CN102211472A - 容性负载驱动装置以及液体喷射装置 - Google Patents

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Abstract

容性负载驱动装置以及液体喷射装置,能够对用于驱动由容性负载构成的致动器的驱动信号的波形进行充分的补偿。对驱动波形信号(WCOM)与反馈信号(Ref)之间的差分信号(Diff)进行脉冲调制,数字功率放大电路(27)对调制信号(PWM)进行功率放大,平滑滤波器(28)对功率放大调制信号(APWM)进行平滑,将驱动信号(COM)施加给由压电元件等容性负载构成的致动器(19),此时,将驱动信号(COM)作为第1反馈信号反馈给减法部(25),使驱动信号(COM)的相位提前而作为第2反馈信号反馈给减法部。此时,作为电流检测器的接地电阻(R)与平滑滤波器(28)的电容器(C)连接,将作为电流检测器的接地电阻(R)的输出作为第2反馈信号反馈给减法部(25)。

Description

容性负载驱动装置以及液体喷射装置
技术领域
本发明涉及对压电元件等容性负载施加驱动信号而进行驱动的容性负载驱动装置,非常适合于将容性负载作为致动器并对该致动器施加驱动信号来喷射液体的液体喷射装置。
背景技术
在利用数字功率放大电路对由规定的电压波形构成的驱动波形信号进行功率放大而形成针对由容性负载构成的致动器的驱动信号的情况下,利用调制部对驱动波形信号进行脉冲调制而形成调制信号,利用数字功率放大电路对该调制信号进行功率放大而形成功率放大调制信号,利用平滑滤波器对该功率放大调制信号进行平滑而形成驱动信号。
在驱动信号的波形十分重要的情况下,有时使该驱动信号的相位提前而形成反馈信号,将利用减法部得到的反馈信号与驱动波形信号之间的差分值作为针对调制部的输入信号。在下述专利文献1中,将由二阶低通滤波器构成的平滑滤波器的输出(即驱动信号)作为第1反馈信号进行反馈,并且,使数字功率放大电路的输出(即功率放大调制信号)通过一阶低通滤波器,将其作为第二反馈信号进行反馈。一阶低通滤波器与二阶低通滤波器相比,相位提前,因此,利用该相位提前的成分来补偿驱动信号的波形。另外,将调制部的脉冲调制的频率称为调制频率或载波频率。
【专利文献1】日本特开2005-329710号公报
但是,在上述专利文献1中,使相位提前而进行反馈的信号不是施加给致动器的驱动信号,而是数字功率放大电路的输出即功率放大调制信号,因此不能充分地对驱动信号的波形进行补偿。
发明内容
本发明是着眼于这各个问题而开发的,其目的在于提供能够充分地对驱动信号的波形进行补偿的容性负载驱动装置和液体喷射装置。
为了解决上述各种问题,本发明的容性负载驱动装置的特征在于,具有:驱动波形信号生成部,其生成驱动波形信号;减法部,其输出所述驱动波形信号与两个反馈信号之间的差分信号;调制部,其对所述差分信号进行脉冲调制而形成调制信号;数字功率放大电路,其对所述调制信号进行功率放大而形成功率放大调制信号;平滑滤波器,其由电感器和电容器构成,并且对所述功率放大调制信号进行平滑而形成容性负载的驱动信号;第1反馈电路,其将所述驱动信号作为针对减法部的第1反馈信号;以及第2反馈电路,其使所述驱动信号的相位提前而作为针对所述减法部的第2反馈信号。
根据该容性负载驱动装置,对从减法部输出的、驱动波形信号与两个反馈信号之间的差分信号进行脉冲调制而形成调制信号,利用数字功率放大电路对调制信号进行功率放大而形成功率放大调制信号,利用平滑滤波器对功率放大调制信号进行平滑而形成容性负载的驱动信号,此时,将驱动信号本身作为第1反馈信号反馈到减法部,并且,使驱动信号的相位提前而作为第2反馈信号反馈到减法部,由此,能够以比例或微分的方式对驱动信号进行反馈,能够对驱动信号的波形进行充分的补偿。
可以是,该容性负载驱动装置还具有电流检测器,该电流检测器与所述平滑滤波器的电容器连接,所述第2反馈电路将所述电流检测器的输出作为所述第2反馈信号。
根据该容性负载驱动装置,针对由电压信号构成的驱动信号,能够将比该驱动信号的相位提前的平滑滤波器的电容器的电流作为第2反馈信号而反馈到减法部,因此,能够通过简单的结构反馈第2反馈信号,该第2反馈信号能够对驱动信号的波形进行充分的补偿。
可以是,该容性负载驱动装置还具有:第2电容器,其与所述平滑滤波器的输出侧连接,且该第2电容器的电容比该平滑滤波器的电容器的电容小;以及电流检测器,其与该第2电容器连接,所述第2反馈电路将所述电流检测器的输出作为所述第2反馈信号。
根据该容性负载驱动装置,针对由电压信号构成的驱动信号,能够将比该驱动信号的相位提前的平滑滤波器的电容器的电流作为第2反馈信号而反馈到减法部,因此,能够反馈可对驱动信号的波形进行充分的补偿的第2反馈信号,并且,通过使用电容小即阻抗大的第二电容器,能够减小功耗。
可以是,该容性负载驱动装置还具有反向滤波器,该反向滤波器介于所述驱动波形信号生成部与减法部之间,即使因所驱动的容性负载的数量而使得所述平滑滤波器和所述容性负载的静电电容的频率特性发生变化,该反向滤波器也能得到期望的驱动信号。
根据该容性负载驱动装置,与所驱动的容性负载的数量对应地,利用反向滤波器对驱动波信号进行校正,由此,能够减轻第1反馈信号对驱动信号的补偿,由此,能够增大从减法部到驱动信号的开环特性的增益裕量和相位裕量,能够使容性负载驱动装置更加稳定地工作。
可以是,所述调制部还具有比较部,该比较部通过对所述减法部的差分信号与三角波信号进行比较而转换为所述调制信号。
根据该容性负载驱动装置,能通过简单的结构得到调制信号。
可以是,所述调制部具有积分部和将所述积分部的输出转换为所述调制信号的比较部,所述积分部对所述减法部的差分信号与所述调制信号之间的差分进行积分而输出。
根据该容性负载驱动装置,能够通过反馈调制信号来进一步提高驱动信号的波形精度。
可以构成为,所述调制部具有积分部和将所述积分部的输出转换为所述调制信号的比较部,所述积分部对所述减法部的差分信号与所述功率放大调制信号之间的差分进行积分而输出。
根据该容性负载驱动装置,通过对无相位延迟的功率放大调制信号进行反馈,能够使容性负载驱动装置稳定地工作。由于是对包含有数字功率放大电路的电源电压变动的功率放大调制信号进行反馈,因此,能够对数字功率放大电路的电源电压变动进行补偿,进一步提高驱动信号的波形精度。
本发明的液体喷射装置使用上述的容性负载驱动装置来驱动作为所述容性负载的致动器,由此喷射液体。
根据该液体喷射装置,能够对作为容性负载的致动器的驱动信号的波形进行充分的补偿,能够实现更高精度的液体喷射。
附图说明
图1是示出使用了本发明的容性负载驱动装置的喷墨打印机的第1实施方式的概略结构主视图。
图2是图1的喷墨打印机所使用的喷墨打印头附近的俯视图。
图3是图1的喷墨打印机的控制装置的框图。
图4是由容性负载构成的致动器的驱动信号的说明图。
图5是切换控制器的框图。
图6是示出致动器驱动电路的第1实施例的框图。
图7是图6的调制部的框图。
图8是图6的数字功率放大电路的框图。
图9是图6的驱动电路的作用的说明图,(a)是频率特性图,(b)是开环特性图。
图10是没有设置反馈电路时的驱动电路的频率特性图。
图11是没有设置图6的第2反馈电路时的作用的说明图,(a)是频率特性图,(b)是开环特性图。
图12是示出致动器驱动电路的第2实施例的框图。
图13是示出致动器驱动电路的第3实施例的框图。
图14是图13的驱动电路的作用的说明图,(a)是频率特性图,(b)是开环特性图。
图15是示出致动器驱动电路的第4实施例的框图。
图16是示出致动器驱动电路的第5实施例的框图。
图17是示出致动器驱动电路的第6实施例的框图。
图18是示出致动器驱动电路的第7实施例的框图。
图19是示出致动器驱动电路的第8实施例的框图。
图20是示出致动器驱动电路的第9实施例的框图。
图21是示出使用了本发明的容性负载驱动装置的液体喷射装置的第2实施方式的概略结构图。
图22是图21的液体喷射部的剖视图。
图23是图21的液体喷射装置的控制装置的框图。
图24是由容性负载构成的致动器的驱动信号的说明图。
图25是示出使用了本发明的容性负载驱动装置的液体喷射装置的第3实施方式的概略结构图。
图26是图25的脉动产生机构的结构的纵向剖视图。
图27是图25的液体喷射装置的控制装置的框图。
图28是由容性负载构成的致动器的驱动信号的说明图。
标号说明
1、印刷介质;2、喷墨打印头;3、进纸部;4、输送部;5、进纸辊;6、输送带;7、打印头固定板;8、驱动辊;9、从动辊;10、出纸部;11、控制装置;13、控制部;16、打印头驱动器;19、致动器(容性负载);24、驱动波形信号生成部;25、减法部;26、调制部;27、数字功率放大电路;28、平滑滤波器;29、补偿器;30、衰减器;31、三角波生成部;32、比较部;33、半桥输出级;34、栅极驱动电路;35、配线;36、液体喷射装置;37、控制部;38、液体喷射部;39、管道;40、液滴;52、膜片(diaphragm);53、压电元件(容性负载、致动器);63、膜片;64、压电元件(容性负载、致动器);71、液体室;74、入口流道;75、出口流道;77、致动器驱动控制装置;78、致动器驱动器;79、液体喷射系统;80、脉动产生机构;81、连接流道管;82、喷嘴;85、膜片;98、压电元件(容性负载、致动器);C、电容器;C2、第2电容器;R、接地电阻(电流检测器);R2、第2接地电阻(电流检测器)。
具体实施方式
接下来,作为本发明的容性负载驱动装置的第1实施方式,说明应用于喷墨打印机的例子。
图1是示出本实施方式的喷墨打印机的概略结构图,在图1中,示出了如下的线列打印头(line head)型喷墨打印机:印刷介质1从图的左侧向右侧沿箭头方向输送,在其输送过程中的打印区域中进行打印。
图1中的标号2是设置在印刷介质1的输送线上方的多个喷墨打印头,这些喷墨打印头以在印刷介质输送方向上排成两列的方式并排设置在与印刷介质输送方向交叉的方向上,且分别固定在打印头固定板7上。在各喷墨打印头2的最下方的面上形成有多个喷嘴,该面被称为喷嘴面。如图2所示,喷嘴按照所喷射的墨料的每种颜色,在与印刷介质输送方向交叉的方向上配置成列状,该列被称为喷嘴列,该列的方向被称为喷嘴方向。由配置在与印刷介质输送方向交叉的方向上的所有的喷墨打印头2的喷嘴列,形成了遍及印刷介质1的与输送方向交叉的方向上的宽度总长的线列打印头。
从未图示的墨盒经由供墨管向喷墨打印头2提供例如黄(Y)、品红(M)、青(C)和黑(K)这四种颜色。通过从形成于喷墨打印头2上的喷嘴同时向必要部位喷射必要量的墨料,由此在印刷介质1上形成微小的点(dot)。通过按照每种颜色进行该喷射,由此,只需使由输送部4输送的印刷介质1通过一次,就能完成一条路径的印刷。在本实施方式中,使用了压电方式作为从喷墨打印头2的喷嘴喷射墨料的方法。关于压电方式,当向作为致动器的压电元件提供了驱动信号时,压力室内的振动板产生位移而使压力室内的容积发生变化,因此时产生的压力变化,使得从喷嘴喷射出压力室内的墨料。可通过调整驱动信号的波峰值和电压增减斜率,来调整墨料的喷射量。另外,本发明同样也可以应用于压电方式以外的喷墨方法。
在喷墨打印头2的下方设置有用于在输送方向上输送印刷介质1的输送部4。输送部4通过在驱动辊8和从动辊9上卷绕输送带6而构成,驱动辊8与未图示的电动机相连。
在输送带6的内侧设置了未图示的吸附装置,该吸附装置用于将印刷介质1吸附在该输送带6的表面上。该吸附装置例如可使用借助于负压将印刷介质1吸附在该输送带6上的空气吸附装置、或借助于静电力将印刷介质1吸附在该输送带6上的静电吸附装置等。因此,当进纸辊5将一张印刷介质1从进纸部3送到输送带6上、且电动机对驱动辊8进行了旋转驱动时,输送带6向印刷介质输送方向旋转,由吸附装置将印刷介质1吸附在输送带6上而进行输送。在该印刷介质1的输送过程中,从喷墨打印头2喷射墨料进行印刷。印刷结束后的印刷介质1被排出到输送方向下游侧的出纸部10。另外,在所述输送带6上安装了例如由线性编码器等构成的印刷基准信号输出装置,根据从该印刷基准信号输出装置输出的与所要求的分辨率相应的脉冲信号,从后述的驱动电路向致动器输出驱动信号,由此向印刷介质1的规定位置处喷射规定颜色的墨料,利用该墨料的点在印刷介质1上描绘出规定的图像。
在本实施方式的喷墨打印机中,设置有用于对喷墨打印机进行控制的控制装置11。如图3所示,该控制装置11具有由计算机系统构成的控制部13,该控制部13读入从主计算机12输入的印刷数据,根据该印刷数据执行印刷处理等运算处理。控制装置11具有进纸辊电机驱动器15,该进纸辊电机驱动器15对与所述进纸辊5连接的进纸辊电机14进行驱动控制。控制装置11具有:打印头驱动器16,其对喷墨打印头2进行驱动控制;以及电动机驱动器18,其对与所述驱动辊8连接的电动机17进行驱动控制。
控制部13具有执行印刷处理等各种处理的CPU(Central Processing Unit)13a。控制部13具有:RAM(Random Access Memory)13b,其临时存储所输入的印刷数据或执行该印刷数据的印刷处理等时的各种数据,或者临时展开印刷处理等的程序;以及由非易失性半导体存储器构成的ROM(Read Only Memory)13c,其存储由CPU13a执行的控制程序等。该控制部13在从主计算机12得到印刷数据(图像数据)时,由CPU 13a对该印刷数据执行规定的处理,计算关于是从哪个喷嘴喷射墨料或喷射何种程度的墨料的喷嘴选择数据(驱动脉冲选择数据)。根据该印刷数据、驱动脉冲选择数据以及来自各种传感器的输入数据,向进纸辊电机驱动器15、打印头驱动器16和电动机驱动器18输出控制信号和驱动信号。进纸辊电机14、电动机17和喷墨打印头2内的致动器等各自根据这些控制信号和驱动信号而工作,执行印刷介质1的进纸、输送和出纸、以及针对印刷介质1的印刷处理。另外,控制部13内的各构成要素经由未图示的总线电连接。
图4中示出了从所述控制装置11内的打印头驱动器16向喷墨打印头2提供的驱动信号COM的一例,该驱动信号COM用于驱动由压电元件构成的致动器。在本实施方式中,将该驱动信号COM设为电压以中间电压为中心而变化的信号。该驱动信号COM是由作为单位驱动信号的驱动脉冲PCOM按时序相连而形成的,该驱动脉冲PCOM对致动器进行驱动而喷射墨料,驱动脉冲PCOM的上升部分是扩大与喷嘴连通的压力室的容积而吸入墨料的阶段,驱动脉冲PCOM的下降部分是缩小压力室的容积而压出墨料的阶段,压出墨料的结果是从喷嘴喷射出墨料。
通过将该由电压梯形波构成的驱动脉冲PCOM的电压增减斜率和/或波峰值变更为各种值,能够改变墨料的吸入量和吸入速度、以及墨料的压出量和压出速度,由此,能够改变墨料的喷射量而得到不同大小的点。因此,即使在按时序连接多个驱动脉冲PCOM的情况下,也能够从中选择单独的驱动脉冲PCOM提供给致动器19而喷射墨料,或者选择多个驱动脉冲PCOM提供给致动器19而多次喷射墨料,由此能够得到各种大小的点。即,在墨料未干时对同一位置喷射多次墨料时,实质上相当于喷射了大量的墨料,从而能够增大点的大小。通过使用这样的技术的组合,能实现多色调化。另外,图4的左端的驱动脉冲PCOM1是仅吸入墨料而不压出墨料的脉冲。这称之为微振动,用于防止和抑制喷嘴发生黏连而无法喷射墨料的状况。
除了上述驱动信号COM以外,还从上述图3的控制装置向喷墨打印头2输入驱动脉冲选择指定数据SI作为控制信号,该驱动脉冲选择指定数据SI表示根据印刷数据从驱动脉冲PCOM中选择哪种驱动脉冲PCOM。在向喷墨打印头2输入了针对所有喷嘴的喷嘴选择数据后,向喷墨打印头2输入锁存信号LAT和通道信号CH以及时钟信号SCK,所述锁存信号LAT和通道信号CH根据驱动脉冲选择指定数据SI而使驱动信号COM与喷墨打印头2的致动器连接,所述时钟信号SCK用于将驱动脉冲选择指定数据SI作为串联信号发送到喷墨打印头2。另外,以下将驱动致动器19的驱动信号的最小单位设为驱动脉冲PCOM,将按时序连接驱动脉冲PCOM后的信号整体称为驱动信号COM。即,利用锁存信号LAT开始输出一连串的驱动信号COM,按照每个通道信号CH输出驱动脉冲PCOM。
图5中示出了在喷墨打印头2内构筑的切换控制器的具体结构,该切换控制器用于向致动器19提供驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)。该切换控制器具有保存驱动脉冲选择指定数据SI的寄存器20以及临时保存寄存器20的数据的锁存电路21,该驱动脉冲选择指定数据SI用于指定与喷射墨料的喷嘴对应的压电元件等致动器19。该切换控制器具有电平转换器22,该电平转换器22通过将锁存电路21的输出进行电平转换并提供给选择开关23,由此将驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)与由压电元件构成的致动器19连接。
电平转换器22用于转换为能够使选择开关23接通、断开的电平。这是因为,驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的电压比锁存电路21的输出电压高,与此相对应地,选择开关23的工作电压范围也被设定得较高。因此,基于电平转换器22而使选择开关23闭合的致动器19根据驱动脉冲选择指定数据SI,按规定的连接定时与驱动信号(驱动脉冲PCOM)连接。在锁存电路21中保存了寄存器20的驱动脉冲选择指定数据SI之后,向寄存器20输入接下来的印刷信息,按照墨料的喷射定时依次更新锁存电路21的保存数据。另外,图中的标号HGND是压电元件等致动器19的接地端。此外,即使在利用该选择开关23将压电元件等致动器19从驱动信号(驱动脉冲PCOM)分开后(选择开关23断开),该致动器19的输入电压仍然保持分开之前的电压。即,由所述压电元件构成的致动器19是容性负载。
图6示出了致动器19的驱动电路的概率结构。该致动器驱动电路构筑在所述控制装置11的打印头驱动器16内。本实施方式的驱动电路具有驱动波形信号生成部24,该驱动波形信号生成部24根据预先存储的驱动波形数据DWCOM,生成作为驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的基础的驱动波形信号WCOM,该驱动波形信号WCOM是对致动器19的驱动进行控制的信号的基准。本实施方式的驱动电路具有:减法部25,其从驱动波形信号生成部24生成的驱动波形信号WCOM中减去反馈信号Ref而输出差分信号Diff;调制部26,其对从减法部25输出的差分信号Diff进行脉冲调制;以及数字功率放大电路27,其对由调制部26进行脉冲调制后的调制信号PWM进行功率放大。本实施方式的驱动电路具有:平滑滤波器28,其对由数字功率放大电路27进行功率放大后的功率放大调制信号APWM进行平滑,将其作为驱动信号COM输出到由压电元件构成的致动器19;第1反馈电路201,其将作为所述平滑滤波器28的输出的驱动信号COM反馈给所述减法部25;第2反馈电路202,其使所述驱动信号COM的相位提前,反馈给所述减法部25。
驱动波形信号生成部24将由数字数据构成的驱动波形数据DWCOM转换成电压信号,将其保持规定的采样周期而进行输出。减法部25是安装了比例常数用电阻的普通的模拟减法电路。如图7所示,调制部26使用了公知的脉宽调制(PWM:PluseWidthModulation)电路。脉宽调制电路例如具有:三角波生成部31,其输出规定频率的三角波信号;以及比较部32,其对三角波信号与差分信号Diff进行比较,例如当差分信号Diff比三角波信号大时,输出成为工作状态(on-duty)的脉冲占空比的调制信号PWM。这里,调制部26还可以使用除此之外的脉冲密度调制(PDM)电路等公知的脉冲调制部。驱动波形信号生成部24、减法部25和调制部26还可通过运算处理来构筑,该情况下,例如在上述控制装置11的控制部13内通过编程来进行构筑。
如图8所示,数字功率放大电路27具有:半桥输出级33,其实质上由用于功率放大的高侧切换元件Q1和低侧切换元件Q2构成;栅极驱动电路34,其根据来自调制部26的调制信号PWM,调整高侧切换元件Q1的栅源间信号GH和低侧切换元件Q2的栅源间信号GL。在数字功率放大电路27中,当调制信号为高电平时,高侧切换元件Q1的栅源间信号GH为高电平,低侧切换元件Q2的栅源间信号GL为低电平,因此,高侧切换元件Q1成为接通状态,低侧切换元件Q2成为断开状态,结果,半桥输出级33的输出电压Va成为供给电压VDD。另一方面,当调制信号为低电平时,高侧切换元件Q1的栅源间信号GH为抵电平,低侧切换元件Q2的栅源间信号GL为高电平,因此,高侧切换元件Q1成为断开状态,低侧切换元件Q2成为接通状态,结果,半桥输出级33的输出电压Va为0。
这样,在对高侧切换元件Q1和低侧切换元件Q2进行数字驱动的情况下,在接通状态的切换元件中流过电流,但由于漏源间的电阻值非常小,所以基本不会发生损耗。因此,该数字功率放大电路27的损耗自身非常小,可以使用小型的MOSFET等切换元件。
如图6所示,平滑滤波器28由二阶低通滤波器形成,该二阶低通滤波器由一个电感器L和一个电容器C构成。在本实施方式中,利用该平滑滤波器28使所述调制部26产生的调制频率(即脉冲调制的频率成分的信号振幅)进行衰减而将其去除,向致动器19输出驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)。
如前所述,在图2所示的所有喷嘴上都设置了致动器19,对图5所示的选择开关23已闭合的致动器19施加驱动信号COM(驱动脉冲PCOM),对该致动器19进行驱动。致动器19具有容性负载,即静电电容。即,在平滑滤波器28中,与该平滑滤波器28的电容器C并联连接着与所驱动的致动器19的数量(以下,称为驱动致动器的数量)相应的静电电容。显然,当驱动致动器的数量变化时,由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性也发生变化。为了对由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性进行补偿,在图6的致动器驱动电路中具有以下部分:第1反馈电路201,其将驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)直接作为第1反馈信号,反馈给减法部25;第2反馈电路202,其使驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前而作为第2反馈信号,反馈给减法部25。
作为第2反馈电路202,优选为如下结构:利用电流检测器检测平滑滤波器28的电容器C的电流,将该电流检测器的输出作为第2反馈信号。电流检测器由接地电阻R构成。众所周知,电流的相位超前于电压的相位,且如上所述,驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)是梯形波电压信号,因此,所检测的电容器C的电流信号的相位比驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前。基于电容器C和接地电阻R构成了一阶高通滤波器这一情况也能够清楚地得到该结论。这样,利用由驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)构成的第1反馈信号和使驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前的第2反馈信号,能够以比例或微分的方式对驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)进行反馈。可以对伴随着驱动致动器数量的变化的、由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性进行补偿。另外,对于像本实施方式的平滑滤波器28那样未安装阻尼电阻的二阶低通滤波器而言,众所周知,该二阶低通滤波器具有共振特性,但是通过进行第1反馈信号和第2反馈信号的反馈,也能够对构成该平滑滤波器28的二阶低通滤波器的共振特性进行补偿。
图9示出了具有所述第1反馈电路201和第2反馈电路202的本实施方式的致动器驱动电路的频率特性。图9a是由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性,即驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的频率特性,图中的fref是为了不使驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的频率特性发生失真所需的规定频率。即,需要至少在该规定频率fref以下的频带中,将滤波器的增益设为0dB。根据图可知,具有当驱动致动器的数量(在图中为喷嘴数量)增大时、高频带侧的增益减小的趋势,但是在规定频率fref以下的频带中,滤波器的增益为0dB。
图9b是图6的致动器驱动电路的开环特性。反馈所涉及的驱动电路的开环特性是从反馈输入、即本实施例中减法部25的输入侧到致动器19的频率特性,增益大于0dB是指输出比反馈输入大,增益小于0dB是指输出比反馈输入小。相位为-180°是指输入的反转信号。在反馈所涉及的驱动电路的开环特性中,众所周知,当相位为-180°且增益为0dB以上时,将产生无限大的增益而振荡,即变得不稳定,因此,在确认系统的稳定性时,只要测量增益为0dB时与相位-180°之差即相位裕量即可,反之,只要测量相位为-180°时与增益0dB之差即增益裕量即可。在本实施方式中,驱动致动器数量小时的增益裕量、相位裕量均趋向于减小,尽管如此,仍然具有足以使系统稳定工作的裕量。
图10是既不进行第1反馈信号的反馈也不进行第2反馈信号的反馈的所谓由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性(安装了阻尼电阻,通过该阻抗电阻抑制了共振)。与上述的图9a相同,存在驱动致动器的数量越大、高频带的增益越小的趋势,但在该情况下,在所述规定频率fref处,增益小于0dB,驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形发生了失真(高频带的成分被去除)。图11是只进行第1反馈信号的反馈时的频率特性。在图11a所示的由平滑滤波器28和所驱动的致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性、即驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)中的频率特性中,驱动致动器的数量大时的规定频率fref处的增益得到了改善。但是,在图11b所示的开环特性中,与所述图9b所示的开环特性相比,增益裕量和相位裕量均变小,不存在足以使系统稳定工作的裕量。
在本实施方式的容性负载驱动装置和喷墨打印机中,当对由压电元件这样的容性负载构成的致动器19施加了驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)时,喷墨打印头2的压力室的容积缩小,喷射该压力室内的墨料。利用该喷射出的墨料对印刷介质1进行印刷时,对从减法部25输出的、驱动波形信号WCOM与两个反馈信号Ref之间的差分信号Diff进行脉冲调制,形成调制信号PWM,利用数字功率放大电路27对该调制信号PWM进行功率放大,形成功率放大调制信号APWM,利用平滑滤波器28对该功率放大调制信号APWM进行平滑,形成致动器19的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)。将驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)自身作为第1反馈信号反馈给减法部25,并且使驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前而作为第2反馈信号反馈给减法部25,由此,能够以比例或微分的方式对驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)进行反馈,能够对驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形进行充分的补偿,能够进行高精度的印刷。
通过将作为电流检测器的接地电阻R连接至平滑滤波器28的电容器C、并将作为该电流检测器的接地电阻R的输出作为第2反馈信号反馈给减法部25,由此,能够将比由电压信号构成的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前的平滑滤波器28的电容器C的电流作为第2反馈信号反馈给减法部25,因此,能够以简单的结构反馈恰当的第2反馈信号。
利用对减法部25的差分信号Diff与三角波信号进行比较来转换为调制信号PWM的比较部32构成调制部26,由此,能够通过简单的结构来容易地实施本发明。
以下给出其他的实施例。在其他实施例的说明中,针对与第1实施例相同的结构标注与第1实施例相同的标号,并省略其说明。
在图12中,示出了本实施方式的致动器驱动电路的第2实施例。在上述第1实施例中,利用作为电流检测器的接地电阻R直接检测平滑滤波器28的电容器C的电流,但在本实施方式中,与平滑滤波器28的电容器C并联地连接第2电容器C2,利用作为电流检测器的第2接地电阻R2检测该第2电容器C2的电流,将该电流检测器的输出作为第2反馈信号。在该情况下,所应检测的也是比驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前的平滑滤波器28的电容器C的电流,因此,例如当第1实施例的图6的电容器C的电容和接地电阻R的电阻的乘积值与第2实施例的第2电容器C2的电容和第2接地电阻R2的电阻的乘积值相同时,第2电容器C2的电流值与平滑滤波器28的电容器C的电流值相等。此时,通过使第2电容器C2的电容比平滑滤波器28的电容器C的电容小,即,通过增大阻抗,能够降低第2接地电阻R2的功耗。通过减小第2电容器C2的电容,作为电流检测器的第2接地电阻R2的电阻值相对地增大,因此可以忽略第2电容器C2的等效串联电阻,设计变得容易。
在本实施方式的容性负载驱动装置和喷墨打印机中,在平滑滤波器28的输出侧,连接有电容比该平滑滤波器28的电容器C小的第2电容器C2。与该第2电容器C2连接第2接地电阻R2作为用于检测平滑滤波器28的电容器C的电流的电流检测器,将与该第2电容器C2连接的作为电流检测器的接地电阻R2的输出作为第2反馈信号反馈给减法部25。由此,能够将比由电压信号构成的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前的平滑滤波器28的电容器C的电流作为第2反馈信号,反馈给减法部25。因此,能够反馈恰当的第2反馈信号,并且,通过使用电容小即阻抗大的第2电容器C2来减小功耗,增大作为电流检测器的接地电阻R2的电阻值,因此,可以忽视等效串联电阻,设计变得容易。
在图13中,示出了本实施方式的致动器驱动电路的第3实施例。在该实施例中,在上述第1实施例的致动器驱动电路的驱动波形信号生成部24与减法部25之间安装了反向滤波器203。该反向滤波器203具有如下性质:例如即使由平滑滤波器28和致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性因所驱动的致动器19的数量而发生变化,也能得到所期望的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)。在本实施方式中,如前所示,具有所驱动的致动器19的数量越大、高频带的增益越小的趋势。因此,例如在所驱动的致动器19的数量为最小即1个的情况下,在将由平滑滤波器28和一个致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性设定为使得驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形符合设计时,与所驱动的致动器19的数量对应地,利用反向滤波器203对驱动波形信号WCOM进行校正,以增强因增益的减小而衰减的成分。另外,关于反向滤波器203的设定方法,在本申请人之前提出的国际公开公报WO2007/083669中有详细记载。
这样,能够利用反向滤波器203大体上对驱动波形信号WCOM进行校正,但是无法完全覆盖因所驱动的致动器19的数量而发生变化的、由平滑滤波器28和致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性。因此,利用该反向滤波器203、上述的第1反馈信号和第2反馈信号,进行进一步的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的补偿。图14是本实施例的频率特性。在示出了由平滑滤波器28和致动器19的静电电容构成的滤波器的频率特性的图14a中,也能够使驱动致动器的数量大时的增益与驱动致动器的数量小时的增益接近。通过与驱动致动器的数量对应地预先对驱动波形信号WCOM进行校正,由此,特别是能够降低第1反馈信号的补偿量,在图14b所示的开环特性中,增益裕量和相位裕量均增大,实现了进一步的稳定。
在本实施方式的容性负载驱动装置和喷墨打印机中,在驱动波形信号生成部24与减法部25之间,安装了反向滤波器203,关于该反向滤波器203,即使平滑滤波器28和由容性负载构成的致动器19的静电电容的频率特性因所驱动的致动器19的数量而发生变化,也能得到所期望的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)。由此,与所驱动的致动器19的数量相应地,利用反向滤波器203对驱动波形信号WCOM进行校正,从而能够减轻第1反馈信号对驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的补偿,增大从减法部25到驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的开环特性的增益裕量和相位裕量,能够使系统稳定。
图15中示出了本实施方式的致动器驱动电路的第4实施例。在本实施例中,构成了所谓的自激振荡型脉宽调制电路,即:调制部26使用了积分器204(积分部),利用比较器205对该积分器204的输出与大小的规定值进行比较,输出脉宽调制信号PWM。在本实施方式中,设定为,将作为调制部26的输出的调制信号PWM反馈给积分器204,在积分器204中,对差分信号Diff与调制信号PWM之间的差分值进行积分,由此,能够提高驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形精度。
在本实施方式的容性负载驱动装置和喷墨打印机中,调制部26具有积分器204和将积分器204的输出转换成调制信号PWM的比较器205,积分器204构成为对减法部25的差分信号Diff与调制信号PWM之间的差分进行积分而输出,由此提高了驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形精度。
图16示出了本实施方式的致动器驱动电路的第5实施例。在本实施例中,也与所述第4实施例同样,构成了自激振荡型脉宽调制电路,即:调制部26使用了积分器204(积分部),利用比较器205对该积分器204的输出与大小的规定值进行比较,输出脉宽调制信号PWM。在所述积分器204中,反馈了作为数字功率放大电路27的输出的功率放大调制信号APWM,在积分器204中设定为对差分信号Diff与功率放大调制信号APWM之间的差分值进行积分。该功率放大调制信号APWM相对于驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)不存在相位延迟,因此系统更加稳定,并且,能够对因电源电压VDD的变动而变化的功率放大调制信号APWM进行补偿,能够确保伴随着电源电压VDD的变动的、驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的波形精度。
在本实施方式的容性负载驱动装置和喷墨打印机中,调制部26具有积分器204和将积分器204的输出转换成调制信号PWM的比较器205,积分器204构成为对减法部25的差分信号Diff与功率放大调制信号APWM之间的差分进行积分而输出。由此,通过反馈无相位延迟的功率放大调制信号APWM,能够使系统更加稳定,并且能够对电源电压VDD在数字功率放大电路27中的变动进行补偿。
图17示出了本实施方式的致动器驱动电路的第6实施例。在本实施例中,如前所述地通过运算处理来构筑从驱动波形信号生成部24到调制部26的处理。具体而言,在上述图3的控制装置11的控制部13内,通过编程来进行构筑。另外,此后在本实施方式中,不管是哪个实施例,都是通过运算处理来构筑从驱动波形信号生成部24到调制部26的处理。图17的第1反馈电路201和第2反馈电路的结构与上述第1实施方式的结构相同,分别安装了用于实现运算处理所需的数字化的模拟-数字转换器(A/D转换器)206。在第1反馈电路201中,将驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)转换成数字值进行反馈,利用减法部25从驱动波形信号WCOM减去该数字值,进一步从该相减后的值中减去从第2反馈电路202反馈的平滑滤波器28的电容器C的电流值的数字值,将该相减后的值作为差分信号Diff输入到调制部26。该调制部26也利用使用了数字值的编程来构成,对所述差分信号Diff进行脉冲调制而输出调制信号PWM。这样,通过使从驱动波形信号生成部24到调制部26的处理数字化,能够简化实质的电路结构。
图18示出了本实施方式的致动器驱动电路的第7实施例。在本实施例中,在上述图7的第6实施例的致动器驱动电路的驱动波形信号生成部24与减法部25之间安装了反向滤波器203。关于利用编程来构筑反向滤波器203的方法,也在上述国际公开公报WO2007/083669中有详细记载。在本实施例的致动器驱动电路中,能够综合地得到上述第3实施方式的效果和第6实施方式的效果。
图19示出了本实施方式的致动器驱动电路的第8实施例。在本实施例中,仅反馈驱动信号COM(驱动脉冲PCOM),利用A/D转换器206将该驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)转换成数字值。第1反馈电路201将转换成该数字值的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)直接作为第1反馈信号,反馈给减法部25。另一方面,第2反馈电路202利用相位提前部207使转换为数字值的驱动信号COM(驱动脉冲PCOM)的相位提前,将该信号作为第2反馈信号反馈给减法部25。在本实施例的致动器驱动电路中,能够进一步地简化实质的电路结构。
图20示出了本实施方式的致动器驱动电路的第9实施例。在本实施例中,在上述图19的第8实施例的致动器驱动电路的驱动波形信号生成部24与减法部25之间安装了上述反向滤波器203。在本实施例的致动器驱动电路中,能够综合地得到上述第3实施例的效果和第8实施例的效果。
另外,在上述实施方式中,仅详细说明了将本发明的容性负载驱动装置用于线列打印头型喷墨打印机的情况,本发明的容性负载驱动装置同样也能够应用于多路径型喷墨打印机。
接下来,作为本发明的容性负载驱动装置的第2实施方式,说明应用于液体喷射装置的例子。在以下的实施方式的说明中,针对与第1实施方式相同的结构,标注与第1实施方式相同的标号,并省略其说明。
图21是示出本实施方式的液体喷射装置的概略结构的一例的说明图。本实施方式的液体喷射装置例如可用于精密物体和构造物的清洗、手术用的手术刀等各个方面,但在以下说明的实施方式中,示例地说明适合于设置在以插入血管内来去除血栓等为目的的导管的前端的液体喷射装置、或者适合于切开或切除生物体组织的液体喷射装置。因此,实施方式中使用的液体是水或生理盐水,在下文中,将它们统称为液体。
在图21中,作为基本结构,液体喷射装置36具有:液体喷射控制部37,其包含以一定压力提供液体的作为液体供给部的泵;液体喷射部38,其使液体脉动地变化;以及管39,其将液体喷射控制部37与液体喷射部38连通。液体喷射部38使液体脉动地变化,使其成为液滴40而脉冲状地高速喷射。如后所述,在液体喷射部38的内部具有由容性负载构成的压电元件作为致动器,与压电元件连接着用于输入驱动信号的连接线,该连接线贯穿地插在管39内。在液体喷射控制部37的附近或内部,连接线通过分支部41从管39分支,作为连接配线42与液体喷射控制部37的驱动电路连接。管39与液体喷射控制部37中包含的泵连接。
接着,使用图22说明液体喷射部38的结构。图22是液体喷射部38的纵向剖视图。在液体喷射部38的前端部47开设有喷射液体的液体喷射开口部48,在基端部49嵌合着具有柔性的管39。在液体喷射部38的内部设置有液体室71,该液体室71的壁面的一部分由膜片52、63构成。液体室71经由出口流道75与液体喷射开口部48连接,经由入口流道74与管39连接。膜片52、63分别与压电元件53、64接合。当对压电元件53、64输入了驱动信号时,膜片随压电元件53、64的伸缩而变形,使得液体室71的容积发生变化。
接着,使用图21、22说明液体喷射装置36中的液体流动。液体喷射控制部37具有未图示的液体容器和与液体容器连接的泵。泵向管39送出液体。利用泵使收容在液体容器中的液体以一定压力经由管39、入口流道74而供给到液体室71。这里,当向压电元件53、64输入驱动信号而使压电元件53、64伸缩时,膜片52、63使液体室71的容积变形。结果,液体室71内的压力发生变动,因此从液体喷射开口部48经由出口流道75排出脉冲状的液体,即产生高速的脉冲状液滴的喷射。
图23示出了设置在所述液体喷射控制部37内的致动器驱动控制装置77。本实施方式的液体喷射装置的致动器是压电元件53、64,与所述实施方式1相同,也是容性负载。与所述实施方式1的控制装置相同,该致动器驱动控制装置77构成为具有:由计算机系统构成的控制部13,其读入从主计算机12输入的输入数据和指令,根据该输入数据和指令执行规定的运算处理;以及致动器驱动器78,其根据来自控制部13的控制信号,对压电元件53、64进行驱动控制。与所述实施方式1相同,控制部13具有CPU 13a、RAM 13b以及ROM 13c。
图24中示出了从所述致动器驱动控制装置77内的致动器驱动器78提供给压电元件53、64的驱动信号COM的一例,该驱动信号COM用于驱动由这些压电元件53、64构成的致动器。在本实施方式这样的液体喷射装置中,如上述所说明的那样,可以使用各种驱动信号,但在本实施方式中,与第1实施方式相同,将驱动信号设为电压以中间电压为中心而变化的梯形波电压信号。该驱动脉冲PCOM的电压上升部分是扩大液体室71的容积而吸入液体的阶段,电压下降部分是使液体室71的容积缩小而压出液体的阶段。
因此,在上述致动器驱动器78内构筑的致动器驱动电路中,可以将致动器变更为压电元件53、64而直接使用上述第1实施方式的第1~第9实施例的致动器驱动电路。在该情况下,如前所述,能够利用第1反馈信号和第2反馈信号有效地衰减由二阶低通滤波器构成的平滑滤波器28的共振。在针对一个致动器驱动电路,分别随机地连接静电电容不同的压电元件53、64而进行驱动的情况下,与上述第1实施方式同样,由平滑滤波器28和所驱动的压电元件53、64的静电电容构成的滤波器的频率特性因与平滑滤波器28连接的压电元件53、64而发生变化,驱动信号COM的波形产生失真。在这样的情况下,在上述第1实施方式的第1~第9实施例的致动器驱动电路中,能够抑制和防止驱动信号COM的波形失真。从而也能够同样地得到与各个实施例对应的效果。关于所述第1实施方式的第3、第7、第9实施例,与所连接的压电元件53、64的静电电容对应地,利用反向滤波器203来校正驱动波形信号WCOM,以增强因增益减小而衰减的成分。
这样,在使用了本实施方式的容性负载驱动装置的液体喷射装置中,也是在对作为容性负载的压电元件53、64施加了驱动信号COM时,通过膜片52、63使液体室71的容积缩小,喷射出该液体室71内的液体。在该情况下,对从减法部25输出的、驱动波形信号WCOM与两个反馈信号Ref之间的差分信号Diff进行脉冲调制,形成调制信号PWM,利用数字功率放大电路27对该调制信号PWM进行功率放大,形成功率放大调制信号APWM,利用平滑滤波器28对该功率放大调制信号APWM进行平滑,形成压电元件53、64的驱动信号COM。将驱动信号COM自身作为第1反馈信号反馈给减法部25,并且使驱动信号COM的相位提前而作为第2反馈信号反馈给减法部25,由此,能够以比例或微分的方式对驱动信号COM进行反馈,能够对驱动信号COM的波形进行充分的补偿,能够进行高精度的液体喷射。
接下来,作为本发明的容性负载驱动装置的第3实施方式,说明将容性负载驱动装置应用于与所述第2实施方式的液体喷射装置不同类型的液体喷射装置的例子。在以下的实施方式的说明中,针对与第1实施方式或第2实施方式相同的结构,标注相同的标号,并省略其说明。
图25是示出本实施方式的液体喷射装置的概略结构的一例的说明图。本实施方式的液体喷射装置例如可用于精密物体和构造物的清洗、以及手术用的手术刀等各个方面,但在以下说明的实施方式中,示例地说明应用于切开或切除生物体组织的液体喷射装置。因此,实施方式中使用的液体是水或生理盐水,在下文中,将它们统称为液体。
在图25中,作为基本结构,液体喷射系统79具有:液体喷射控制部37,其包含未图示的收容液体的液体容器和作为压力产生部的泵;液体喷射部38,其对从泵提供的液体进行脉动喷射;以及管39,其将液体喷射部38与泵连通。液体喷射部38具有:脉动产生机构80,其以高压、高频率对所提供的液体进行脉动喷射;以及连接流道管81,其与脉动产生机构80连接,在连接流道管81的前端部安装有喷嘴82,该喷嘴82具有使流道的截面积缩小的液体喷射开口部48。
接下来说明该液体喷射系统79中的液体流动。利用泵以一定的压力使收容在液体喷射控制部37所具备的液体容器中的液体经由管39而提供给脉动产生机构80。脉动产生机构80具有后述的液体室71和该液体室71的容积变更单元,对容积变更单元进行驱动而产生脉动,从液体喷射开口部48高速地以脉冲状喷射液体。关于脉动产生机构80的详细说明,后面将使用图26来进行说明。另外,在使用该液体喷射系统79进行手术时,操作人员所把持的主要部位是脉动产生机构80。
接着,说明所述液体喷射部38的结构。图26是沿着液体的流道方向切断本实施方式的脉动产生机构80的主要结构后的截面图。液体喷射部38由包含液体的脉动产生单元的脉动产生机构80、以及连接流道管81构成,该连接流道管81具有喷射液体的出口连接流道83和喷嘴82。脉动产生机构80的内部具有液体室71,液体室71的壁面的一部分由膜片85构成。在膜片85上,隔着顶板106固定着作为容积变更单元的叠层型压电元件98。即,当向压电元件98输入了驱动信号时,膜片85随压电元件98的伸缩而变形,液体室71的容积发生变化。这样,脉动产生机构80构成为,能够从液体喷射开口部48以脉冲状喷射所供给的液体。
图27示出了设置在所述液体喷射控制部37内的致动器驱动控制装置77。本实施方式的液体喷射装置的致动器是压电元件98,与所述第2实施方式相同,也是容性负载。与所述第2实施方式的控制装置相同,该致动器驱动控制装置77构成为具有:由计算机系统构成的控制部13,其读入从主计算机12输入的输入数据和指令,根据该输入数据和指令执行规定的运算处理;以及致动器驱动器78,其根据来自控制部13的控制信号,对压电元件98进行驱动控制。与所述第1和第2实施方式相同,控制部13具有CPU 13a、RAM 13b以及ROM 13c。在图28中,示出了从所述致动器驱动控制装置77内的致动器驱动器78提供给压电元件98的驱动信号COM的一例,该驱动信号COM用于驱动由这些压电元件98构成的致动器。在本实施方式的这样的液体喷射装置中,根据上述的说明可知,可以使用各种驱动信号,但是在本实施方式中,与上述第2实施方式相同,将驱动信号设为电压以中间电压为中心而变化的梯形波电压信号。该驱动信号COM的电压上升部分是扩大液体室71的容积而吸入液体的阶段,电压下降部分是使液体室71的容积缩小而压出液体的阶段。
因此,在所述致动器驱动器78内构筑的致动器驱动电路中,可以将致动器变更为压电元件98而直接使用上述第1实施方式的第1~第9实施例的致动器驱动电路。在该情况下,如前所述,能够利用第1反馈信号和第2反馈信号有效地衰减由二阶低通滤波器构成的平滑滤波器28的共振。在针对一个致动器驱动电路,分别随机地连接静电电容不同的压电元件98而进行驱动的情况下,与上述第1实施方式同样,由平滑滤波器28和所驱动的压电元件98的静电电容构成的滤波器的频率特性随所连接的压电元件98而变化,驱动信号COM的波形产生失真。在这样的情况下,在上述第1实施方式的第1~第9实施例的致动器驱动电路中,能够抑制和防止驱动信号COM的波形失真。也能够同样地得到与各个实施例对应的效果。关于所述第1实施方式的第3、第7、第9实施例,与所连接的压电元件98的静电电容对应地,利用反向滤波器203来校正驱动波形信号WCOM,以增强因增益减小而衰减的成分。
这样,在使用了本实施方式的容性负载驱动装置的液体喷射装置中,也是在对作为容性负载的压电元件98施加了驱动信号COM时,通过膜片85使液体室71的容积缩小,喷射出该液体室71内的液体。在该情况下,对从减法部25输出的、驱动波形信号WCOM与两个反馈信号Ref之间的差分信号Diff进行脉冲调制,形成调制信号PWM,利用数字功率放大电路27对该调制信号PWM进行功率放大,形成功率放大调制信号APWM,利用平滑滤波器28对该功率放大调制信号APWM进行平滑,形成压电元件98的驱动信号COM。将驱动信号COM自身作为第1反馈信号反馈给减法部25,并且使驱动信号COM的相位提前而作为第2反馈信号反馈给减法部25,由此,能够以比例或微分的方式对驱动信号COM进行反馈,能够对驱动信号COM的波形进行充分的补偿,能够进行高精度的液体喷射。
另外,对于使用了本发明的容性负载驱动装置的液体喷射装置,还可以具体化为喷射除了所述墨料、生理盐水以外的其他液体(除了液体以外,还包括分散着功能材料粒子的液状体、胶体等流状体)、除了液体以外的流体(可作为流体流出而喷射的固体等)的流体喷射装置。例如,可以是液晶显示器、EL(Electro luminescence:电致发光)显示器、面发光显示器、彩色滤波器的制造中使用的喷射以分散或溶解的状态包含有电极材料、颜料等材料的液状体的液体喷射装置、用于生物芯片制造的喷射生物体有机的液体喷射装置、被用作精密吸液管的喷射作为样本的液体的液体喷射装置。并且,还可以是利用针孔(pin point)对钟表或照相机等精密机械喷射润滑油的液体喷射装置、在基板上喷射紫外线硬化树脂等透明树脂液的液体喷射装置,该透明树脂液用于形成在光通信元件等中使用的微小半球透镜(光学镜头)等。还可以是为了对基板等进行蚀刻而喷射氧或碱等蚀刻液的液体喷射装置、喷射胶体的流状体喷射装置、喷射以调色剂等粉状体为例的固体的液体喷射式存储装置。本发明可应用于这些喷射装置中的任意一种。

Claims (8)

1.一种容性负载驱动装置,其特征在于,该容性负载驱动装置具有:
驱动波形信号生成部,其生成驱动波形信号;
减法部,其输出所述驱动波形信号与两个反馈信号之间的差分信号;
调制部,其对所述差分信号进行脉冲调制而形成调制信号;
数字功率放大电路,其对所述调制信号进行功率放大而形成功率放大调制信号;
平滑滤波器,其由电感器和电容器构成,并且对所述功率放大调制信号进行平滑而形成容性负载的驱动信号;
第1反馈电路,其将所述驱动信号作为针对减法部的第1反馈信号;以及
第2反馈电路,其使所述驱动信号的相位提前而作为针对所述减法部的第2反馈信号。
2.根据权利要求1所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
该容性负载驱动装置还具有电流检测器,该电流检测器与所述平滑滤波器的电容器连接,
所述第2反馈电路将所述电流检测器的输出作为所述第2反馈信号。
3.根据权利要求1所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
该容性负载驱动装置还具有:第2电容器,其与所述平滑滤波器的输出侧连接,且该第2电容器的电容比该平滑滤波器的电容器的电容小;以及电流检测器,其与所述第2电容器连接,
所述第2反馈电路将所述电流检测器的输出作为所述第2反馈信号。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
该容性负载驱动装置还具有反向滤波器,该反向滤波器介于所述驱动波形信号生成部与减法部之间,即使因所驱动的容性负载的数量而使得所述平滑滤波器和所述容性负载的静电电容的频率特性发生变化,该反向滤波器也能得到期望的驱动信号。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
所述调制部具有比较部,该比较部通过对所述减法部的差分信号与三角波信号进行比较而转换为所述调制信号。
6.根据权利要求1~4中任一项所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
所述调制部具有积分部和将所述积分部的输出转换为所述调制信号的比较部,所述积分部对所述减法部的差分信号与所述调制信号之间的差分进行积分而输出。
7.根据权利要求1~4中任一项所述的容性负载驱动装置,其特征在于,
所述调制部具有积分部和将所述积分部的输出转换为所述调制信号的比较部,所述积分部对所述减法部的差分信号与所述功率放大调制信号之间的差分进行积分而输出。
8.一种液体喷射装置,其特征在于,
该液体喷射装置使用权利要求1~7中任一项所述的容性负载驱动装置,对作为所述容性负载的致动器进行驱动,由此喷射液体。
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