CN102254878A - 半导体装置 - Google Patents

半导体装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102254878A
CN102254878A CN2011101042597A CN201110104259A CN102254878A CN 102254878 A CN102254878 A CN 102254878A CN 2011101042597 A CN2011101042597 A CN 2011101042597A CN 201110104259 A CN201110104259 A CN 201110104259A CN 102254878 A CN102254878 A CN 102254878A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lid
container
semiconductor device
gel
projection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011101042597A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102254878B (zh
Inventor
黑田哲生
松本学
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of CN102254878A publication Critical patent/CN102254878A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102254878B publication Critical patent/CN102254878B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/16Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations, e.g. centering rings
    • H01L23/18Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device
    • H01L23/24Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device solid or gel at the normal operating temperature of the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

本发明旨在得到能够防止凝胶上流到盖子之上的半导体装置。在基板(10)上设置母容器(12)。在母容器(12)的内壁设置突起(14)。在母容器(12)内,在基板(10)上设置半导体元件(18)。利用突起(14)支持引脚端子(20)以及螺丝端子(22)。引脚端子(20)以及螺丝端子(22)连接于半导体元件(18)。在母容器(12)内充填硅凝胶(26)。将盖子(28)安装在母容器(12)上。盖子(28)将半导体元件(18)以及硅凝胶(26)加以密封。柱子(30)的下端与基板(10)接触,柱子(30)的上端与盖子(28)的下表面接触。柱子(30)将盖子(28)固定于母容器(12)。突起(14)的上表面与盖子(28)的下表面分离。

Description

半导体装置
技术领域
本发明涉及在容器内填充凝胶后用盖子密封的半导体装置,特别是涉及能够防止凝胶上流(creep up)到盖子之上的半导体装置。
背景技术
为确保绝缘性,采用在安装了半导体元件的容器内填充凝胶之后用盖子密封的半导体装置(参考例如专利文献1)。
专利文献1:日本特开2004-103936号公报
但存在这样的问题,即,使凝胶硬化时,由于毛细管现象,凝胶通过容器与盖子的间隙上流到盖子之上。
发明内容
本发明是为了解决上述课题而完成的,其目的旨在获得能够防止凝胶上流到盖子之上的半导体装置。
本发明的半导体装置具备:基板、设在所述基板上的容器、设在所述容器的内壁的突起、在所述容器内设在所述基板上的半导体元件、由所述突起支持且与所述半导体元件连接的端子、被填充在所述容器内的凝胶、安装于所述容器并对所述半导体元件和所述凝胶进行密封的盖子、以及下端与所述基板接触,上端与所述盖子的下表面接触,将所述盖子固定于所述容器的柱子,所述突起的上表面与所述盖子的下表面分离。
采用本发明,能够防止凝胶上流到盖子之上。
附图说明
图1是表示实施方式1的半导体装置的剖面图。
图2是表示图1所示的半导体装置的容器内部的立体图。
图3是表示在图1所示的容器安装端子的状况的立体图。
图4是表示比较例的半导体装置的剖面图。
图5是表示实施方式1的半导体装置的变形例的剖面图。
图6是表示图5所示的半导体装置的盖子的下表面侧的立体图。
图7是表示实施方式2的半导体装置的剖面图。
符号说明
10  基板
12  母容器(容器)
14  突起
18  半导体元件
20  引脚端子(端子)
22  螺丝端子(端子)
26  硅凝胶(凝胶)
28  盖子
30  柱子
34  壁
36  橡胶垫
具体实施方式
参照附图说明本发明的实施方式的半导体装置。对相同的结构要件标注相同的符号并且有时候省略重复说明。
实施方式1
图1是表示实施方式1的半导体装置的剖面图。图2是表示图1所示的半导体装置的容器内部的立体图。图3是表示在图1所示的容器安装端子的状况的立体图。
在基板10上设置母容器12。在母容器12的内壁设置突起14。在母容器12内,在基板10上隔着绝缘基板16设置半导体元件18。
如图3所示,能够将引脚端子20和螺丝端子(screw block terminal)22自由地插入设置于母容器12的内壁的突起14。利用该突起14支持引脚端子20和螺丝端子22。引脚端子20和螺丝端子22通过导线24与半导体元件18连接。在母容器12内充填硅凝胶26。在母容器12安装盖子28。该盖子28将半导体元件18和硅凝胶26加以密封。
而且在本实施方式中,在母容器12内设置柱子30。该柱子30的下端与基板10接触,柱子30的上端与盖子28的下表面(容器内表面)接触。该柱子30将盖子28固定于母容器12。在这样的状态下使母容器12的上表面与盖子28的上表面对位(aligned),而且使突起14的上表面与盖子28的下表面分离。还有,为了容易制造和组装,最好是柱子30在盖子28的下表面上固定或成一整体成型。
下面通过与比较例进行比较,对于本实施方式的效果进行说明。图4是表示比较例的半导体装置的剖面图。在比较例中,利用母容器12的内壁的突起14支持盖子28的底面。从而,在使硅凝胶26硬化时,由于毛细管现象,硅凝胶26通过突起14的上表面与盖子28的下表面的间隙、以及母容器12的内壁与盖子28的外壁的间隙,上流到盖子28之上。
另一方面,在本实施方式中,母容器12与盖子28的接触部分,与硅凝胶26的上表面分离。而且突起14的上表面与盖子28的下表面之间的空间32成为凝胶滞留部。因此能够防止硅凝胶26上流到盖子28上。
图5是表示实施方式1的半导体装置的变形例的剖面图。图6是表示图5所示的半导体装置的盖子的下表面侧的立体图。在柱子30的周围,与柱子30分离地,在盖子28的下表面设置壁34。上流过柱子30的硅凝胶26即使是到达盖子28的下表面,该硅凝胶26经过壁34后也会落下。借助于此,能够更可靠地防止硅凝胶26上流到盖子28上。
实施方式2
图7是表示实施方式2的半导体装置的剖面图。在本实施方式中,设置橡胶垫36代替实施方式1的柱子30。该橡胶垫36充填母容器12的内壁与盖子28的外壁之间的间隙,并且将盖子28固定于母容器12。借助于此,能够防止硅凝胶26上流到盖子28之上。
又,在利用橡胶垫36将盖子28固定于母容器12时,最好是使突起14的上表面与盖子28的下表面分离。借助于此,可以更可靠地防止硅凝胶26上流到盖子28之上。
还有,将橡胶垫36安装于盖子28,或安装于母容器12,都能够取得相同的效果。

Claims (4)

1.一种半导体装置,其特征在于,具备:
基板;
设在所述基板上的容器;
设在所述容器的内壁的突起;
在所述容器内设在所述基板上的半导体元件;
由所述突起支持,与所述半导体元件连接的端子;
填充在所述容器内的凝胶;
安装在所述容器,对所述半导体元件和所述凝胶进行密封的盖子;以及
下端与所述基板接触,上端与所述盖子的下表面接触,将所述盖子固定在所述容器的柱子,
所述突起的上表面和所述盖子的下表面分离。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,还具备
在所述柱子的周围,与所述柱子分离地设置于所述盖子的下表面的壁。
3.一种半导体装置,其特征在于,具备:
基板;
设在所述基板上的容器;
在所述容器内设在所述基板上的半导体元件;
填充在所述容器内的凝胶;
安装于所述容器,对所述半导体元件和所述凝胶进行密封的盖子;以及
填埋所述容器的内壁与所述盖子的外壁之间的间隙,并且将所述盖子固定于所述容器的橡胶垫。
4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,还具备:
设在所述容器的内壁的突起;以及
由所述突起支持,与所述半导体元件连接的端子,
所述突起的上表面与所述盖子的下表面分离。
CN201110104259.7A 2010-05-19 2011-04-15 半导体装置 Active CN102254878B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010115526A JP5229271B2 (ja) 2010-05-19 2010-05-19 半導体装置
JP2010-115526 2010-05-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102254878A true CN102254878A (zh) 2011-11-23
CN102254878B CN102254878B (zh) 2015-01-14

Family

ID=44900590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110104259.7A Active CN102254878B (zh) 2010-05-19 2011-04-15 半导体装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5229271B2 (zh)
CN (1) CN102254878B (zh)
DE (1) DE102011007228B4 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109659284A (zh) * 2017-10-11 2019-04-19 三菱电机株式会社 半导体装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101346650B (zh) 2005-12-23 2010-09-29 3M创新有限公司 包含热塑性有机硅嵌段共聚物的多层膜
JP6861622B2 (ja) * 2017-12-19 2021-04-21 三菱電機株式会社 半導体装置及び電力変換装置
EP4270469A1 (en) * 2022-04-29 2023-11-01 Infineon Technologies AG Power semiconductor module

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6329957A (ja) * 1986-07-23 1988-02-08 Seiko Epson Corp 半導体装置の封止形態
JPH02307250A (ja) * 1989-05-23 1990-12-20 Mitsubishi Electric Corp 混成集積回路パツケージ
CN1661814A (zh) * 2004-02-27 2005-08-31 矽品精密工业股份有限公司 具有支撑体的感光半导体封装件及其制法
CN101101880A (zh) * 2006-07-03 2008-01-09 矽品精密工业股份有限公司 散热型封装结构及其制法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4079511A (en) * 1976-07-30 1978-03-21 Amp Incorporated Method for packaging hermetically sealed integrated circuit chips on lead frames
DE3308720A1 (de) 1983-03-11 1984-09-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Halbleiterbauelement mit scheibenfoermigem gehaeuse
JPS63164345A (ja) 1986-12-26 1988-07-07 Nec Corp 半導体集積回路用パツケ−ジ
JP3357220B2 (ja) 1995-07-07 2002-12-16 三菱電機株式会社 半導体装置
WO2002059969A1 (fr) 2001-01-23 2002-08-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Dispositif a semi-conducteur
JP2004103936A (ja) 2002-09-11 2004-04-02 Mitsubishi Electric Corp 電力半導体装置およびその製造方法
EP1494278A1 (de) 2003-07-04 2005-01-05 Siemens Aktiengesellschaft Elektronisches Leistungsmodul mit Gummidichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
ATE514187T1 (de) 2005-09-27 2011-07-15 Semikron Elektronik Gmbh Leistungshalbleitermodul mit überstromschutzeinrichtung
JP4242401B2 (ja) * 2006-06-29 2009-03-25 三菱電機株式会社 半導体装置
JP4858336B2 (ja) * 2007-07-10 2012-01-18 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
DE102008051560A1 (de) 2007-10-18 2009-04-23 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleitermodul

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6329957A (ja) * 1986-07-23 1988-02-08 Seiko Epson Corp 半導体装置の封止形態
JPH02307250A (ja) * 1989-05-23 1990-12-20 Mitsubishi Electric Corp 混成集積回路パツケージ
CN1661814A (zh) * 2004-02-27 2005-08-31 矽品精密工业股份有限公司 具有支撑体的感光半导体封装件及其制法
CN101101880A (zh) * 2006-07-03 2008-01-09 矽品精密工业股份有限公司 散热型封装结构及其制法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109659284A (zh) * 2017-10-11 2019-04-19 三菱电机株式会社 半导体装置
CN109659284B (zh) * 2017-10-11 2023-02-17 三菱电机株式会社 半导体装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE102011007228B4 (de) 2019-08-22
CN102254878B (zh) 2015-01-14
DE102011007228A1 (de) 2011-11-24
JP2011243798A (ja) 2011-12-01
JP5229271B2 (ja) 2013-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102254878A (zh) 半导体装置
KR100830370B1 (ko) 밀폐용기의 뚜껑
CN102074676B (zh) 动力电池
CN104111562B (zh) 液晶面板及其制备方法、显示装置
TWI681243B (zh) 相機模組及用於載具的相機
US6994589B2 (en) Method for production of a gas-tight ducting for a contact through a wall and device for ducting an electrical contact through a wall
JP2009032589A (ja) 電気器具、及び該電気器具の製造方法
US20170345729A1 (en) Semiconductor module
JP2014150204A (ja) パワーモジュールおよびパワーモジュールの製造方法
CN104270115A (zh) 石英晶体谐振器及其封装工艺
CN203882823U (zh) 一种新型防水开关
CN103700978A (zh) 防水连接器及防水连接器的制造方法
CN203481425U (zh) 防爆型电子设备
CN203562453U (zh) 锂参考电极三电极电池
KR200460394Y1 (ko) 밀폐 용기의 뚜껑 밀봉용 패킹
CN207029923U (zh) 一种出液装置
CN202851951U (zh) Sds-page凝胶电泳底部防漏密封装置
JP2011243798A5 (zh)
CN101776145B (zh) 密封设备及其制造方法
CN203965691U (zh) 一种长效组合密封装置
CN102434670B (zh) 一种气体样品池密封方法、气体样品池及环境监测系统
CN211453437U (zh) 一种用于水泥水化热测试的保温装置
JP2019125617A (ja) 電気部品の製造方法及び電気部品
CN202659884U (zh) 新型油封式密封圈
CN1734139B (zh) 家用器具密封装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant