CN102245944A - 密封机构及处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。为达到上述目的，密封机构(100)的突出状密封件(12)配置在驱动轴(25)的外周，其突出状部(12b)具有与驱动轴(25)接触的密封部(12c)。分隔壁部件(15)安装在驱动轴(25)上，封闭安装部件(30)的下部的开口，且与突出状密封件(12)相面对。至少由安装部件(30)与分隔壁部件(15)形成用于收装润滑剂(16)的容器。在分隔壁部件(15)与保持基座体(60)之间设有间隙(17)，且该间隙(17)不会使润滑剂(16)通过。通过这样的结构，能够确保收装润滑剂(16)的空间，同时，密封机构(100)与驱动轴(25)接触的部分仅为突出状密封件(12)的密封部(12c)。

Description

密封机构及处理装置

技术领域

本发明涉及一种密封机构及配备有该密封机构的处理装置，该密封机构用于对充有不同的气体的空间或者具有不同压力的环境进行隔离。

背景技术

现有技术中，用于将真空环境相对于大气环境隔离开来的密封机构一般是使用O形环、密封胶或者粘度较高的油类等。特别地，作为从大气压环境一侧向真空环境中输入旋转动力的旋转输入机构的密封方法而言，有时会使用兼具降低摩擦滑动部分的摩擦力的作用的润滑脂(低粘度)与润滑油等润滑剂来作为密封剂。有时也会使用磁性流体来作为这样的润滑剂(例如，参照专利文献1说明书[0032]段)。

由于这样的润滑剂是消耗品，因而有必要通过保养，例如补充润滑剂等。特别是，在上述旋转输入机构中，由于会有些许润滑剂流向真空环境一侧，因而有必要补充润滑剂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公开公报特开2007-258573号

发明内容

发明所要解决的技术问题

在上述专利文献1的密封装置中，由于用于保存磁性流体的空间即收装磁性流体的容积较小，因而，即使磁性流体减少一点也会使得密封性能恶化，因而存在保养频度较高这样的缺点。另外，由于用于保存磁性流体的磁极部较多，即密封部较多，因而存在旋转轴遇到的滑动阻力较大这一问题。

例如像威尔逊密封那样，也有具有一定的润滑剂收装空间的密封机构，但是，威尔逊密封方式至少有两处以线接触的方式进行密封的部分，因而使得旋转轴与其周围的固定部之间的摩擦力较大。

鉴于以上问题，本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。

解决技术问题的技术方案

为达到上述目的，本发明一个实施方式的密封机构构成为，包括：密封部件、保持基座体、分隔壁部件。

所述密封部件配置在旋转轴外周。

所述保持基座体配置在所述旋转轴的外周且能够保持所述密封部件使其与所述旋转轴保持接触。

所述分隔壁部件安装在所述旋转轴上且至少与所述旋转轴与所述保持基座体一起构成用于收装润滑剂的容器。

在本发明的一个实施方式的密封机构中，所述分隔壁部件可以安装在所述保持基座体上，并且，至少由所述旋转轴、所述保持基座体、所述分隔壁部件形成用于收装润滑剂的容器，在分隔壁部件与所述旋转轴之间形成设定为不会使润滑剂通过的间隙。

本发明的一个实施方式的处理装置构成为，具有驱动轴、密封部件、保持基座体、分隔壁部件。

所述密封部件配置在所述旋转轴的外周。

所述保持基座体配置在所述旋转轴的外周且能够保持所述密封部件使其与所述旋转轴保持接触。

所述分隔壁部件至少与所述旋转轴与所述保持基座体一起构成用于收装润滑剂的容器。

附图说明

图1为表示本发明一个实施方式的密封机构的剖视图；

图2为表示本发明其他实施方式的密封机构的附图；

图3为表示本发明其他实施方式的、具有汲取机构的密封机构的剖视图；

图4为表示图3的密封机构的附件的剖视图；

图5为表示本发明其他实施方式的密封机构的剖视图，图中所示为其他实施方式的上述汲取机构；

图6为应用上述实施方式的密封机构中的任一个的传送装置的俯视图；

图7为图6所示的传送装置的斜视图；

图8为图6所示的传送装置的整体结构的剖视图。

具体实施方式

本发明一个实施方式的密封机构构成为，包括：密封部件、保持基座体、分隔壁部件。

所述密封部件配置在旋转轴外周。

所述保持基座体配置在所述旋转轴的外周且能够保持所述密封部件使其与所述旋转轴保持接触。

所述分隔壁部件安装在所述旋转轴上且在其与所述保持基座体之间设有不会使润滑剂通过的间隙，至少由所述保持基座体与所述分隔壁部件构成用于收装润滑剂的容器。

能够将润滑剂收装在由分隔壁部件与保持基座体形成的容器中，并且，在分隔壁部件与保持基座体之间形成不会使润滑剂通过的间隙。因而，能够保证收装润滑剂所需的空间，同时使密封机构与旋转轴相接触的接触部分仅仅是密封部件的与旋转轴的外周相面对的线状的密封部分。从而能够降低为补充润滑剂而进行的保养，并减少密封机构与旋转轴之间的摩擦阻力。

“保持基座体”可以包括下述的周壁以及将密封部件安装在该周壁上的安装部件这二者，或者，也可以包括周壁与安装部件这二者中之一。

所述容器可以由所述旋转轴、所述保持基座体、所述分隔壁部件以及所述密封部件形成。从而，能够增大用于收装润滑剂的空间的容积。

所述保持基座体可以包括具有内周面的周壁与将所述密封部件安装在所述周壁的所述内周面上的安装部件。此时，可以将上述间隙设在分隔壁部件与周壁的内周面之间，也可以将其设在分隔壁部件与安装部件之间。或者在分隔壁部件与周壁的内周面之间以及分隔壁部件与安装部件之间都设置上述的间隙。

所述分隔壁部件可以与所述密封部件相面对地配置。此时，所述密封机构可以还具有汲取机构，所述旋转轴沿着铅直方向配置，在旋转轴旋转时，利用旋转轴的旋转产生的力将所述润滑剂从所述分隔壁部件一侧向所述密封部件一侧汲取。从而，能够容易地使收装在容器中的润滑剂到达密封部件上，从而能够延长密封部件的使用寿命。

所述汲取机构可以具有设在所述旋转轴的外周的螺旋状的流路。即，在旋转轴的旋转下，润滑剂通过螺旋状的流路被汲取。或者，所述汲取机构可以具有呈杯状的导向部件，其开口从所述分隔壁部件一侧向所述密封部件一侧越接近所述密封部件尺寸越大。

本发明的一个实施方式的密封机构构成为，具有密封部件、保持基座体、分隔壁部件。

所述密封部件配置在所述旋转轴的外周且具有密封部。

所述保持基座体配置在所述旋转轴的外周且能够保持所述密封部使其与所述旋转轴保持接触。

所述分隔壁部件安装在所述保持基座体上，并且，在所述分隔壁部件与所述旋转轴之间形成有设定为不会使润滑剂通过的间隙，至少由所述分隔壁部件、所述旋转轴、所述保持基座体构成用于收装润滑剂的容器，。

下面参照附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。

图1为表示本发明一个实施方式的密封机构的断面图。

该密封机构100用于旋转输入机构。该旋转输入机构具有旋转轴25，通过该旋转轴25而将由未图示的马达等产生的旋转运动从图1中下方的大气压侧A传递到上方的真空侧B，密封机构100的作用在于将该大气压侧A与真空侧B隔离，保持气密性。

密封机构100具有突出状密封件12、保持基座体60、分隔壁部件15。

突出状密封件12作为密封部件的一例，围着旋转轴25而配置。突出状密封件12具有圆板状的上侧板部12a与突出状部12b，该突出状部12b从上侧板部12a向以旋转轴25的旋转面的内部一侧延伸并在接触旋转轴25处折回而形成。突出状部12b具有与旋转轴25接触的密封部12c。突出状密封件12形成为在密封部12c处具有与旋转轴25的接触面积较小的形状，对于其具体形状没有限定。特别是突出状部12b形成为使密封部12c与旋转轴25相接触的部分为线状(在垂直于旋转轴的平面上为圆形)的形状。

上侧板部12a的形状并不限于圆板状，即，并不限于在垂直于旋转轴25的平面上为圆形，也可以为多边形、椭圆形或者它们的组合。或者，上侧板部12a可以沿着旋转轴25的周向连续地形成，也可以断续地形成。

作为突出状密封件12的材料，例如可以使用天然橡胶、合成橡胶、弹性塑料等的弹性体等。

在突出状密封件12的突出状部12b的外周设有环状或线圈状的推压部件14。推压部件14将密封部12c向着旋转轴25推压从而对密封作用进行加强。

保持基座体60由构成周壁的壳体10与安装部件30构成，该安装部件30设在旋转轴25的周围，用于将突出状密封部12安装在壳体10的内周面10a上。

安装部件30对突出状密封件12进行保持并使密封部12c与旋转轴25接触。此处所述的“使...接触”也包括这样的状态：在密封机构100中有润滑剂16进入时，从微观上看，在旋转轴25与密封部12c之间形成有由润滑剂16构成的薄膜。

安装部件30由呈容器状的两个部件11与13构成，该容器状的两个部件11与13的中央处分别形成有供旋转轴25通过的通孔11a与13a。由容器状部件11与13夹持突出状密封件12的上侧板部12a从而对突出状密封件12进行保持。安装部件30的容器状部件11的竖直部11b安装在壳体10的内周面10a上，并且维持大气压侧A与真空侧B之间的气密性。可以由例如未图示的O形环等保持竖直部11b与壳体10的内周面10a之间的气密性，也可以用焊接、粘合等能够维持气密性的接合方法而将竖直部11b与内周面10a接合在一起。

作为安装部件30的材料，例如可以使用金属、塑料、橡胶等，不过，只要是能够保持突出状密封件12并且能够维持其与壳体10之间的气密性的材料都可以。

分隔壁部件15安装在旋转轴25上，且封闭安装部件30的下部的开口还与突出状密封件12相面对。在分隔壁部件15的中央设有通孔15c，旋转轴25插在该通孔15c中从而实现固定。由旋转轴24、安装部件30、分隔壁部件15以及突出状密封件12形成能够收装润滑剂16的容器。突出状密封件12的密封部12c与旋转轴25之间的滑动会产生摩擦，润滑剂16具有降低该摩擦的作用。

另外，在图1中，润滑剂16几乎填满在容器内，然而，例如，收装在容器内的润滑剂16的量也可以为至少达到密封部12c的高度处这样的量。

旋转轴25与分隔壁部件15的通孔15c的内周面连接，作为其连接方法，例如可以利用未图示的O形环或者焊接、粘合等。即使在使用O形环时，也尽可能地使分隔壁15与旋转轴25之间的连接具有一定的刚性，让旋转轴25旋转时分隔壁部件15与之一起旋转。在旋转轴25的转速较高的情况下，可以不使用O形环，而是通过焊接、粘合等方式将二者连接在一起。然而并不一定是需要使二者共同运动的。

在分隔壁15与保持基座体60之间设有间隙17但该间隙17不会使润滑剂16通过。即，该间隙17的尺寸设定为不会使润滑剂16通过。例如，分隔壁部件15由小径部15a以及形成在该小径部15a的下部的大径部15b构成。小径部15a的外周面与安装部件30的下端面相面对，大径部15b的外周面与壳体10的内周面10a相面对，这样地形成间隙17。

根据润滑剂16的种类(温度-粘度特性等)、密封机构100的周围的温度等来设定间隙17从而使润滑剂16不会漏出。典型地，间隙17设定为一毫米～数毫米。作为润滑剂16而言，使用一般的在润滑油中添加增稠剂等提高粘度的材料的润滑剂即可。然而，为了防止真空侧受到污染，也可以使用真空用润滑剂(例如：YVAC1，ソルベイソレキシス公司制)。

如上所述，在本实施方式的密封机构100中，至少能够在由旋转轴25、分隔壁部件15、保持基座体60形成的容器中收装润滑剂16，并且在分隔壁部件15与保持基座体60之间形成有不会使润滑剂16通过的间隙，因而，能够保证足够的收装润滑剂16的空间，并且，作为密封机构100与旋转轴25的接触部分，仅仅是突出状密封件12的密封部12c，因而能够降低为补充润滑剂16而进行的保养的频度，并且至少能够减小密封机构100与旋转轴25之间的滑动阻力。如此，由于摩擦阻力较小，因而用于使旋转轴25旋转的动力源的负载也较小(能够实现动力源的小型化)。此外，由滑动生热而造成的温度上升也较小，对密封部12c造成的磨耗也较少，能够抑制粒子杂质的产生、抑制密封性能的劣化，从而能够延长密封机构100的使用寿命。

特别地，由于由旋转轴25、安装部件30、分隔壁部件15以及突出状密封件12形成收容润滑剂16的容器，因而使得收装润滑剂16的空间的容积较大。

图2所示为本发明其他实施方式的密封机构。在此后的说明中，对与图1所示实施方式的密封机构100相同的部件与功能简要地进行说明或者省略其说明，仅以不同点为中心进行说明。

在图1所示的密封机构100中，分割壁部件15与旋转轴25连接。在图2所示的密封机构200中，分隔壁部件35与保持基座体60连接。作为一种典型的例子，分隔壁部件35的外周面与壳体10的内周面10a连接。作为其连接方式而言，与上述实施方式相同，例如使用O形环、焊接、粘合等方式。另外，在分隔壁部件35的中央设有供旋转轴25穿过的通孔35b，在该通孔35b的内周面与旋转轴25的外周面之间形成有间隙17，且该间隙17不会使润滑剂16通过。由分隔壁部件35、保持基座体60以及突出状密封件12构成用于收装润滑剂16的容器。

构成为这样的密封机构200也能够获得与上述的密封机构100相同的效果。

图3为本发明另一实施方式的密封机构的剖视图。

该密封机构300的旋转轴25上安装有附件33，该附件33具有螺旋状的流路33a。附件33设置在突出状密封件12与面对该突出状密封件12配置的分隔壁部件55之间。流路33的表面的形状不限于这样的曲面，也可以是平面，或者也可以是平面与曲面的组合。另外，在图3中，分隔壁部件55与旋转轴25连接，然而，也可以如图2所示地使分隔壁部件55与保持基座体60连接。

图4为表示附件33的剖视图。附件33的中央具有通孔33b，该通孔33b供旋转轴25穿过以实现固定。附件33安装在旋转轴25上并使螺旋状的流路33a以旋转轴25为中心。

在分隔壁55的外周面55a与保持基座体60的壳体10之间形成有间隙17，且该间隙17设定为不会使润滑剂16通过。

旋转轴25一旋转，则附件33也向规定的方向旋转。从而，润滑剂16被附件33搅拌，使润滑剂16沿着螺旋状的流路33a从分隔壁部件15一侧向突出状密封件12一侧向上被汲取(构成汲取机构)。此时，适当地设定附件33的流路方向以及旋转轴25的旋转方向以使润滑剂16被汲取上来即可。如果旋转轴25是来回转动等情况时，可以在旋转轴25与附件33之间设置棘轮机构。

采用这样的汲取机构，使得至少被收装在由保持基座体60与分隔壁部件50形成的容器中的润滑剂16容易地到达密封部12c，从而能够延长密封部12c的使用寿命。

在图4所示的实施方式中，也可以不设置附件33，而是在旋转轴25上形成螺旋状槽，由该螺旋状槽构成供润滑剂16流过的流路。

图5所示为本发明又一实施方式的密封机构的剖视图，该图表示的是上述汲取机构的其他实施方式。

密封机构400所具有的汲取机构具有杯状的导向部件(风杯)34，该导向部件34从分隔壁部件65一侧向突出状密封件12一侧其开口逐渐扩大地形成。导向部件34的下端部与分隔壁部件65相连接固定，上端部为开口。

“杯状”是指，其周面构成圆锥面的一部分这样的形状。然而，不限于圆锥，例如棱锥也可以。在图5所示的剖面上，导向部件34的内周面34a呈直线状倾斜，然而，呈曲线状也可，或者直线与曲线的组合也可。

在分隔壁部件65上设有连通导向部件34的内侧(旋转轴25一侧)与外侧的通路65b。从而，即使在润滑剂16的液面低于导向部件34的上端部时，润滑剂16也能够在导向部件34的内外之间流通。这样的通路65b可以为一个，也可以为多个。

旋转轴25具有设在分隔壁部件65一侧的小径部25b与设在突出状密封件12一侧的大径部25a，突出状密封件12配置在大径部25a的外周。然而，也可以使旋转轴25构成为与图1～图3所示相同的结构。

旋转轴25一旋转，则安装在旋转轴25上的分隔壁部件65也旋转且导向部件34也旋转。此时，由于润滑剂16有粘性，所以其被导向部件34所带动而旋转。此时会产生离心力因而位于导向部件34内侧的润滑剂16会沿着导向部件34的内周面34a向突出状密封件12一侧被汲取。

采用这样的汲取机构，也能够使得至少被收装在由保持基座体60与分隔壁部件50形成的容器中的润滑剂16容易地到达密封部12c，从而能够延长密封部12c的使用寿命。

在图5中，分隔壁部件65与旋转轴25连接，然而，也可以如图2所示那样使分隔壁部件65与保持基座体60连接。在这种实施方式中，旋转轴25旋转时，润滑剂16依靠其粘性而被旋转轴25带动从而旋转，此时，由于会产生离心力，因而位于导向部件34内侧的润滑剂16会沿着导向部件34的内周面34a向突出状密封件12一侧被汲取。

下面对配备有上面说明的密封机构100、200、300以及400中的任一个的处理装置的一例即传送装置进行说明。

图6为该传送装置的俯视图，图7为其斜视图。

如图6及图7所示，传送装置的连杆机构由第1连杆机构20a以及第2连杆机构20b构成。第1连杆机构20a由第1平行连杆21与第3平行连杆23构成，第2连杆机构20b由第2平行连杆22与第4平行连杆24构成。

第1平行连杆21包括第1臂21a与第4臂21b，第2平行连杆22包括第2臂22a与第3臂22b。第3平行连杆23包括第5臂23a与第6臂23b，第4平行连杆24包括第7臂24a与第8臂24b。

第1臂21a固定安装在第1驱动轴25上，第2臂22a固定安装在第2驱动轴26上。第3臂22b安装在第1驱动轴25上且能够旋转，第4臂21b安装在第2驱动轴26上且能够旋转。因此，第1臂21a与第4臂21b、第2臂22a与第3臂22b这样成对地向相同方向旋转。此时，关于“固定安装”以及“能够旋转地安装”的方式，并无特别限定，使用公知的键与轴承等方式即可。

在第1臂21a的一端固定着齿轮箱27中的齿轮27a，该齿轮27a与第5臂23a的一端连接且能够相对旋转。在齿轮27b上固定着第6臂23b的一端，并且还连接着第4臂21b的一端且二者能够产生相对旋转。在第3臂22b的一端固定着齿轮箱28中的齿轮28a，在齿轮28a上连接着第7臂24a的一端且二者能够产生相对旋转，在齿轮28b上固定着第8臂24b的一端，且还连接着第2臂22a的一端且二者能够产生相对旋转。这些齿轮27a、27b、28a、28b使得，所连接的平行连杆之间，即，第1平行连杆21与第3平行连杆23之间以及第2平行连杆22与第4平行连杆24之间的旋转相反。第5臂23a与第6臂23b、第7臂24a与第8臂24b这样成对地向相同方向旋转。

第1驱动轴25与第2驱动轴26穿过配置有动力源的机壳40的凸缘部即轴支承台41。

包含上述各臂部的各平行连杆的安装按照如下所述地进行。首先，在将第1平行连杆21安装在第1驱动轴25与第2驱动轴26上时，用键等将第1平行连杆的第1臂21a与第1驱动轴25固定连接在一起，用轴承等能够实现旋转运动的部件将第1平行连杆21的第4臂21b与第2驱动轴26安装在一起且使二者能够产生相对旋转。在将第2平行连杆22安装在第1驱动轴25与第2驱动轴26上时，用键等将第2平行连杆22的第2臂22a与第2驱动轴26固定连接在一起，用轴承等能够实现旋转运动的部件将第2平行连杆22的第3臂22b与第1驱动轴25安装在一起且使二者能够产生相对旋转。

如此，第1平行连杆21与第2平行连杆的安装轴为两个，在一个安装轴上安装两个臂从而共用安装轴。因而能够减少构成部件的数量，从而降低传送装置的总重量以及制造费用。另外，仅用第1驱动轴25与第2驱动轴26安装两个平行连杆，因而，与现有技术那样的用两个驱动轴与两个从动轴共计四个轴隔开配置而安装两个平行连杆的传送装置的结构相比，其旋转半径可以减小，其减小量相当于轴的间隔距离，因而能够节省装置的空间。

在上述的第3平行连杆23与第4平行连杆24的头端部分别安装着第1保持部31a与第2保持部32a，在第1保持部31a与第2保持部32a的头端部分别安装着第1传送器31b与第2传送器32b，该第1传送器31b与第2传送器32b用于传送基板等被处理物。

为了使产生旋转运动的驱动器小型化，不得不使其内部的构造体相对于中心轴非对称地配置，然而，此时，在被真空排气后不能对各内部构造体施加均等的力。因此，驱动器的内部受到不均一的外力，有时会使内部构造体产生歪曲或形变。为了解决这样的问题，通常(现有技术)是提高构造体本身的刚性，或者另外安装保持部件，然而这会造成驱动器本身的尺寸较大的问题。而在本实施方式中，为了保护驱动器的内部构造体(机壳内部的构造体)，而使安装在驱动器外部的保护部件具有一定的刚性，使其与驱动器之间具有多个连接点。从而，不会增大驱动器本身的尺寸就能够抑制由于真空排气等原因造成施加在驱动器上的力不均一从而使得驱动器产生形变等变形这一问题。作为该保护部件，例如用不锈钢、铁等杨氏模量大的材料或截面惯性矩较大的形状。

图8所示为安装有上述第1驱动轴25与第2驱动轴26的传送装置的整体结构(第1连杆机构20a与第2连杆机构20b的整体未示出)。下面参照图8以及上面所说明的图6、图7来说明传送装置的动作。图8为传送装置整体结构的剖视图。在图8中，与图6及图7相同的结构部件，如无特别说明的，使用相同的符号。

第1驱动轴26与第2驱动轴26穿过机壳40的凸缘部(轴支承台)41。在机壳40内，于第1驱动轴25与第2驱动轴26的下端分别设有马达等的第1动力源42a与第2动力源42b。

由第1动力源42a与第2动力源42b使第1驱动轴25与第2驱动轴26旋转，随着它们的旋转，第1平行连杆21与第2平行连杆22也旋转。

第1平行连杆21与第2平行连杆22旋转，通过齿轮分别使得第3平行连杆23与第4平行连杆24向相反方向旋转。因而，第1保持部31a与第2保持部32a沿着连接第1驱动轴25与第2驱动轴26的直线作前后运动。

从而，第1传送器31b与第2传送器32b在保持住基板的状态下做直线运动从而对基板进行传送。此时，由于第1连杆机构20a与第2连杆机构20b的水平高度不同，因而两个连杆机构之间即第1传送器31b与第2传送器32b之间相错开从而不会产生冲突。

在图6～图8中，第1连杆机构20a位于上方，第2连杆机构20b位于下方，然而这只是一种例示，把它们颠倒过来也可。

在第1驱动轴25与第2驱动轴26的外周对每个驱动轴均至少设置一个例如图1所示的密封机构100。也可以使用上述的密封机构200、300与400来代替密封机构100。配置由动力源等的机壳40的内部构成为，使包括第1连杆机构20a与第2连杆机构20b的基板的传送侧的真空状态得以维持。

第1动力源42a产生动作，则，通过第1驱动轴25使第1平行连杆21旋转。在第1平行连杆21上通过齿轮箱27安装着第3平行连杆23，该第3平行连杆23与第1平行连杆21的旋转方向相反且旋转角速度相同，因而，在第1连杆机构20a进行伸缩动作过程中，第1保持部31a与第1传送器31b能够始终朝向一定方向。从而，第1保持部31a与第1传送器31b沿着连接第1驱动轴25与第2驱动轴26的直线前后移动。

同样地，第2动力源42b产生动作，则，通过第2驱动轴26使第2平行连杆22旋转。由于在第2平行连杆22上通过齿轮箱28安装着第4平行连杆24，且该第4平行连杆24与第2平行连杆22的旋转方向相反且旋转角速度相同，因而，在第2连杆机构20a进行伸缩动作过程中，第2保持部32a与第2传送器32b能够始终朝向一定方向。从而，第2保持部32a与第2传送器32b沿着连接第2驱动轴26与第1驱动轴25的直线前后移动。

此时，由安装在第1保持部31a上的第1传送器31b与安装在第2保持部32a上的第2传送器32b对基板等的被处理物进行传送。分别包含第1传送器与第2传送器的各连杆机构在上下方向上保持一定间隔地配置。

另外，包括第1驱动轴25与第2驱动轴26的支承台43的整体通过第1带轮44与第1传动带51，和马达等的第3动力源45连接。因而，第3动力源45一动作，则分别通过齿轮与第1平行连杆21与第2平行连杆22连接的第3平行连杆23与第4平行连杆24的头端部上设置的第1保持部31a与第2保持部32a向相应方向旋转。

在支承台43与支承部件46之间设有图1所示的密封机构100(如上所述，也可以是密封机构200、300、400)。支承台43与支承部件46相当于图1～图5中的保持基座体60的壳体10。即使在进行上述旋转动作时，也能够维持基板传送侧的真空状态。从而，能够自由地变换配备有该传送装置的未图示的真空处理装置的处理室的数量与配置等。第3动力源45也可以直接连接在支承台43上。

另外，在本实施方式的传送装置上，设有铅直移动机构，用于使第1连杆机构20a与第2连杆机构20b在铅直方向移动。例如，如图8所示，支承部件46通过滚珠丝杠47等的具有升降功能的部件而与作为马达的第4动力源48以及第2带轮49与第2传动带52连接，因而通过使第4动力源48动作从而能够使支承部件46进行升降动作。从而，能够使第1连杆机构20a与第2连杆机构20b即第1平行连杆21与第2平行连杆22上分别连接的第3平行连杆23与第3平行连杆24的各头端部上分别设置的第1保持部31a与第2保持部32a进行升降动作。从而，能够自由地变换配备有该传送装置的真理处理装置的配置等。第4动力源也可以直接连接在滚珠丝杠47等上。

在支承部件45与机壳40的凸缘部41直接设有例如波纹管等的伸缩性部件，从而即使在进行升降运动时也能够维持气密状态。

如图8所示，为了保护机壳40内部的构造体，在机壳40的外周安装有保护部件50，该保护部件50由不锈钢与铁等的材料制作且具有较大的杨氏模量。通过在保护部件50与机壳40之间设置多个连接点，从而不会增大机壳40本身的尺寸就能够实现抑制由真空排气等引起的施加在驱动器上的力不均匀而产生的机壳40的内部构造体的变形。

采用本实施方式的密封机构100等，能够延长润滑剂的充填周期。另外，由于突出状密封件12的密封部12c与驱动轴25(或26)之间的滑动阻力较小，因而磨耗产生的颗粒也较少从而较清洁，并且，使用寿命较长，设置在真空侧的被处理体的处理效率也较高。另外，采用上述的传送装置，由于第1平行连杆21与第2平行连杆22的安装轴为共用，因而能够减少构成部件的数量，从而能够减少传送装置的总重量以及制造成本。另外，通过共用安装轴从而能够使旋转半径较小，从而能够节省空间。另外，旋转半径小，则在旋转动作进行过程中被处理物(例如硅半导体)上受到的离心力也较小，从而能够提高其的旋转速度。因而，能够用一个工序非常有效率地按照顺序将被处理物装入真空处理室内的规定位置或从中取出，从而能够缩短作业时间，能够缩短被处理物的处理时间，在被处理物上不会有异物附着。

因而，具有这样的传送装置的真空处理装置能够有效地利用在半导体制造业的成膜处理中。

本发明并不限于上面所说明的实施方式，也可以构成为其他各种实施方式。

以上述实施方式的密封机构100、200、300、400作为隔离大气压侧A与真空侧B的机构，然而，也可以将这些密封机构用于隔离填充有不同的气体的空间。

突出状密封件12并不限于上述图1～图3、图5所示的形状，也可以为O形环状或者其他的形状。

驱动轴25并不限于在铅直方向上使用，也可以在水平方向或者倾斜方向上使用。或者，在使驱动轴25运动而有时处于水平状态有时处于铅直状态的处理装置中也能够应用上述密封机构100、200、300、400。

作为能够应用密封机构100、200、300、400的处理装置而言，在上面的说明中例示了传送装置。然而，处理装置并不限于传送装置，只要是有旋转轴的旋转动作或者直线移动动作这二者中的至少一方的处理装置都可。传送装置并不限于上述的传送基板的装置，也可以是用于传送其他物体的传送装置。

作为处理装置的例子，除了传送装置之外，还有蚀刻装置、成膜装置、保护层涂敷装置、曝光装置、显像装置等其他各种装置。或者，也并不限于对基板等被处理体进行处理的处理装置，对于工程、建筑、土木等行业中的机械也可以应用密封机构100、200、300、400。

附图标记说明

12  突出状密封件

12c 密封部

15、35、55、65  分隔壁部件

17  间隙

25、26 驱动轴

30 安装部件

33a 螺旋状流路

33 附件

34 导向部件

60 保持基座体

100、200、300、400 密封机构

Claims (9)

1.一种密封机构，其特征在于，包括：

配置在旋转轴外周的密封部件；

配置在所述旋转轴的外周且能够保持所述密封部件使其与所述旋转轴保持接触的保持基座体；

至少与所述旋转轴、所述保持基座体一起构成用于收装润滑剂的容器的分隔壁部件。

2.根据权利要求1所述的密封机构，其特征在于，所述容器由所述旋转轴、所述保持基座体、所述分隔壁部件以及所述密封部件形成。

3.根据权利要求2所述的密封机构，其特征在于，所述保持基座体包括具有内周面的周壁与将所述密封部件安装在所述周壁的所述内周面上的安装部件。

4.根据权利要求2所述的密封机构，其特征在于，所述分隔壁部件安装在所述旋转轴上，并且，在该分隔壁部件与所述保持基座体之间形成间隙，该间隙设定为不会使润滑剂通过。

5.根据权利要求2所述的密封机构，其特征在于，所述分隔壁部件安装在所述保持基座体上，并且，在该分隔壁部件与所述旋转轴之间形成间隙，该间隙设定为不会使润滑剂通过。

6.根据权利要求2所述的密封机构，其特征在于，

所述分隔壁部件与所述密封部件相面对地配置，

所述旋转轴沿着铅直方向配置，

所述密封机构还包括汲取机构，

所述汲取机构利用由所述旋转轴的旋转而产生的力将所述润滑剂从所述分隔壁部件一侧向所述密封部件一侧汲取。

7.根据权利要求6所述的密封机构，其特征在于，所述汲取机构具有设置在所述旋转轴的外周的螺旋状的流路。

8.根据权利要求6所述的密封机构，其特征在于，所述汲取机构具有呈杯状的导向部件，其开口从所述分隔壁部件一侧向所述密封部件一侧越接近所述密封部件尺寸越大。

9.一种配备有权利要求1～8中任一项所述的密封机构的处理装置。

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