CN102097290A - 管式扩散工艺中磷源的回收系统 - Google Patents
管式扩散工艺中磷源的回收系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102097290A CN102097290A CN 201010294778 CN201010294778A CN102097290A CN 102097290 A CN102097290 A CN 102097290A CN 201010294778 CN201010294778 CN 201010294778 CN 201010294778 A CN201010294778 A CN 201010294778A CN 102097290 A CN102097290 A CN 102097290A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- source
- source bottle
- bottle
- recycling
- air inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004064 recycling Methods 0.000 title abstract 9
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 37
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 21
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 8
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910019213 POCl3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 7
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
Abstract
本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通，本系统的气源向排液部分通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分中，回收装置部分的源瓶可取出做生产使用。本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统。
背景技术
扩散工序每年需要大量的POCL3，每瓶源瓶内液面总高一般为10cm，而每瓶在用到2cm以下以后就要换源瓶，从而导致磷源浪费。公告号为CN201408771Y的装载扩散磷源的源瓶的专利中，发明人改进了源瓶，该源瓶的瓶底为中部高四周低的凸面，进气管在源瓶的边缘，利于出气管更多地将磷源带出，最大限度地使用磷源。但该方案依然存在以下不足：磷源无法完全被利用，仍然存在一定的浪费；该装置因为源瓶形状不规则，需要特殊定制；在扩散工艺中，磷源液位太低以后，工艺条件将不可控，因此磷源接近底部时已经不适合继续生产。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种可以将源瓶内剩余磷源的回收的回收系统，尽可能减少磷源的浪费。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通；回收部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的进气管连接排液部分的源瓶，最后一个源瓶的出气管与安全装置部分连通，中间源瓶的进气管与前一个源瓶出气管连通，中间源瓶出气管与后一个源瓶进气管连通。
具体的地，安全装置部分包括缓冲瓶和尾气回收装置，回收部分最后一个源瓶的出气管与缓冲瓶的进口连接，缓冲瓶的出口连接收集挥发出来的POCl3的尾气回收装置。
回收部分的源瓶的数量可以不止一个，但是实际使用时，回收部分的源瓶一般为一个，回收部分的源瓶的连接方式为源瓶的进气管连接排液部分的源瓶，源瓶的出气管与安全装置部分连通。
本发明的有益效果是：本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图；
图中：1.气源，2.排液部分，3.回收部分，4.安全装置部分，5.源瓶，51.出气管，52.进气管，6.缓冲瓶，7.尾气回收装置，8.手套箱。
具体实施方式
如图1所示，一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，包括气源1、排液部分2、回收部分3和安全装置部分4，排液部分2和回收部分3由生产线上更换下来的源瓶5依次连接而成，排液部分2与回收部分3的源瓶5连接方向相反，气源1为高纯惰性气体，本系统的气源1向排液部分2通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分3中，回收装置部分3的源瓶可取出做生产使用。
排液部分2的源瓶5的连接方式为第一个源瓶5的出气管51连接气源1，最后一个源瓶5的进气管52与回收部分3的第一个源瓶5的进气管52连接，中间源瓶5的出气管51与前一个源瓶5的进气管52连通，中间源瓶5的进气管52与后一个源瓶5的出气管51连通。
回收部分的源瓶的数量可以不止一个，但是实际使用时，回收部分的源瓶一般为一个，回收部分3的源瓶的连接方式为源瓶5的进气管52连接排液部分2的源瓶5，源瓶5的出气管51与安全装置部分4连通。
安全装置部分4包括缓冲瓶6和尾气回收装置7，回收部分3最后一个源瓶3的出气管51与缓冲瓶6的进口连接，缓冲瓶6的出口连接收集挥发出来的POCl3的尾气回收装置7。
如果回收部分的源瓶的数量不止一个，回收部分3的源瓶5的连接方式为第一个源瓶5的进气管52连接排液部分2的源瓶5，最后一个源瓶5的出气管51与安全装置部分4连通，中间源瓶5的进气管52与前一个源瓶5的出气管51连通，中间源瓶5的出气管52与后一个源瓶5的进气管52连通。
将生产过程中更换下来的3～5瓶源瓶连接到本系统中，在通入高纯惰性气体N2下，剩余磷源将被收集到一个源瓶中，可重新用于生产，因此可以节省20％的磷源。以每瓶磷源可用40天计算，40根扩散炉管每年就可以节约65瓶。
本系统设置在一个手套箱(8)内，以确保磷源不外泄，保证安全。
Claims (3)
1.一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：包括气源(1)、排液部分(2)、回收部分(3)和安全装置部分(4)，排液部分(2)和回收部分(3)由生产线上更换下来的源瓶(5)依次连接而成，排液部分(2)与回收部分(3)的源瓶(5)连接方向相反，气源(1)为高纯惰性气体，
排液部分(2)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的出气管(51)连接气源(1)，最后一个源瓶(5)的进气管(52)与回收部分(3)的第一个源瓶(5)的进气管(52)连接，中间源瓶(5)的出气管(51)与前一个源瓶(5)的进气管(52)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与后一个源瓶(5)的出气管(51)连通；
回收部分(3)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，最后一个源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与前一个源瓶(5)的出气管(51)连通，中间源瓶(5)的出气管(52)与后一个源瓶(5)的进气管(52)连通。
2.根据权利要求1所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：所述的安全装置部分(4)包括缓冲瓶(6)和尾气回收装置(7)，回收部分(3)最后一个源瓶(3)的出气管(51)与缓冲瓶(6)的进口连接，缓冲瓶(6)的出口连接收集挥发出来的POCl3的尾气回收装置(7)。
3.根据权利要求1或2所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：回收部分(3)的源瓶(5)仅有一个，回收部分(3)的源瓶的连接方式为源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201010294778XA CN102097290B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 管式扩散工艺中磷源的回收系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201010294778XA CN102097290B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 管式扩散工艺中磷源的回收系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102097290A true CN102097290A (zh) | 2011-06-15 |
| CN102097290B CN102097290B (zh) | 2012-05-16 |
Family
ID=44130323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201010294778XA Active CN102097290B (zh) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 管式扩散工艺中磷源的回收系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102097290B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102679746A (zh) * | 2012-05-24 | 2012-09-19 | 南京华伯仪器科技有限公司 | 扩散炉膛气氛稳定装置 |
| CN102976256A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-03-20 | 英利集团有限公司 | 倒灌装置 |
| CN111041560A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-04-21 | 阳光中科（福建）能源股份有限公司 | 一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1961188A (zh) * | 2004-06-02 | 2007-05-09 | 金三角企业集团有限公司 | 六氟化硫的气体回收 |
| CN201408771Y (zh) * | 2009-04-01 | 2010-02-17 | 常州天合光能有限公司 | 装载扩散磷源的源瓶 |
-
2010
- 2010-09-28 CN CN201010294778XA patent/CN102097290B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1961188A (zh) * | 2004-06-02 | 2007-05-09 | 金三角企业集团有限公司 | 六氟化硫的气体回收 |
| CN201408771Y (zh) * | 2009-04-01 | 2010-02-17 | 常州天合光能有限公司 | 装载扩散磷源的源瓶 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102679746A (zh) * | 2012-05-24 | 2012-09-19 | 南京华伯仪器科技有限公司 | 扩散炉膛气氛稳定装置 |
| CN102679746B (zh) * | 2012-05-24 | 2014-07-09 | 南京华伯仪器科技有限公司 | 扩散炉膛气氛稳定装置 |
| CN102976256A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-03-20 | 英利集团有限公司 | 倒灌装置 |
| CN102976256B (zh) * | 2012-12-21 | 2014-12-24 | 英利集团有限公司 | 倒灌装置 |
| CN111041560A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-04-21 | 阳光中科（福建）能源股份有限公司 | 一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102097290B (zh) | 2012-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102097290B (zh) | 管式扩散工艺中磷源的回收系统 | |
| CN103672396A (zh) | 一种高纯气体液体储罐泻压放空回收利用的方法 | |
| CN202105453U (zh) | 除氧器排放蒸汽回收利用装置 | |
| CN203447995U (zh) | 防止mocvd生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置 | |
| CN103672395A (zh) | 一种高纯气体运输储罐放空余气回收利用的方法 | |
| CN203861954U (zh) | 一种溶剂脱除回收系统 | |
| CN203469506U (zh) | 真空闪蒸罐蒸汽冷凝水余热回收装置 | |
| CN201990481U (zh) | 稀盐酸提浓装置 | |
| CN201884930U (zh) | 高压蒸汽管路疏水回收装置 | |
| CN206828524U (zh) | 大型沼气工程发酵生产系统 | |
| CN103707551A (zh) | 节能循环热压机 | |
| CN203678225U (zh) | 一种led排放废氨气回收为氨水的实验装置 | |
| CN203461829U (zh) | 一种led氮化镓生产炉废氨气回收为饱和氨水的装置 | |
| CN204125192U (zh) | 乙炔废次钠回收利用装置 | |
| CN215463135U (zh) | 中和间盐酸溶液箱酸雾排空管道 | |
| CN205606169U (zh) | 在深冷空分分馏塔装置中的液氮充装装置 | |
| CN203642602U (zh) | 一种现场回收利用led生产中排放废氨气的装置 | |
| CN210251830U (zh) | 高效节能脱硝还原剂气化系统 | |
| CN202936331U (zh) | 一种新型天然气制甲醇装置 | |
| CN103449544B (zh) | 一种节约高温位蒸汽的含酸含氨废水的处理方法 | |
| CN203700468U (zh) | 海绵钛生产中还蒸过程用的四氯化钛高位槽 | |
| CN204039072U (zh) | 一种石英砂提纯专用的酸洗装置 | |
| CN203612960U (zh) | 回收蒸汽乏汽的设备系统 | |
| CN202725008U (zh) | 废气回收利用装置 | |
| CN202492190U (zh) | 型煤管道输送轮式进回料设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee after: TRINASOLAR Co.,Ltd. Address before: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee before: trina solar Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee after: trina solar Ltd. Address before: 213031, No. 2, Tianhe Road, Xinbei Industrial Park, Jiangsu, Changzhou Patentee before: CHANGZHOU TRINA SOLAR ENERGY Co.,Ltd. |