CN102210005A - 用于减废系统的废气冷凝物移除装置 - Google Patents

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Abstract

本发明描述用于减废系统的废气冷凝物移除装置以及从减废系统移除废气冷凝物的方法。废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。另一废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。

Description

用于减废系统的废气冷凝物移除装置
关联申请的交叉引用
本申请案主张2008年11月10日申请的美国临时申请案第61/113,143号的权益，该案的全部内容以引用的方式并入本文。
技术领域
本发明的实施例关于减废系统的领域，尤指关于用于减废系统的废气冷凝物移除装置及从减废系统移除废气冷凝物的方法。
背景技术
减废系统可为半导体、太阳能及显示器工业提供环境减废解决方法。许多使用点端(point-of-use)洗涤系统已经问世，包括湿式、干式、热式及整合技术，在各种应用中用以减少毒性及有害排放气体。举例而言，有些减废系统可处理从单一单元至整个制造设施中的复杂流出物的问题。
发明内容
本发明的实施例包括用于减废系统的废气冷凝物移除装置及从减废系统移除废气冷凝物的方法。
在实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置。该废气冷凝物移除装置亦包括处理气体排气装置。该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。
在另一实施例中，从减废系统移除废气冷凝物的方法包括提供机壳排气装置。该方法亦包括提供处理气体排气装置。该方法亦包括将该处理气体排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。
在另一实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置。该废气冷凝物移除装置亦包括处理气体排气装置。该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。
在又一实施例中，从减废系统移除废气冷凝物的方法包括提供机壳排气装置。该方法亦包括提供处理气体排气装置。该方法亦包括将该处理气体排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。
附图说明
图1是根据本发明的实施例的减废系统的方块图。
图2是根据本发明的实施例的减废系统的横截面图。
图3是根据本发明的实施例的用于减废系统的废气冷凝物移除装置的方块图。
图4是根据本发明的实施例的从减废系统移除废气冷凝物的方法的流程图。
图5是根据本发明的实施例的用于减废系统的废气冷凝物移除装置的方块图。
图6是根据本发明的实施例的从减废系统移除废气冷凝物的方法的流程图。
具体实施方式
本发明描述用于减废系统的废气冷凝物移除装置及从减废系统移除废气冷凝物的方法。在下文描述中，阐述了若干特定细节，诸如系统构造，以提供对本发明的实施例的全面理解。对于熟习本发明所属技术领域者而言将显而易见的是，可在无需这些特定细节的情况下实施本发明的实施例。在其它实例中，不再详细描述熟知的特征结构，诸如设施布局，以免不必要地模糊本发明的实施例。另外，必须理解的是，图中所展示的各种实施例为说明性代表例，且不一定按比例绘制。
本文揭露用于减废系统的废气冷凝物移除装置。在一个实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉交换。在一个实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉交换。
本文亦揭露从减废系统移除废气冷凝物的方法。在一个实施例中，方法包括提供机壳排气装置、提供处理气体排气装置及将该处理气体排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉交换。在一个实施例中，方法包括提供机壳排气装置、提供处理气体排气装置及将该处理气体排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉交换。
根据本发明的实施例，减废系统经由有效火焰氧化及燃烧毁灭剩余处理气体以获得可靠及安全的减废。在一个实施例中，流出的气体由系统的主要腔室中的火焰加热，该火焰提供可燃及起火气体副产物的点燃。在特定实施例中，火焰点火系统的先进设计确保高惰性气流下的稳定火焰。在实施例中，减废系统提供湿式洗涤方法，其支撑高达四个处理流出物流，包括来自诸如外延硅沉积及金属蚀刻的挑战性处理。在一个实施例中，减废系统处理全氟碳化物(PFC)及全球暖化气体。在另一实施例中，在减废系统中执行关于氢化物及酸碱性气体的处理。在一个实施例中，通过利用化学吸附技术，处理气体及副产物与树脂反应形成非挥发性固体，这是可捕获副产物且确保树脂安全处置的不可逆处理。
在本发明的一个方面中，减废系统可包括燃烧腔室或反应器。图1是根据本发明的实施例的减废系统的方块图。参考图1，减废系统100包括气体入口102、燃烧腔室或反应器104、冷却腔室106、接收槽108、洗涤器110及排气装置112。在一个实施例中，燃烧腔室或反应器104包括火口。在另一实施例中，冷却腔室106为经喷雾喷射器构造以将水喷洒至气体流中的瀑布冷却腔室。在实施例中，接收槽108包括将大量水保持于槽底的大槽，其上方的空间用于容纳通过减废系统的气体。在另一实施例中，洗涤器110直接位于接收槽108上。在特定实施例中，洗涤器110包括喷雾喷水器以将水喷洒至流出的气流中。
图2是根据本发明的实施例的减废系统的横截面图。参考图2，减废系统200包括气体入口202、燃烧腔室或反应器204、冷却腔室206、接收槽208、洗涤器210及排气装置212。在一个实施例中，燃烧腔室或反应器204包括火口。在另一实施例中，冷却腔室206为经喷雾喷射器构造以将水喷洒至气流中的瀑布冷却腔室。在实施例中，接收槽208包括将大量水保持于槽底的大槽，其上方的空间用于容纳通过减废系统的气体，如图2中所描绘。在另一实施例中，洗涤器210直接位于接收槽208上，亦如图2中所描绘。在特定实施例中，洗涤器210包括喷雾喷水器以将水喷洒至流出的气流中。
在本发明的另一个方面中，减废系统可包括具有冷凝物移除机制的排气装置。传统地，半导体、液晶显示器及太阳能处理腔室排放气体被送至使用点端(point-of-use)减废系统以供处理，且随后从使用点端减废排出至设施排气装置或洗涤器系统以供进一步处理或传输至外部环境。许多使用点端减废系统使用水洗涤以从气流移除可溶性化学物，从而使经洗涤的气流中含有饱和水蒸汽。然而，当此饱和气流离开减废单元且接触设施排气装置导管时，水蒸汽可液化，从而留下几池弱酸性液态水，其可能导致导管腐蚀及泄漏。
取而代的，根据本发明的实施例，减废系统包括具有冷凝物移除机制的排气装置。举例而言，在实施例中，双排气装置配置被用于减废系统中且其经构造以减少处理气体排气装置中的水分含量。在一个实施例中，该双排气装置配置的操作是通过：使用设施连接腿冷却排放气体以促进水蒸汽凝结及液体排回至减废系统。在特定实施例中，该配置防止水凝结且集中在设施主要排气装置集流管中。在示范性实施例中，减废系统具有两个排气流、处理气体排气装置(如上所述)及机壳或外壳通风排气装置。在一个实施例中，由于排放气体通过减废系统中的水洗涤器，导致处理气体排气装置中含有饱和水蒸汽。
另一方面，在一个实施例中，机壳通风是从设施、经由机壳或外壳抽至设施排气装置系统的水分及温度受控的空气。根据本发明的实施例，由于减废系统内的燃烧腔室中的加热或燃烧而通常比室温温暖，来自温暖处理气体排气的热其与室温机壳排气装置交换，以促进处理气体排气装置的冷却。在实施例中，热交换导致处理气体排气装置导管中的水发生实质性凝结。在实施例中，将两个排气装置的交叉互换并入减废或整合系统的下游，但是在连接至主要设施排气装置集流管之前。在一个实施例中，提供排气装置导管工件上的斜坡以允许导管工件中的任何冷凝水皆流回至减废系统洗涤器。两个排气装置的特定配置可经排列以进行冷凝处理，该处理的两个实例在下文中描述。
图3是根据本发明的实施例的用于减废系统的废气冷凝物移除装置的方块图。参考图3，减废系统300将具有斜坡303的处理气体排气装置302及具有斜坡305的机壳排气装置304合并为单一排气装置集流管306。在一个实施例中，排气装置的交叉交换通过使用环形导管设计来执行，该设计在两个气流混合并随即进入主要设施集流管308之前，将处理气体排气装置302垂直引入机壳排气装置304内部，如图3中所示。
因此，可提供用于减废系统的废气冷凝物移除装置。在实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。在一个实施例中，该处理排气装置通过使用环形导管配置来与该机壳排气装置敞开地交叉互换，该环形导管配置在机壳排气装置中垂直导引处理气体排气装置。在特定实施例中，环形导管配置经构造以将来自处理气体排气装置的处理气流与来自机壳排气装置的机壳排气流混合，该混合几乎就在处理气流及机壳排气流进入主要设施集流管的前发生。在一个实施例中，机壳排气装置包括第一斜坡组件，且处理气体排气装置包括第二斜坡组件。在一个实施例中，通过将处理气体排气装置与机壳排气装置敞开地交叉互换，处理气流的水分含量得以降低。
图4是根据本发明的实施例的从减废系统移除废气冷凝物的方法的流程图400。在实施例中，该方法涉及的排气装置配置如同联系图3所描述的。
参考流程图400的操作402，从减废系统移除废气冷凝物的方法包括提供机壳排气装置。根据本发明的实施例，提供该机壳排气装置包括在该机壳排气装置中提供斜坡组件。
参考流程图400的操作404，从减废系统移除废气冷凝物的方法亦包括提供处理气体排气装置。根据本发明的实施例，提供该处理气体排气装置包括在该处理气体排气装置中提供斜坡组件。
参考流程图400的操作406，从减废系统移除废气冷凝物的方法亦包括将处理排气装置与机壳排气装置敞开地交叉交换。根据本发明的实施例，将处理排气装置与机壳排气装置敞开地交叉互换包括使用环形导管配置，该配置将处理气体排气装置垂直导引入机壳排气装置内部。在一个实施例中，环形导管配置经构造以将来自处理气体排气装置的处理气流与来自机壳排气装置的机壳排气流混合，该混合就在处理气流及机壳排气流几乎立即进入主要设施集流管之前发生。在一个实施例中，通过将处理气体排气装置与机壳排气装置敞开地交叉互换，处理气流的水分含量得以降低。
在另一实施例中，图5是根据本发明的实施例的用于减废系统的废气冷凝物移除装置的方块图。参考图5，减废系统500包括具有斜坡503的处理气体排气装置502及具有斜坡505的机壳排气装置504，处理气体排气装置502及机壳排气装置504保持为分别导引至两个独立排气装置集流管506及510的独立实体。在一个实施例中，排气装置的交叉互换的执行是通过：将处理气体排气装置502的导管导引入更大的机壳排气装置504管线中一段距离，且接着将该导管向后导引出机壳排气装置504的管线外，之后与一对独立的主要设施集流管508及512连接，如图5所描绘。
因此，可提供用于减废系统的废气冷凝物移除装置。在实施例中，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。在一个实施例中，处理排气装置通过将处理气体排气装置的导管导引入机壳排气装置中一段距离来与机壳排气装置封闭地交叉互换。在特定实施例中，在将处理气体排气装置连接至主要设施集流管之前，将处理气体排气装置的导管进一步导引出机壳排气装置外。在一个实施例中，机壳排气装置包括第一斜坡组件，且处理气体排气装置包括第二斜坡组件。在一个实施例中，通过将处理气体排气装置与机壳排气装置封闭地交叉互换，处理气流的水分含量得以降低。
图6是根据本发明的实施例的从减废系统移除废气冷凝物的方法的流程图600。在实施例中，该方法涉及排气装置配置如联系结图5描述的。
参考流程图600的操作602，从减废系统移除废气冷凝物的方法包括提供机壳排气装置。根据本发明的实施例，提供该机壳排气装置包括在该机壳排气装置中提供斜坡组件。
参考流程图600的操作604，从减废系统移除废气冷凝物的方法亦包括提供处理气体排气装置。根据本发明的实施例，提供该处理气体排气装置包括在该处理气体排气装置中提供斜坡组件。
参考流程图600的操作606，从减废系统移除废气冷凝物的方法亦包括将处理排气装置与机壳排气装置封闭地交叉互换。根据本发明的实施例，将处理排气装置与机壳排气装置封闭地交叉互换包括将处理气体排气装置的导管导引入机壳排气装置中一段距离。在实施例中，在将处理气体排气装置连接至主要设施集流管之前，将处理气体排气装置的导管进一步导引出机壳排气装置外。在实施例中，通过将处理气体排气装置与机壳排气装置封闭地交叉互换，处理气体的水分含量得以降低。
至此，已揭露数种用于减废系统的废气冷凝物移除装置及数种从减废系统移除废气冷凝物的方法。根据本发明的实施例，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置敞开地交叉互换。在实施例中，处理排气装置通过使用环形导管配置来与机壳排气装置敞开地交叉互换，该环形导管配置将处理气体排气装置垂直导引入机壳排气装置内部。根据本发明的另一实施例，废气冷凝物移除装置包括机壳排气装置及处理气体排气装置，该处理排气装置与该机壳排气装置封闭地交叉互换。在实施例中，处理排气装置是通过将处理气体排气装置的导管导引入机壳排气装置中一段距离来与机壳排气装置封闭地交叉互换。

Claims (15)

1.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置，所述废气冷凝物移除装置包含：
机壳排气装置；及
处理气体排气装置，所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。
2.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置，其中，所述处理排气装置通过使用环形导管配置来与所述机壳排气装置敞开地交叉互换，所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。
3.根据权利要求2所述的废气冷凝物移除装置，其中，所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合，所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。
4.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置，其中，所述机壳排气装置包含第一斜坡组件，且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。
5.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置，其中，通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换，处理气流的水分含量得以降低。
6.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法，所述方法包含以下步骤：
提供机壳排气装置；
提供处理气体排气装置；及
使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换的步骤包含以下步骤：使用环形导管配置，所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合，所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。
9.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置，所述废气冷凝物移除装置包含：
机壳排气装置；及
处理气体排气装置，所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
10.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置，其中，所述处理排气装置通过将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离来与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
11.根据权利要求10所述的废气冷凝物移除装置，其中，在将所述处理气体排气装置连接至主要设施集流管之前，将所述处理气体排气装置的所述导管进一步导引出所述机壳排气装置外。
12.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置，其中，所述机壳排气装置包含第一斜坡组件，且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。
13.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置，其中，通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换，处理气流的水分含量得以降低。
14.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法，所述方法包含以下步骤：
提供机壳排气装置；
提供处理气体排气装置；及
使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换的步骤包含以下步骤：将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2011289407B2 (en) 2010-08-11 2015-06-18 Philadelphia Health & Education Corporation Novel D3 dopamine receptor agonists to treat dyskinesia in Parkinson's disease
KR101253330B1 (ko) * 2012-09-07 2013-04-11 (주) 늘푸른동방 웨트 스크러버 결로수 발생 방지 시스템
JP6419388B2 (ja) * 2015-08-14 2018-11-07 オリオン エンジニアード カーボンズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング プロセス（ＰＲＯＣＥＳＳ）排ガス（ｅｘｈａｕｓｔ ｇａｓ）流から、粒子状物質（ＰＡＲＴＩＣＵＬＡＴＥ ＭＡＴＴＥＲ）の除去のための方法およびシステム

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3915222A (en) * 1969-05-19 1975-10-28 Francis R Hull Compressible fluid contact heat exchanger
JPS5212669A (en) * 1975-07-21 1977-01-31 Kawasaki Heavy Ind Ltd Process and apparatus for treatment of exhaust gases emitted from wet gas treatment apparatus
US5394937A (en) * 1993-03-05 1995-03-07 Nieh; Sen Vortex heat exchange method and device
CN1159564A (zh) * 1995-12-15 1997-09-17 东芝株式会社 冷凝器
CN1406662A (zh) * 2001-09-03 2003-04-02 赵明 气体溶解器
CN1424132A (zh) * 2002-12-12 2003-06-18 上海电力学院 冷凝式烟气脱硫方法及其装置
CN1448208A (zh) * 2002-04-04 2003-10-15 松下环境空调工程技术株式会社 有机废气的处理方法及装置
US20040069471A1 (en) * 2002-01-18 2004-04-15 Linde Aktiengesellschaft Plate heat exchanger
US7138096B2 (en) * 1998-01-12 2006-11-21 Applied Materials, Inc. Method for decomposition oxidation of gaseous pollutants
CN2872119Y (zh) * 2005-09-16 2007-02-21 邢彤 环保型木材熏蒸烘干窑
CN201032405Y (zh) * 2007-02-04 2008-03-05 张建东 空气冷凝器
US7794523B2 (en) * 2006-11-14 2010-09-14 Linde Llc Method for the recovery and re-use of process gases

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2653544B1 (fr) * 1989-10-24 1992-02-14 Gaz De France Pompe a vapeur a echangeur air-produits de combustion a contre-courant sans fluide intermediaire.
US5955037A (en) * 1996-12-31 1999-09-21 Atmi Ecosys Corporation Effluent gas stream treatment system having utility for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases
US6655137B1 (en) * 2001-06-25 2003-12-02 Amir A. Sardari Advanced combined cycle co-generation abatement system
US20040168900A1 (en) * 2003-02-27 2004-09-02 Peter Tung Staged heat and mass transfer applications
DE102006027882B4 (de) * 2005-09-02 2009-04-30 Clean Systems Korea Inc., Seongnam Wäscher zum Behandeln von Halbleiter-Abgas
WO2007095150A2 (en) * 2006-02-11 2007-08-23 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for pfc abatement using a cdo chamber

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3915222A (en) * 1969-05-19 1975-10-28 Francis R Hull Compressible fluid contact heat exchanger
JPS5212669A (en) * 1975-07-21 1977-01-31 Kawasaki Heavy Ind Ltd Process and apparatus for treatment of exhaust gases emitted from wet gas treatment apparatus
US5394937A (en) * 1993-03-05 1995-03-07 Nieh; Sen Vortex heat exchange method and device
CN1159564A (zh) * 1995-12-15 1997-09-17 东芝株式会社 冷凝器
US7138096B2 (en) * 1998-01-12 2006-11-21 Applied Materials, Inc. Method for decomposition oxidation of gaseous pollutants
CN1406662A (zh) * 2001-09-03 2003-04-02 赵明 气体溶解器
US20040069471A1 (en) * 2002-01-18 2004-04-15 Linde Aktiengesellschaft Plate heat exchanger
CN1448208A (zh) * 2002-04-04 2003-10-15 松下环境空调工程技术株式会社 有机废气的处理方法及装置
CN1424132A (zh) * 2002-12-12 2003-06-18 上海电力学院 冷凝式烟气脱硫方法及其装置
CN2872119Y (zh) * 2005-09-16 2007-02-21 邢彤 环保型木材熏蒸烘干窑
US7794523B2 (en) * 2006-11-14 2010-09-14 Linde Llc Method for the recovery and re-use of process gases
CN201032405Y (zh) * 2007-02-04 2008-03-05 张建东 空气冷凝器

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