KR20170113818A - 표시 장치의 제조장치 - Google Patents

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KR20170113818A
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Abstract

본 발명은 표시 장치의 제조장치를 개시한다. 본 발명은, 부재를 부양시키는 스테이지를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 스테이지는, 복수개의 유동홀이 형성된 메인바디부와, 상기 메인바디부에 착탈 가능하도록 결합하며, 상기 복수개의 유동홀 중 적어도 하나 이상과 연결되어 상기 유동홀로 기체를 공급하거나 상기 유동홀의 기체를 흡입하는 유로를 제공하는 연결블록과, 상기 연결블록이 내부에 삽입되며, 상기 메인바디부와 결합하는 지지바디부를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조장치{Apparatus for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 기판을 부양시키는 스테이지의 경우 기판을 부양시키기 위하여 기체를 분사하거나 기체를 흡입하는 구조가 형성될 수 있으나 스테이지와 일체로 형성됨으로써 이물질 등에 의해 기체의 흡입홀이나 기체의 분사홀이 막히는 경우 스테이지 전체를 교체하거나 스테이지 전체를 분해하여 수리하여야 하는 문제가 있으므로 본 발명의 실시예들은 스테이지를 용이하고 신속하게 교체 및 수리 가능한 표시 장치의 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 부재를 부양시키는 스테이지를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 스테이지는, 복수개의 유동홀이 형성된 메인바디부와, 상기 메인바디부에 착탈 가능하도록 결합하며, 상기 복수개의 유동홀 중 적어도 하나 이상과 연결되어 상기 유동홀로 기체를 공급하거나 상기 유동홀의 기체를 흡입하는 유로를 제공하는 연결블록과, 상기 연결블록이 내부에 삽입되며, 상기 메인바디부와 결합하는 지지바디부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 유동홀 중 일부가 제1 그룹을 형성하고, 상기 복수개의 유동홀 중 일부는 상기 제1 그룹과 상이한 제2 그룹을 형성하며, 상기 연결블록은 복수개 구비되어, 상기 각 연결블록은 상기 제1 그룹 및 상기 제2 그룹과 각각 연결될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 그룹 및 상기 제2 그룹 중 적어도 하나는 상기 부재의 이송 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 유동홀이 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 연결블록은 서로 분리 가능할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 유로의 압력을 측정하는 압력측정센서를 더 포함할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 압력측정센서에서 측정된 압력값을 근거로 상기 유동홀의 막힘 및 상기 유로의 막힘 중 적어도 하나의 막힘 여부를 판별하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 압력측정센서에서 측정된 압력값이 제1 압력 미만인 경우 상기 유로 및 상기 유동홀 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 압력측정센서에서 측정된 압력값이 제2 압력을 초과하는 경우 상기 유로 및 상기 유동홀 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 연결블록은, 상기 복수개의 유동홀 중 일부와 대응되도록 배치되어, 상기 유동홀을 통하여 기체를 흡입하는 흡입부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 연결블록은, 상기 복수개의 유동홀 중 일부와 대응되도록 배치되어, 상기 유동홀로 기체를 공급하는 노즐부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 유동홀은, 기체를 흡입하는 흡입홀과 기체를 분사하는 분사홀일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 흡입홀과 상기 분사홀은 서로 교번하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 부재의 이송 시 기체를 흡입하면서 상기 부재로 기체를 분사할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치는 제1 분사부 내지 제3 분사부가 막히거나 제1 흡입부 내지 제3 흡입부가 막히는 경우 외부로 신속하게 정보를 제공함으로써 신속하게 제1 분사부 내지 제3 분사부가 막히거나 제1 흡입부 내지 제3 흡입부의 수리 또는 교체를 진행할 수 있다.
특히 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치는 제1 분사부 내지 제3 분사부가 막히거나 제1 흡입부 내지 제3 흡입부가 막히는 등의 경우 막힌 부분이 있는 제1 연결블록, 제2 연결블록 또는 제3 연결블록을 교체함으로써 신속한 제조공정의 진행이 가능하다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치는 제1 연결블록 내지 제3 연결블록의 막힌 부분을 정확하게 확인 가능함으로써 교체나 수리 시 필요한 작업시간을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시에에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제2 스테이지의 제2 연결블록을 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시에에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 정면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 스테이지를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 스테이지(110), 압력측정센서(미도시), 기판이송부(130), 헤드지지부(140), 헤드부(150), 챔버(160), 스테이지압력조절부(미도시), 챔버압력조절부(180) 및 제어부(190)를 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 부재(미표기)를 부양시킬 수 있다. 이때, 스테이지(110)는 제1 스테이지(110a), 제2 스테이지(110b) 및 제3 스테이지(110c)를 포함할 수 있다.
상기 부재는 유기 발광 디스플레이 장치에 사용되는 필름, 기판, 디스플레이 기판(P)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 부재는 디스플레이 기판(P)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 있다. 또한, 디스플레이 기판(P)은 하기에서 설명한 표시 장치의 일부일 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(P)에 중간층, 또는 박막 봉지층 중 유기층을 형성할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판()에 박막 봉지층 중 유기층을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 스테이지(110a)는 디스플레이 기판(P)이 외부로부터 반입되어 배치될 수 있다. 이때, 제1 스테이지(110a)에는 디스플레이 기판(P)이 안착된 후 부양될 수 있다.
제2 스테이지(110b)는 디스플레이 기판(P)의 이송 시 디스플레이 기판(P)을 부양할 수 있다. 또한, 제3 스테이지(110c)는 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 도포한 후 디스플레이 기판(P)을 부양시킬 수 있다.
상기와 같은 제1 스테이지(110a) 내지 제3 스테이지(110c)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 스테이지(110b)에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
제2 스테이지(110b)는 제2 메인바디부(111b), 제2 연결블록(112b) 및 제2 지지바디부(113b)를 포함할 수 있다. 제2 메인바디부(111b)는 플레이트로 형태로 형성될 수 있으며, 제2 메인바디부(111b)를 관통하도록 제2 유동홀(114b)이 형성될 수 있다. 이때, 제2 유동홀(114b)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제2 유동홀(114b)은 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
복수개의 제2 유동홀(114b)은 제2 분사홀(114b-1)과 제2 흡입홀(114b-2)을 포함할 수 있다. 이때, 제2 분사홀(114b-1)을 통하여 기체가 분사될 수 있으며, 제2 흡입홀(114b-2)을 통하여 기체가 흡입될 수 있다.
제2 분사홀(114b-1)과 제2 흡입홀(114b-2)은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제2 분사홀(114b-1)은 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 복수개의 제2 흡입홀(114b-2)은 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 제2 분사홀(114b-1)과 제2 흡입홀(114b-2)은 서로 교번하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2 분사홀(114b-1)과 제2 흡입홀(114b-2)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)으로 서로 교번하도록 배치될 수 있다. 또한, 제2 분사홀(114b-1)과 제2 흡입홀(114b-2)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 대해서 수직한 방향으로 서로 교번하도록 배치될 수 있다.
제2 연결블록(112b)은 제2 분사홀(114b-1)과 연결되는 제2 분사부(112b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2)과 연결되는 제2 흡입부(112b-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 연결블록(112b)은 제2 메인바디부(111b)와 착탈 가능하도록 제2 메인바디부(111b)에 설치될 수 있다.
일 실시예로써 상기와 같은 제2 연결블록(112b)은 복수개의 제2 유동홀(114b) 전부와 연결되도록 하나가 구비될 수 있다. 이때, 제2 연결블록(112b)의 내부에는 복수개의 제2 분사홀(114b-1)과 연결되는 제2 공급유로와, 복수개의 제2 흡입홀(114b-2)과 연결되는 제2 흡입유로가 형성될 수 있다. 또한, 제2 연결블록(112b)은 복수개의 제2 분사홀(114b-1)과 연결되는 제2 공급유로, 제2 분사홀(114b-1)에 대응되도록 배치되어 제2 공급유로와 연결되는 제2 분사노즐, 복수개의 제2 흡입홀(114b-2)과 연결되는 제2 흡입유로 및 제2 흡입홀(114b-2)과 대응되도록 배치되어 제2 흡입노즐과 연결되는 제2 흡입노즐을 포함할 수 있다.
다른 실시예로써 제2 연결블록(112b)은 복수개의 제2 유동홀(114b) 중 일부와 연결되도록 복수개 구비될 수 있다. 특히 복수개의 제2 유동홀(114b)의 일부는 제1 그룹을 형성하고, 복수개의 제2 유동홀(114b) 중 다른 일부는 제2 그룹을 형성할 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제2 유동홀(114b) 중 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 수직하게 1열로 배열되는 제2 유동홀(114b)이 제1 그룹을 형성하고, 제1 그룹과 인접하도록 다른 열로 배열되는 제2 유동홀(114b)은 제2 그룹을 형성할 수 있다. 이러한 경우 제1 그룹 및 제2 그룹 중 적어도 하나의 그룹을 형성하는 제2 유동홀(114b)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 대해서 일정 각도로 배열될 수 있다. 특히 제1 그룹 및 제2 그룹 중 적어도 하나의 그룹을 형성하는 제2 유동홀(114b)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 대해서 수직하게 배열될 수 있다.
복수개의 제2 연결블록(112b) 중 하나는 제1 그룹과 연결될 수 있으며, 복수개의 제2 연결블록(112b) 중 다른 하나는 제2 그룹과 연결될 수 있다. 특히 복수개의 제2 연결블록(112b)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 대해서 일렬로 배치되어 서로 분리 가능하도록 배치될 수 있다. 하나의 제2 연결블록(112b)에는 일렬로 배열되는 제2 분사홀(114b-1)과 연결되는 하나의 제2 분사부(112b-1)와 일렬로 배열되는 제2 흡입홀(114b-2)과 연결되는 하나의 제2 흡입부(112b-2)가 형성되거나 설치될 수 있다. 이때, 제2 분사부(112b-1)는 하나의 그룹을 형성하는 제2 유동홀(114b) 중 제2 분사홀(114b-1)과 대응되도록 배치되는 복수개의 제2 분사노즐(112b-1b)과 복수개의 제2 분사노즐(112b-1b)과 연결되는 적어도 하나 이상의 제2 공급유로(112b-1a)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 흡입부(112b-2)는 하나의 그룹을 형성하는 제2 유동홀(114b) 중 제2 흡입홀(114b-2)과 대응되도록 배치되는 복수개의 제2 흡입노즐(112b-2b)과 복수개의 제2 흡입노즐(112b-2b)과 연결되는 적어도 하나 이상의 제2 흡입유로(112b-2a)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 공급유로(112b-1a)와 제2 흡입유로(112b-2a)는 서로 분리되도록 형성될 수 있다.
또 다른 실시예로써 제2 연결블록(112b)은 각 제2 유동홀(114b)과 대응되도록 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제2 연결블록(112b) 중 하나가 제2 분사부(112b-1) 또는 제2 흡입부(112b-2)만 형성되거나 설치될 수 있다. 이러한 경우 하나의 제2 연결블록(112b)은 하나의 제2 분사홀(114b-1) 또는 하나의 제2 흡입홀(114b-2)과 대응되도록 배치될 수 있다. 특히 제2 분사홀(114b-1)과 대응되도록 배치되는 하나의 제2 연결블록(112b)은 하나의 제2 분사홀(114b-1)로 기체를 공급하는 제2 공급유로와 제2 공급유로와 연결되는 제2 분사노즐을 포함할 수 있다. 하나의 제2 흡입홀(114b-2)과 대응되도록 배치되는 다른 하나의 제2 연결블록(112b)은 제2 흡입홀(114b-2)에서 흡입된 기체가 이동하는 제2 흡입유로와, 제2 흡입유로와 연결되는 제2 흡입노즐을 포함할 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 연결블록(112b)이 복수개의 제2 유동홀(114b) 중 일부와 연결되도록 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 특히 제2 연결블록(112b)은 복수개의 제2 공급유로(112b-1a), 복수개의 제2 분사노즐(112b-1b), 복수개의 제2 흡입유로(112b-2a) 및 복수개의 제2 흡입노즐(112b-2b)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제2 연결블록(112b)은 제2 메인바디부(111b)와 다양한 방법으로 결합할 수 있다. 예를 들면, 제2 연결블록(112b)은 제2 메인바디부(111b)와 볼트, 나사 등을 통하여 결합할 수 있다. 다른 실시예로써 제2 연결블록(112b) 또는 제2 메인바디부(111b) 중 하나에는 삽입돌기가 형성되고, 제2 연결블록(112b) 또는 제2 메인바디부(111b) 중 다른 하나에는 상기 삽입돌기가 삽입되는 삽입돌기삽입홈이 형성되어 결합되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2 연결블록(112b) 및 제2 메인바디부(111b)는 클램프 등이 구비되어 서로 결합하는 것도 가능하다. 이때, 제2 연결블록(112b) 및 제2 메인바디부(111b)의 결합 방법은 상기에 한정되는 것은 아니며, 제2 연결블록(112b) 및 제2 메인바디부(111b)를 결합할 수 있는 모든 장치 및 모든 구조를 통하여 결합하는 방법을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 연결블록(112b) 및 제2 메인바디부(111b)는 볼트를 통하여 결합하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 그룹을 형성하는 복수개의 제2 유동홀(114b) 중 일부는 일렬로 배열될 수 있다. 이때, 일렬로 배열되는 복수개의 제2 유동홀(114b)은 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)에 대해서 수직하게 배치될 수 있다.
제2 연결블록(112b)과 제2 메인바디부(111b) 사이에는 제2 쿠션부(115b)가 설치될 수 있다. 제2 쿠션부(115b)는 제2 연결블록(112b)과 제2 메인바디부(111b)에서 발생하는 충격을 흡수하며, 제2 연결블록(112b)과 제2 메인바디부(111b)의 상대 이동을 방지할 수 있다. 또한, 제2 쿠션부(115b)는 제2 연결블록(112b) 및 제2 메인바디부(111b)에서 발생하는 진동을 흡수할 수 있다. 이때, 제2 쿠션부(115b)는 불소수지인 PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene)를 포함할 수 있다.
제2 지지바디부(113b)는 제2 메인바디부(111b)와 결합하여 제2 연결블록(112b)을 외부로부터 차폐할 수 있다. 예를 들면, 제2 지지바디부(113b)는 제2 메인바디부(111b)와 나사, 볼트 등으로 결합할 수 있다. 다른 실시예로써 제2 지지바디부(113b)는 제2 메인바디부(111b)와 돌기 및 돌기삽입홈을 통하여 결합할 수 잇다. 또 다른 실시예로써 제2 지지바디부(113b)는 제2 메인바디부(111b)와 클램프, 핀 등을 통하여 결합하는 것도 가능하다.
상기와 같은 제2 지지바디부(113b)에는 제2 분사부(112b-1)로 기체를 안내하는 유로와, 제2 흡입부(112b-2)를 이동하는 기체를 안내하는 유로가 형성될 수 있다. 이때, 제2 분사부(112b-1)로 기체를 안내하는 유로와 제2 흡입부(112b-2)를 이동하는 기체를 안내하는 유로는 서로 분리되도록 제2 지지바디부(113b)에 형성될 수 있다.
상기 압력측정센서는 스테이지(110)에 공급되는 기체의 압력을 측정하거나 스테이지(110)로부터 흡입되는 기체의 압력을 측정할 수 있다. 이때, 상기 압력측정센서는 제1 압력측정센서(미도시), 제2 압력측정센서(120b) 및 제3 압력측정센서(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1 압력측정센서 내지 상기 제3 압력측정센서는 서로 동일 또는 유사하게 형성될 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 압력측정센서(120b)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 압력측정센서(120b)는 제2 연결블록(112b) 중 제2 분사부(112b-1)에 연결되는 제2 분사압력측정센서(120b-1) 및 제2 연결블록(112b) 중 제2 흡입부(112b-2)에 연결되는 제2 흡입압력측정센서(120b-2)를 포함할 수 있다.
제2 분사압력측정센서(120b-1)는 제2 공급유로(112b-1a)와 연결되거나 제2 공급유로(112b-1a)로 기체가 공급되는 유로 상에 배치되어 제2 공급유로(112b-1a)로 공급되는 기체의 압력을 측정할 수 있다. 또한, 제2 흡입압력측정센서(120b-2)는 제2 흡입유로(112b-2a)와 연결되거나 제2 흡입유로(112b-2a)의 기체가 이동하는 유로 상에 배치되어 제2 흡입유로(112b-2a)를 이동하는 기체의 압력을 측정할 수 있다.
기판이송부(130)는 스테이지(110)에 인접하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 기판이송부(130)는 스테이지(110)의 측면 또는 스테이지(110)의 상면에 배치될 수 있다.
기판이송부(130)는 스테이지(110)를 통하여 부양된 디스플레이 기판(P)을 스테이지(110)의 길이 방향으로 이송시킬 수 있다. 이때, 기판이송부(130)는 디스플레이 기판(P)의 일부를 파지하거나 지지하는 기판지지부(131) 및 기판지지부(131)를 이동시키는 구동부(132)를 포함할 수 있다.
기판지지부(131)는 점착척, 정전척 또는 클램프 등을 포함할 수 있다. 또한, 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 선형 운동시키는 장치일 수 있다. 이때, 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되는 볼스크류 및 볼스크류와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 구동부(132)는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 구동부(132)는 기판지지부(131)와 연결되는 실린더 및 기판지지부(131)가 연결되어 기판지지부(131)의 운동을 가이드하는 리너이모션가이드를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 구동부(132)는 기판지지부(131)가 연결되는 자기부상베어링 또는 에어베어링 및 기판지지부(131)와 연결되어 기판지지부(131)를 운동시키는 리니어 모터를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 구동부(132)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 기판지지부(131)를 선형 운동시키는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다.
헤드지지부(140)는 스테이지(110)의 일면에 헤드부(150)를 배치할 수 있다. 이때, 헤드지지부(140)는 고정되도록 외부에 설치되거나 디스플레이 기판(P)의 이송 방향(A)을 따라 선형 운동 가능하도록 외부에 설치되는 것도 가능하다. 특히 헤드지지부(140)가 선형 운동하는 경우 헤드지지부(140)를 이동시키는 별도의 선형구동부를 구비할 수 있다. 이때, 선형구동부는 상기에서 설명한 구동부(132)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 헤드지지부(140)가 외부에 고정되도록 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
헤드부(150)는 헤드지지부(140)에 설치될 수 있다. 이때, 헤드부(150)는 적어도 한 개 이상 구비될 수 있다. 또한, 헤드부(150)는 잉크젯 방식으로 디스플레이 기판(P)에 도포물질을 공급할 수 있다. 상기와 같은 도포물질은 단량체(Monomer)일 수 있으며, 디스플레이 기판(P)을 외부의 수분이나 산소로부터 차단시키는 봉지 박막을 형성하는 물질일 수 있다. 상기와 같은 헤드부(150)는 헤드지지부(140) 상에서 선형 운동할 수 있다. 이때, 헤드지지부(140)에는 헤드부(150)를 선형 운동시키는 별도의 구동부가 설치될 수 있다.
상기와 같은 헤드부(150)는 도포물질을 공급받는 도포물질공급부(미도시)와 연결될 수 있다. 이때, 상기 도포물질공급부는 헤드부(150) 내부에 배치되거나 챔버(160) 내부 또는 챔버(160) 외부 등에 배치되어 헤드부(150)에 연결되는 것도 가능하다.
챔버(160)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 챔버(160) 내부의 공간에는 스테이지(110), 기판이송부(130), 헤드지지부(140) 및 헤드부(150) 등이 배치될 수 있다. 이때, 챔버(160)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있으며, 챔버(160)에는 개구된 부분을 개폐하는 게이트밸브(160a)가 설치될 수 있다.
스테이지압력조절부(170)는 제1 연결블록(미도시) 내지 제3 연결블록(미도시) 중 적어도 하나와 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 스테이지압력조절부(170)는 상기 제1 연결블록 내지 상기 제3 연결블록과 각각 개별적으로 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
스테이지압력조절부(170)는 상기 제1 연결블록과 연결되는 제1 스테이지압력조절부(170a), 제2 연결블록(112b)과 연결되는 제2 스테이지압력조절부(170b) 및 상기 제3 연결블록과 연결되는 제3 스테이지압력조절부(170c)를 포함할 수 있다.
제1 스테이지압력조절부(170a) 내지 제3 스테이지압력조절부(170c) 각각은 하나가 구비되어 복수개의 상기 제1 연결블록 내지 복수개의 상기 제3 연결블록과 각각 연결될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 스테이지압력조절부(170a) 내지 제3 스테이지압력조절부(170c)는 각각 복수개 구비되어 각 상기 제1 연결블록 내지 각 상기 제3 연결블록과 각각 연결되는 것도 가능하다. 예를 들면, 제1 스테이지압력조절부(170a) 내지 제3 스테이지압력조절부(170c) 각각은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 스테이지압력조절부(170a)는 각 상기 제1 연결블록과 연결될 수 있다. 또한, 복수개의 제2 스테이지압력조절부(170b)는 각 제2 연결블록(112b)과 연결될 수 있다. 복수개의 제3 스테이지압력조절부(170c)는 각 상기 제3 연결블록과 연결될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 스테이지압력조절부(170a) 내지 제3 스테이지압력조절부(170c)는 하나씩 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 스테이지압력조절부(170b)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 스테이지압력조절부(170b)는 제2 분사부(112b-1)와 연결되는 제2 분사압력조절부(171b) 및 제2 흡입부(112b-2)와 연결되는 제2 흡입압력조절부(172b)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 분사압력조절부(171b)는 제2 분사부(112b-1)와 연결되는 제2 기체공급배관(171b-1) 및 제2 기체공급배관(171b-1)에 설치되는 제2 기체공급펌프(171b-2)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 흡입압력조절부(172b)는 제2 흡입부(112b-2)와 연결되는 제2 기체흡입배관(172b-1) 및 제2 기체흡입배관(172b-1)에 설치되는 제2 기체흡입펌프(172b-2)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 제2 분사압력조절부(171b) 및 제2 흡입압력조절부(172b)는 각각 하나만 구비되거나 복수개 구비될 수 있다. 구체적으로 제2 분사압력조절부(171b) 및 제2 흡입압력조절부(172b)가 각각 하나만 구비되는 경우 복수개의 제2 연결블록(112b)에 각각 연결될 수 있다. 반면, 제2 분사압력조절부(171b) 및 제2 흡입압력조절부(172b)가 복수개 구비되는 경우 각 제2 연결블록(112b)에 각 제2 분사압력조절부(171b) 및 각 제2 흡입압력조절부(172b)가 개별적으로 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개이 제2 연결블록(112b)에 하나의 제2 분사압력조절부(171b) 및 하나의 제2 흡입압력조절부(172b)가 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
챔버압력조절부(180)는 챔버(160)의 내부 압력을 조절할 수 있다. 이때, 챔버압력조절부(180)는 챔버(160)와 연결되는 연결배관(181) 및 연결배관(181)에 설치되는 챔버압력조절펌프(182)를 포함할 수 있다.
제어부(190)는 챔버(160)에 설치되거나 외부에 설치되어 챔버(160) 내부의 장치와 연결될 수 있다. 이때, 제어부(190)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제어부(190)는 일반적인 회로기판, 퍼스널 컴퓨터, 노트북 등을 포함할 수 있다. 또한, 제어부(190)는 PDA, 휴대폰 등과 같은 휴대용 단말기를 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동 방법을 살펴보면, 디스플레이 기판(P)을 제조한 상태로 챔버(160) 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)은 게이트밸브(160a)가 챔버(160)의 개구된 부분을 개방한 후 외부의 로봇암, 셔틀 등을 통하여 챔버(160) 내부로 장입될 수 있다.
상기와 같은 과정이 완료되면, 제1 스테이지(110a) 상에 디스플레이 기판(P)이 부양될 수 있다. 구체적으로 제어부(190)는 제1 분사압력조절부(171a) 및 제1 흡입압력조절부(172a)를 작동시킬 수 있다. 이때, 제1 분사압력조절부(171a)에서는 기체를 제1 분사부(미도시)로 공급할 수 있으며, 제1 흡입압력조절부(172a)는 제1 흡입부(미도시)의 기체를 흡입할 수 있다. 특히 제어부(190)는 제1 분사압력조절부(171a) 및 제1 흡입압력조절부(172a)를 동시에 작동시킴으로써 디스플레이 기판(P)에 기체를 공급하면서 디스플레이 기판(P)과 제1 스테이지(110a) 사이의 기체를 흡입할 수 있다.
상기와 같이 제1 분사압력조절부(171a) 및 제1 흡입압력조절부(172a)가 작동하면, 제1 분사홀(미표기)을 통하여 기체가 디스플레이 기판(P) 측으로 분사될 수 있으며, 제1 흡입홀(미표기)을 통하여 디스플레이 기판(P)과 제1 스테이지(110a) 사이의 기체가 흡입될 수 있다. 이러한 경우 상기 제1 분사홀을 통하여 기체를 분사하면서 상기 제1 흡입홀을 통하여 기체를 흡입함으로써 디스플레이 기판(P)을 부양하는 기체의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 과정이 진행되는 동안 기판지지부(131)는 디스플레이 기판(P)의 일부를 파지할 수 있다. 기판지지부(131)의 파지가 완료되면, 제어부(190)는 구동부(132)를 작동시켜 디스플레이 기판(P)을 제1 스테이지(110a)에서 제2 스테이지(110b)로 이송시킬 수 있다.
디스플레이 기판(P)이 제1 스테이지(110a)에서 제2 스테이지(110b)로 이송되는 동안 제어부(190)는 제2 분사압력조절부(171b) 및 제2 흡입압력조절부(172b)를 작동시킬 수 있다. 이때, 제2 분사부(112b-1)에서는 기체를 디스플레이 기판(P)으로 분사하며, 제2 흡입부(112b-2)는 기체를 흡입할 수 있다. 특히 이러한 경우 디스플레이 기판(P)과 제2 스테이지(110b) 사이에는 일정한 압력이 형성됨으로써 디스플레이 기판(P)과 제2 메인바디부(111b) 사이의 간격이 일정한 상태를 유지시킬 수 있다.
디스플레이 기판(P)이 헤드부(150)의 하면에 배치되면, 제어부(190)는 헤드부(150) 및 구동부(132)를 작동시켜 디스플레이 기판(P) 상에 도포물질을 도포할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 디스플레이 기판(P)이 헤드부(150) 하면에서 선형 운동, 특히 왕복 운동을 수행하도록 구동부(132)를 제어할 수 있다.
상기와 같이 도포물질을 디스플레이 기판(P)에 도포하는 경우 도포물질이 디스플레이 기판(P)이 아닌 부분으로 낙하하거나 헤드부(150)에 맺혔던 도포물질이 디스플레이 기판(P)이 이동한 후 낙하하는 등의 원인으로 제2 스테이지(110b)로 떨어질 수 있다. 이러한 경우 제2 스테이지(110b)의 제2 분사홀(114b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2) 중 적어도 하나가 막히거나 제2 분사홀(114b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2) 중 적어도 하나를 통과하여 제2 연결블록(112b)에 묻을 수 있다. 특히 상기와 같이 제2 분사홀(114b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2) 중 적어도 하나가 막히는 경우 제2 스테이지(110b)의 일부분에서 디스플레이 기판(P)을 부양시키는 부양력이 다른 부분과 상이해짐으로써 디스플레이 기판(P)이 기울어지거나 디스플레이 기판(P)의 일부가 쳐지는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 제2 연결블록(112b)으로 도포물질이 낙하하는 경우 제2 분사노즐(112b-1b) 및 제2 흡입노즐(112b-2b) 중 적어도 하나를 막음으로써 상기와 같은 문제가 발생할 수 있다.
상기와 같이 디스플레이 기판(P)에 도포물질이 도포되는 경우 제2 분사압력측정센서(120b-1) 및 제2 흡입압력측정센서(120b-2)는 제2 분사부(112b-1) 및 제2 흡입부(112b-2)의 압력을 측정하여 제어부(190)로 전송할 수 있다.
구체적으로 제2 분사압력측정센서(120b-1)는 제2 공급유로(112b-1a) 상에 배치되어 제2 공급유로(112b-1a)의 압력을 측정할 수 있다. 이때, 제2 분사압력측정센서(120b-1)에서 측정된 압력은 제어부(190)로 전송될 수 있다.
제어부(190)는 제2 분사압력측정센서(120b-1)에서 측정된 압력이 기 설정된 제1 압력 이상이면서 제2 압력 이하인 경우 제2 분사부(112b-1)가 막히지 않은 것으로 판단할 수 있다. 그러나 제2 분사압력측정센서(120b-1)에서 측정된 압력이 기 설정된 제1 압력 미만이거나 제2 압력을 초과하는 경우 제어부(190)는 제2 분사부(112b-1)가 막힌 것으로 판단할 수 있다. 이때, 제2 분사부(112b-1)가 막힌 것으로 판단되면, 제어부(190)는 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 중지시킬 수 있다. 또한, 제어부(190)는 별도로 구비된 알람부(191)를 통하여 외부의 사용자에게 제2 분사부(112b-1)가 막힌 것을 알릴 수 있다. 이때, 알람부(191)는 소리, 이미지, 광 등을 통하여 외부로 정보를 전달할 수 있다.
상기와 같은 과정이 진행되는 동안, 제2 흡입압력측정센서(120b-2)에서 측정된 압력도 제어부(190)로 전송될 수 있다. 이때, 제2 흡입압력측정센서(120b-2)에서 측정된 압력이 기 설정된 제3 압력 이상 내지 제4 압력 이하인 것으로 판단되면, 제어부(190)는 제2 흡입부(112b-2)가 막히지 않은 것으로 판단할 수 있다. 반면, 제2 흡입압력측정센서(120b-2)에서 측정된 압력이 기 설정된 제3 압력을 초과하거나 제4 압력 미만인 것으로 판단되면, 제어부(190)는 제2 흡입부(112b-2)가 막힌 것으로 판단하고 상기와 같이 제어할 수 있다.
상기와 같이 제2 분사부(112b-1) 및 제2 흡입부(112b-2) 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단되면, 제2 메인바디부(111b)로부터 제2 지지바디부(113b)를 분리한 후 제2 연결블록(112b)을 제2 메인바디부(111b)로부터 분리할 수 있다. 이때, 제2 메인바디부(111b)의 제2 분사홀(114b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2) 중 적어도 하나가 막힌 것으로 확인되면, 제2 연결블록(112b)을 분리한 상태에서 막힌 제2 분사홀(114b-1) 및 제2 흡입홀(114b-2) 중 적어도 하나에 기체를 분사함으로써 막힌 부분을 해소할 수 있다. 또한, 제2 연결블록(112b)의 제2 분사부(112b-1) 및 제2 흡입부(112b-2) 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단되면, 새로운 제2 연결블록(112b)으로 교체하거나 막힌 제2 공급유로(112b-1a) 또는 제2 흡입유로(112b-2a)에 기체를 공급하거나 제2 공급유로(112b-1a) 또는 제2 흡입유로(112b-2a) 내부의 기체를 흡입함으로써 제2 분사노즐(112b-1b), 제2 흡입노즐(112b-2b), 제2 공급유로(112b-1a) 또는 제2 흡입유로(112b-2a) 내부의 도포물질을 제거할 수 있다.
제2 공급유로(112b-1a)와 제2 흡입유로(112b-2a)가 막히지 않은 것으로 판단되면, 제어부(190)는 표시 장치의 제조장치(100)를 지속적으로 작동시킬 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)에 정해지 양만큼 도포물질의 도포가 완료되면, 디스플레이 기판(P) 상의 도포물질을 디스플레이 기판(P) 상에 균일하게 분산시킨 후 UV 또는 열에너지 등을 통하여 굳힐 수 있다.
이후 제어부(190)는 디스플레이 기판(P)을 제2 스테이지(110b)로부터 제3 스테이지(110c)로 이동시키도록 구동부(132)를 제어할 수 있다. 이때, 제어부(190)는 제3 스테이지압력조절부(170c)를 통하여 제3 스테이지(110c) 상에 디스플레이 기판(P)을 부양시킬 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 도포물질이 도포된 디스플레이 기판(P)은 제3 스테이지(110c) 상에 부양된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 챔버(160) 외부 또는 내부에 배치된 로봇암 또는 셔틀 등을 통하여 챔버(160) 외부로 디스플레이 기판(P)을 인출할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 상기 제1 분사부 내지 제3 분사부(미도시)가 막히거나 상기 제1 흡입부 내지 제3 흡입부(미도시)가 막히는 경우 외부로 신속하게 정보를 제공함으로써 신속하게 상기 제1 분사부 내지 상기 제3 분사부가 막히거나 상기 제1 흡입부 내지 상기 제3 흡입부의 수리를 진행할 수 있다.
특히 표시 장치의 제조장치(100)는 상기 제1 분사부 내지 상기 제3 분사부가 막히거나 상기 제1 흡입부 내지 상기 제3 흡입부가 막히는 등의 경우 막힌 부분이 있는 상기 제1 연결블록, 제2 연결블록(112b) 또는 상기 제3 연결블록을 교체함으로써 신속한 제조공정의 진행이 가능하다.
또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 상기 제1 연결블록 내지 상기 제3 연결블록의 막힌 부분을 정확하게 확인 가능함으로써 교체나 수리 시 필요한 작업시간을 단축할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100)는 상기 제1 연결블록 내지 상기 제3 연결블록 중 적어도 하나가 고장나는 경우 고장난 부분의 상기 제1 지지바디부 내지 상기 제3 지지바디부 중 적어도 하나를 분리한 후 상기 제1 연결블록 내지 상기 제3 연결블록을 교체하는 것이 가능하므로 제1 스테이지(110a) 내지 제3 스테이지(110c) 중 적어도 하나를 완전히 분해하거나 전체를 교체하지 않아도 되므로 간편한 수리가 가능하다.
도 5는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상의 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 표시부(미표기)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E)의 일부를 포함할 수 있다.
기판(21) 상에 다양한 층이 적층되어 형성될 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 표시부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 표시부(D)는 박막 트랜지스터(TFT)가 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23a)과 드레인 영역(23b)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23b)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27a) 및 드레인 전극(27b)을 각각 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28a)이 형성된다. 이 화소 전극(28a)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28a) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28a)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28a) 상에 중간층(28b) 및 대향 전극(28c)이 형성된다.
화소 전극(28a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)은 상기 중간층(28b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28b)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기막들을 포함하거나, 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기막은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기막은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기막은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기막은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기막으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기막 사이에 적어도 하나의 유기막이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기막 사이에 적어도 하나의 무기막이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기막 사이에 적어도 하나의 유기막이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기막 사이에 적어도 하나의 무기막이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막, 제2 유기막, 제3 무기막을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기막, 제1 유기막, 제2 무기막, 상기 제2 유기막, 제3 무기막, 제3 유기막, 제4 무기막을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기막 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기막을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기막은 제2 무기막 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기막도 제3 무기막 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같은 유기막을 형성하는 경우 도 1 내지 도 4에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 사용할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E) 중 무기막을 포함할 수 있다. 또한, 경우에 따라서 디스플레이 기판(P)는 기판(21), 상기 표시부 및 박막 봉지층(E) 중 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 이러한 경우 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 통하여 형성되는 유기막은 디스플레이 기판(P)의 최상층인 무기막 상에 배치될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치
21: 기판
28: 유기 발광 소자
100: 표시 장치의 제조장치
110: 스테이지
130: 기판이송부
140: 헤드지지부
150: 헤드부
160: 챔버
170: 스테이지압력조절부
180: 챔버압력조절부
190: 제어부
191: 알람부

Claims (13)

  1. 부재를 부양시키는 스테이지를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서,
    상기 스테이지는,
    복수개의 유동홀이 형성된 메인바디부;
    상기 메인바디부에 착탈 가능하도록 결합하며, 상기 복수개의 유동홀 중 적어도 하나 이상과 연결되어 상기 유동홀로 기체를 공급하거나 상기 유동홀의 기체를 흡입하는 유로를 제공하는 연결블록; 및
    상기 연결블록이 내부에 삽입되며, 상기 메인바디부와 결합하는 지지바디부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 유동홀 중 일부가 제1 그룹을 형성하고, 상기 복수개의 유동홀 중 일부는 상기 제1 그룹과 상이한 제2 그룹을 형성하며,
    상기 연결블록은 복수개 구비되어,
    상기 각 연결블록은 상기 제1 그룹 및 상기 제2 그룹과 각각 연결되는 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 그룹 및 상기 제2 그룹 중 적어도 하나는 상기 부재의 이송 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 유동홀이 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수개의 연결블록은 서로 분리 가능한 표시 장치의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유로의 압력을 측정하는 압력측정센서;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 압력측정센서에서 측정된 압력값을 근거로 상기 유동홀의 막힘 및 상기 유로의 막힘 중 적어도 하나의 막힘 여부를 판별하는 제어부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 압력측정센서에서 측정된 압력값이 제1 압력 미만인 경우 상기 유로 및 상기 유동홀 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단하는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 압력측정센서에서 측정된 압력값이 제2 압력을 초과하는 경우 상기 유로 및 상기 유동홀 중 적어도 하나가 막힌 것으로 판단하는 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결블록은,
    상기 복수개의 유동홀 중 일부와 대응되도록 배치되어, 상기 유동홀을 통하여 기체를 흡입하는 흡입부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결블록은,
    상기 복수개의 유동홀 중 일부와 대응되도록 배치되어, 상기 유동홀로 기체를 공급하는 노즐부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 유동홀은, 기체를 흡입하는 흡입홀과 기체를 분사하는 분사홀인 표시 장치의 제조장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 흡입홀과 상기 분사홀은 서로 교번하도록 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 부재의 이송 시 기체를 흡입하면서 상기 부재로 기체를 분사하는 표시 장치의 제조장치.
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