CN102212333A - 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨液，由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液均匀度好，利于研磨，可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善，且减少了塌边的产生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。

Description

蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法。
背景技术
通常金刚石研磨液是采用金刚石粉和水进行配置，使用时需要用手摇晃，这样对于金刚石研磨液来说，均匀度不好，有沉淀现象，不利于研磨。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法，所得研磨液均匀度好，利于研磨。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：蓝宝石衬底片精磨研磨液，由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。
作为优选，所述高分子有机醇为乙二醇。
作为优选，所述高分子化合物为硬脂酸。
作为优选，所述碱为氢氧化钠。
蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用超声波振荡仪振荡10分钟；c、将步骤b所得液体过滤；d、将步骤c所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。
作为优选，所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为200w。
本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液均匀度好，利于研磨，可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善，且减少了塌边的产生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。
具体实施方式
蓝宝石衬底片精磨研磨液，由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，加入悬浮液，使研磨液粒径分布更加均匀。所述悬浮液由乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠组成，乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠的重量比＝2∶5∶1。
蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用超声波振荡仪振荡10分钟；c、将步骤b所得液体过滤；d、将步骤c所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为200w。
研磨液磨削效率较大，研磨过程中由于蓝宝石晶片与研磨液中固体颗粒在运动中进行不断的摩擦，因而会产生大量的热，若不及时将其分散带走，产生的热量堆积后会使其表面产生微小的形变，进而影响研磨质量；通过优化研磨液的循环运动方式，将研磨过程中所产生的热量带走，从而有效解决研磨过程中的散热问题。散热问题解决后使用本发明的研磨液大大缩短了加工所需时间，使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善，且减少了塌边的产生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高，晶片表面现象更加光滑，使加工结束后的晶片平整度≤2um(国家标准≤15um)。

Claims (6)

1.蓝宝石衬底片精磨研磨液，其特征在于：由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。
2.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片精磨研磨液，其特征在于：所述高分子有机醇为乙二醇。
3.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片精磨研磨液，其特征在于：所述高分子化合物为硬脂酸。
4.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片精磨研磨液，其特征在于：所述碱为氢氧化钠。
5.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法，其特征在于：包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用超声波振荡仪振荡10分钟；c、将步骤b所得液体过滤；d、将步骤c所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。
6.根据权利要求5所述蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法，其特征在于：所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为200w。
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