可能被放大。此外，本中定义的术语考虑了本发明的功能，并可以根据使用者和操作人员的习惯或意图予以改变。因此，应根据本文所述的整个公开内容，来确定术语的含义。
图1为根据示例性实施例的激光诱致热成像(Laser Induced ThermalImaging，LITI)用膜的去除装置的示意图，图2为根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的示意图。
图3和图4分别示意性示出了根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的第一阶段和第二阶段喷射。
图5和图6分别示意性示出了根据示例性实施例的所述装置的喷射单元的第三阶段和第四阶段喷射。
参见图1和图2，根据实施例的装置1包括基板台10、辊单元20以及喷射单元30。
基板台10具有凹部，该凹部内设有基板11和供体薄膜件12。
基板台10水平移动。可以通过轮、导轨、长度可变的气缸或其他各种结构来移动基板台10。
将激光束照射到供体薄膜件12时，供体薄膜件12的光热转换层将该激光束转变成热能，从而在散热时膨胀。因此，有机层，即转移层，也会膨胀，并从供体薄膜件12上分离，从而在基板11上形成有机层。这里，已成图材料根据激光照射的方向附着到基板11上。
供体薄膜件12包括与激光反应的薄膜13以及与薄膜13边缘连接的托架14。
辊单元20压制供体薄膜件12。辊单元20包括一对连接板21和辊子22，连接板21连接到某个结构(图中未示出)。该对连接板21彼此分开，分开的距离即对应薄膜13的宽度。辊子22可旋转地设置在该对连接板21之间用于压制薄膜13。
喷射单元30设置于基板台10并在供体薄膜件12和基板11之间喷射空气。
喷射单元30包括排气管31、集气管32、供气管33以及供气泵34。
排气管31穿过基板台10。排气管31由多个管道构成，这些管道设置于与供体薄膜件12的薄膜13和托盘14之间的部分相对应的基板台10上的部分。
集气管32设置于基板台10，用于与相应的排气管31连通。
供气管33设置于基板台10，用于与集气管32连通。供气管33穿过运动单元38，运动单元38设置在基板台10上以便垂直运动。运动单元38向上运动时，基板11与薄膜13之间的空气被排出，基板11与薄膜13之间被排空。
供气泵34连接到供气管33。驱动供气泵34时，通过供气管33向排气管31施加气动压，这样薄膜13从基板11上分离。
排气管31围绕基板11设置，为基板11上的薄膜提供空气。
参见图3至图6，排气管31由多个管道构成，这些管道分成多个组a、b、c及d，从而相继执行喷射操作。
设置为多个组的排气管31根据辊单元20的位置相继喷射空气。
排气管31分别与集气管32连通，集气管32与单个供气管33连通，进而连接到供气泵34，或者集气管32与带有气路换向阀的单独的供气管33连通。
下面将说明激光诱致热成像用膜的去除装置的操作方法。
在辊子22压制薄膜13的状态下驱动供气泵34时，供气泵34产生的气动压通过供气管33和排气管31送往基板台10上侧，从而将薄膜13从基板11分离。
这里，辊子22在对应于薄膜13宽度的整个长度上压制薄膜13，以防止薄膜13由于气动压过大而起皱。
经排气管31排出的空气被喷射到基板11与薄膜13之间的空间，从而薄膜13从基板11上分离。
喷射单元31根据辊单元20的位置通过排气管31相继喷射空气，从而防止因薄膜13突然从基板上分离而导致薄膜受损。
即，通过a组的排气管31将空气喷射到薄膜13与基板11之间，从而将薄膜13从基板11上分离(见图3)。
在这种状态下，随着基板台10的移动，当辊子22经过b组的排气管31时，通过b组的排气管31将空气喷射到薄膜13与基板11之间，从而将薄膜13从基板11上分离(见图4)。
然后，随着基板台10的移动，当辊子22经过c组的排气管31时，通过c组的排气管31将空气喷射到薄膜13与基板11之间，从而将薄膜13从基板11上分离(见图5)。
最后，随着基板台10的移动，当辊子22接近d组的排气管31时，通过d组的排气管31将空气喷射到薄膜13与基板11之间，从而将薄膜13从基板11上分离(见图6)。
这里，接近d组排气管31的辊子22从薄膜13向上运动，从而消除施加到薄膜13上的压力。在辊子向上运动时，如果在薄膜13与基板11之间引入空气，则可以将薄膜从基板11上完全去除。
这样，根据实施例，激光诱致热成像用膜的去除装置通过喷射单元采用空气喷射法分离薄膜。
根据实施例，装置根据辊单元压制薄膜的位置通过喷射单元相继喷射空气，从而将薄膜从基板上稳定地分离。
尽管本发明中已经描述了一些实施例，但应当明白，这些实施例仅作为示例性用途，而不限制本发明的保护范围，并且在不背离本发明的精神和范围的前提下，本领域具有一般知识的人员可以进行各种修改、变更和替换，本发明的范围仅由所附的权利要求及其同等内容予以限制。

Claims (4)

1.一种激光诱致热成像用膜的去除装置，其特征在于，包括：
基板台，该基板台上设置有基板；
辊单元，用于相继压制设置在该基板台上的供体薄膜；以及
喷射单元，设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述喷射单元包括：穿过所述基板台的多个排气管；与该排气管连通的集气管；与该集气管连通的供气管；以及与该供气管连通并通过该供气管提供气动压的供气泵。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述排气管围绕所述基板设置。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述喷射单元根据所述辊单元的位置相继喷射空气。
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