CN102185023A - 大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法，先在硬性基板表面形成应力引导释放结构，在粘贴脱离保护膜之后，在脱离保护膜表面形成透明导电前电极之前或之后对脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理。脱离保护膜作为在硬性基板上制造柔性薄膜太阳能电池的载体，本发明的方法能够很好地改善脱离保护膜应力分布的均匀性和可控性，极大地提高了脱离保护膜的平整度和尺寸稳定性。本发明的方法使得利用在硬性基板上制造薄膜太阳能电池的工艺和设备，来完成大面积柔性薄膜太阳能电池的制造能够实现。

Description

大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域，特别是涉及一种大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法。
背景技术
能源是人类社会发展的动力，是国民经济发展和人民生活水平提高的重要物质基础。目前广泛使用的常规能源(主要是煤、石油、天然气等化石能源)有限，且多年过度的开发利用已造成严重的环境问题，制约着经济和社会的发展。因此，开发可再生能源是关系到国家可持续发展战略的关键措施之一。
在各种可再生能源中，太阳能光伏发电技术是近些年来太阳能利用领域中发展最快，最前沿的研究领域。其中薄膜太阳能电池因为耗材少、制造成本低而成为研究的热点。目前的薄膜太阳能电池按衬底可分为硬性衬底(如玻璃衬底)和柔性衬底(如高温塑料、树脂聚合物、铝箔、钢带)两大类。
柔性衬底薄膜太阳电池由于重量轻、可卷曲的特性，具有便于携带、便于安装、易与建筑一体化和高功率重量比的优点，从而在多个领域具有良好的应用前景，极大地扩展了太阳能电池的应用空间。柔性衬底薄膜太阳电池传统上采用卷对卷(roll-to-roll)的连续沉积工艺，虽生产成本较高但可大批量连续化生产。如果采用质量较轻且不易破碎的柔性太阳电池制作电站，不仅可以大大降低电池的运输成本和电站的建设及安装成本，而且更便于在已有建筑的顶部和四周安装，且不需要增加建筑物的承重要求。也可以制造出可以自由移动的太阳能电站，还可制造出便携式、大众化太阳能电池，这样不仅可以最大限度的利用太阳能，而且可以满足形形色色的能源需求。
目前，柔性薄膜太阳能电池基本都是直接在柔性衬底上使用专门处理柔性基材的设备上制造。但是，直接使用柔性衬底作为基板进行薄膜沉积的生产设备与现有的、广泛使用的、生产成本相对低的在硬性基板比如玻璃上沉积薄膜的设备不兼容，而且非常昂贵，工艺也较为复杂。其中，在利用临时衬底作为柔性转移衬底制造柔性薄膜太阳电池的方法中，存在着临时衬底需要蚀刻去除，不可重复利用，且不利于大面积产业化等问题。而且现有的在柔性衬底上直接形成薄膜太阳能电池的技术由于衬底或衬底上的电极的不透光性，不能实现大面积内级联(monolithic integration)，从而导致大面积光伏组件成本的提高和可靠性的下降。
在玻璃等硬性基板表面粘贴柔性衬底，再在柔性衬底表面沉积薄膜层系来完成柔性薄膜太阳能电池的制造，会遇到的问题包括对柔性衬底材料的苛刻要求，例如耐温性、真空腔室的非污染性、高温过程后的透光性和柔韧性，以及衬底与器件层系热膨胀系数的相对匹配、柔性衬底与硬性基板的温度性能匹配等。另外，大面积柔性衬底很难保证在整个器件制造过程中自始至终保持平展地铺设在硬性基板表面、且工艺完成后在不损坏电池的前提下易于柔性衬底的剥离。即使有这种材料，例如被认为性能最佳的聚酰亚胺，也不可能自始至终在硬性基板上保持全部平展，在电池制造过程中容易产生严重的凸起或褶皱。特别在大面积柔性薄膜太阳能电池的制造过程中，柔性衬底的这种不可忽略的凸起或褶皱，不但极大地影响薄膜沉积的均匀性和一致性，而且形成内级联的激光划线工艺无法可靠、满足性能要求地实现。
本发明人经过潜心研究和积极探索，在申请号为201010501502.4和201010288863.5的中国专利申请中提出了一种新型的柔性光电器件、特别是柔性薄膜太阳能电池和制造方法，其宗旨是硬性制造、柔性成型，直接在玻璃等硬性载板上形成脱离保护膜和包括透明导电前电极(TCO)、单结或多结半导体光电转换单元(例如p-i-n叠层结构)和背电极等层系结构的薄膜太阳能电池层系，且使其具有内级联结构，再将柔性载体(柔性承载层)牢靠地结合在电池层系上，然后利用柔性载体将电池层系、包括脱离保护膜一起整体性地从硬性载板表面脱离，经过进一步的受光面保护性封装，从而形成低成本、大面积、高度集成内级联的柔性薄膜太阳能电池及其组件。
在上述的技术方案中，柔性薄膜太阳能电池的脱离保护膜要求具有很好的透明度、光散射率、耐高温性、抗拉强度和尺寸稳定性，特别是受热时应力分布的均匀性。但是，利用涂敷手段在玻璃等硬性基板表面形成的脱离保护层，虽然具有保证附着的平展性以及后续沉积时的尺寸稳定性的粘结强度，但这又不利于电池制造完成后整体地从硬性基板上剥离。要达到良好的剥离效果，工艺过程和膜层组合又较为复杂，不利于生产成本的降低。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，能够利用已经成型的塑料薄膜作为脱离保护层，直接在硬性基板上，利用现有的、成熟的制造硬性薄膜太阳能电池的设备和工艺，来制造大面积、具有内级联的柔性薄膜太阳能电池。
为达到上述目的，本发明提供了一种大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，包括：
提供硬性基板；
在所述硬性基板表面形成应力引导释放结构；
在所述硬性基板表面粘贴脱离保护膜；
对所述脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理；
在所述脱离保护膜表面形成透明导电前电极；
在所述前电极表面沉积薄膜太阳能电池各层系并使其具有内级联结构；
在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成封装层；
将所述脱离保护膜、薄膜太阳能电池各层系和封装层整体与所述硬性基板分离。
可选的，所述夹持式加热稳定处理的步骤在形成透明导电前电极之后进行。
所述执行夹持式加热稳定处理的步骤包括：
在所述透明导电前电极表面施加使脱离保护膜在加热过程中不致鼓起的夹持板；
进行加热处理。
可选的，所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。
可选的，所述夹持板为另一块夹持表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜、且脱离保护膜表面具有透明导电前电极的硬性基板。
可选的，所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或
在夹持板的夹持面与透明导电前电极表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。
所述夹持式加热稳定处理的步骤包括：
在所述脱离保护膜表面施加使脱离保护膜在加热过程不致鼓起的夹持板；
进行加热处理。
可选的，所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。
可选的，所述夹持板为另一块下表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜的硬性基板。
可选的，所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或
在夹持板的夹持面与脱离保护膜表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。
所述应力引导释放结构包括由多个凹槽和/或凸棱组成的表面结构，且所述表面结构包含多个为形成内级联结构的激光划线而提供的条状且相互平行的平坦区域，且所述平坦区域与脱离保护膜在夹持式加热稳定处理后紧密贴合。
可选的，所述表面结构的形成方法包括辊压、机械刻划、掩模湿法刻蚀或丝网印刷。
可选的，所述表面结构的凹槽之间或凸棱之间的间距为3～30mm。
可选的，所述应力引导释放结构为由复数个通孔或盲孔组成的孔阵列。
可选的，所述复数个盲孔之间具有与形成内级联结构的条状平坦区域不相交的通道。
可选的，所述脱离保护膜的材料为透明、柔性、耐温、热膨胀系数较低且抗拉的塑料薄膜。
可选的，所述脱离保护膜优选的厚度为6～50μm。
可选的，所述塑料薄膜包括聚酰亚胺、聚醚酰亚胺PEI、聚醚醚酮树脂PEEK、聚萘二甲酸乙二醇酯PEN、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET或聚氟乙烯ETFE。
可选的，所述加热稳定处理的温度高于沉积薄膜太阳能电池各层系时的基板最高温度。
可选的，所述最高温度包括180℃～220℃的范围。
可选的，所述夹持板的与脱离保护膜或透明导电前电极夹持的表面具有由凹槽和/或凸棱组成的表面结构。
可选的，所述方法还包括对薄膜太阳能电池的受光面进行保护性封装的步骤。
本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池，包括：
脱离保护膜，所述脱离保护膜在制造时贴着在表面具有应力引导释放结构的硬性基板表面；
在所述脱离保护膜表面形成的透明导电前电极；
在所述透明导电前电极表面形成的具有内级联结构的薄膜太阳能电池各层系；以及
在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成的封装层；且
所述脱离保护膜连同透明导电前电极和薄膜太阳能电池各层系整体上具有与所述应力引导释放结构相对应的表面起伏结构。
本发明的优点：
本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，采用已经成型的塑料薄膜作为脱离保护膜，将其贴着在硬性基板表面，并进行后续的薄膜沉积。而且，通过硬性基板表面的应力引导释放结构，以及夹持式加热稳定处理，使脱离保护膜的表面应力被均匀地局限在应力引导释放结构所限定的各个特定的范围内释放，使应力的释放达到均匀可控的程度，即使出现褶皱也是出现在应力引导释放结构所限定的各个特定范围对应的位置，且褶皱是微小且均匀可控的，尺寸稳定性和平展度都得到了很大提高。特别是避免了在激光划线区域出现褶皱。这样，就可以在脱离保护膜表面均匀且可靠地沉积薄膜电池各层系并利用激光划线工艺形成多个电池之间的内级联。使得采用本发明的方法，能够从根本上实现利用现有成熟的制造硬性薄膜太阳能电池的设备和工艺，例如专利号为200810084627.4的中国专利所描述的可大面积、低成本、相对简单、大批量沉积的PECVD反应设备，来制造大面积柔性薄膜太阳能电池。
附图说明
通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。为清楚起见，放大了层的厚度。
图1a至图1b为说明柔性衬底变形和起泡现象的示意图；
图2a至图2d为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构实施例的结构示意图；
图3a至图3c为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图；
图4a至图4b为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图；
图5a至图5b为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图；
图6至图13为说明本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池制造方法的器件结构流程示意图；
图13为本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池的结构示意图。
所述示图是示意性的，而非限制性的，在此不能过度限制本发明的保护范围。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
图1a至图1b为说明柔性衬底变形和起泡现象的示意图。如图1a和图1b所示，在玻璃基板100表面粘贴脱离保护膜200，由于脱离保护膜200的材料为工程塑料，其膨胀系数远大于硬性基板，较大幅度的升温会使脱离保护膜200产生较大的应力，这种应力会通过脱离保护膜200本身的无规则、不可预料的变形方式得以释放。特别是沉积包括透明导电氧化锌前电极和硅基薄膜等电池层系300之后，由于这些膜层本身的内应力，特别是脱离保护膜200和硬性基板100的热膨胀系数之间的不可避免的差异，温度变化较大之后，内应力和温度的变化使包括脱离保护膜的层系产生不可控制的、随机、严重的鼓起和褶皱，以至于某些区域脱离基板。加之玻璃基板100与脱离保护膜200之间的有局部残留的微小气泡，在真空镀膜时会使脱离保护膜200出现大幅度的鼓泡和褶皱等严重的变形现象，对后续的薄膜沉积的均匀性，特别是激光划线造成严重的影响。
本发明的方法首先在玻璃(硬性基板)100表面形成应力引导释放结构。图2a至图2d为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构实施例的结构示意图。图2a为图2b至图2d沿A-A向的剖面图。如图所示，根据本实施例应力引导释放结构为多个凹槽110组成的纵、横或网格表面结构，且被形成内级联的激光线10所在的条状平坦区域分成若干个区域，例如39个区域。凹槽110具有一定的深度，例如0.1至0.5毫米之间。纵横或网格表面结构可以是多种多样的，凹槽110可以是纵向排列，如图2b所示；也可以是纵横交错、彼此贯通，如图2c、2d所示，在此仅是举出几个典型的例子而已。这种网格结构的形式不限，只要是这些横向和/或纵向的凹槽组成一定图形的纵、横或网格结构，且留出划激光线的位置，也就是包含多个为形成内级联结构的激光划线而留出的条状且相互平行的平坦区域，在这些区域进行激光划线。总之，硬性基板表面的应力引导释放结构需不影响激光划线。凹槽之间这些具有一定面积的平坦区域，与脱离保护膜200在夹持式加热稳定处理后紧密贴合。这些贴合面积的和占整个基板的面积比如大于50％，即能够使具有该凹槽结构的玻璃基板100与脱离保护膜200的接触面积大于50％，均可以作为本发明的基板表面应力引导释放结构，均在本发明的保护范围内。
上述凹槽网格结构的凹槽110的形成方法包括辊压、激光刻划、机械刻划或掩模湿法刻蚀。
图3a至图3c为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图，图3a为图3b和图3c的A-A向剖面结构图。如图所示，根据本实施例应力引导释放结构为由多个凸棱110’组成的纵、横或网格表面结构，且被形成内级联的激光线10分成若干个区域。凸棱110’具有一定的高度，比如为0.1至0.5毫米之间。纵横或网格表面结构可以是多种多样的，凸棱110’可以是纵向排列，激光线10在凸棱110’平坦的表面，如图3b所示；也可以是纵横交错、彼此贯通，也可以是纵向凸棱110’和凸块110”的组合，激光线10在凸棱110’平坦的表面，将表面结构分成若干个区域，如图3c所示。这种网格结构的形式不限，在此仅是举出几个典型的例子而已。只要是这些横向和/或纵向的凸棱或凸块组成一定图形的纵、横或网格结构，且留出划激光线的平坦条状位置，也就是被激光划线的区域隔开，不影响激光划线。凸棱110’即为划激光线的平坦条状区域，该区域在夹持式加热稳定处理后与脱离保护膜200紧密贴合。凸棱110’和凸块110”具有一定的表面积，这些面积(脱离保护膜200与凸棱110’和凸块110”的接触面积)的和占整个基板的面积大于例如50％，均可以作为本发明的基板表面应力引导释放结构，均在本发明的保护范围内。
凸棱110’和凸块110”可以采用丝网印刷、辊压、激光刻划、机械刻划或掩模湿法刻蚀的方法形成。
在上述实施例中，所述表面结构的凹槽之间或凸棱之间的间距为3～30mm。
图4a至图4b为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图；如图所示，玻璃基板100表面的应力引导释放结构还可以是由多个圆通孔120或圆盲孔121组成的孔阵列结构。在图4b所示的圆盲孔121之间具有通道122，这些通道122与形成内级联结构的激光划线所需的条状平坦区域不相交，即不应影响激光划线。通道122具有应力引导释放的作用，同时供排除脱离保护膜和基板之间的空气使用。图5a至图5b为根据本发明硬性基板表面应力引导释放结构另一实施例的结构示意图；如图所示，玻璃基板100表面的应力引导释放结构还可以是由多个方通孔130或方盲孔131组成的孔阵列结构。在图5b所示的方盲孔131之间具有通道132，这些通道132与形成内级联结构的激光划线所需的条状平坦区域也不相交，即也不应影响激光划线。通道132具有应力引导释放的作用，同时供排除脱离保护膜和基板之间的空气使用。激光线10将孔阵列分成若干个区域。
其中，通孔或盲孔的分布不一定均匀，只要避开激光线10即可。此外，圆形和方孔可以同时存在于一块基板上。
图6至图13为说明本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池制造方法的器件结构流程示意图。如图所示，在玻璃基板100表面形成应力引导释放结构之后，在玻璃基板100表面粘贴脱离保护膜200，如图6所示。脱离保护膜200的材料需要是透明、柔性、耐温、热膨胀系数较低且抗拉的已成膜材料，包括含各类聚合物，优选厚度为6～50μm。所说的聚合物包括含聚酰亚胺、特氟隆的聚合物如全氟乙烯丙烯共聚物FEP、四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物PFA，聚醚酰亚胺PEI、聚醚醚酮树脂PEEK、聚氟乙烯ETFE、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET或聚萘二甲酸乙二醇酯PEN。脱离保护膜200的表面优选为绒性，以便能够更好地分散加热时和薄膜沉积过程所产生的应力，有利于保护膜在电池生产过程中始终保持平展。
随后，如图7所示，在所述脱离保护膜200表面沉积掺杂氧化锌形成透明导电前电极300。然后，进行夹持式应力释放的过程。在隔离层400表面施加夹持板500，如图8所示。夹持板500的夹持面(与透明导电前电极300相夹的面)在透明导电前电极300的上面或下面均可，例如可以是如图8a所示的在透明导电前电极300的下面。还可以是如图8b所示的倾斜放置，只要是能够夹住脱离保护膜200既可，以使表面具有透明导电前电极300的脱离保护膜200保持平展，防止加热时脱离保护膜200产生垂直于基板表面的鼓起。夹持板500的材料优选为石英、玻璃或石墨。优选的，在透明导电前电极300表面铺设防粘层400，防粘层400的材料优选为涂有特氟隆Teflon的玻璃纤维布，其具有理化性能稳定、耐高温、尺寸稳定等优点。或对夹持板500的夹持面(与透明导电前电极300接触的面)进行防粘处理，例如镀一层防粘材料层。
在一个优选的实施例中，夹持板也可以是下表面具有应力引导释放结构且粘贴有脱离保护膜200、且脱离保护膜200表面具有透明导电前电极300的另一硬性基板150。两块基板上的透明导电前电极300相对夹持，如图9所示。两块相对夹持的基板100和150也可以倾斜放置。防粘层400在加热时防止夹持板500和透明导电前电极300之间，或两个透明导电前电极300之间的粘连。
在其它实施例中，进行夹持式应力释放的过程也可以在沉积氧化锌形成透明导电前电极300之前进行。在脱离保护膜200表面施加夹持板500。夹持板500在上、在下、倾斜放置均可。只要可以使脱离保护膜200保持平展，防止加热时产生垂直于基板表面的鼓起。夹持板500的材料优选为石英、玻璃或石墨。优选的，在脱离保护膜200表面铺设防粘层400，如图10所示。同样，夹持板也可以是下表面具有应力引导释放结构且粘贴有脱离保护膜200的另一硬性基板100。两块基板上的脱离保护膜200相对夹持，如图11所示。防粘层400在加热时防止夹持板500和脱离保护膜200之间，或两个脱离保护膜200之间的粘连。
然后，在高于沉积薄膜太阳能电池各层系的最高温度下，例如温度在200～230℃下进行加热烘烤。在加热的过程中，应力引导释放结构不但能够将脱离保护膜200和基板之间的空气从凹槽中排除(如图8中的箭头所示)，而且能够将脱离保护膜200的表面应力局限在凹槽之间或凸棱之间或孔之间的各个特定的范围内释放，使应力的释放达到均匀、可控的程度，不会出现局部应力过大造成的局部尺寸起伏很大的鼓泡和褶皱。经过这种热稳定处理的过程，脱离保护膜200的平展度和尺寸稳定性都得到了很大提高。
接下来，如图12至图13所示，移去夹持板500和防粘层400，在脱离保护膜200的透明导电前电极300表面沉积薄膜太阳能电池各层系600，及进行相关的激光划线工艺，然后形成封装层系700，例如用多层耐候、柔性材料，利用EVA(乙烯-醋酸乙烯共聚物)通过层压工艺与薄膜太阳能电池各层系600牢固地结合。然后将封装层700、薄膜太阳能电池各层系600、透明导电前电极300和脱离保护膜200，整体性地与玻璃基板100分离。
前述的夹持板的与脱离保护膜或透明导电前电极夹持的表面也可具有由凹槽和/或凸棱组成的表面结构。
在其它实施例中，本发明的方法还包括对薄膜太阳能电池600的受光面，也就是在脱离保护膜200的下表面形成封装层，例如层压一层或数层透明耐候性材料，进行保护性封装的步骤。
图13为本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池的结构示意图。本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池包括脱离保护膜200，其在制造时贴着在如上述的表面具有应力引导释放结构的硬性基板表面；在所述脱离保护膜200表面形成的透明导电前电极300；在透明导电前电极300表面形成的具有内级联结构的薄膜太阳能电池各层系600；以及在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成的封装层系700。本发明的大面积柔性薄膜太阳能电池从横截面来看，脱离保护膜200连同透明导电前电极300和薄膜太阳能电池各层系600，从整体上具有与所述应力引导释放结构相对应的表面起伏结构800。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。

Claims (23)

1.一种大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，包括：
提供硬性基板；
在所述硬性基板表面形成应力引导释放结构；
在所述硬性基板表面粘贴脱离保护膜；
对所述脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理；
在所述脱离保护膜表面形成透明导电前电极；
在所述前电极表面沉积薄膜太阳能电池各层系并使其具有内级联结构；
在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成封装层；
将所述脱离保护膜、薄膜太阳能电池各层系和封装层整体与所述硬性基板分离。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述夹持式加热稳定处理的步骤在形成透明导电前电极之后进行。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于：所述执行夹持式加热稳定处理的步骤包括：
在所述透明导电前电极表面施加使脱离保护膜在加热过程中不致鼓起的夹持板；
进行加热处理。
4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。
5.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板为另一块夹持表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜、且脱离保护膜表面具有透明导电前电极的硬性基板。
6.根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于：所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或
在夹持板的夹持面与透明导电前电极表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。
7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述夹持式加热稳定处理的步骤包括：
在所述脱离保护膜表面施加使脱离保护膜在加热过程不致鼓起的夹持板；
进行加热处理。
8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。
9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板为另一块下表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜的硬性基板。
10.根据权利要求8或9所述的制造方法，其特征在于：所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或
在夹持板的夹持面与脱离保护膜表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。
11.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述应力引导释放结构包括由多个凹槽和/或凸棱组成的表面结构，且所述表面结构包含多个为形成内级联结构的激光划线而提供的条状且相互平行的平坦区域，且所述平坦区域与脱离保护膜在夹持式加热稳定处理后紧密贴合。
12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于：所述表面结构的形成方法包括辊压、机械刻划、掩模湿法刻蚀或丝网印刷。
13.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于：所述表面结构的凹槽之间或凸棱之间的间距为3～30mm。
14.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述应力引导释放结构为由复数个通孔或盲孔组成的孔阵列。
15.根据权利要求14所述的制造方法，其特征在于：所述复数个盲孔之间具有与形成内级联结构的条状平坦区域不相交的通道。
16.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述脱离保护膜的材料为透明、柔性、耐温、热膨胀系数较低且抗拉的塑料薄膜。
17.根据权利要求16所述的制造方法，其特征在于：所述脱离保护膜优选的厚度为6～50μm。
18.根据权利要求17所述的制造方法，其特征在于：所述塑料薄膜包括聚酰亚胺、聚醚酰亚胺PEI、聚醚醚酮树脂PEEK、聚萘二甲酸乙二醇酯PEN、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET或聚氟乙烯ETFE。
19.根据权利要求3或7所述的制造方法，其特征在于：所述加热稳定处理的温度高于沉积薄膜太阳能电池各层系时的基板最高温度。
20.根据权利要求19所述的制造方法，其特征在于：所述最高温度包括180℃～220℃的范围。
21.根据权利要求4或8所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板的与脱离保护膜或透明导电前电极夹持的表面具有由凹槽和/或凸棱组成的表面结构。
22.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述方法还包括对薄膜太阳能电池的受光面进行保护性封装的步骤。
23.一种大面积柔性薄膜太阳能电池，其特征在于，包括：
脱离保护膜，所述脱离保护膜在制造时贴着在表面具有应力引导释放结构的硬性基板表面；
在所述脱离保护膜表面形成的透明导电前电极；
在所述透明导电前电极表面形成的具有内级联结构的薄膜太阳能电池各层系；以及
在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成的封装层；且
所述脱离保护膜连同透明导电前电极和薄膜太阳能电池各层系整体上具有与所述应力引导释放结构相对应的表面起伏结构。
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