CN102193186A - 滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备。该滤光器具有对置的第1反射膜和第2反射膜、第1电极、第2电极、第3电极、第4电极、电位差控制部，第1电极和第3电极隔开第1距离地对置，第2电极和第4电极隔开与第1距离不同的第2距离地对置，通过电位差控制部使第1电极和第3电极之间产生电位差来使第1电极和第3电极抵接，使第2电极和第4电极之间产生电位差来使第2电极和上述第4电极抵接，从而能够高精度地控制第1反射膜和第2反射膜之间的间隙。

Description

滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备
技术领域
本发明涉及滤光器、使用其的分析设备以及光学设备等。
背景技术
提出有可改变透射波长的干涉滤波器(专利文献1)。如专利文献1的图1所示那样，具有被相互平行地保持的一对基板、和被形成为在该一对基板上相互对置并且具有一定间隔的间隙的一对多层膜(反射膜)。入射到一对多层膜间的光由于与法布里-珀罗干涉仪相同的原理而被多重反射，特定波段以外的光受到干涉而被抵消，仅透过特定波段的光。换句话说，这种干涉滤光器作为带通滤波器而发挥作用，被称为标准具。
在此，若通过外力使一对多层膜(反射膜)间的间隙的大小发生变化，则能够选择与间隙的大小相应的波长并使之透过。因此，成为透射波长可变的透射波长可变干涉滤光器。
在专利文献1中，如图4所示那样，在形成在一对基板上的一对多层膜(反射膜)上还设有作为静电致动器的一对静电驱动电极。对一对静电驱动电极施加电压来使一对多层膜间的间隔的大小可变。
专利文献1：日本特开平11-142752号公报
这样的波长可变干涉滤光器的问题在于高精度地控制间隙。但是，在上述专利文献中，对一对静电驱动电极施加电压来使一对多层膜间的间隙的大小可变，因此会由于噪声等导致的驱动电压的变动而不易进行准确的间隙控制。
发明内容
在本发明的几个方式中，提供了能够更高精度地控制反射膜间的间隙的滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备。
(1)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，具有：第1基板；第2基板，其与上述第1基板对置；第1反射膜，其设置于上述第1基板，第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极和上述第1反射膜之间；第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极的周围；第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；以及电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第3电极之间的电位差进行控制，上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1电极和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2电极和上述第4电极抵接。
根据本发明的一个方式，包括如下情况：电位差控制部通过使第1电极与第3电极之间产生电位差来使第1电极和第3电极抵接，并通过使第2电极与第4电极之间产生电位差来使第2电极和第4电极抵接。通过使第1电极和第3电极抵接，并使第2电极和第4电极抵接，从而即使存在电压变动等干扰，第1反射膜与第2反射膜之间的间隙也难以发生变动，因此能够高精度地控制间隙。
(2)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在使上述第1电极和上述第3电极抵接之后，使上述第2电极和上述第4电极抵接。
由此，能够确保对应于第1电极和第3电极的抵接的反射膜间间隙、对应于第2电极和第4电极的抵接的反射膜间间隙。
(3)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，来使上述第1电极和上述第3电极抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(4)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定为第2电位差之后，将第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，来使上述第2电极和上述第4电极抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(5)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，具有：第1基板；第2基板，其与上述第1基板对置；第1反射膜，其设置于上述第1基板；第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；第1绝缘膜，其设置于上述第1电极；第2绝缘膜，其设置于上述第2电极；电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第3电极之间的电位差进行控制，上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1绝缘膜和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
根据本发明的一个方式，具有如下情况：电位差控制部使第1电极与第3电极之间产生电位差来使第1绝缘膜和第3电极抵接，并通过使第2电极与第4电极之间产生电位来使第2绝缘膜和第4电极抵接。通过使第1绝缘膜和第3电极抵接，并使第2绝缘膜和第4电极抵接，即使存在电压变动等干扰，第1反射膜与第2反射膜之间的间隙也难以发生变动，因此能够高精度地控制反射膜间的间隙。
(6)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在使上述第1绝缘膜和第3电极抵接之后，使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
由此，能够确保对应于第1绝缘膜和第3电极的抵接的反射膜间间隙、和对应于第2绝缘膜和第4电极的抵接的反射膜间间隙。
(7)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，来使上述第1绝缘膜和上述第3电极抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(8)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定为第2电位差之后，将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，来使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(9)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，具有：第1基板；第2基板，其与上述第1基板对置；第1反射膜，其设置于上述第1基板；第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；第1绝缘膜，其设置于上述第1电极；第2绝缘膜，其设置于上述第2电极；第3绝缘膜，其设置于上述第3电极，第4绝缘膜，其设置于上述第4电极；电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第3电极之间的电位差进行控制，上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1绝缘膜和上述第3绝缘膜抵接，并通过使上述第2电极和上述第4电极之间产生电位差来使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
根据本发明的一个方式，包括如下情况：电位差控制部通过使第1电极与第3电极之间产生电位差来使第1绝缘膜和第3绝缘膜抵接，并通过使第2电极与第4电极之间产生电位差来使第2绝缘膜和第4绝缘膜抵接。通过使第1绝缘膜和第3绝缘膜抵接，并使第2绝缘膜和第4绝缘膜抵接，即使存在电压变动等干扰，第1反射膜与第2反射膜之间的间隙也难以发生变动，因此能够高精度地控制反射膜间的间隙。
(10)在本发明的一个方式的滤光器中，上述电位差控制部在使上述第1绝缘膜和第3绝缘膜抵接之后，使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
由此，能够确保对应于第1绝缘膜和第3绝缘膜的抵接的反射膜间间隙、对应于第2绝缘膜和第4绝缘膜的抵接的反射膜间间隙。
(11)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，来使上述第1绝缘膜和上述第3绝缘膜抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(12)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述电位差控制部在将第2电极与上述第4电极之间电位差设定为第2电位差之后，将第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，来使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
由此，能够在更多的阶段确保反射膜间间隙。
(13)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述第1距离是上述第1电极与上述第3电极之间的电位差为零时的距离，上述第2距离是上述第2电极与上述第4电极之间的电位差为零时的距离。
(14)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，设上述第1电极的第2基板侧的表面为第1表面，设上述第2电极的第2基板侧的表面为第2表面，设上述第3电极的第1基板侧的表面为第3表面，设上述第4电极的第2基板侧的表面为第4表面，上述第1距离是上述第1表面的垂线方向的、从上述第1表面到上述第3表面的距离，上述第2距离是上述第2表面的垂线方向的、从上述第2表面到上述第4表面的距离。
(15)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，在上述第1电极与上述第3电极之间的电位差为零时，并且在上述第2电极与上述第4电极之间的电位差为零时，第1反射膜和上述第2反射膜隔开第3距离地对置，上述第1距离比上述第2距离小，上述第2距离比上述第3距离小。
(16)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，设上述第1反射膜的第2基板侧的表面为第1反射膜表面，设上述第2反射膜的第1基板侧的表面为第2反射膜表面，上述第3距离是上述第1反射膜表面的垂线方向的、从上述第1反射膜表面到上述第2反射膜表面的距离。
(17)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述第1基板在上述第2基板侧具有第1面、比上述第1面高的第2面和比上述第2面高的第3面，在上述第1面形成上述第1反射膜，在上述第2面形成上述第2电极，在上述第3面形成上述第1电极。
(18)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，上述第1基板在上述第2基板侧具有第1面、与上述第1面具有相同高度的第2面和与上述第2面具有相同高度的第3面，在上述第1面形成上述第1反射膜，在上述第2面形成上述第2电极，在上述第3面形成上述第1电极，上述第1电极的膜厚与上述第2电极的膜厚不同。
(19)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，还具有与上述第1电极连接的引出布线，上述第1电极俯视时具有第1环状，上述第2电极俯视时具有具备狭缝的第2环状，上述第3电极俯视时具有第3环状，上述第4电极俯视时具有具备狭缝的第4环状，与上述第1电极连接的引出布线的一部分形成在上述第2环状的上述狭缝所形成的区域，上述第4环状的狭缝形成上述第2环状的狭缝的上方。
根据本发明的一个方式，与第1电极连接的引出布线的一部分形成在第2环状的上述狭缝所形成的区域，第4环状的狭缝形成在第2环状的狭缝的上方。也就是说，在引出布线的一部分的上方没有形成第4环状。由此，即使对引出布线施加了电压，也能够抑制产生在引出布线和第4电极之间产生作用的不需要的静电引力。
(20)本发明的一个方式的滤光器，其特征在于，第1电极和上述第2电极分开形成，上述第3电极和上述第4电极经由连结部而电连接。
由此，使第3电极和第4电极为共用电极，能够简化形成于第2基板的布线(第3电极、第4电极以及引出布线)的布局。
(21)本发明的一个方式的分析设备，其特征在于，包括上述滤光器。
(22)本发明的一个方式的光学设备，其特征在于，包括上述滤光器。
附图说明
图1是表示作为本发明的一个实施方式的滤光器的电压未施加状态的剖视图。
图2是表示图1所示的滤光器的电压施加状态的一个例子的剖视图。
图3是表示图1所示的滤光器的与图2不同的电压施加状态的一个例子的剖视图。
图4(A)是第1电极的俯视图，图4(B)是第2电极的俯视图。
图5是表示形成在一对对置电极的表面的绝缘膜的剖视图。
图6(A)、(B)是从第2基板侧看第1、第2电极的重叠状态而得到的俯视图。
图7是从第2基板侧透视第2基板来表示第1～第4引出布线的布线布局的俯视图。
图8是滤光器的施加电压控制系统的框图。
图9是滤光器的其他施加电压控制系统的框图。
图10是表示电压表数据的一个例子的特性图。
图11是表示滤光器的第1、第2反射膜间间隙与透射峰值波长的关系的特性图。
图12是表示电压表数据的另外一个例子的特性图。
图13是表示电压表数据的又一个例子的特性图。
图14是表示第1、第2电极间的电位差与静电引力的关系的特性图。
图15是表示静电引力与电极间间隙的关系的特性图。
图16是表示电压表数据的又一个例子的特性图。
图17是作为本发明的又一个实施方式的分析装置的框图。
图18是表示用图17所示的装置的分光测定动作的流程图。
图19是作为本发明的又一个实施方式的光学设备的框图。
附图标记说明：
10...滤光器，20...第1基板，20A...对置面，20A1...第1对置面，20A2...第2对置面，20A3...第3对置面，30...第2基板，30A...对置面，40...第1反射膜，50...第2反射膜，60...下部电极，62...第1电极(第1段电极)，62A...第1环状电极，62B...第1引出布线，62C...第1狭缝，64...第2电极(第2段电极)，64A...第2环状电极，64B...第2引出布线，68...绝缘膜，70、70′...上部电极，72、72′...第3电极(第3段电极)，72A、72A′...第3环状电极，74...第4电极(第4段电极)，74A...第4环状电极，76A...第3引出布线，76B...第4引出布线，78...绝缘膜，79...第2狭缝，80...第1对置电极，90...第2对置电极，101～104...第1～第4外部连接电极，110...电位差控制部，111...下部电极驱动部，112...第1段驱动部，114...第2段驱动部，116...数字控制部，120...电源，200...分析设备(测色器)，300...光学设备，G1...第1距离(第1间隙)，G2...第2距离(第2间隙)，G3...第3距离(第3间隙)，L...中心线，ΔVseg1...外周侧电位差，ΔVseg2...内周侧电位差，W1、W2...环宽度。
具体实施方式
以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。此外，以下说明的本实施方式不对权利要求书所记载的本发明的内容进行不合理的限定，而且本实施方式所说明的全部构成作为本发明的解决方式并不一定是必须的。
1.滤光器
1.1.滤光器的滤光部
1.1.1.滤光部的概要
图1是本实施方式的滤光器10的电压未施加状态(初始状态)的剖视图，图2以及图3是电压施加状态(驱动状态)的剖视图。图1～图3所示的滤光器10具有第1基板20和与第1基板20对置的第2基板30。在本实施方式中，虽然将第1基板20作为固定基板，将第2基板30作为活动基板或者隔板(Diaphragm)，但也可以任意一方或者两方均是活动的。
在本实施方式中，与第1基板20例如一体地形成有以可动的方式支承第2基板30的支承部22。支承部22可以设置于第2基板30，或者也可以与第1、第2基板20、30独立地形成。
第1、第2基板20、30分别由例如钠玻璃、结晶玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等各种玻璃、水晶等形成。其中，作为各基板20、30的构成材料，例如优选含有钠(Na)、钾(K)等碱金属的玻璃，通过利用这样的玻璃来形成各基板20、30，能够提高后述的反射膜40、50、各电极60、70的密合性、基板彼此的接合强度。而且，上述2个基板20、30通过例如使用了等离子体聚合膜的表面活性化接合等而接合，从而被一体化。第1、第2基板20、30分别被形成为一边例如为10mm的正方形，作为隔板来发挥作用的部分的最大直径例如为5mm。
第1基板20是通过对形成厚度例如为500μm的玻璃基材进行蚀刻来加工而成的。在第1基板20中，在与第2基板30对置的对置面20A中的中央的第1对置面20A1上形成例如圆形的第1反射膜40。同样地，第2基板30是通过对形成厚度例如为200μm的玻璃基材进行蚀刻来加工而成的。在第2基板30中，在与第1基板20对置的对置面30A的中央位置形成有与第1反射膜40对置的例如圆形的第2反射膜50。
此外，第1、第2反射膜40、50形成为例如直径约为3mm的圆形。该第1、第2反射膜40、50是由单层AgC形成的反射膜，能够通过溅射等方法形成于第1、第2基板20、30。单层AgC反射膜的膜厚尺寸例如形成为0.03μm。在本实施方式中，示出了利用能够对可见光全波段进行分光的单层AgC的反射膜作为第1、第2反射膜40、50的例子，但并不局限于此，也可以使用层积了例如TiO2和SiO2的层叠膜而成的电介质多层膜，该电介质多层膜虽然能够进行分光的波段窄，但与单层AgC反射膜相比分光后的光的透射率大、透射率的半值宽度窄且分解能力强。
而且，能够在第1、第2基板20、30的与各对置面20A、30A相反一侧的面上与第1、第2反射膜40、50对应的位置处形成未图示的防反射膜(AR)。该防反射膜通过交替地层积低折射率膜以及高折射率膜而形成，用于降低第1、第2基板20、30的界面处的可见光的反射率，并增大透射率。
这些第1、第2反射膜40、50在图1所示的电压未施加状态下隔着第3间隙G3(第3距离)地对置配置。此外，在本实施方式中，将第1反射膜40作为固定镜，将第2反射膜50作为可动镜，但根据上述第1、第2基板20、30的方式，能够使第1、第2反射膜40、50中的任意一方或者双方可动。
俯视时在第1反射膜40周围，在第1基板20的对置面20A上设有下部电极60。同样，在第2基板30的对置面30A上与下部电极60对置地设有上部电极70。在本实施方式中，在第1基板20的第1对置面20A1的周围设有第2对置面20A2，在第2对置面20A2的周围设有第3对置面20A3。
下部电极60不一定需要被被段化，但在本实施方式中被分为K(K是2以上的整数)个段电极，作为K＝2的例子具有第1、第2电极62、 64。第1电极(以下，称为“第1段电极”)62形成在第3对置面20A3上，第2电极(以下称为“第2段电极”)64形成在第2对置面20A2上。此外，如后述，K个段电极62、64可以设定成相同电压，或者还可以设定成不同电压。
在本实施方式中，上部电极70是成为相同电位(例如接地电位)的共用电极。上部电极70不一定需要被段化，但在本实施方式中被分为K(K是2以上的整数)个段电极，作为K＝2的例子具有第3、第4电极72、74。第3电极(以下称为“第3段电极”)72与第1段电极62对置设置，第4电极(以下称为“第4段电极”)74与第2段电极64对置设置。此外在K≥3的情况下，关于第1、第2段电极62、64而在下面进行说明的关系能够用于相邻的任意两个段电极。
如图1所示那样，第1、第3段电极62、72构成一对第1对置电极80。第2、第4段电极64、74构成一对第2对置电极90。也就是说，下部、上部电极60、70具有一对第1对置电极80以及一对第2对置电极90。
1.1.2第1间隙G1和第2间隙G2的关系(G1＜G2)
如图1所示那样，第1段电极62和第3段电极72隔开第1间隙(第1距离)G1而对置配置。第2段电极64和第4段电极74隔开第2间隙(第2距离)G2而对置配置。而且，在本实施方式中，第1间隙G1＜第2间隙G2的关系成立。
在此，第1间隙G1＜第2间隙G2的关系成立时是指，静电引力未实质上对第1、第2对置电极80、90发挥作用时，也就是说下部、上部电极60、70间的电位差实际上为零时。若将该状态换个表达，是在下部、上部电极60、70中未实质形成电场的状态，或者是没有对至少一方的电极施加电压的电压未施加状态，且是与静电引力发挥作用的驱动状态对立的初始状态。
初始的间隙G1、G2中与最初被驱动的例如第1、第3段电极62、72对应的初始的第1间隙G1，因作用在该第1段电极62与第3电极72之间的静电引力而变窄。此时，第2间隙G2也同时变窄，第2间隙G2还小于初始间隙。因此，之后在驱动第2、4段电极64、74时，第2间隙G2变得小于初始值。
在此，与假设第2对置面20A2和第3对置面20A3在一个面内且第1、第2间隙G1、G2的初始值相同的比较例进行对比。在比较例中，例如最初驱动第1、第3段电极62、64时的第1间隙G1未必在之后会大于驱动第2、4段电极64、74时的第2间隙G2。
在此，静电引力F能够表示为F＝(1/2)ε(V/G)2S......(1)。
式(1)中，ε：介电常数，V：施加电压(电位差)，G：电极间间隙，S：电极对置面积。由式(1)可知，其与下部、上部电极60、70间的电位差V的平方成正比，且与下部、上部电极60、70间的间隙G(第1间隙G1或者第2间隙G2)的平方成反比。因此，在比较例中为了使规定的静电引力作用于较大间隙的电极间，而需要比图1的实施方式大的驱动电压(电位差)。与此相对，在本实施方式中因为能够缩小一对第1对置电极80的第1间隙G1，所以能够进行低电压驱动。
此外，在图1中使间隙G1的初始值小于间隙G2的初始值，但是在最初驱动第2、4段电极64、74的情况下，只要使间隙G2的初始值变得比间隙G1的初始值小即可，总之只要第1、第2间隙G1、G2不同即可。其中，优选如本实施方式那样，使外周侧的一对第1对置电极80的第1间隙G1比内周侧的一对第2对置电极90的第2间隙G2小。这是由于如后所述那样先驱动了外周侧的一对第1对置电极80的方法容易进行可变波长动作。
对这样构造的滤光器10来说，在第1、第2基板20、30中均是形成反射膜(第1、第2反射膜40、50)的区域、和形成电极(下部、上部电极60、70)的区域俯视时是不同的区域，没有如专利文献1那样层积反射膜和电极。因此，即使使第1、第2基板20、30的至少一方(在本实施方式中为第2基板30)为可动基板，也能够不层积反射膜和电极地确保可动基板的挠曲容易度。并且，与专利文献1不同，由于在下部、上部电极60、70上没有形成反射膜，所以即使利用滤光器10作为透射型或者反射型波长可变干涉滤光器，也不会制约下部、上部电极60、70成为透明电极。
1.1.3.第1间隙G1和第3间隙G3的关系(G1＜G3)
在本实施方式中，在如图1所示一对第1对置电极80以第1间隙G1对置并且一对第2对置电极90以第2间隙G2对置初始状态下，第1以及第2反射膜40、50以第3间隙(第3距离)G3对置。此时的第1间隙G1可以小于第3间隙G3(G1＜G3)。
这样一来，能够实现图2的驱动状态。在图2中，由于一对第1对置电极80被给予规定值以上的电位差，因此一对第1对置电极80抵接。如果图1所示的第1间隙G1和第3间隙G3满足G1＜G3的关系，则在图2的驱动状态下也确保了第1、第2反射膜40、50间的间隙G3′。并且，在图2中一对第1对置电极80抵接，因此能够起到即使存在电压变动等干扰，第1、第2反射膜40、50间的间隙G3′也是稳定的，不会产生变动这样的效果。这有助于提高第1、第2反射膜40、50间的间隙精度。
在此，在图1中G1＜G2，所以在图2的驱动状态下也确保了一对第2对置电极90的间隙G2′。因此，接下来在对一对第2对置电极90进行驱动时，只要继续对一对第1对置电极80给予规定值以上的电位差，一对第1对置电极80就会维持抵接状态。由此，一对第2对置电极90的驱动能够自第1、第2反射膜40、50间以间隙G3′稳定的状态起重新开始。这也有助于提高第1、第2反射膜40、50间的间隙精度。
此外，如果没有实现图2的驱动状态，则图1中的第1间隙G1和第3间隙G3的关系也可以还设定成G1＝G3、G1＞G3或者G1＜G3中的任意一种。
1.1.4.第2间隙G2和第3间隙G3的关系(G2＜G3)
进而，在图1中，能够使第2间隙G2小于第3间隙G3(G2＜G3)。这样，能够实现图3的驱动状态。在图3中，如果通过对一对第2对置电极90给予规定值以上的电位差来使一对第2对置电极90抵接，也满足了G2＜G3的关系，则确保了第1、第2反射膜40、50间的间隙G3″(G3″＜G3′)。并且，当一对第2对置电极90抵接时，能够起到即使存在电压变动等干扰，第1、第2反射膜40、50间的间隙G3″也是稳定的，不发生变动这样的效果。这有助于提高第1、第2反射膜40、50间的间隙精度。
此外，如果不实施图3的驱动状态，则图1中的第2间隙G2和第3间隙G3的关系也可以设定成G2＝G3、G2＞G3或者G2＜G3中的任意一种。
1.1.5.不同的电极间间隙G1、G2的形成方法
为了使图1所示第1、第2间隙G1、G2不同，可以考虑各种方法，其一为在第1、第2基板20、30的对置面20A、30A的至少一方上形成台阶面。在图1中，将第1基板20设定为固定基板，第2基板30设定为可动基板，在第1基板20上，在第1反射膜40以及下部电极60所形成的面20A上形成台阶面，来使第1间隙G1小于第2间隙G2。由于第2基板30为可动基板，所以若在对置面30A上设置台阶，则第2基板30有时会局部变厚，可能会对使第2基板30挠曲产生妨碍。因为第1基板20为固定基板，所以无需这样的担心。
也可以取代在第1、第2基板20、30的对置面20A、30A的至少一方上形成台阶面，而局部地改变下部、上部电极60、70的至少一方的膜厚。
1.1.6.下部电极
配置于第1基板20的下部电极60，能够在第1基板20中的包括与形成于第2基板30的上部电极70(第3、第4段电极72、74)对置的区域的区域形成为固体电极。或者，下部电极60也可以与图4(B)所示的上部电极70同样地构成。在本实施方式中，是因为如后所述，能够对构成下部电极60的第1、第2段电极62、64施加相同电压来进行驱动。
除此之外，构成下部电极60的K个段电极62、64能够如图4(A)那样，配置成相对于第1反射膜40的中心成同心环状。也就是说，第1段电极62具有第1环状电极部62A，第2段电极64在环状电极部62A的内侧具有第2环状电极部64A，各环状电极部62A、64A形成相对于第1反射膜成同心环状。此外，“环状”并不局限于如第2环状电极部64A那样的无接缝环，也包含如第1环状电极部62A那样的不连续环状，是不局限于圆形环而还包含矩形环或者多角形环等的词汇。
这样一来，如图1所示那样，第1、第2段电极62、64相对于第1反射膜40的中心线L，分别线对称地配置。由此，在施加电压时作用于下部、上部电极60、70间的静电引力相对于第1反射膜40的中心线L线对称地作用，因此第1、第2反射膜40、50的平行度得以提高。
此外，如图4(A)所示，第1段电极62的环宽度W1可以宽于第2段电极64的环宽度W2(W1＞W2)。静电引力与电极面积成正比，所以在由第1段电极62产生的静电引力被求出为大于由第2段电极64产生的静电引力时是有利的。更详细地说，外侧的第1段电极62被设定成比第2段电极64更靠近作为铰接部发挥作用的基板支承部22。因此，第1段电极62需要产生对抗铰接部40处的阻力的较大静电引力。外侧的第1段电极62与内侧的第2段电极64相比直径较大，即使是宽度W1＝宽度W2，第1段电极62的面积也较大。由此，可以设为宽度W1＝宽度W2，但通过使环宽度W1进一步变宽来进一步增大面积，从而能够产生较大的静电引力。
在此，第1段电极62连接着第1引出布线62B，第2段电极64连接着第2引出电极64B。这些第1、第2引出电极62B、64B例如从第1反射膜40的中心向放射方向延伸形成。设置有使第1段电极62的第1环状电极部62A不连续的第1狭缝62C。从内侧的第2段电极64延伸的第2引出布线64B经由形成在外侧的第1段电极62的第1狭缝62C，引出到第1段电极62的外侧。
这样，使第1、第2段电极62、64分别为环状电极部62A、64A的情况下，通过在外侧的第1段电极62中形成的第1狭缝62C，能够容易确保内侧的第2段电极64的第2引出布线64B的取出路线。
1.1.7.上部电极
配置于第2基板30的上部电极70，在第2基板30中的与包含形成在第1基板20上的下部电极60(第1、第2段电极62、64)对置的区域的区域形成为固体电极。这是因为上部电极70是被设定成相同电压的共用电极。
除此之外，如本实施方式那样，在相对于第1基板20位移的第2基板30上配置的上部电极70与下部电极60同样地能够设为K个段电极。该K个段电极也能够配置成相对于第2反射膜50的中心成同心环状。这样一来，在可动的第2基板30上形成的电极的面积缩小到所需的最小限度，因此第2基板30的刚性变低，能够确保容易挠曲。
构成上部电极70的K个段电极如图1以及图4(B)所示，可以具有第3段电极72以及第4段电极74。第3段电极72具有第3环状电极部72A，第4段电极74在第3环状电极部62A的内侧具有第4环状电极部74A，各环状电极部72A，74A形成相对于第2反射膜50成同心环状。“同心环状”的含义与对下部电极60的含义相同。第3段电极72与第1段电极62对置，第4段电极74与第2段电极64对置。由此，在本实施方式中第3段电极72的环宽度(与第1段电极62的环宽度W1相同)宽于第4段电极74的环宽度(与第2段电极64的环宽度W2相同)。
而且，第3、第4段电极72、74彼此电连接，被设定成相同的电位。因此，例如第3、第4引出电极76A、76B从例如第2反射膜50的中心向放射方向延伸形成。第3、第4引出电极76A、76B分别与内侧的第3段电极72和外侧的第4段电极74这二者电连接。此外，作为共用电极的第3、第4段电极72、74可以用1根引出电极连接，但通过采用多根引出电极能够减少布线容量并且提高共用电极的充放电速度。
此外，因为还能够对构成下部电极60的第1、第2段电极62、64施加相同电压来进行驱动，所以也可以将图4(B)的构造用于下部电极60。
1.1.8.防止一对对置电极粘合的对策
在本实施方式中，在实现图2或图3的驱动状态时，一对第1对置电极80或一对第2对置电极90抵接。此时，必须防止电极间因抵接而直流短路的情况。为此，如图5所示，在第1段电极62或第2段电极64的表面形成第1绝缘膜68，在第3段电极72或第3段电极74的表面形成第2绝缘膜78即可。此外，可以是在4个电极62、64、72、74中相对置的电极62，72的一方以及相对置的电极64、74的一方中形成绝缘膜的结构。或者，也可以是在相对置的电极62、72双方以及相对置的电极64、74双方中形成绝缘膜的结构。
而且，为了防止在解除了电位差后一对第1对置电极80或者一对第2对置电极90发生粘合而难以分开，也可以用相同材料(例如SiO2等)形成相互接触的第1、第2绝缘膜68、78。与其不同，在不同种类材料的绝缘膜位于表面的情况下，由于反复进行抵接脱离会产生接触带电。若接触带电变大，则在未施加电压的状态下，也会在对置电极间产生电位差，因此导致电极间的距离发生变化。因此，第1、第2反射膜40、50间的间隙也会发生变化，而无法确保较高的间隙精度。而且，若接触带电变大，则也会存在对置电极彼此粘合的情况。如图5的构造那样，若对置的电极62、72(64、74)的对置表面使用同种材料的绝缘膜68、78，则能够抑制接触带电的产生，因此能够消除上述弊病。
1.1.9.下部、上部电极的重合区域
图6(A)表示从第2基板30侧看图4(A)所示的下部电极60和图4(B)所示的上部电极70而得到的俯视时的重叠状态。在图6(A)中，由于第1、第2段电极62、64与上部电极70的第3、第4段电极72、74对置，因此位于下侧的下部电极60不会出现在从第2基板30侧看到的俯视图中。位于下侧的下部电极60如用阴影线所示那样，仅第1、第2引出布线62B、64B出现在从第2基板30侧看所得到俯视图中。对于第2引出布线64B，由于上部电极70的第3环状电极部72A在周方向连续，所以中间区域64B1与第3环状电极部72A的对置区域72A1对置。
在本实施方式中，如图4(A)所示，下部电极60中外侧的第1段电极62具有第1狭缝62C，所以在该狭缝62C的区域，基于施加到第1段电极62的电压的静电引力没有发挥作用。
另一方面，如图4(A)所示，在该第1狭缝62C内配置有第2引出布线64B，所以能够在第1狭缝62C内产生作用于与内侧的第2段电极64同电位的第2引出布线64B和外侧的第3段电极72间的静电引力。作为其优点，在例如用实际上相同电压来驱动第1、第2段电极62、64的情况下，在外侧的第3段电极72的几乎整周上(包括与第1狭缝62C的对置区域72A1)能够产生均有均匀的静电引力。
图6(B)表示作为变形例的从第2基板30侧看的下部、上部电极60、70′而得到的俯视时的重叠状态。图6(B)的上部电极70′与图6(A)的上部电极70不同之处在于，第3段电极72′在与下部电极60的第1狭缝62C对置的位置处还具有使第3环状电极部72A′不连续的第2狭缝79。其余的方面，图6(B)的上部电极70′与图6(A)的上部电极70相同。
这样一来，不存在与第2引出布线64B对置的电极。因此，例如在驱动内侧的第2段电极64时，能够阻止在第1狭缝62C内产生作用于与内侧的第2段电极64同电位的第2引出布线64B与外侧的第3段电极72′间的不需要的静电引力。
1.1.10.引出布线
图7是从第2基板30侧透视第2基板30的俯视图，表示第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B的布线布局。在图7中，第1、第2基板20、30中的至少一方形成为具有第1以及第2对角线的矩形基板。在本实施方式中，第1、第2基板20、30分别形成为一边为例如10mm的正方形。在第2引出布线64B以沿第1对角线自第2段电极64延伸的方向为第1方向D1时，第1引出布线62B沿在第1对角线上成为与第1方向D1相反方向的第2方向D2延伸。第3引出布线76A向沿着第2对角线的第3方向D3延伸。第4引出布线76B向在第2对角线上成为与第3方向D3相反方向的第4方向D4延伸。并且，俯视时矩形基板20、30的四个角的位置设有连接第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B的第1～第4连接电极部101～104。
这样一来，首先，形成于第1基板20的第1、第2引出布线62B、64B和形成于第2基板30的第3、第4引出布线76A、76B在俯视时不相互重叠，不构成平行电极。因此，第1、第2引出布线62B、64B与第3、第4引出布线76A、76B之间不产生无益的静电引力。而且，分别到达第1～第4连接电极部101～104的第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B的布线长达到最短。由此，第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B的布线长以及基于寄生电容的布线电容以及布线电阻变小，能够高速地对第1～第4段电极62、64、72、74进行充放电。
此外，第1～第4外部连接电极部101～104可以在第1、第2基板20、30中的任意一方或者双方上设置各一部分。在仅在第1、第2基板20、30中的任意一方上设置第1～第4外部连接电极部101～104的情况下，配置在第1、第2基板20、30的另一方上的引出布线能够与通过导电性糊等形成在一个基板的外部连接电极部连接。此外，第1～第4外部连接电极部101～104经由导线或引线结合等连接部，与外部连接。
而且，第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B也可以与接合第1、第2基板20、30的例如等离子体聚合膜交叉。或者，也可以经由设置于第1、第2基板20、30的接合面的一方上的槽部，使第1～第4引出布线62B、64B、76A、76B超出接合面而引出到外部。
1.2.滤光器的电压控制系统
1.2.1施加电压控制系统模块的概要
图8是具有图4(A)所示的下部电极60和图4(B)所示的上部电极70的滤光器10的施加电压控制系统的框图。如图8所示，滤光器10具有控制下部电极60和上部电极70之间的电位差的电位差控制部110。在本实施方式中，作为共用电极的上部电极70(第3、第4段电极72、74)被固定成一定的共用电压例如接地电压(0V)，所以电位差控制部110使施加给构成下部电极60的K个段电极即第1、第2段电极62、64的电压发生变化，来分别控制第1、第2段电极62、64各自与上部电极70之间的外周侧电位差ΔVseg1以及内周侧电位差ΔVseg2。此外，上部电极70可以施加除了接地电压以外的共用电压，此时，电位差控制部110也可以控制对上部电极70施加/不施加共用电压。
在图8中，电位差控制部110具有：与第1段电极62连接的第1段电极驱动部例如第1数字-模拟转换器(DAC1)112、与第2段电极64连接的第2段电极驱动部例如第2数字-模拟转换器(DAC2)114以及对它们进行控制例如进行数字控制的数字控制部116。向第1、第2数字-模拟转换器112、114提供来自电源120的电压。第1、第2数字-模拟转换器112、114接受来自电源120的电压的供给，并且输出与来自数字控制部116的数字值相应的模拟电压。电源120能够利用装配在安装有滤光器10的分析设备或者光学设备的电源，也可以使用滤光器10专用的电源。
图9是同时具有图4(B)所示的构造的下部、上部电极60、70的滤光器10的施加电压控制系统框图。在这种情况下，电位差控制部110′包括与下部电极60的第1、第2段电极62、64连接的一个数字-模拟转换器(DAC)111、控制其的数字控制部116。电位差控制部110′将第1、第3段电极62、72电极间的电位差、第2、第4段电极64、74间的电位差可变地设定成都相等的电位差ΔVseg。
1.2.2.滤光器的驱动方法
图10是表示用图8所示的数字控制部116控制的原始数据即电压表数据的一个例子的特性图。该电压表数据既可以设置于数字控制部116本身中，或者也可以设置于安装有滤光器10的分析设备或光学设备中。
图10是一对第1、第2对置电极80、90中的下部电极60如图4(A)所示包括相互绝缘的第1、第2段电极62、64时的驱动方法的一个例子。在这种情况下，电位差控制部110相对于第1、第2段电极62、64分别独立地设定并控制电压，将一对第1、第2对置电极80、90中的上部电极70(第3、第4段电极72、74)设定控制成共用电压(例如接地电压)。换而言之，图10中作为用于通过对K个段电极62、64分别依次施加电压来在共计N个阶段改变第1、第2反射膜40、50间的间隙的电压表数据，示出了N＝3的例子。电位差控制部110根据图10所示的电压表数据，将按各K个段电极(第1、第2段电极62、64)设定的电压值分别施加到各个K个段电极(第1、第2段电极62、64)。
如图10所示，在表编号1中，未对第1、第2段电极62、64施加电压(电压为0)，下部、上部电极60、70间的电位差为0，所以成为图1所示的初始状态。
在图10的表编号2中，对第1段电极62施加电压VO，未对第2段电极64施加电压(电压为0)。此时，在外侧的第1、第3段电极62、72之间生成电位差VO，如图2所示一对第1对置电极80抵接。该驱动前的第1、第3段电极62、72之间的第1间隙G1比较小，所以根据上述的式(1)，驱动电压VO用比较低的电压即可。
在图10的表编号3中，对第1段电极62继续施加电压VO，另一方面对第2段电极64施加电压VI。此时，如图3所示，在外侧的第1、第3段电极62、72之间生成电位差VO来维持一对第1对置电极80的抵接，并且在内侧的第2、第4段电极64、74间生成电位差VI而一对第2对置电极90抵接。在图1所示的初始状态下第1、第3段电极62、72之间的第2间隙G2大于第1间隙G1，然后如图2所示第2间隙G2′能够缩小到与第1间隙G1几乎相等。因此，根据上述的式(1)，驱动电压VI也用比较低的电压即可。
在该驱动方法中，能够将提供给滤光器10的最大电压Vmax分别分配为驱动电压VO以及驱动电压VI(例如Vmax＝VO＝VI)。并且，能够将要提供给滤光器10的最大电压Vmax设定为低电压。
通过这样的电压控制，在滤光器10中，能够实现图11所示的波长透射特性。图11表示使第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3的大小按例如g0～g2变化时的波长透射特性。在滤光器10中，当第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3的大小以例如g0～g2(g0＞g1＞g2)可变时，根据该第3间隙G3的大小来决定透射峰值波长，即，透过滤光器10的光的波长λ是其半波长(λ/2)的整数(n)倍与图1～图3的第3间隙G3、G3′、G3″一致的光(例如n×＝2G3)，半波长(λ/2)的整数(n)倍与第3间隙G3不一致的光在由于第1、第2反射膜40、50而被重叠反射的过程中相互干涉而被衰减，从而无法透过。
由此，如图11所示，通过使第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3的大小以按g0、g1、g2变窄的方式发生变化，来使透过滤光器10的光即透射峰值波长变化成按λ0、λ1、λ2(λ0＞λ1＞λ2)依次缩短。
在此，当根据图10的电压表数据进行驱动时，首先根据滤光器10的初始状态来唯一决定图1的第3间隙G3(＝g0)，接着通过外侧的一对第1对置电极80的抵接来唯一地决定图2的第3间隙G3′(＝g1)，最后通过内侧的一对第2对置电极90的抵接来唯一决定图3的第3间隙G3″(＝g2)。这样，即使对于电压变动等干扰噪声也能够实现提高间隙精度的波长可变驱动。
1.2.3.滤光器的其他驱动方法
图12是表示用图9所示的数字控制部116控制的原始数据即电压表数据的一个例子的特性图。图12表示电位差控制部110将一对第1、第2对置电极80、90中的下部电极60设定控制为第1电压，并将一对第1、第2对置电极80、90中的上部电极70设定控制成与第1电压不同的第2电压的驱动方法。换而言之，图12是用于通过对K个段电极62、64依次电压施加共用电压来在N＝3的阶段改变第1、第2反射膜40、50间的间隙的电压表数据。电位差控制部110根据图12所示的电压表数据，将被共用地设定到K个段电极(第1、第2段电极62、64)的电压值同时施加到K个段电极(第1、第2段电极62、64)。
如图12所示，在表编号1中，未对第1、第2段电极62、64施加电压(电压为0)，下部，上部电极60、70间的电位差为0，因此成为图1所示的初始状态。在表编号2中，对第1、第2段电极62、64施加电压VO。此时，由于在外侧的第1、第3段电极62、72之间生成的电位差VO导致的静电引力，第2基板30移动了图1所示的比较小的第1间隙G1的量，如图2所示一对第1对置电极80抵接。由于该驱动前的第1、第3段电极62、72间的第1间隙G1比较小，所以根据上述的式(1)，驱动电压VO用比较低的电压即可，该方面与图10相同。
在图12的表编号3中，对第1、第2段电极62、64施加电压VI(VI＞VO)。此时，如图3所示，在外侧的第1、第3段电极62、72之间生成比电位差VO大的电位差VI来维持一对第1对置电极80的抵接，并且在内侧的第2、第4段电极64、74之间也生成比电位差VO大的电位差VI，一对第2对置电极90抵接。在图1所示的初始状态下第1、第3段电极62、72之间的第2间隙G2比第1间隙G1大，但其后如图2所示第2间隙G2′缩小到与第1间隔G几乎相同。由此，可以说根据上述的式(1)，驱动电压VI大于驱动电压VO，以比较低的电压即可。通过这样的电压控制，由滤光器10能够实现图11所示的波长透射特性。
1.2.4.滤光器的又一驱动方法
图13表示用于通过对K个段电极62、64分别依次施加电压来在N＝9阶段下改变第1、第2反射膜40、50间的间隙的电压表数据。此外，在图13中，第1、第2段电极62、64双方与上部电极70之间的各电位差都为0V时，这不包括在N个阶段的间隙可变范围中。也可以包含电位差为0的初始状态作为N＝10阶段的驱动。
如图13所示，对第1段电极62施加L＝4种类的电压(VI1～VI4：VI1＜VI2＜VI3＜VI4)，对第2段电极64施加M＝5种类的电压(VO1～VO5：VO1＜VO2＜VO3＜VO4＜VO5)，使第1、第2反射膜40、50之间的第3间隙G3以g0～g8这9(N＝L+M＝9)个阶段可变。此外，也可以在L以及M的个数中对施加电压0(电位差0)进行计数。
在此，L、M、N的值能够任意地变更，但优选为L≥3、M≥3、N≥6的整数。若L≥3、M≥3、N≥6，则将如图8所示的外周侧电位差ΔVseg1以及内周侧电位差ΔVseg2分别从第1电位差ΔV1，切换到大于第1电位差ΔV1的第2电位差ΔV2、大于第2电位差ΔV2的第3电位差ΔV3，该第1电位差ΔV1、第2电位差ΔV2以及第3电位差ΔV3是按第1、第2段电极62、64来进行设定的。由此，如专利文献3那样，如果与以2值进行电压驱动的情况进行比较，能够不增加段电极数地使透射波长多阶段地变化。
在图13中，因为在从例如透射峰值波长的最大波长λ0＝700nm到最小波长λ8＝380nm这9个阶段改变透射峰值波长，所以第1、第2反射膜40、50间的第1间隙G1能够在从例如最大间隙g0＝300nm到最小间隙g8＝140nm这9个阶段改变。并且，在图13中，通过将从最大间隙g0到最小间隙g8这9个阶段的间隔g0～g8设定为等间隔(＝40nm)，也能够使从最大波长λ0到最小波长λ8这9个阶段的波长λ0～λ8为等间隔(＝40nm)。这样，通过使第1、第2反射膜间的第1间隙G1的大小以每隔一定量依次变窄的方式发生变化，透射峰值波长也每隔一定值就缩短。
如图13所示那样，电位差控制部110首先对外侧的第1段电极62依次施加电压VO1～电压VO5。由于上部电极70为0V，所以上部电极70与第1段电极62之间的电位差能够按第1电位差VO1、第2电位差VO2、第3电位差VO3、第4电位差VO4、第5电位差VO5来依次最大外周侧电位差Vseg1。由此，第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3的大小按go→g1→g2→g3→g4依次变小。其结果为透过滤光器10的光，即透射峰值波长以按λ0→λ1→λ2→λ3→λ4依次缩短的方式变化。
在此，在图13所示的表编号1～编号4中，一对第1对置电极80的第1间隙G1的大小依次变小，若在表编号5对第1段电极62施加最大电压VO5，则如图2所示一对第1对置电极80抵接。
也就是说，电位差控制部110能够在将一对第1对置电极80设定控制为比第1间隙G1窄的第1电位差(VO1～V04中的任意一个)之后，将其设定控制成比第1电位差大的第2电位差(VO5)，来使一对第1对置电极80抵接。这样一来，通过使一对第1对置电极80在第1间隙G1以外的非接触状态、接触状态之间切换，能够以比图10以及图12的驱动方法多的阶段下改变第1、第2反射膜40、50间的距离。
而且，在图13的驱动方法中，电位差控制部110能够在使一对第2对置电极90产生电位差之前，使一对第1对置电极80抵接。换而言之，电位差控制部110能够在对内侧的第2段电极64施加电压前，使一对第1对置电极80抵接，来唯一地设定第1、第2反射膜40、50间的距离。由此，在其以后能够通过使一对第1对置电极80抵接来设定对内侧的第2段电极64施加电压来进行驱动时的基准位置。因此，能够提高第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3变化的过程中的间隙精度。
接下来电位差控制部110如图13所示，保持维持对第1段电极62施加最大施加电压VO5的状态，电位差控制部110对内侧的第2段电极64依次施加电压VI1～电压VI4。由于上部电极70为0V，所以上部电极70和第2段电极64之间的电位差能够按第1电位差VI1、第2电位差VI2、第3电位差VI3、第4电位差VIO4来依次增大内周侧电位差Vseg2。由此，第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3的大小按g5→g6→g7→g8依次变小。其结果为使透过滤光器10的光、即透射峰值波长以按λ5→λ6→λ7→λ8依次缩短的方式变化。
在此，在图13所示的表编号5～编号8中，一对第2对置电极90的第2间隙G2的大小依次变小，在表编号9中若对第2段电极64施加最大电压VI4，则能够如图3所示使一对第2对置电极90抵接。也就是说，电位差控制部110能够在维持一对第1对置电极80的抵接来将一对第2对置电极90设定控制为第3电位差(VI1～VI3中的任意一个)之后，设定控制成比第3电位差大的第4电位差(VI4)，来使一对第2对置电极90抵接。这样一来，使一对第2对置电极90在第2间隙G2以外的非接触状态、接触状态下切换，能够在比图10以及图12的驱动方法多的阶段下改变第1、第2反射膜40、50间的距离。
而且，若使一对第2对置电极90抵接，则能够唯一地设定第1、第2反射膜40、50间的距离，能够提高间隙精度。但是，在表编号9中即使对第2段电极64施加最大电压VI4，也不必使一对第2对置电极90抵接。
这样，电位差控制部110对于外周侧电位差Vseg1至少从第1电位差VO1切换到大于第1电位差VO1的第2电位差VO2，进而到大于第2电位差VO2的第3电位差VO3，对于内周侧电位差Vseg2至少从第1电位差VI1切换到大于第1电位差VI1的第2电位差VI2，进而切换到大于第2电位差VI2的第3电位差VI3，因此能够抑制可动侧的第2基板30的衰减自由振动，能够实施迅速的波长可变动作。并且，电位差控制部110对第1、第2段电极62、64分别施加作为3值以上的电压(也可以包含电压0)，即对第1段电极62至少施加第1段电压VO1、第2段电压VO2以及第3段电压VO3，对第2段电极64至少施加第1段电压VI1、第2段电压VI2以及第3段电压VI3。由此，仅驱动第1、第2段电极62、64的各一个，就能够分别改变3个阶段以上的间隙，无需如图10的驱动例那样增加下部电极60的段电极数。
在此，将施加电压的最大值设为Vmax，将间隙设为在N个阶段可变。假定下部电极60没有被分为多个的比较例，在该比较例中需要将最大电压Vmax分为N个来分配施加电压。此时，将不同的施加电压间的电压变化量的最小值设为ΔV1min。另一方面，在本实施方式中，对K个段电极分别施加的施加电压能够分别将最大电压Vmax用作满量程。此时，对于K个段电极分别将施加到相同段电极的不同施加电压间的电压变化量的最小值设为ΔVkmin。此时，ΔV1min＜ΔVkmin明显成立。
这样，如果能够较大地确保电压最小变化量ΔVkmin，则即使由于取决于电源变动、环境等的噪声而导致施加到K个段电极62、64的电压多少发生一些变动，间隙变动也较小。换句话说，相对于噪声的灵敏度小，换而言之电压灵敏度变小。由此，能够进行高精度的间隙控制，无需如专利文献1那样一定要反馈控制间隙。而且，即使反馈控制了间隙，也会因为相对于噪声的灵敏度小而能够早期地稳定下来。
而且，俯视时具有仅在第1、第2反射膜40、50的周围配置的独立的多个(K个)一对第1、第2对置电极80、90，由此能够产生保持第1、第2反射膜40、50的平行度并且使其之间的间隙细微地变化的控制力。与其不同，这是因为若在中央位置的第1、第2反射膜设置电极，则只要不将中央电极面积确保为相当大，就难以维持第1、第2反射膜的平行度。在本实施方式中，通过使中央侧的第1、第2反射膜40、50的区域作为非驱动区域，使其周围为驱动区域，来维持第1、第2反射膜40、50的平行度。第1、第2反射膜40、50的平行度对于在第1、第2反射膜40、50间进行多重反射而通过干涉使无需的波长的光衰减的法布里-珀罗型干涉滤光器来说，是很重要的技术要素。
1.2.4.1.电压变化量(第1电位差与第2电位差之差的绝对值等)
电位差控制部110针对外周侧电位差Vseg1以及内周侧电位差Vseg2，能够分别使第2电位差与第3电位差之差的绝对值小于第1电位差与第2电位差之差的绝对值。在本实施方式中上部电极70是共用电压0V，是不变的，所以例如作为外周侧电位差Vseg1的第1电位差与第2电位差之差的绝对值，如图13所示，与施加到第1段电极62的第1段电压VO1以及第2段电压VO2间的电压变化量ΔVO1等价。外周侧电位差Vseg1的电压变化量是按ΔVO1＞ΔVO2＞ΔVO3＞ΔVO4依次变小的关系，内周侧电位差Vseg2的电压变化量也按ΔVI1＞ΔVI2＞ΔVI3处于依次变小的关系。
成为这样的关系的理由如下所述。根据上述的式(1)，静电引力F与下部、上部电极60、70间的电位差(在本实施方式中施加到下部电极60的电压V)的平方成正比。图14是与电位差V的平方成正比的静电引力F的特性图(F＝V2的图)。如图14所示，在电位差V变大的方向，按第1电位差、第2电位差、第3电位差切换时，在第1电位差与第2电位差之差的绝对值ΔV1与第2电位差和第3电位差的绝对值之差ΔV2相同的情况下(在图14为ΔV1＝ΔV2)，静电引力的增加量ΔF从ΔF1急剧增大到ΔF2，成为过冲(overshoot)的原因。
因此，第2电位差与第3电位差之差的绝对值ΔV2小于第1电位差与第2电位差之差的绝对值ΔV2。由此，能够抑制间隙变窄时的电引力的急剧增大，能够进一步抑制在图13的表编号1-4以及编号6-8中的过冲，能够实现更迅速的波长可变动作。
另一方面，在图13的表编号5或者编号9中，不如容许间隙变窄时的静电引力的急剧增大来积极地利用一对第1、第2对置电极80、90的抵接。
静电引力F如式(1)那样与下部、上部电极60、70间的间隙G(第1、第2间隙G1、G2)的平方成反比。静电引力F的变化量ΔF和下部、上部电极60、70间的间隙G的变化量ΔG的关系如图15所示。在图15中，示出电极间间隙G小的区域中的间隙变化量ΔG1和电极间间隙G大的区域中的间隙变化量ΔG2(＝ΔG1)。在电极间间隙G小的区域，间隙仅变化了间隙变化量ΔG1的量，静电引力F以ΔF1较大变化。与此相对，在电极间间隙G大的区域，即使变化了与间隙变化量ΔG1相同的间隙变化量ΔG2，静电引力F的变化量也是比较小的ΔF2。
这样，在电极间间隙G较狭的区域，间隙G仅稍微变化，静电引力F就急剧地变化，用于得到规定的静电引力F的间隙控制极其困难。由此，在图13的表编号5或者编号9中，不如允许间隙变窄时的静电引力急剧地增大，使一对第1、第2对置电极80、90抵接。
1.2.4.2.电压施加期间
电位差控制部110对于外周侧电位差Vseg1以及内周侧电位差Vseg2，设定成第2电位差的期间可以长于设定成第1电位差的期间，设定成第3电位差的期间可以长于设定为第2电位差的期间。在本实施方式中，如图13所示，对于外周侧电位差Vseg1，第2电位差VO1的期间TO2长于第1电位差VO1的期间TO1，第3电位差VO3的期间TO3长于第2电位差VO2的期间TO2，处于按TO1＜TO2＜TO3＜TO4依次变长的关系。同样，如图13所示，对于内周侧电位差Vseg2，第2电位差VI1的期间TI2长于第1电位差VI1的期间TI1，第3电位差VI3的期间TI3长于第2电位差VI2的期间TI2，处于按TI1＜TI2＜TI3依次变长的关系。
在处于大于第1电位差的第2电位差时，或者处于大于第2电位差的第3电位差时，第2基板30的回复力也增大。因此，到第2基板30静止为止的时间变长。即，第1、第2反射膜40、50间的第3间隙G3到稳定于一定位置为止的时间变长。与此相对，如本实施方式那样，使设定为第2电位差的期间设定得长于设定为第1电位差的期间，使设定为第3电位差的期间设定得长于设定为第2电位差的期间，由此能够使第3间隙G3稳定为规定值。
但是，对于一对第1对置电极80抵接的驱动期间T05和一对第2对置电极90抵接的驱动期间TI4，由于第2基板30瞬时地稳定在抵接位置，所以能够短于各期间TO1～T04以及TI1～TI3。
1.2.5.滤光器的又一驱动方法
图16表示用于通过K个段电极62、64施加共用电压来在N＝9个阶段改变第1、第2反射膜40、50间的间隙的电压表数据。换句话说，图10和图12的关系与图15和图16的关系等价。
在图16中也是，在表编号1～编号4中，一对第1对置电极80的第1间隙G1的大小依次变小，在表编号5中若对第1、第2段电极62、64施加共用电压VO5，则如图2所示一对第1对置电极80抵接。而且，在表编号5～编号8中，一对第2对置电极90的第2间隙G2的大小依次变小，在表编号9中若对第1、第2段电极62、64施加最大的共用电压VI4，则如图3所示能够使一对第2对置电极90抵接。由此，用图16的驱动方法也能够起到与图13的驱动方法相同的效果，由于VO5＜VI1，所以根据将最大电压Vmax分为N＝9来设定各施加电压，对于这方面，噪声灵敏度比在图13的驱动方法中大。
2.分析设备
图17是表示作为本发明的一个实施方式的分析设备的一个例子的测色器的概略结构的框图。
在图17中，测色器200具有光源装置202、分光测定装置203和测色控制装置204。该测色器200从光源装置202向检查对象A射出例如白色光，使作为被检查对象A反射的光的检查对象光入射至分光测定装置203。然后，通过分光测定装置203对检查对象光进行分光，实施对分光后的各波长的光的光量进行测定的分光特性测定。换而言之，使作为被检查对象A反射出的光的检查对象光入射至滤光器(标准具)10，实施对从标准具10透过的透射光的光量进行测定的分光特性测定。然后，测色控制装置204基于所得到的分光特性，进行检查对象A的测色处理，即，对哪个波长的颜色包含多大的程度进行分析。
光源装置202具有光源210、多个透镜212(在图1中仅记载一个)，用于对检查对象A射出白色光。而且，在多个透镜212中包含有准直透镜，光源装置202将从光源210射出的白色光通过准直透镜变为平行光，从未图示的投射透镜向检查对象A射出。
分光测定装置203如图17所示，具有标准具(etalon)10、作为受光元件的受光部220、驱动电路230和控制电路部240。而且，分光测定装置203在与标准具10对置的位置具有将被检查对象A反射出的反射光(测定对象光)导向内部的未图示的入射光学透镜。
受光部220由多个光电交换元件(受光元件)构成，生成与受光量相应的电信号。而且，受光部220与控制电路部240连接，将所生成的电信号作为受光信号向控制电路部240输出。
驱动电路230与标准具10的下部电极60、上部电极70以及控制电路部240连接。该驱动电路230基于从控制电路部240输入的驱动控制信号，向下部电极60以及上部电极70间施加驱动电压，使第2基板30移动到规定的位移位置。作为驱动电压，只要施加到在下部电极60与上部电极70之间产生想要的电位差产生即可，例如，也可以向下部电极60施加规定的电压，使上部电极70为接地电位。作为驱动电压，优选使用直流电压。
控制电路部240控制分光测定装置203的整体动作。该控制电路部240如图17所示，例如由CPU250、存储部260等构成。而且，CPU250基于存储部260所存储的各种程序、各种数据，来实施分光测定处理。存储部260具有例如存储器、硬盘等记录介质而构成，能够适当地读出并各种程序、各种数据等。
在此，在存储部260中作为程序存储有电压调整部261、间隙测定部262、光量识别部263以及测定部264。此外，间隙测定部262如上所述也可以省略。
另外，在存储部260中存储有图10、图12、图13或图16中的任一个图所示的电压表数据265，该电压表数据265将为了调整第3间隙G3的间隔而施加到静电致动器80、90上的电压值以及施加该电压值的时间建立关联。
测色控制装置204与分光测定装置203以及光源装置202连接，实施光源装置202的控制、基于由分光测定装置203取得的分光特性的测色处理。作为该测色控制装置204，能够利用例如通用个人计算机、便携式信息终端以及其它的测色专用计算机等。
而且，测色控制装置204如图17所示，具有光源控制部272、分光特性取得部270以及测色处理部271等而构成。
光源控制部272与光源装置202连接。而且，光源控制部272基于例如利用者的设定输入，向光源装置202输出规定的控制信号，从光源装置202射出规定亮度的白色光。
分光特性取得部270与分光测定装置203连接，取得从分光测定装置203输入的分光特性。
测色处理部271基于分光特性，实施对检查对象A的色度进行测定的测色处理。例如，测色处理部271实施将从分光测定装置203得到的分光特性图表化，并将其输出到未图示的打印机、显示器等输出装置等的处理。
图18是表示分光测定装置203的分光测定动作的流程图。首先，控制电路部240的CPU250启动电压调整部261、光量识别部263以及测定部264。而且，CPU250对测定次数变量n进行初始化(设定成n＝0)，作为初始状态(步骤S1)。此外，测定次变量n取0以上的整数值。
此后，测定部264在初始状态、即未向静电致动器80、90施加电压的状态下，测定透过了标准具10的光的光量(步骤S2)。此外，该初始状态下的第3间隙G3的大小也可以在例如制造分光测定装置时预先测定，并存储到存储部260。然后，将在此所得到的初始状态的透射光的光量以及第3间隙G3的大小输出到测色控制装置204。
接下来，电压调整部261读取存储部260所存储的电压表数据265(步骤S3)。而且，电压调整部261对测定次变量n进行加“1”(步骤S4)运算。
此后，电压调整部261从电压表数据265中取得与测定次数变量n对应的第1、第2段电极62、64的电压数据以及电压施加期间数据(步骤S5)。然后，电压调整部261向驱动电路230输出驱动控制信号，根据电压表数据265的数据来实施驱动静电致动器80、90的处理(步骤S6)。
而且，测定部264在经过了施加时间的定时，实施分光测定处理(步骤S7)。即，测定部264通过光量识别部263来测定透射光的光量。而且，测定部264进行将使测定到的透射光的光量与透射光的波长相关联后的分光测定结果输出到测色控制装置204的控制。此外，光量的测定也可以在使多次或者全部次数的光量的数据存储在存储部260中并在取得多次中的每次的光量的数据或者全部的光量的数据后，集中测定各自的光量。
此后，CPU250判断测定次数变量n是否达到了最大值N(步骤S8)，若判断为测定次变量n是N，则结束一系列的分光测定动作。另一方面，在步骤S8中，当测定次数变量n不到N时，返回步骤S4，实施对测定次变量n进行加“1”的处理，反复步骤S5～步骤S8的处理。
3.光学设备
图19是表示作为本发明的一个实施方式的光学设备的一个例子的波分复用通信系统的送信机的概略结构的框图。在波分复用(WDM：Wavelength Division Multiplexing)通信中，利用波长不同的信号不相互干涉这样的特性，如果将波长不同的多个光信号在一根光纤内复用，则不增设光纤线路就能够提高数据的传输量。
在图19中，波分复用送信机300具有使来自光源301的光入射的滤光器10，多个波长λ0、λ1、λ2、...的光从滤光器10透过。按各波长来设置送信器311、312、313。来自送信器311、312，313的多个信道量的光脉冲信号通过波分复用装置321合为一个而送到一根光纤传输路331。
本发明也能够同样应用于光码分复用(OCDM：Optical Code Division Multiplexing)送信机。OCDM通过被编码了的光脉冲信号的图案匹配来识别信道，这是由于构成光脉冲信号的光脉冲包含不同波长的光成分。
以上，对几个实施方式进行了说明，但能够进行本质上不脱离本发明的新增内容以及效果的多个变形，这是本领域技术人员能够容易理解的。因此，这样的变形例全部包含在本发明的范围内。例如，在说明书或者附图中，至少一次与更广义或者同义的不同用语一同记载的用语在说明书或者附图的任意位置都能置换为该不同的用语。

Claims (23)

1.一种滤光器，其特征在于，
具有：
第1基板；
第2基板，其与上述第1基板对置；
第1反射膜，其设置于上述第1基板；
第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；
第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；
第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；
第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；
第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；以及
电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第4电极之间的电位差进行控制，
上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，
上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，
上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1电极和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2电极和上述第4电极抵接。
2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在使上述第1电极和上述第3电极抵接之后，使上述第2电极和上述第4电极抵接。
3.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，来使上述第1电极和上述第3电极抵接。
4.根据权利要求2或3所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定为第2电位差之后，将第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，来使上述第2电极和上述第4电极抵接。
5.一种滤光器，其特征在于，
具有：
第1反射膜，其使光发生反射并可透过特定波长的光；
第2反射膜，其与上述第1反射膜隔着间隙地对置配置，使光发生反射并可透过特定波长的光；
第1电极，其设置于上述第1反射膜的周围；
第2电极，其设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；
第3电极，其与上述第1电极对置配置；
第4电极，其与上述第2电极对置地配置；以及
电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间电位差、上述第2电极与上述第4电极之间的电位差进行控制，
上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，
上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，
上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差缩短上述第1距离来使上述第1电极和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差缩短上述第2距离来使上述第2电极和上述第4电极抵接。
6.一种滤光器，其特征在于，
具有：
第1基板；
第2基板，其与上述第1基板对置；
第1反射膜，其设置于上述第1基板；
第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；
第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；
第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极和上述第1反射膜之间；
第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；
第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；
第1绝缘膜，其设置于上述第1电极；
第2绝缘膜，其设置于上述第2电极；以及
电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第4电极之间的电位差进行控制，
上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，
上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，
上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1绝缘膜和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
7.根据权利要求6所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在使上述第1绝缘膜和第3电极抵接之后，使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
8.根据权利要求7所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将上述第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，并使上述第1绝缘膜和上述第3电极抵接。
9.根据权利要求7或8所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定为第2电位差之后，将上述第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，并使上述第2绝缘膜和上述第4电极抵接。
10.一种滤光器，其特征在于，
具有：
第1基板；
第2基板，其与上述第1基板对置；
第1反射膜，其设置于上述第1基板；
第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；
第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；
第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；
第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；
第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；
第1绝缘膜，其设置于上述第1电极；
第2绝缘膜，其设置于上述第2电极；
第3绝缘膜，其设置于上述第3电极；
第4绝缘膜，其设置于上述第4电极；以及
电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第4电极之间的电位差进行控制，
上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，
上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，
上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1绝缘膜和上述第3绝缘膜抵接，通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
11.根据权利要求10所示的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在使上述第1绝缘膜和第3绝缘膜抵接之后，使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
12.根据权利要求11所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定为第1电位差之后，将第1电极与上述第3电极之间的电位差设定成比上述第1电位差大的电位差，来使上述第1绝缘膜和上述第3绝缘膜抵接。
13.根据权利要求11或12所述的滤光器，其特征在于，
上述电位差控制部在将第2电极与上述第4电极之间的电位差设定为第2电位差之后，将第2电极与上述第4电极之间的电位差设定成比上述第2电位差大的电位差，来使上述第2绝缘膜和上述第4绝缘膜抵接。
14.根据权利要求1～13中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
上述第1距离是上述第1电极与上述第3电极之间的电位差为零时的距离，
上述第2距离是上述第2电极与上述第4电极之间的电位差为零时的距离。
15.根据权利要求1～13中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
设上述第1电极的第2基板侧的表面为第1表面，
设上述第2电极的第2基板侧的表面为第2表面，
设上述第3电极的第1基板侧的表面为第3表面，
设上述第4电极的第2基板侧的表面为第4表面，
上述第1距离是上述第1表面的垂线方向的、从上述第1表面到上述第3表面的距离，
上述第2距离是上述第2表面的垂线方向的、从上述第2表面到上述第4表面的距离。
16.根据权利要求1～15中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
在上述第1电极与上述第3电极之间的电位差为零时，并且在上述第2电极与上述第4电极之间的电位差为零时，第1反射膜和上述第2反射膜隔开第3距离地对置，
上述第1距离比上述第2距离小，
上述第2距离比上述第3距离小。
17.根据权利要求16所述的滤光器，其特征在于，
设上述第1反射膜的第2基板侧的表面为第1反射膜表面，
设上述第2反射膜的第1基板侧的表面为第2反射膜表面，
上述第3距离是上述第1反射膜表面的垂线方向的、从上述第1反射膜表面到上述第2反射膜表面的距离。
18.根据权利要求1～17中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
上述第1基板在上述第2基板侧具有第1面、比上述第1面高的第2面和比上述第2面高的第3面，
在上述第1面形成上述第1反射膜，
在上述第2面形成上述第2电极，
在上述第3面形成有上述第1电极。
19.根据权利要求1～17中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
上述第1基板在上述第2基板侧具有第1面、与上述第1面具有相同高度的第2面和与上述第2面具有相同高度的第3面，
在上述第1面形成上述第1反射膜，
在上述第2面形成上述第2电极，
在上述第3面形成上述第1电极，
上述第1电极的膜厚与上述第2电极的膜厚不同。
20.根据权利要求1～9中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
还具有与上述第1电极连接的引出布线，
上述第1电极俯视时具有第1环状，
上述第2电极俯视时具有具备狭缝的第2环状，
上述第3电极俯视时具有第3环状，
上述第4电极俯视时具有具备狭缝的第4环状，
与上述第1电极连接的引出布线形成在上述第2环状的上述狭缝所形成的区域，
上述第4环状的狭缝形成在上述第2环状的狭缝的上方。
21.根据权利要求1～20中的任一项所述的滤光器，其特征在于，
第1电极和上述第2电极分开形成，
上述第3电极和上述第4电极经由连结部电连接。
22.一种分析设备，其特征在于，
包括权利要求1～21中的任一项所述的滤光器。
23.一种光学设备，其特征在于，
包括权利要求1～21中的任一项所述的滤光器。
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