CN102264544A - 对准台 - Google Patents

Abstract

本发明的对准台在基座（1）的上方配置保持作用有移动载荷的工件的台面（4a），在基座（1）与台面（4a）之间，在沿载荷移动方向（L）为交错配置的对应于台面（4a）的中央和四角部的部位上，夹装具备X、Y、θ的3个自由度的支撑单元（13）、和除了与支撑单元（13）同样的结构以外还具有一轴方向的滚珠丝杠直线运动机构（9）的驱动单元（14A、14B、14C、14D）。一方和另一方的对角位置的驱动单元（14A、14B和14C、14D）使滚珠丝杠直线运动机构（9）正交配置。通过由各驱动单元（14A、14C）、支撑单元（13）、各驱动单元（14B、14D）连续地承接一边沿载荷移动方向（L）移动一边经由工件作用在台面（4a）上的移动载荷，抑制台面（4a）的变形。

Description

对准台

技术领域

本发明涉及对准台，特别涉及具备X、Y、θ的3个自由度、用于进行承受移动载荷的工件的对准的对准台。

本申请基于2009年5月26日在日本提出申请的特愿2009－126034号主张优先权，这里引用其内容。

背景技术

近年来，作为将液晶显示器等的电极图案（导电图案）形成在需要的基板上的方法，提出来代替通过金属蒸镀膜的蚀刻等进行的微细加工而使用导电性膏作为印刷墨的印刷技术、例如使用凹版胶印印刷技术在基板上印刷形成电极图案的方法（例如，参照专利文献1、专利文献2）。

在将上述电极图案那样的精细的印刷图案胶印印刷到上述基板那样的平板状的印刷对象上的情况下，要求较高的印刷精度。因此，作为进行较高的印刷精度的胶印印刷的情况下的胶印印刷装置，使用与印刷对象同样的平板状的版的形式的平板印刷装置是有利的。

一般，在使用平板状的版和印刷对象实施胶印印刷的情况下，一边将旋转的橡皮辊以需要的接触压力相对于预先上墨的版推抵一边使其相对于该版相对移动。由此，从上述版向上述橡皮辊的表面转印（受理）墨。接着，在使该橡皮辊旋转的状态下，将其一边以需要的接触压力推抵在上述印刷对象上，一边相对于印刷对象相对移动。由此，从上述橡皮辊向印刷对象的表面再转印（印刷）墨，将上述版的印刷图案再现到上述印刷对象的表面上。

当将印刷对象依次替换为新的对象而进行印刷作业时，如果在各印刷对象中发生设置位置的位置偏差，则发生印刷位置的再现性下降的问题。

此外，版通过在印刷中使用而逐渐磨损（消耗）。因此，需要每隔需要的印刷次数或印刷时间而更换。此外，当进行叠印时需要版的更换。如果随着这样的版的更换而更换后的版的设置位置相对于更换前的版的设置位置发生位置偏差，则印刷位置的再现性下降。

如果发生上述那样的起因于印刷对象或版的设置位置的位置偏差的印刷位置的再现性的下降，则在胶印印刷电极图案那样的精细的印刷图案的情况下有可能不能满足所需的较高的印刷精度。

为了避免上述问题，可以考虑使在胶印印刷中使用的上述版或印刷对象保持在对准台上、对每个版及每个印刷对象在印刷作业开始前进行对准。通过该对准，将版或印刷对象的设置位置的位置偏差修正，提高位置的再现性，以使版或印刷对象对橡皮辊的接触位置每次都相同。由此，考虑能够提高从版经由橡皮辊印刷到印刷对象上的印刷图案的位置的再现性。

为了避免上述问题，还可以考虑使用对准台进行上述版或印刷对象的位置修正。如果使用对准台，则在发生了起因于设计误差等的现象、例如在旋转的橡皮辊的外周面的移动方向（与橡皮辊的轴心成直角的方向）、和将橡皮辊一边推抵在版或印刷对象上一边相对移动时的相对移动方向上发生倾斜或偏差的情况下，或者在橡皮辊上存在偏心、或者在以一定的旋转速度旋转的橡皮辊的圆周速度中发生变动的情况下，能够一边使橡皮辊对保持在对准台上的版或印刷对象接触、一边使版或印刷对象追随于橡皮辊的外周面上的接触部分的运动而移动。

在液晶显示器或半导体的制造工序中，需要确保层叠的部件及层的叠合精度。为此，作为用来进行工件的XY正交坐标平面上的配置、和旋转角度θ的对准的对准台，例如使用图8及图9所示那样的对准台。

图8及图9所示的对准台在固定侧的基座1的四角部分别设有1个支撑单元2和3个驱动单元3A、3B、3C。此外，在支撑单元2及各驱动单元3A、3B、3C的上侧，载置安装作为移动侧的台面4的四角部。

在支撑单元2上，以正交的姿势上下两级地重叠配置有由直线状的导轨6a、6b和可滑动地安装在导轨6a、6b上的导引块7a、7b构成的两个直线运动导引部5a和5b。在下级的直线运动导引部5a的导引块7a的上侧，安装着上级的直线运动导引部5b的导轨6b。进而，在上级的直线运动导引部5b的导引块7b的上侧，安装有能够在水平面内旋转的旋转轴承8。由此，能够以作为支撑单元2的下端部的下级直线运动导引部5a的导轨6a为基准，在作为支撑单元2的上端部的旋转轴承8的顶部得到X、Y、θ的3个自由度。

在支撑单元2中，下级直线运动导引部5a的导轨6a设置在基座1的对应的部位上。此外，在上述旋转轴承8的上侧，安装有上述台面4的对应的部位。

各驱动单元3A、3B、3C在与支撑单元2同样的结构中，与下级直线运动导引部5a的导轨6a平行地配置有由伺服马达10、连结在其输出轴上的丝杠轴11、和螺合在丝杠轴11上的螺母部件12构成的滚珠丝杠直线运动机构9。滚珠丝杠直线运动机构9的螺母部件12连结在下级直线运动导引部5a的导引块7a上。由此，通过由滚珠丝杠直线运动机构9的伺服马达10进行的上述丝杠轴11的正反转驱动，使上述螺母部件12沿着上述丝杠轴11的轴心方向移动，由此能够与该螺母部件12一体地使上述下级直线运动导引部5a的导引块7a沿着导轨6a的长度方向移动。

各驱动单元3A、3B、3C在基座1的分别对应的部位上设有下级直线运动导引部5a的导轨6a、和滚珠丝杠直线运动机构9。此外，在旋转轴承8的上侧，安装着上述台面4的对应的部位。此时，将各驱动单元3A、3B、3C中的两个驱动单元3A、3B的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向（驱动方向）设为X轴方向，将剩下的1个驱动单元3C的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向（驱动方向）设为Y轴方向，配置成各个驱动方向相互正交。

根据以上的对准台，通过适当调节由各驱动单元3A、3B及3C具备的滚珠丝杠直线运动机构9进行的下级直线运动导引部5a的导引块7a的位置的保持和移动、以及该导引块7a的移动方向和其移动量，能够组合进行上述台面4的X－Y平面内的水平位移、和旋转角度θ的旋转位移。由此，能够对保持在上述台面4上的对准对象的未图示的工件进行X、Y、θ的3轴方向的对准（例如参照非专利文献1）。

专利文献1 ：日本特许第2797567号公报，

专利文献2 ：日本特许第3904433号公报，

非专利文献1 ：THK株式会社，产品目录《对准台CMX》，2007年8月3日，目录号码238－4。

图8及图9所示的以往的对准台设想了在液晶显示器或半导体的制造工序的光过程中进行工件的对准。因此，没怎么考虑到施加载荷的情况。

即，在使用平板状的版或印刷对象的胶印印刷中，使版或印刷对象保持在图8及图9所示的对准台上而进行对准，将版或印刷对象位置修正为希望的位置。接着，将旋转的橡皮辊一边以需要的接触压力推抵在保持于对准台上的版或印刷对象上，一边使其相对于该版或印刷对象相对移动。这样，载荷作用在保持着版或印刷对象的对准台上对应于版或印刷对象与橡皮辊的外周面的接触部分的沿该橡皮辊的轴心方向延伸的细长的带状的区域。该载荷作用的细长的带状的区域随着时间的推移而沿着橡皮辊相对于版或印刷对象的相对移动方向移动。因此，在对准台上作用有移动载荷。

在图8及图9所示的对准台中，台面4由支撑单元2和驱动单元3A、3B、3C支撑其四角。因此，例如在作用在沿着Y轴方向延伸的细长的区域中的载荷作为沿X轴方向移动的移动载荷作用的情况下，如果该移动载荷作用在台面4的X轴方向的中间部、即支撑单元2和驱动单元3A、3B、3C均未支撑的台面4的X轴方向的中间部上，则有可能因台面4的铅直方向的支撑刚性下降而台面4挠曲变形。通过该变形，有可能在保持于台面4之上的版或印刷对象等的未图示的工件上发生位置偏差。

在图8及图9所示的对准台中，通过具备滚珠丝杠直线运动机构9的3个驱动单元3A、3B、3C，在台面4上将X－Y平面内的水平位移、和旋转角度θ的旋转组合，进行X、Y、θ的3轴的对准。这里，用来进行X轴方向的驱动的驱动单元3A、3B的滚珠丝杠直线运动机构9的数量、与用来进行Y轴方向的驱动的驱动单元3C的滚珠丝杠直线运动机构9的数量不同。因此，在X轴方向和Y轴方向的水平方向刚性方面发生差别。为此，例如如果在通过在胶印印刷中使橡皮辊接触而在版或印刷对象上作用有移动载荷的状态下、通过对准台进行该版或印刷对象的位置修正，则因为该对准台的X轴方向和Y轴方向的水平方向刚性的差别，在向X轴方向的移动和向Y轴方向的移动的容易度方面发生差别。由此，有可能不能对上述版或印刷对象进行希望的位置修正。

在图8及图9所示的对准台中，通过内置在各驱动单元3A、3B、3C的各滚珠丝杠直线运动机构9的各伺服马达10中的编码器控制各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动量，进行台面4的位置控制。这里，在以下的各情况下，例如在台面4上作用有移动载荷的情况下、或者在作用有移动载荷的状态下要使台面4水平位移或旋转位移的情况下，在上述载荷作为外力作用的各滚珠丝杠直线运动机构9的丝杠轴11或螺母部件12等的推力传递部上发生挠曲或晃动等的情况下，不能将该误差因素排除。并且，不能检测到误差因素的存在本身。因此，有可能不再能够进行台面4的高精度的位置控制。

进而，在图8及图9所示的对准台中，将作为各驱动单元3A、3B、3C的各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动源的各伺服马达10配置在基座1上由台面4覆盖的位置上。因此，有可能因各伺服马达10的发热的影响而在台面4及基座1上发生热变形，随着该台面4或基座1的热变形而在保持在台面4上的未图示的工件上发生位置偏差。

这样，在图8及图9所示的以往的对准台中，难以将移动载荷作用的工件保持为在X、Y、θ的3轴方向上进行了高精度的定位的状态、或者在作用有移动载荷的状态下将工件在X、Y、θ的3轴方向上进行高精度的位置修正。

发明内容

本发明提供一种能够将移动载荷作用的工件保持为在X、Y、θ的3轴方向上进行了高精度的定位的状态、进而即使是作用有载荷的状态、也能够使工件在X、Y、θ的3轴方向上高精度地位移的对准台。

根据本发明的第一技术方案，有关本发明的对准台具备：基座；台面，配置在上述基座的上方位置上，用来保持作用有移动载荷的工件；需要数量的支撑单元，由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成，具备X、Y、θ的3个自由度；以及至少3个驱动单元，由在该支撑单元的结构上还具备一轴方向的直线运动机构而构成；上述支撑单元和上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状的配置装备在上述基座与上述台面之间；使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。

根据本发明的第二技术方案，上述交错状的配置为对应于上述台面的四角部及中央的部位。

根据本发明的第三技术方案，上述交错状的配置为对应于上述台面的四角部及中央的部位，并且在对应于上述台面的四角部的部位上分别设有驱动单元，在对应于上述台面的中央的部位上设有上述支撑单元。

根据本发明的第四技术方案，有关本发明的对准台具备：基座；台面，配置在上述基座的上方位置上，用来保持作用有移动载荷的工件；以及驱动单元，由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成，具备X、Y、θ的3个自由度，并且具备一轴方向的直线运动机构；上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状的配置装备在上述基座与上述台面之间；使上述各驱动单元中的、两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。

根据本发明的第五技术方案，上述交错状的配置为对应于将上述台面的各边的中间位置与该台面的中央连结的线上的部位。

根据本发明的第六技术方案，上述直线运动机构由马达、和具备连结在该马达的输出轴上的丝杠轴和螺合在该丝杠轴上的螺母部件的滚珠丝杠直线运动机构构成，使上述马达向基座的外方突出而配置。

根据本发明的第七技术方案，在上述各驱动单元附近的基座上，设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。

本发明的对准台发挥以下这样的良好的效果。

（1）在基座的上方位置上，配置用来保持作用有移动载荷的工件的台面。在上述基座与台面之间，具备能够沿正交的两个方向滑动的导引部，设在上述导引部之上的由旋转轴承构成的具备X、Y、θ的3个自由度的需要数量的支撑单元，和由在该支撑单元的结构上还具备一轴方向的直线运动机构而构成的3个以上的驱动单元。将上述支撑单元和上述驱动单元配置成沿着上述移动载荷的移动方向的交错状。使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。有关这样结构的本发明的对准台通过将设有上述3个以上的驱动单元的驱动组合，能够进行组合了台面的X－Y平面内的水平移动、和旋转角度θ的旋转的移动。因此，对于保持在该台面上的工件，能够在X、Y、θ的3轴方向上进行位置修正。

（2）根据有关本发明的对准台，即使对保持在台面上的工件作用移动载荷，也能够由沿着该移动载荷的移动方向交错配置的各驱动单元及支撑单元连续地承接经由该工件作用在上述台面上的上述移动载荷。因此，能够提高台面的铅直方向的刚性，能够将通过上述移动载荷使台面变形的可能防止于未然。由此，能够将起因于该台面的变形的上述工件的位置偏差防止于未然。

（3）有关本发明的对准台使沿着移动载荷的移动方向的交错状的配置为对应于台面的四角部及中央的部位。由此，能够容易地进行各驱动单元和支撑单元的沿着移动载荷的移动方向的交错状的配置。进而，通过上述各驱动单元及支撑单元，能够将上述台面在前后左右方向上平衡良好地支撑。

（4）有关本发明的对准台使沿着移动载荷的移动方向的交错状的配置为对应于台面的四角部及中央的部位。并且，在对应于上述台面的四角部的部位上，分别设置驱动单元。进而，在对应于上述台面的中央的部位上设置支撑单元。有关这样结构的本发明的对准台能够得到与上述（3）同样的效果。除此以外，能够将具备直线运动机构的驱动单元在正交的方向上各配置两个，能够使台面的沿着X轴方向的水平方向刚性和沿着Y轴方向的水平方向刚性等同。由此，当在保持于上述台面上的工件上作用有移动载荷的状态下、移动上述台面而进行上述工件的位置修正时，能够减小在向X轴方向的移动和向Y轴方向的移动中发生偏斜的可能性，能够对上述工件进行希望的位置修正。

（5）有关本发明的对准台在基座的上方位置配置用于保持作用有移动载荷的工件的台面。在上述基座与台面之间，装备有具有由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成、具备X、Y、θ的3个自由度、并且具备一轴方向的直线运动机构的结构的驱动单元。上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状配置。使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。有关这样结构的本发明的对准台能够得到与上述（1）、（2）、（3）、（4）同样的效果。

（6）有关本发明的对准台使沿着移动载荷的移动方向的交错状的配置为对应于将台面的各边的中间位置与该台面的中央连结的线上的部位。由此，能够使各单元更接近地配置。因此，在用在平面形状更小的尺寸的对准台中的情况下是有利的。

（7）有关本发明的对准台具备的各驱动单元的一轴方向的直线运动机构由马达、和具备连结在其输出轴上的丝杠轴和螺合在该丝杠轴上的螺母部件的滚珠丝杠直线运动机构构成。各滚珠丝杠直线运动机构的上述马达向基座的外方突出地配置。有关这样结构的本发明的对准台能够使作为各驱动单元的驱动源的各滚珠丝杠直线运动机构的各伺服马达发出的热高效率地向环境中发散。由此，能够抑制起因于上述各伺服马达的发热的基座及台面的热变形。因此，能够减小因上述基座及台面的热变形的影响而在上述台面保持的工件上发生位置偏差的可能性。

（8）有关本发明的对准台在各驱动单元附近的基座上设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。由此，能够将各驱动单元的一轴方向的直线运动机构使用设在该各驱动单元的外部的线性标尺进行标尺反馈控制。由此，即使作用在保持于上述台面上的工件上的移动载荷作为外力作用在上述各驱动单元的一轴方向的直线运动机上而在该直线运动机构中发生机械的变形等，也不会受到其影响。因此，能够进行各驱动单元的高精度的位置控制。由此，能够进行保持在台面上的工件的高精度的位置控制。

（9）以上，根据有关本发明的对准台，能够将作用有移动载荷的工件保持为在X、Y、θ的3轴方向上进行了高精度的定位的状态。进而，能够在作用有移动载荷的状态下将上述工件在X、Y、θ的3轴方向上进行高精度的位置修正。

附图说明

图1是表示本发明的对准台的一实施方式的部分剖断概略俯视图；

图2是图1的对准台的概略侧视图；

图3A是图1的对准台的支撑单元的剖断俯视图；

图3B是图3A的A－A方向向视图；

图3C是图3A的B－B方向向视图；

图4A是图1的对准台的驱动单元的剖断俯视图；

图4B是图4A的C－C方向向视图；

图4C是图4A的D－D方向向视图；

图5是表示图1的对准台上的关于载荷移动方向的支撑单元和各驱动单元的配置的概要图；

图6是表示本发明的另一实施方式的概略俯视图；

图7是表示图6的实施方式的应用例的概略俯视图；

图8是表示以往提出的对准台的一例的概要的部分剖断斜视图；

图9是将图8的对准台的驱动单元放大表示的立体图。

附图标记说明：

1：基座；

4a：台面；

8：旋转轴承；

9：滚珠丝杠直线运动机构（直线运动机构）；

10：伺服马达（马达）；

11：丝杠轴；

12：螺母部件；

13：支撑单元；

14：驱动单元；

15：下级导轨（导引部）；

16：导引块（导引部）；

17：上级导轨（导引部）；

19：线性标尺。

具体实施方式

以下，参照附图说明用来实施本发明的实施方式。

在图1至图5中表示本发明的对准台的一实施方式。

在作为固定侧的基座1的需要尺寸上方配置台面4a。台面4a保持作用有移动载荷的未图示的工件、例如在胶印印刷时通过将旋转的橡皮辊一边推抵一边相对移动而作用移动载荷的版或印刷对象等。在上述基座1与台面4a之间，在作用在上述未图示的工件上的移动载荷的移动方向（以下单称作载荷移动方向，在图中用箭头L表示。在图6、图7中也同样）上为交错状的配置的需要部位、例如从载荷移动方向L的上游侧起依次在与载荷移动方向L成直角的方向上为2个部位－1个部位－个部位的交错配置的分别对应于上述台面4a的中央及四角部的5个部位上，分别配置支撑单元13、和4个驱动单元14A、14B、14C、14D。支撑单元13由能够进行正交的两方向滑动的导引部和其上侧的旋转轴承8构成，相对于下端部，在上端部具备X、Y、θ的3个自由度。4个驱动单元14A、14B、14C、14D除了与该支撑单元13同样的结构以外，还具备一轴方向的直线运动机构、例如与图8及图9所示的同样的滚珠丝杠直线运动机构9。配置成上述4个各驱动单元14中的两个驱动单元14A、14B的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向、与剩下的两个驱动单元14C、14D的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向相互在水平面内正交。在此状态下，将上述支撑单元13及各驱动单元14的下端部和上端部分别安装在上述基座1和台面4a的对应的部位上，构成本发明的对准台。

在支撑单元13中，如图3A、图3B、图3C所示，在沿水平方向以需要的尺寸延伸的下级导轨15上，可滑动地安装将下级导引块16a和上级导引块16b在正交配置的状态下背面相对一体化而成的结构的导引块16的上述下级导引块16a。在导引块16的上述上级导引块16b的上侧，可沿长度方向滑动地保持着在与上述下级导轨15正交的水平方向上以需要尺寸延伸的上级导轨17。这样，将上下两级直线运动导引部背面相对连结，形成能够向正交的两个方向滑动的导引部。进而，在上述上级导轨17的上侧安装旋转轴承8。由此，通过导引块16的下级导引块16a沿着上述下级导轨15的滑动、上级导轨17相对于该导引块16的上级导引块16b的向长度方向的滑动、和上述旋转轴承8的旋转，能够以作为支撑单元13的下端部的上述下级导轨15为基准、在作为该支撑单元13的上端部的上述旋转轴承8的顶部得到X、Y、θ的3个自由度。

各驱动单元14A、14B、14C、14D如图4A、图4B、图4C所示，除了与图3A、图3B、图3C所示的支撑单元13同样的由下级导轨15、导引块16、上级导轨17及旋转轴承8构成的结构以外，与上述下级导轨15平行地配置上述滚珠丝杠直线运动机构9。进而，将该滚珠丝杠直线运动机构9的螺母部件12经由连结部件18连结在上述导引块16的下级导引块16a上。由此，通过上述滚珠丝杠直线运动机构9，能够使上述导引块16与螺母部件12一体地沿着下级导轨15的长度方向移动。

如图1所示，在基座1上的与台面4a的中央对应的部位上，以其下级导轨15沿着X轴方向或Y轴方向的某一方向的姿势配置上述支撑单元13（在图中表示了沿着X轴方向的姿势）。下级导轨15安装在基座1的对应的部位上。

如图1及图2所示，在上述基座1上的与台面4a的四角部对应的四个部位中与台面4a的一方的对角位置对应的两个部位上，以其滚珠丝杠直线运动机构9沿着Y轴方向的姿势配置上述驱动单元14A和14B。在与台面4a的另一方的对角位置对应的两个部位上，以其滚珠丝杠直线运动机构9沿着X轴方向的姿势配置上述驱动单元14C和14D。将下级导轨15和滚珠丝杠直线运动机构9安装在基座1的对应的部位上，以使各驱动单元14A、14B、14C、14D成为装备在各个滚珠丝杠直线运动机构9中的伺服马达10均比基座1的外周缘向外方突出的状态。

如图5所示，沿着上述载荷移动方向L依次配置为交错配置的载荷移动方向L上游侧的两个驱动单元14A、14C、支撑单元13、和载荷移动方向L下游侧的两个驱动单元14D、14B配置成各个旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此稍稍交迭。另外，虽然没有图示，但也可以在沿着上述载荷移动方向L以交错配置依次配置的驱动单元14A、14C、支撑单元13、和驱动单元14D、14B的各自的旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此之间形成比作用在保持于台面4a上的未图示的工件上的移动载荷的幅度窄的范围内的尺寸的间隙。由此，当移动载荷对在安装于上述支撑单元13和各驱动单元14A、14B、14C、14D的旋转轴承8的上侧的上述台面4a上保持的未图示的工件沿着载荷移动方向L作用时，能够从沿着上述载荷移动方向L以交错配置依次配置的从载荷移动方向L上游侧的两个驱动单元14A、14C、经过支撑单元13到载荷移动方向L下游侧的两个驱动单元14D、14B连续地承接该移动载荷。由此，能够减小在上述移动载荷作用于上述台面4a上的期间中、铅直方向的支撑刚性下降的可能性。

在沿着基座1上的各驱动单元14的下级导轨15经由下级导引块16a移动的导引块16的附近的部位上，设有沿着该导引块16沿着下级导轨15的移动轨迹配置的线性标尺19。由此，能够以上述下级导轨15的长度方向的需要部位、例如长度方向的中央为原点来检测上述导引块16的位移量。基于线性标尺19的检测信号，由未图示的控制器向对应的驱动单元14的滚珠丝杠直线运动机构9发出指令。由此，能够标尺反馈控制沿着下级导轨15的长度方向移动的上述导引块16的位置。

此外，对于与图8及图9所示的结构相同的构成单元赋予相同的附图标记。

在使用具备以上的结构的本发明的对准台的情况下，在将具备沿着X轴方向的滚珠丝杠直线运动机构9的各驱动单元14C、14D的各导引块16沿着X轴方向的移动停止的状态下，由具备沿着Y轴方向的滚珠丝杠直线运动机构9的各驱动单元14A、14B通过各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动，使各导引块16向沿着Y轴方向的同方向同步移动。由此，台面4a以对应于各导引块16的移动方向及移动量的移动方向及移动量向Y轴方向移动。

此外，在将各驱动单元14A、14B的各导引块16沿着Y轴方向的移动停止的状态下，由上述各驱动单元14C、14D通过各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动，使各个导引块16向沿着X轴方向的同方向同步移动。这样，台面4a以对应于该移动方向及移动量的移动方向及移动量向X轴方向移动。

因而，如果在使上述各驱动单元14A、14B的各导引块16向沿着Y轴方向的同方向同步移动的同时、使上述各驱动单元14C、14D的各导引块16向沿着X轴方向的同方向同步移动，则上述台面4a以合成了上述各驱动单元14A、14B的各导引块16的Y轴方向的移动方向及移动量、和上述各驱动单元14C、14D的各导引块16的X轴方向的移动方向及移动量后的矢量在X－Y平面内斜向移动。

进而，如果使上述各驱动单元14A、14B、14C、14D的各导引块16通过各自的滚珠丝杠直线运动机构9向接近于伺服马达10的方向、或远离伺服马达10的方向同步移动，则上述台面4a以该台面4a的中央为旋转中心，向俯视逆时针方向、或俯视顺时针方向旋转。

进而，通过将使上述台面4a在X－Y平面内移动的情况下、即向X轴方向移动的情况、向Y轴方向移动的情况、在X－Y平面内斜向移动的情况下的上述各驱动单元14A、14B、14C、14D的各导引块16的移动、与使台面4a旋转的情况下的上述各驱动单元14A、14B、14C、14D的各导引块16的移动组合（合成），能够使上述台面4a一边在X－Y平面内水平移动一边旋转。

这样，根据本发明的对准台，通过使保持在台面4a上的版或印刷对象、或其他未图示的工件组合台面4a的X－Y平面内的水平移动和旋转角度θ的旋转而移动，能够对上述工件在X、Y、θ的3轴方向上进行位置修正。

进而，在对保持在上述台面4a上的未图示的工件沿着载荷移动方向L作用移动载荷的情况下，能够由沿着载荷移动方向L依次交错配置的各驱动单元14A、14C、支撑单元13、和各驱动单元14D、14B连续地承接作用在该台面4a上的上述移动载荷。由此，能够提高铅直方向的刚性，能够减小上述台面4a因上述移动载荷挠曲地变形的变形量。由此，能够降低发生起因于该台面4a的变形的上述未图示的工件的位置偏差的可能性。

进而，本发明的对准台通过具备沿着Y轴方向的滚珠丝杠直线运动机构9的两个驱动单元14A、14B、和具备沿着X轴方向的滚珠丝杠直线运动机构9的两个驱动单元14C、14D使台面4a移动。因此，能够使沿着X轴方向的水平方向刚性与沿着Y轴方向的水平方向刚性等同。

因而，当在保持在上述台面4a上的未图示的工件上作用有移动载荷的状态下、移动上述台面4a而进行上述未图示的工件的位置修正时，能够防止在向X轴方向的移动和向Y轴方向的移动中发生偏斜的可能性。并且，能够对上述未图示的工件进行希望的位置修正。

进而，在上述本发明的对准台中，将上述各驱动单元14A、14B、14C、14D使用设在该各驱动单元14A、14B、14C、14D的外部的线性标尺19进行标尺反馈控制。因此，通过对保持在上述台面上的未图示的工件作用的移动载荷作为外力作用在上述各驱动单元14A、14B、14C、14D的各滚珠丝杠直线运动机构9上，即使在该各滚珠丝杠机构9的丝杠轴11或螺母部件12等的推力传递部上发生挠曲或晃动等，也能够不受其影响而使各驱动单元14A、14B、14C、14D的导引块16向由上述线性标尺19检测的希望的位置移动。由此，能够进行上述台面4a的高精度的位置控制。

进而，在上述本发明的对准台中，使作为各驱动单元14A、14B、14C、14D的各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动源的各伺服马达10都向基座1的外周侧突出配置。因此，能够使该各伺服马达10发出的热向环境中高效率地放散。由此，能够抑制起因于上述各伺服马达10的发热的上述基座1及台面4a的热变形。由此，能够减小因上述基座1及台面4a的热变形的影响而在保持于上述台面4a上的未图示的工件上发生位置偏差的可能性。

如上所述，根据本发明的对准台，能够将移动载荷作用的未图示的工件保持为在沿X、Y、θ的3轴方向进行了高精度的定位的状态。进而，能够在作用有移动载荷的状态下将上述未图示的工件在X、Y、θ的3轴方向上进行高精度的位置修正。

接着，在图6中表示本发明的另一实施方式。该实施方式变更了图1至图5所示的实施方式的基座1与台面4a之间的单元的配置。即，在图1至图5所示的实施方式中，在基座1与台面4a之间，在与上述台面4a的四角部及中央对应的位置上分别配置有各驱动单元14A、14B、14C、14D及支撑单元13，以使其在与载荷移动方向L成直角的方向上排列的单元数成为从载荷移动方向L的上游侧起依次为2个－1个－2个的交错配置。在图6所示的实施方式中，代替该配置，在将上述台面4a的各边的中间位置与该台面4a的中央连结的4条各线上分别配置4个驱动单元14A、14B、14C、14D，以使其在与载荷移动方向L成直角的方向上排列的单元数成为从载荷移动方向L的上游侧起依次为1个－2个－1个的交错配置。

沿着载荷移动方向L依次配置为交错配置的载荷移动方向L上游侧的1个驱动单元14A、载荷移动方向L中间部的两个驱动单元14C、14D、和载荷移动方向L下游侧的1个驱动单元14B配置成各自的旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此稍稍交迭。此外，虽然没有图示，但在沿着载荷移动方向L依次配置为交错配置的驱动单元14A、驱动单元14C、14D、和驱动单元14B的各自的旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此之间，也可以形成比作用在保持于台面4a上的未图示的工件上的移动载荷的幅度窄的范围内的尺寸的间隙。

此外，对于与图1至图5所示者相同的构成要件赋予相同的附图标记。

通过本实施方式，也能够得到与图1至图5的实施方式同样的效果。进而，能够使上述4个驱动单元14A、14B、14C、14D彼此更接近而配置，所以能够做成在用于平面形状更小的尺寸的对准台中采用的情况下有利的结构。

另外，本发明并不仅限定于上述实施方式，在本发明的宗旨的范围内能够适当变更。例如，在图1至图5的实施方式中，将台面4a做成方形，将1个支撑单元13和4个驱动单元14A、14B、14C、14D配置在以上述台面4a的中央为中心的4次旋转对称的位置上。但是，也可以对应于作为支撑对象的未图示的工件的平面形状而将上述台面4a的平面形状扩大、或做成长方形。在此情况下，也可以增加配置在上述台面4a的四角部的各驱动单元14A、14B、14C、14D之间的支撑单元13的数量。即，例如在上述台面4a的尺寸较大的情况下，各驱动单元14A、14B、14C、14D和各支撑单元13的在与载荷移动方向L成直角的方向上排列的单元数也可以为从载荷移动方向L的上游侧起依次为3个－2个－3个－2个－3个等的交错配置。此外，在上述台面4a为沿着载荷移动方向L较长的长方形的情况下，各驱动单元14A、14B、14C、14D和支撑单元13的在与载荷移动方向L成直角的方向上排列的单元数也可以为从载荷移动方向L的上游侧起依次为2个－1个－2个－1个－2个等的交错配置。此外，在上述台面4a是在与载荷移动方向正交的方向上较长的长方形的情况下，各驱动单元14A、14B、14C、14D和支撑单元13的在与载荷移动方向L成直角的方向上排列的单元数也可以为从载荷移动方向L的上游侧起依次为3个－2个－3个、或4个－3个－4个等的交错配置。

进而，如图7所示，也可以将夹装在基座1与台面4a之间的4个驱动单元14A、14B、14C、14D做成连结该各驱动单元14A、14B、14C、14D的旋转轴承8而形成的四边形相对于载荷移动方向L以不到45度的需要角度倾斜的配置。通过做成这样的配置，上述各驱动单元14A、14B、14C、14D也可以为相对于载荷移动方向L左右不均等的交错配置。另外，在做成上述图7所示那样的配置的情况下，只要配置成上述各驱动单元14A、14B、14C、14D中的、沿着载荷移动方向L位于第2个和第3个的驱动单元14C和14D的各旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此稍稍交迭就可以。或者，只要做成在驱动单元14C与14D的各旋转轴承8的在上述载荷移动方向L上占用的区域M彼此之间形成比作用在保持于台面4a上的未图示的工件上的移动载荷的幅度窄的尺寸的间隙那样的配置就可以。

也可以将支撑单元13及驱动单元14A、14B、14C、14D的能够沿正交的两个方向滑动的导引部分别与图8及图9所示的支撑单元2及驱动单元3A、3B、3C同样，做成在下级直线运动导引部5a的导引块7a之上安装上级直线运动导引部5b的导轨6b的结构。

提高在保持于台面4a上的未图示的工件上作用有移动载荷时的该台面4a的铅直方向的刚性是主要目的，不需要将保持于台面4a上的上述未图示的工件在作用有移动载荷的状态下进行位置修正，由此，在关于上述台面4a即使在X轴方向和Y轴方向的水平方向刚性方面有差别也不发生问题的情况下，也可以将上述各实施方式的各驱动单元14A、14B、14C、14D中的某1个替换为支撑单元13。

优选的是，在各驱动单元14A、14B、14C、14D上安装外部的线性标尺19，使得能够将沿着下级导轨15的导引块16的移动进行标尺反馈控制。但是，如果上述各驱动单元14A、14B、14C、14D的各滚珠丝杠直线运动机构9的丝杠轴11的刚性等、该各滚珠丝杠直线运动机构9的机械刚性足够高，即使作用在保持于上述台面4a上的未图示的工件上的移动载荷作为外力作用在上述各滚珠丝杠直线运动机构9上，也不易在该各滚珠丝杠直线运动机构9的推力传递部上发生挠曲或晃动，则也可以做成将沿着该各驱动单元14A、14B、14C、14D的下级导轨15的导引块16的移动基于内置在各滚珠丝杠直线运动机构9的伺服马达10中的编码器的信号进行控制的结构。

作为各驱动单元14A、14B、14C、14D的各滚珠丝杠直线运动机构9的驱动源的各伺服马达10如果从散热的观点看，优选的是配置成其向基座1的外侧突出。但是，在该各伺服马达10的发热量与上述基座1、台面4a或其他构成部件的热容量相比足够小的情况下、或者在通过各伺服马达上另外具备用来将热向对准台的外部释放的散热机构等、使得不会因上述各滚珠丝杠直线运动机构9的伺服马达10的发热的影响而发生上述基座1、台面4a或其他构成部件的热变形带来的保持于上述台面4a上的工件的位置偏差的情况下，也可以将上述各滚珠丝杠直线运动机构9的伺服马达10配置在基座1与台面4a之间。

用来使各驱动单元14A、14B、14C、14D的各导引块16经由下级导引块16a沿着下级导轨15的长度方向移动的直线运动机构只要满足以下的条件，也可以采用滚珠丝杠直线运动机构9以外的任何形式的直线运动机构。即，即使作用在台面4a上的移动载荷作为外力作用在该直线运动机构上，也能够保持对应的导引块16的位置。进而，根据需要，可以在作用于上述台面4a上的移动载荷作为外力作用的状态下驱动对应的导引块16。

只要是需要保持作用有移动载荷的工件而进行其对准的结构，作为胶印印刷装置中的用来保持版或印刷对象的对准台以外的任何设备、装置的对准台都能够使用。

此外，当然在不脱离本发明的宗旨的范围内能够加以各种变更。

根据有关本发明的对准台，能够将作用有移动载荷的工件保持为在X、Y、θ的3轴方向上进行了高精度的定位的状态。进而，能够在作用有移动载荷的状态下将上述工件在X、Y、θ的3轴方向上进行高精度的位置修正。由此，能够在用来进行承受移动载荷的工件的对准的对准台中使用。

Claims (11)

1. 一种对准台，其特征在于，

具备：基座；台面，配置在上述基座的上方位置上，用来保持作用有移动载荷的工件；需要数量的支撑单元，由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成，具备X、Y、θ的3个自由度；以及至少3个驱动单元，由在该支撑单元的结构上还具备一轴方向的直线运动机构而构成；

上述支撑单元和上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状的配置装备在上述基座与上述台面之间；

使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。

2. 如权利要求1所述的对准台，其特征在于，

上述交错状的配置为对应于上述台面的四角部及中央的部位。

3. 如权利要求1所述的对准台，其特征在于，

上述交错状的配置为对应于上述台面的四角部及中央的部位，并且在对应于上述台面的四角部的部位上分别设有驱动单元，在对应于上述台面的中央的部位上设有上述支撑单元。

4. 一种对准台，其特征在于，

具备：基座；台面，配置在上述基座的上方位置上，用来保持作用有移动载荷的工件；以及驱动单元，由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成，具备X、Y、θ的3个自由度，并且具备一轴方向的直线运动机构；

上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状的配置装备在上述基座与上述台面之间；

使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在X－Y平面内正交。

5. 如权利要求1或4所述的对准台，其特征在于，

上述交错状的配置为对应于将上述台面的各边的中间位置与该台面的中央连结的线上的部位。

6. 如权利要求1～4中任一项所述的对准台，其特征在于，

上述直线运动机构由马达、和具备连结在该马达的输出轴上的丝杠轴和螺合在该丝杠轴上的螺母部件的滚珠丝杠直线运动机构构成，使上述马达向基座的外方突出地配置。

7. 如权利要求5所述的对准台，其特征在于，

上述直线运动机构由马达、和具备连结在该马达的输出轴上的丝杠轴和螺合在该丝杠轴上的螺母部件的滚珠丝杠直线运动机构构成，使上述马达向基座的外方突出地配置。

8. 如权利要求1～4中任一项所述的对准台，其特征在于，

在上述各驱动单元附近的基座上，设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。

9. 如权利要求5所述的对准台，其特征在于，

在上述各驱动单元附近的基座上，设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。

10. 如权利要求6所述的对准台，其特征在于，

在上述各驱动单元附近的基座上，设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。

11. 如权利要求7所述的对准台，其特征在于，

在上述各驱动单元附近的基座上，设有用来检测该各驱动单元的一轴方向的直线运动机构的驱动量的线性标尺。

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