CN102286725A - 一种新型可调基片输送辊装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种新型可调基片输送辊装置，空间位置可调，能保证其刚性和可靠性，本装置设有阶梯轴，阶梯轴外围设有轴承座，轴承座为偏心结构，阶梯轴通过轴承座固定于真空腔墙体上，轴承座的安装孔的中心线与真空腔墙体的中心线偏离0.5～1mm，阶梯轴真空室内的一端的光轴段上套接有传送辊，传送辊通过传送键卡接阶梯轴，传送辊的两侧均设有一组螺母，阶梯轴的光轴段端部具有细牙螺纹，阶梯轴真空室外的一端套接有同步带轮，同步带轮通过传送键卡接阶梯轴；本发明不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使设备制造成本降低，能在轴向和径向上可调，保证调整精度。

Description

一种新型可调基片输送辊装置

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜设备中用来支撑并输送设备中各基片架的传动装置，特别涉及一种新型可调基片输送辊装置。

背景技术

在大面积磁控溅射镀膜设备中，有若干个支撑基片的基片架，每个基片架夹持基片后重量在几十到一百公斤之间，为了确保输送的可靠性和刚性，防止运行时产生“松动”现象造成不必要的损失，因此在设计基片架的支撑、输送装置时将该装置的输送辊设计成了固定不可调整的结构形式，即输送辊轴向和径向位置都是固定的，为了满足装配精度（这里主要指机器装配好后各个传送辊的中心连线的直线度），靠装置本身的加工精度和机器上输送装置安装孔位的加工精度来保证；但是，输送装置的装配精度仅靠装置安装孔位的加工精度和装置本身的加工精度来保证是不够的。

从现有的设备运行情况上看，输送基片时的噪音偏大，有时还有金属撞击的声音，机器的综合精度并不高；从影响机器的综合制造精度，尤其是直线度来讲，除了设备的加工精度和设备安装孔孔位的加工精度以外，机器各机箱的焊接变形，各机箱连接面和底平面的垂直度，各设备安装孔的等高，机箱各底座的高度差以及各底座支撑平面的倾斜误差等这些因素都会严重影响到各输送辊中心连线的直线度；此外，基片架要在整个长度上运行平稳，无噪音，至少要控制好每个箱体之间在联接后做到输送辊中心连线的直线度在0.1mm以内，这一技术指标按照镀膜工艺要求来讲是非常有必要的，尤其是在镀膜腔内，要求基片镀膜时尽可能平稳运行，因为输送辊的直线度误差引起基片微量的晃动会直接导致镀膜质量的下降。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的缺点，提供一种新型可调基片输送辊装置，其空间位置可调，能保证其刚性和可靠性，不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使设备制造成本降低。

为达上述目的，本发明提供的一种新型可调基片输送辊装置，采用以下的技术方案：本装置设有阶梯轴，所述阶梯轴外围设有轴承座，所述轴承座为偏心结构，所述阶梯轴通过轴承座固定于真空腔墙体上，所述阶梯轴真空室内一端的光轴段上套接有传送辊，所述光轴段设有传送键，所述传送辊通过传送键固定卡接阶梯轴，所述传送辊的两侧分别设有一组螺母；所述阶梯轴真空室外的一端套接有同步带轮，所述同步带轮通过传送键卡接阶梯轴，所述阶梯轴和轴承座之间设有套筒Ⅰ和套筒Ⅱ，所述套筒Ⅰ两侧均设有一组相对阶梯轴对称的轴承；所述套筒Ⅱ一侧设有相对阶梯轴对称的两组密封圈，所述套筒Ⅱ的另一侧设有相对阶梯轴对称的一组轴承。

进一步地，所述传送辊设有凹槽，所述凹槽用于传送圆轴动导轨，所述阶梯轴的光轴段端部具有细牙螺纹，所述螺母通过细牙螺纹锁紧传送辊。

进一步地，所述轴承座的安装孔的中心线与真空腔墙体的中心线偏离0.5～1mm，所述轴承座与真空腔墙体连接的安装法兰孔设计为圆弧形。

进一步地，所述轴承座两端部均设有轴承座端盖，所述轴承座端盖通过螺钉固定连接轴承座。

进一步地，所述轴承座真空室外的一端两侧外部设有冷却水管，所述冷却水管上设有接头体。

本发明的有益效果是：本发明空间位置可调，能保证其刚性和可靠性，不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使设备制造成本降低。所述传送辊能在轴向和径向上可调，细牙螺纹使得传送辊在轴上左右位置的调整过程中处于微调状态，保证调整精度。当装置左右旋转时，由于偏心作用，传送辊也随着轴的中心作上下运动，这样可达到传送辊在两个方向上进行调整的目的。

附图说明

图1所示为本发明整体结构剖视图。

图2所示为本发明图1中的A—A剖视图。

以下是本发明零部件符号标记说明：

阶梯轴1、轴承座2、传送辊3、传送键4、螺母5、套筒Ⅰ6、套筒Ⅱ7、真空腔墙体8、轴承9、密封圈10、同步带轮11、凹槽12、冷却水管13、接头体14、轴承座端盖15、圆轴动导轨16。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，解析本发明的优点与精神，藉由以下结合附图与具体实施方式对本发明的详述得到进一步的了解。

如说明书附图中图1所示，本发明设有阶梯轴1，所述阶梯轴1外围设有轴承座2，所述阶梯轴1通过轴承座2固定于真空腔墙体8上，所述轴承座2为偏心结构，即把装轴承座2安装孔的中心线和装于墙体中的外圆中心线分离，如说明书附图中图2所示，所述轴承座2的安装孔的中心线与真空腔墙体8的中心线偏离0.5～1mm；所述阶梯轴1真空室内的一端设有一阶梯，其大、小径端部具有细牙螺纹，所述阶梯轴1中小径的光轴段套接有传送辊3，所述传送辊3通过阶梯轴1上的传送键4固定卡接阶梯轴1；所述传送辊3的两侧均设有一组螺母5，由于传送辊3和光轴段通过传送键4处于固定卡合状态，同时用两组双螺母5锁紧，这保证了传送辊3的传送刚度和可靠性；所述阶梯轴1上的细牙螺纹使得传送辊3在阶梯轴1上左右位置的调整过程中处于微调状态，保证其调整精度。

所述阶梯轴1真空室外的一端套接有同步带轮11，所述同步带轮11通过阶梯轴1端部的传送键4卡接阶梯轴1，所述阶梯轴1和轴承座2之间设有套筒Ⅰ6和套筒Ⅱ7，所述套筒Ⅰ6两侧分别设有一组轴承9，套筒Ⅰ6每一侧的两轴承9对称设置于所述阶梯轴1的两侧，所述套筒Ⅱ7一侧设有相对阶梯轴1对称的两组密封圈10，两组密封圈10对称设置于所述阶梯轴1的两侧，所述套筒Ⅱ7的另一侧设有相对阶梯轴1对称的一组轴承9，两轴承9对称设置于所述阶梯轴1的两侧。

所述传送辊3上设有凹槽12，所述凹槽12用于传送圆轴动导轨16；所述轴承座2与真空腔墙体8的安装法兰孔设计为圆弧形，使本装置在墙体上安装时在一定的范围内转动；所述轴承座2两端部均设有轴承座端盖15，所述轴承座端盖15通过螺钉固定连接轴承座2；所述轴承座2真空室外的一端两侧外部设有冷却水管13，所述冷却水管13上设有接头体14。

综上所述，本发明通过螺钉安装于真空腔墙体8上，设有阶梯轴1，所述阶梯轴1外围设有轴承座2，所述轴承座2为偏心结构，所述轴承座2的安装孔的中心线与真空腔墙体8的中心线偏离0.5～1mm；所述轴承座2与真空腔墙体8连接的安装法兰孔设计为圆弧形，使本装置在墙体上安装时在一定的范围内转动；外部动力通过所述同步带轮11和阶梯轴1上的传动键带动阶梯轴1转动，所述阶梯轴1上的传送辊3在光轴段上传送键4的带动下也同步转动，进而使压在所述传送辊3凹槽12中的圆轴动导轨16作直线运动，圆轴动导轨16和基片架相连，故基片架也随之而动。

所述阶梯轴1上的细牙螺纹使得传送辊3在轴上左右位置的调整过程中处于微调状态，保证调整精度，由于传送辊3和光轴段通过传送键4处于固定卡接状态，同时用两组螺母5锁紧，保证了所述传送辊3的传送刚度和可靠性。

当本装置左右旋转时，由于轴承座2的偏心结构，传送辊3也随着阶梯轴1的中心作上下运动，这样就达到了传送辊3在水平和垂直方向上进行调整的目的，所述传送辊3调整范围制定为：轴向水平范围为0~3mm；上下垂直范围为0~2mm。

整机上几十个传送辊3的中心连线即水平连线的直线度高，其安装后的综合精度控制在0.1mm之内，确保传送辊3始终不会晃动，不仅可以提高基片的镀膜质量，还可以降低焊接、加工、装配等工序要求，使制造成本降低。

以上所述实施例仅表达了本发明的部分实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (5)

1.一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：本装置设有阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）外围设有轴承座（2），所述轴承座（2）为偏心结构，所述阶梯轴（1）通过轴承座（2）固定于真空腔墙体（8）上，所述阶梯轴（1）真空室内一端的光轴段上套接有传送辊（3），所述光轴段设有传送键（4），所述传送辊（3）通过传送键（4）固定卡接所述阶梯轴（1），所述传送辊（3）的两侧分别设有一组螺母（5）；所述阶梯轴（1）真空室外的一端套接有同步带轮（11），所述同步带轮（11）通过传送键（4）卡接阶梯轴（1），所述阶梯轴（1）和轴承座（2）之间设有套筒Ⅰ（6）和套筒Ⅱ（7），所述套筒Ⅰ（6）两侧分别设有一组相对阶梯轴（1）对称的轴承（9）；所述套筒Ⅱ（7）一侧设有相对阶梯轴（1）对称的两组密封圈（10），所述套筒Ⅱ（7）的另一侧设有相对阶梯轴（1）对称的一组轴承（9）。

2.根据权利要求1所述的一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：所述传送辊（3）设有凹槽（12），所述凹槽（12）用于传送圆轴动导轨（16），所述阶梯轴（1）的光轴段端部具有细牙螺纹，所述螺母（5）通过细牙螺纹锁紧传送辊（3）。

3.根据权利要求1所述的一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：所述轴承座（2）的安装孔的中心线与真空腔墙体（8）的中心线偏离0.5～1mm，所述轴承座（2）与真空腔墙体（8）连接的安装法兰孔设计为圆弧形。

4.根据权利要求1所述的一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：所述轴承座（2）两端部均设有轴承座端盖（15），所述轴承座端盖（15）通过螺钉固定连接轴承座（2）。

5.根据权利要求1所述的一种新型可调基片输送辊装置，其特征在于：所述轴承座（2）真空室外的一端两侧外部设有冷却水管（13），所述冷却水管（13）上设有接头体（14）。

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