KR20110093889A - 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 - Google Patents

저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 Download PDF

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필 챈들러
샤운 더블유. 크라우포드
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 및 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법이 기술된다. 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부 및 상기 캐비넷 배기부와 개방되어 교차 교환되는 프로세스 가스 배기부를 포함한다. 다른 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부 및 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어 교차 교환되는 프로세스 가스 배기부를 포함한다.

Description

저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 {EXHAUST CONDENSATE REMOVAL APPARATUS FOR ABATEMENT SYSTEM}
관련 출원의 상호 참조 ( CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS )
본 출원은 2008년 11월 10일에 출원된 미국 가출원 번호 61/113,143의 우선권의 이익을 주장하며 상기 출원의 전체 내용은 인용에 의하여 본 명세서에 편입된다.
분야( FIELD )
[0001] 본 발명의 실시예들은 저감 시스템 분야에 관한 것으로서 특히 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치와 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법에 관한 것이다.
관련 기술에 관한 기술(DESCRIPTION OF RELATED ART)
[0002] 저감 시스템은 반도체, 태양전지(solar) 및 디스플레이 산업을 위한 환경적인 저감 솔루션(environmental abatement solutions)을 제공할 수 있다. 다양한 어플리케이션들에 대하여 유독성(toxic) 및 유해(hazardous) 배기 가스의 저감을 위한 습식, 건식, 열 및 일체화된(integrated) 기술을 포함하는 광범위한 POU(point-of-use) 스크러빙 시스템들이 가용하다. 예를 들면, 몇몇 저감 시스템들은 하나의(single) 유닛으로부터 전체 제조 설비에 이르는 복잡한 폐기물(effluent) 난관들(challenges)을 다룬다.
요약( SUMMARY )
[0003] 본 발명의 실시예들은 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치와 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법을 포함한다.
[0004] 일 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부를 포함한다. 배기 응축물 제거 장치는 프로세스 가스 배기부를 더 포함한다. 프로세스 가스 배기부는 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환된다.
[0005] 다른 실시예에 있어서, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 캐비넷 배기부를 제공하는 것을 포함한다. 상기 방법은 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것을 더 포함한다. 상기 방법은 상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환하는 것을 더 포함한다.
[0006] 다른 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부를 포함한다. 배기 응축물 제거 장치는 프로세스 가스 배기부를 더 포함한다. 프로세스 가스 배기부는 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환된다.
[0007] 또 다른 실시예에 있어서, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 캐비넷 배기부를 제공하는 것을 포함한다. 상기 방법은 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것을 더 포함한다. 상기 방법은 상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것을 더 포함한다.
[0008] 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템의 블록 다이어그램을 나타낸다.
[0009] 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템의 횡단면도를 나타낸다.
[0010] 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치의 블록 다이어그램을 나타낸다.
[0011] 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법을 나타내는 순서도이다.
[0012] 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치의 블록 다이어그램을 나타낸다.
[0013] 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법을 나타내는 순서도이다.
[0014] 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 및 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법이 기술된다. 이하의 기술에 있어서, 본 발명의 실시예들의 철저한(thorough) 이해를 제공하기 위하여 시스템 구성과 같은 많은 특정한 상세들이 제시된다. 본 발명의 실시예들이 이들 특정한 상세들 없이도 실행될 수 있음은 본 발명이 속한 기술 분야의 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 다른 경우들에 있어서(in other instances), 설비 레이아웃(facility layouts)과 같이 잘 알려진 피처들(features)은 상세히 기술되지 아니하였는데, 본 발명의 실시예들을 불필요하게 모호하게 만들지 않기 위함이다. 나아가, 도면들에 도시된 다양한 실시예들은 예시적으로 도시된 것이며 반드시 척도대로 도시되지는 아니하였음을 이해할 수 있을 것이다.
[0015] 본 명세서에 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치가 기술된다. 일 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 개방되어 교차 교환된다. 일 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어 교차 교환된다.
[0016] 본 명세서에는 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법도 기술된다. 일 실시예에 있어서, 일 방법은 캐비넷 배기부를 제공하고 프로세스 가스 배기부를 제공하고 상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환하는 것을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 일 방법은 캐비넷 배기부를 제공하고 프로세스 가스 배기부를 제공하고 상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것을 포함한다.
[0017] 본 발명의 일 실시예에 따르면, 저감 시스템은 신뢰성 있고 안전한 저감을 위해 액티브 불꽃 산화 및 연소를 통해 잔여 프로세스 가스를 소멸시킨다(destroy). 일 실시예에 있어서, 폐 가스(effluent gases)는 가연성 및 자연 발화성 가스 부산물의 점화를 제공하는 시스템의 메인 챔버에서 불꽃에 의해 가열된다. 특정한 일 실시예에 있어서, 불꽃 점화 시스템의 개선된 디자인은 고 비활성 가스 유동(high inert gas flow)에 의한 안정적인 불꽃을 보장한다. 일 실시예에 있어서, 저감 시스템은 에피택셜 실리콘 증착 및 금속 에칭과 같은 도전적인 프로세스들로부터의 그것들을 포함하여 네 개의 프로세스 폐기물 스트림들까지 지원하는 습식-스크러빙 솔루션을 제공한다. 일 실시예에 있어서, 저감 시스템은 PFCs(perfluorocarbons) 및 지구온난화 가스를 다룬다. 다른 실시예에 있어서, 수소화물 및 산-계열 가스(acid-based gases)의 처리가 저감 시스템 내에서 수행된다. 일 실시예에 있어서, 화학 흡착(chemisorptive) 기술을 이용하는 것에 의해서, 프로세스 가스 및 부산물이 수지(resin)와 반응하여 비활성 고체를 형성하고 비가역성 프로세스가 부산물을 포획하고(trap) 수지의 안전한 처분을 보장한다.
[0018] 본 발명의 일 양태(aspect)에 있어서, 저감 시스템은 연소 챔버 또는 반응기를 포함할 수 있다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템의 블록 다이어그램을 나타낸다. 도 1을 참조하면, 저감 시스템(100)은 가스 유입부(102), 연소 챔버 또는 반응기(104), 냉각 챔버(106), 수용 탱크(108), 스크러버(110), 및 배출부(112)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 연소 챔버 또는 반응기(104)는 버너를 포함한다. 다른 실시예에 있어서, 냉각 챔버(106)는 가스 스트림 내로 물을 스프레이하기 위한 스프레이 제트들과 함께(with) 구성된 워터폴 냉각 챔버이다. 일 실시예에 있어서, 수용 탱크(108)는 저감 시스템을 통해 이동하는 가스를 위한 공간 오버-헤드(space over-head)에 의해(with) 탱크의 바닥에서 다량의 물을 보유(hold)하는 대형 탱크를 포함한다. 다른 실시예에 있어서, 스크러버(110)는 수용 탱크(108) 위에(above) 직접 안착된다(sit). 특정한 일 실시예에 있어서, 스크러버(110)는 폐 가스의 스트림 내로 물을 스프레이하기 위한 스프레이 샤워를 포함한다.
[0019] 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템의 횡단면도를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 저감 시스템(200)은 가스 유입부(202), 연소 챔버 또는 반응기(204), 냉각 챔버(206), 수용 탱크(208), 스크러버(210), 및 배출부(212)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 연소 챔버 또는 반응기(204)는 버너를 포함한다. 다른 실시예에 있어서, 냉각 챔버(206)는 가스 스트림 내로 물을 스프레이하기 위한 스프레이 제트들과 함께(with) 구성된 워터폴 냉각 챔버이다. 일 실시예에 있어서, 수용 탱크(208)는 도 2에 도시된 바와 같이 저감 시스템을 통해 이동하는 가스를 위한 공간 오버-헤드에 의해(with) 탱크의 바닥에서 다량의 물을 보유하는 대형 탱크를 포함한다. 다른 실시예에 있어서, 스크러버(210)는 도 2에 도시된 바와같이, 수용 탱크(208) 위에 직접 안착된다. 특정한 일 실시예에 있어서, 스크러버(210)는 폐 가스의 스트림 내로 물을 스프레이하기 위한 스프레이 샤워를 포함한다.
[0020] 본 발명의 다른 양태에 있어서, 저감 시스템은 응축물 제거 기구를 구비하는 배기부를 포함할 수 있다. 통상적으로, 반도체, 액정 디스플레이 및 태양전지(solar) 프로세스 챔버 배기 가스는 처리를 위해 POU(point of use) 저감 시스템으로 공급되고 이어서 POU 저감 시스템으로부터 설비 배기부 또는 스크러버 시스템으로 배기되어 후속 처리되거나 또는 외부 환경으로 전달된다(transmission). 스크러빙된 가스 스트림을 수증기에 의해 포화된 채로 남겨두면서 가스 스트림으로부터 용해성 화학물들(soluble chemicals)을 제거하기 위해 많은 POU 저감 시스템이 워터 스크러빙을 사용한다. 그러나 이러한 포화된 증기 스트림이 저감 유닛으로부터 유출되고 설비 배기 도관계(facility exhaust ducting)와 접촉할 때, 상기 도관계를 부식시키거나 누설시킬 수 있는 다소 산성인 물의 웅덩이(pool)를 남겨두면서 수증기가 응축될 수 있다.
[0021] 대신에, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 저감 시스템은 응축물 제거 기구를 구비하는 배기부를 포함한다. 예를 들면, 일 실시예에 있어서, 이중 배기 배열(dual exhaust arrangement)이 저감 시스템에서 사용되고 프로세스 가스 배기부의 수분량을 감소시키도록 구성된다. 일 실시예에 있어서, 저감 시스템으로 되돌아가는 액체 배수(drainage) 및 수증기 응축을 촉진하기 위해서 설비 연결 다리들(facility connection legs)을 사용하여 배기 가스를 냉각하는 것에 의해서 이중 배기 배열이 동작된다. 특정한 일 실시예에 있어서, 상기 배열은 물이 응축되는 것을 막고 설비 메인 배기 헤더에 웅덩이를 형성하는 것을 막는다. 예시적인 일 실시예에 있어서, 저감 시스템은 두 개의 배기 유동들을 구비하는데 하나는 전술한 바와 같은 프로세스 가스 배기부이고 나머지 하나는 캐비넷 또는 인클로져 환기 배기부(enclosure ventilation exhaust)이다. 일 실시예에 있어서, 저감 시스템 내 워터 스크러버를 통한 배기 가스의 통행(passage)의 결과로서 프로세스 가스 배기부가 수증기에 의해 포화된다.
[0022] 다른 한편으로, 일 실시예에 있어서, 캐비넷 환기(ventilation)는 설비로부터 캐비넷 또는 인클로져를 통해 설비 배기 시스템까지 인출된(drawn) 습도 및 온도 제어된 공기이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 저감 시스템 내 연소 챔버에서의 가열 또는 연소 때문에 실내 공기(room air)보다 일반적으로 따뜻한 프로세스 가스 배기부로부터의 열이, 실온 캐비넷 배기부와 교환되어 프로세스 가스 배기부의 냉각을 촉진한다. 일 실시예에 있어서, 열 교환은 프로세스 가스 배기부 덕트 내에서의 실질적인 물 응축을 야기한다. 일 실시예에 있어서, 두 배기부들의 교차 교환(cross exchange)은 저감 또는 일체화된(integrated) 시스템의 하류에 그러나 메인 설비 배기 헤더으로의 연결 이전에 통합된다(incorporate). 일 실시예에 있어서, 배기 덕트 워크 상 슬로프는 덕트 워크 내 임의의 물 응축물로 하여금 저감 시스템 스크러버로 환류될(flow back) 수 있도록 제공된다. 두 개의 배기부들의 특정한 배열은 이러한 응축 프로세스를 가능하게 하도록 배열되는데 이들 중 두 개의 예시들이 후술된다.
[0023] 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치의 블록 다이어그램을 나타낸다. 도 3을 참조하면, 저감 시스템(300)은 하나의 배기 헤더(306) 내로의 슬로프(305)를 구비하는 캐비넷 배기부(304)과 슬로프(303)를 구비하는 프로세스 가스 배기부(302)를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 배기부들의 교차 교환은 도 3에 도시된 바와 같이, 두 개의 가스 유동들이 혼합되기 이전에 그리고 메인 설비 헤더(308) 내로 유입되기 직전에 캐비넷 배기부(304)의 내부에서 수직으로 프로세스 가스 배기부(302)를 경로형성하는 환형 덕트 디자인을 사용하는 것에 의해서 수행된다.
[0024] 따라서, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치가 제공될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 개방되어 교차 교환된다. 일 실시예에 있어서, 캐비넷 배기부의 내부에서 수직으로 프로세스 가스 배기부를 경로형성하는 환형 덕트 배열을 사용하는 것에 의해서 프로세스 가스 배기부가 캐비넷 배기부와 개방되어 교차 교환된다. 특정한 일 실시에에 있어서, 환형 덕트 배열은 상기 프로세스 가스 배기부로부터의 프로세스 가스 유동과 상기 캐비넷 배기부로부터의 캐비넷 배기 유동을 혼합하도록 구성되고, 메인 설비 헤더 내로 상기 프로세스 가스 유동 및 상기 캐비넷 배기 유동이 유입되기 대략 직전에 상기 혼합이 이루어진다. 일 실시예에 있어서, 캐비넷 배기부는 제1 슬로프 요소를 포함하고, 프로세스 가스 배기부는 제2 슬로프 요소를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환시키는 것에 의해서 프로세스 가스 유동의 수분량이 감소된다.
[0025] 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법을 나타내는 순서도(400)이다. 일 실시예에 있어서, 상기 방법은 도 3을 참조하여 설명한 배기부 배열과 같은 배기부 배열들에 관한 것이다.
[0026] 순서도(400)의 동작 402를 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 캐비넷 배기부를 제공하는 것을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐비넷 배기부를 제공하는 것은 캐비넷 배기부에 경사 요소를 제공하는 것을 포함한다.
[0027] 순서도(400)의 동작 404를 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것은 프로세스 가스 배기부에 슬로프 요소를 제공하는 것을 포함한다.
[0028] 순서도(400)의 동작 406을 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환시키는 것을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환시키는 것은, 캐비넷 배기부의 내부에서 수직으로 프로세스 가스 배기부를 경로형성하는 환형 덕트 배열을 사용하는 것을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 상기 환형 덕트 배열은 상기 프로세스 가스 배기부로부터의 프로세스 가스 유동과 상기 캐비넷 배기부로부터의 캐비넷 배기 유동을 혼합하도록 구성되고, 메인 설비 헤더 내로 상기 프로세스 가스 유동 및 상기 캐비넷 배기 유동이 유입되기 대략 직전에 상기 혼합이 이루어진다. 일 실시예에 있어서, 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환시키는 것에 의해서, 프로세스 가스 유동의 수분량이 감소된다.
[0029] 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치의 블록 다이어그램을 나타낸다. 도 5를 참조하면, 저감 시스템(500)은 슬로프(505)를 구비하는 캐비넷 배기부(504)와 슬로프(503)를 구비하는 프로세스 가스 배기부(502)를 포함하는데 이들은 두 별개의 배기 헤더들(506 및 510)까지 경로형성되는 별개의 개체들(entities)로서 유지된다. 일 실시예에 있어서, 배기부들의 교차 교환은 도 5에 도시된 바와 같이, 프로세스 가스 배기부(502)의 덕트를 캐비넷 배기부(504)의 더 큰 라인 내로 일정한 거리 동안(for a distance) 경로형성하고 이어서, 메인 설비 헤더들(508 및 512)의 별개의 쌍과의 연결 이전에 상기 덕트를 상기 캐비넷 배기부(504)의 라인 밖으로 되돌아가게 경로형성하는 것에 의해서 수행된다.
[0030] 따라서, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치가 제공될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환된다. 일 실시예에 있어서, 상기 프로세스 가스 배기부의 덕트를 상기 캐비넷 배기부 내로 일정한 거리 동안 경로형성하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 배기부가 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어 교차-교환된다. 특정한 일 실시예에 있어서, 메인 설비 헤더로 상기 프로세스 가스 배기부를 커플링하기 이전에 상기 프로세스 가스 배기부의 덕트가 상기 캐비넷 배기부의 외부에 추가적으로 경로형성된다. 일 실시예에 있어서, 상기 캐비넷 배기부는 제1 슬로프 요소를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 제2 슬로프 요소를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 유동의 수분량이 감소된다.
[0031] 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법을 나타내는 순서도(600)이다. 일 실시예에 있어서, 상기 방법은 도 5를 참조하여 설명한 배기부 배열과 같은 배기부 배열들에 관한 것이다.
[0032] 순서도(600)의 동작 602를 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 캐비넷 배기부를 제공하는 것을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐비넷 배기부를 제공하는 것은 캐비넷 배기부에 슬로프 요소를 제공하는 것을 포함한다.
[0033] 순서도(600)의 동작 604를 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프로세스 가스 배기부를 제공하는 것은 프로세스 가스 배기부에 슬로프 요소를 제공하는 것을 포함한다.
[0034] 순서도(600)의 동작 606을 참조하면, 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법은 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것은, 상기 프로세스 가스 배기부의 덕트를 상기 캐비넷 배기부 내로 일정한 거리 동안 경로형성하는 것을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 메인 설비 헤더로 상기 프로세스 가스 배기부를 커플링하기 이전에 상기 프로세스 가스 배기부의 덕트가 상기 캐비넷 배기부의 외부에 추가적으로 경로형성된다. 일 실시예에 있어서, 프로세스 가스 배기부를 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것에 의해서, 프로세스 가스 유동의 수분량이 감소된다.
[0035] 따라서, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치 그리고 저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법이 개시되었다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환된다. 일 실시예에 있어서, 캐비넷 배기부의 내부에서 수직으로 프로세스 가스 배기부를 경로형성하는 환형 덕트 배열을 사용하는 것에 의해서 프로세스 가스 배기부가 캐비넷 배기부와 개방되어 교차 교환된다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 배기 응축물 제거 장치는 캐비넷 배기부와 프로세스 가스 배기부를 포함하고, 상기 프로세스 가스 배기부는 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환된다. 일 실시예에 있어서, 상기 프로세스 가스 배기부의 덕트를 상기 캐비넷 배기부 내로 일정한 거리 동안 경로형성하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 배기부가 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어 교차-교환된다.

Claims (15)

  1. 캐비넷 배기부; 및
    상기 캐비넷 배기부와 개방되어(openly) 교차 교환되는(cross-exchanged) 프로세스 가스 배기부;
    를 포함하는, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부의 내부에 수직으로 경로형성(route)하는 환형 덕트 배열(annular duct arrangement)를 사용하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 배기부가 상기 캐비넷 배기부와 개방되어 교차-교환되는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 환형 덕트 배열은 상기 프로세스 가스 배기부로부터의 프로세스 가스 유동과 상기 캐비넷 배기부로부터의 캐비넷 배기 유동을 혼합하도록 구성되고,
    메인 설비 헤더 내로 상기 프로세스 가스 유동 및 상기 캐비넷 배기 유동이 유입되기 대략 직전에 상기 혼합이 이루어지는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 캐비넷 배기부는 제1 슬로프 요소를 포함하고,
    상기 프로세스 가스 배기부는 제2 슬로프 요소를 포함하는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 유동의 수분량(moisture content)이 감소되는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  6. 캐비넷 배기부를 제공하고;
    프로세스 가스 배기부를 제공하고;
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환하는 것:을 포함하는,
    저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 개방되게 교차 교환하는 것은,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부의 내부에 수직으로 경로형성하는 환형 덕트 배열을 사용하는 것을 포함하는,
    저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 환형 덕트 배열은 상기 프로세스 가스 배기부로부터의 프로세스 가스 유동과 상기 캐비넷 배기부로부터의 캐비넷 배기 유동을 혼합하도록 구성되고,
    메인 설비 헤더 내로 상기 프로세스 가스 유동 및 상기 캐비넷 배기 유동이 유입되기 대략 직전에 상기 혼합이 이루어지는,
    저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법.
  9. 캐비넷 배기부; 및
    상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어(closedly) 교차 교환되는 프로세스 가스 배기부;
    를 포함하는, 저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부의 덕트를 상기 캐비넷 배기부 내로 일정한 거리 동안(for a distance) 경로형성하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 배기부가 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되어 교차-교환되는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    메인 설비 헤더로 상기 프로세스 가스 배기부를 커플링하기 이전에
    상기 프로세스 가스 배기부의 덕트가 상기 캐비넷 배기부의 외부에 추가적으로 경로형성되는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 캐비넷 배기부는 제1 슬로프 요소를 포함하고,
    상기 프로세스 가스 배기부는 제2 슬로프 요소를 포함하는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것에 의해서, 상기 프로세스 가스 유동의 수분량이 감소되는,
    저감 시스템용 배기 응축물 제거 장치.
  14. 캐비넷 배기부를 제공하고;
    프로세스 가스 배기부를 제공하고;
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것:을 포함하는,
    저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 프로세스 가스 배기부를 상기 캐비넷 배기부와 폐쇄되게 교차 교환하는 것은,
    상기 프로세스 가스 배기부의 덕트를 상기 캐비넷 배기부 내로 일정한 거리 동안 경로형성하는 것을 포함하는,
    저감 시스템으로부터의 배기 응축물 제거 방법.
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