CN102081110A - 探针装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

Description

探针装置

技术领域

本发明涉及一种探针装置，其用于对液晶显示面板这样的平板状被检查体进行电测试。

背景技术

通常，通过采用探针单元、探针组件这样的探针装置的检查装置、即测试装置对液晶显示面板这样的平板状被检查体进行检查、即测试。作为这种探针装置之一，存在专利文献1所记载的装置。

专利文献1所记载的探针装置包括安装于测试装置的主架上的板状的探针座、安装于探针座的连结组件、能够调整高度位置地悬架在连结组件上的支承组件、以及将多个探针支承于探针支架上并组装于支承组件的探针组件(探针组装体)。

探针支架在自该探针支架向上方突出的凸部插入在形成于滑动组件的凹部的状态下利用一对螺纹构件安装于连结组件。由此，探针组件能够自支承组件解除地维持在该支承组件上。

各探针具有板状的针中央区域、自该针中央区域一体地向前方延伸的针前部区域、自该针前部区域向下方延伸的顶端针尖、自针中央区域一体地向后方延伸的针后部区域、以及自该针后部区域向上方延伸的后端针尖。这种探针以使针中央区域面对的状态配置、支承在探针支架上。

探针组装体除探针和探针支架之外还包括沿着探针厚度方向贯穿针中央区域地延伸并在两端部支承于探针支架的导杆、为了接纳针前部区域而具有在左右方向上隔开间隔的多个槽且支承于探针支架的前侧槽杆、以及为了接纳针后部区域而具有在左右方向上隔开间隔的多个槽且支承于探针支架的后侧槽杆。

在专利文献1所记载的探针装置中，探针被导杆支承于探针支架，而且使其顶端针尖和后端针尖分别自对应的槽杆的槽向前方和后方突出。在这种探针装置中，一旦顶端针尖和后端针尖分别被按压在被检查体的电极和载带自动键合带这样的配线片的连接部上，各探针会受到过载驱动力(overdrive)的作用，探针相对于探针支架在前后方向和上下方向上的位移量就根据存在于各探针与导杆之间的间隙的大小而不同。

由于设计上和加工上的允许公差，无法避免在探针与导杆之间形成上述那样的间隙。结果，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与配线片的连接部之间的电接触不稳定，无法进行正确的测试。

为了解决上述课题，在专利文献2所记载的探针装置中，将上述导杆作为定位销，而且在各探针的针中央区域的顶端部和后端部分别设置朝向前方敞开的コ字形的第1及第2凹部，在顶端侧槽杆和设置于组件片后端部的承载杆中分别设置向后方突出而与第1及第2凹部嵌合的第1及第2凸部。

在专利文献2所记载的探针装置中，将导杆作为定位销、第1凹部和第1凸部嵌合、以及第2凹部和第2凸部嵌合，从而降低了过载驱动力作用于各探针时探针相对于组件片的位移量之差。

可是，即使如上述那样进行设计，在设计上和加工上允许销构件与探针的嵌合部、第1凹部和第1凸部的嵌合部、及第2凹部和第2凸部的嵌合部的间隙，而且在加工上及组装作业上难以使这种间隙为零。

鉴于上述结果，在专利文献2所记载的探针装置中，只是能够将过载驱动力作用于各探针时探针相对于探针支架(特别是组件片)的位移量之差减小一定程度。因此，在专利文献2所记载的探针装置中，顶端针尖与被检查体的电极之间的接触、及后端针尖与配线片的连接部之间的接触不稳定，无法进行正确的测试。

专利文献1：日本特开2004-191064号公报

专利文献2：日本特开2009-115585号公报

发明内容

本发明的目的在于尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。

本发明的探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

也可以是，上述第2部位和上述第4部位分别在上下方向上离开上述第1部位和上述第3部位。

也可以是，上述针中央区域具有沿上下方向和前后方向延伸的板状，上述探针还包括：针前部区域，其自上述针中央区域的前端部向前方延伸；顶端针尖，其自上述针前部区域的前端部向下方延伸；针后部区域，其自上述针中央区域的后端部向后方延伸；以及后端针尖，其自上述针后部区域的后端部向上方延伸。

也可以是，上述第1部位和上述第2部位设置于上述探针支架，上述第3部位和上述第4部位设置于上述探针的上述针中央区域的前端部，多个上述探针使上述针中央区域相对。

也可以是，上述探针支架和上述探针中的任一者还在自上述第1部位向上方隔开间隔的部位包括第5部位，该第5部位朝后，上述探针支架和上述探针中的另一者还在自上述第3部位向上方隔开间隔的部位包括第6部位，该第6部位朝前并能够与上述第5部位抵接。

也可以是，上述第5部位设置于上述探针支架，上述第6部位设置于上述探针的上述针中央区域的前端部。

也可以是，上述探针支架和上述探针中的任一者还包括凸部，该凸部向前方或后方突出，上述探针支架和上述探针中的另一者还包括抵接部，该抵接部供上述凸部抵接。

也可以是，上述探针的后端针尖自上述针后部区域向上方并与该针后部区域的延伸方向成直角地延伸。

也可以是，在左右方向上相邻的上述后端针尖使上述针后部区域一侧的部位相对，并且使上述探针的后部侧的针尖在前后方向上位移。

也可以是，上述探针支架包括：多个第1槽，该第1槽向下方和后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸，并接纳上述针前部区域的至少一部分；以及多个第2槽，该第2槽处于自上述第1槽向后方隔开间隔的位置，并向前方和下方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸，接纳上述针后部区域的至少一部分。

也可以是，上述探针支架还包括多个第3槽，该第3槽向后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸，并接纳上述针中央区域的前端部的至少一部分。

也可以是，上述探针支架还包括多个第4槽，该第4槽处于自上述第3槽向后方隔开间隔的位置，并向前方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸，接纳上述针中央区域的后端部的至少一部分。

也可以是，上述探针组装体还包括：至少1个杆构件，该杆构件贯穿上述探针的上述针中央区域而沿左右方向延伸；以及板状的罩，该罩能够拆卸地组装在上述探针支架的左右方向上的各侧部，并将上述杆构件的端部支承于上述探针支架。

也可以是，上述探针装置还包括：支承组件；结合组件，其配置在上述支承组件的下侧，并在该结合组件的下侧组装有上述探针组装体；以及组装装置，其将上述结合组件组装到上述支承组件的下侧；上述组装装置包括：凹部，其形成于上述结合组件和上述支承组件中的任一者；连结构件，其嵌合于上述凹部；第1螺纹构件，其将上述连结构件组装到上述结合组件或者上述支承组件；以及第2螺纹构件，其在上下方向上贯穿上述连结构件而螺纹接合于上述结合组件和上述支承组件中的另一者。

也可以是，上述探针装置包括配线片，该配线片处于上述结合组件的下侧，并配置在比上述探针组装体靠向后方的部位，该配线片在下表面具有在左右方向上隔开间隔的多个连接部，上述探针组装体在上述结合组件的下侧组装成上述探针的后部侧针尖接触于上述连接部的状态。

探针组装体在各探针的后端针尖被按压于配线片的连接部的状态下组装于支承部件的下侧。因此，不管过载驱动力是否作用于各探针，各探针的后端针尖都与配线片的对应的连接部可靠地电连接。

另外，一旦探针的后端针尖被按压于配线片的连接部，使探针以后端针尖与连接部的接触部为支点旋转的力就作用于探针。由此，一旦维持在后端针尖和连接部被按压的状态，探针支架和各探针就维持在第1及第2部位分别被按压于第3及第4部位的状态。

如上所述，在本发明的探针装置中，互相按压的探针支架和各探针即使在两者之间存在由设计上和加工上的公差引起的间隙，也能维持在各探针的后端针尖被按压于配线片的连接部的状态，由此探针相对于探针支架在左右方向、前后方向及上下方向上的位置稳定。

基于上述结果，根据本发明的探针装置，探针相对于探针支架的位移量之差显著变小，能够进行正确的测试。

如果探针支架具有向后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的多个第3槽，针中央区域的前端部的至少一部分被接纳在第3槽中，则即使使探针绕沿其长度方向(前后方向)延伸的虚拟轴线角度旋转的力作用于探针，也会由于针中央区域的前端部的一部分被接纳于第3槽中而阻止这种角度旋转。

同样，如果探针支架具有向前方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的多个第4槽，针中央区域的后端部的至少一部分被接纳在第4槽中，则即使使探针如上所那样角度旋转的力作用于探针，也会由于针中央区域的后端部的一部分被接纳于第4槽中而阻止随之产生的角度旋转。

附图说明

图1是表示本发明的探针装置的一实施例的主视图；

图2是图1所示的探针装置的右视图；

图3是图1所示的探针装置的俯视图；

图4是图3中的A部分的放大图；

图5是沿图1中的5-5线截取而得到的剖视图；

图6是将图1所示的探针装置分解表示的剖视图；

图7是除去探针组装体和结合组件后的主视图；

图8是表示将结合组件组装于支承组件的组装装置的一实施例的分解立体图；

图9是将探针组装体的局部放大表示的主视图；

图10是图9所示的探针组装体的右视图；

图11是沿图9中的11-11线截取而得到的剖视图；

图12是将探针的针顶部区域和接纳该针顶部区域的槽杆放大表示的俯视图；

图13是沿图12中的13-13线截取而得到的剖视图；

图14是表示探针的针后部区域及其附近的一实施例的、与图13同样的剖视图；

图15是表示导向件的一实施例的俯视图；

图16是表示后端针尖及其附近的另一实施例的、与图13同样的剖视图；

图17是表示导向件的另一实施例的仰视图；

图18是沿图17中的18-18线截取而得到的剖视图；

图19是表示探针组装体的另一实施例的、与图13同样的剖视图；

图20是表示探针组装体的又一实施例的、与图14同样的剖视图。

具体实施方式

关于术语

在本发明中，在图1中将上下方向称作上下方向或者Z方向，将左右方向称作左右方向或者X方向，将纸表背方向称作前后方向或者Y方向。但是，这些方向根据工作台这样的面板承接部所承接的被检查体的姿态而不同。

故此，本发明的探针装置以本发明所说的上下方向(Z方向)实际成为上下方向的状态、上下相反的状态、倾斜方向的状态等任一方向的状态安装于测试装置来使用。

实施例

参照图1至图6，探针装置10将在图2、4、5及6中表示出局部的液晶显示面板作为被检查体12，用于对被检查体12的点亮检查。被检查体12具有长方形的形状，而且至少在与长方形的相邻两个边对应的缘部，在该缘部的长度方向上隔开间隔地以规定间距形成多个电极14(参照图10)。各电极14具有沿着与配置有该电极14的缘部正交的方向(X方向或Y方向)延伸的带状形状。

参照图1至图6，探针装置10包括：探针组装体16；支承探针组装体16的支承组件18；连结有支承组件18的连结组件20；支承在支承组件18的下侧(Z方向上的任一侧)的结合组件22；将结合组件22组装到支承组件18下侧的组装装置24；支承在结合组件22下侧的配线片26；以及配置在支承组件18下侧的、比上述探针组装体靠向后方的位置的连接组件28。

将连结组件20组装于安装在测试装置的主架(未图示)上的平板状探针座30，从而将探针装置10作为测试装置的一部分组装于该测试装置。

关于探针组装体16，参照图9至图11，将由导电性材料制成的多个探针32以在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的状态配置于一对槽杆36，使具有圆形的横截面形状的杆构件38贯穿探针32并利用罩40将杆构件38的各端部组装于组件片34，其中，所述一对槽杆36在前后方向上隔开间隔地组装于组件片34的下表面。

如图11～图14所示，各探针32为刀片型针，该刀片型针包括呈矩形的板状针中央区域32a、自针中央区域32a的前端下部一体地向前方延伸的悬臂梁状针前部区域32b、自针中央区域32a的后端上部一体地向后方延伸的悬臂梁状针后部区域32c、自针前部区域32b的顶端向下方延伸的顶端针尖32d、以及自针后部区域32c的后端向上方延伸的后端针尖32e。

在图示的例子中，针前部区域32b和针后部区域32c分别具有自针中央区域32a向前方和后方延伸的长板形状。另外，顶端针尖32d和后端针尖32e分别自针前部区域32b和针后部区域32c相对于针前部区域32b和针后部区域32c的延伸方向大致成直角地向下方和上方延伸。

组件片34和各槽杆36均由具有电绝缘性的陶瓷、合成树脂等制成并具有在左右方向上较长的棱柱状形状。

各槽杆36以沿左右方向延伸的状态并利用粘接、螺纹固定这样的适当方法安装在组件片34的前部下表面或者后部下表面，而且如图9至图14所示那样在各槽杆36的下表面具有在其长度方向(左右方向)上隔开恒定间隔地沿前后方向延伸的多个槽42。各槽42向下方、前方和后方敞开。

杆构件38在图示的例子中具有圆形的截面形状，而且由陶瓷这样的硬质电绝缘性材料形成。各杆构件38贯穿探针32的针中央区域32a。但是，杆构件38也可以是用电绝缘性材料包覆导电性材料而形成，而且也可以具有矩形、六边形等多边形这样的其他横截面形状。

各探针32以将针中央区域32a的厚度方向作为左右方向且使顶端针尖32d和后端针尖32e分别自组件片34向前方和后方突出的状态并列配置于槽杆36，而且使针前部区域32b和针后部区域32c嵌合于槽杆36的槽42中。

各探针32的针前部区域32b自对应的槽42的内部底面向下方离开该槽42的内部底面，以在过载驱动力作用于探针32时，容许针前部区域32b稍微弹性变形而挠曲。

如图1、9所示，各罩40由位于内侧的板状罩构件40a、及位于其外侧的板状罩构件40b形成。

如图2、9、10所示，各罩40利用贯穿罩构件40a、40b而螺纹接合于组件片34的左右方向上的端部的多个螺纹构件44能够拆卸地安装在组件片34的左右方向上的侧面(端面)。

各罩40还被多个定位销46相对于组件片34三维定位。各定位销46以自组件片34的左右方向上的端部向左右方向突出的状态安装在该端部，并插入在两个罩构件40a、40b中。

内侧的各罩构件40a具有接纳杆构件38的端部的孔48(参照图9)。由此，利用螺纹构件44和定位销46将杆构件38与罩构件40a、40b一同安装于组件片34来定位。

如图11、12所示，前侧的槽杆36在其下部具有朝下面50a，并在其上部具有朝前面50b。前侧的槽杆36还将其朝下面50a与朝前面50b之间的中间部后表面的一部分作为抵接面、即朝后面50c。

在图示的例子中，朝下面50a是形成在前侧的槽杆36的下表面上的朝下台阶部的一个面，朝前面50b是形成コ字形的槽50d的朝前面，该槽50d形成在自前侧的槽杆36的上部向后方突出的突部上并向下方开口。

各探针32在针中央区域32a的前端侧下部具有能够与朝下面50a抵接地与该朝下面50a相对的朝上部52a，并在针中央区域32a的前端侧上部具有能够与朝前面50b抵接地与该朝前面50b相对的朝后部52b，在朝上部52a和朝后部52b的中间部还具有能够与朝后面50c抵接地与该朝后面50c相对的凸部、即朝前部52c。

在图示的例子中，朝上部52a是在针中央区域32a的前端侧下部形成的朝上的凸部的上表面，朝后部52b是在针中央区域32a的上端部形成的朝上方开口的コ字形槽52d的朝后面，朝前部52c是在朝上部52a和朝后部52b的中间部形成的朝前的凸部的前表面。

各针中央区域32a在朝上部52a与朝前部52c之间具有供前侧槽杆36的后端下部的角落部进入的凹部52e。上述角落部、朝下面50a、朝前面50b、朝后面50c及槽50d在槽杆36的长度方向上连续地延伸。

也可以在各探针32的针中央区域32a中形成朝下面50a、朝前面50b和朝后面50c，在前侧的槽杆36中形成朝上部52a、朝后部52b和朝前部52c。

探针组装体16还包括在左右方向上隔开间隔的多个定位销54(参照图1)。各定位销54安装于组件片34，并自组件片34向上方延伸。各定位销54还嵌合于在结合组件22上设置的定位孔(未图示)中，该定位销54与该定位孔一同将探针组装体16相对于结合组件22定位。

与上述相反，也可以在结合组件22中设置定位销54，在组件片34中设置定位孔。

各探针32以针前部区域32b和针后部区域32c被对应的槽杆36的槽42接纳的状态配置于两个槽杆36，并利用杆构件38和罩40组装于组件片34，从而被支承于组件片34。因此，在图示的例子中，组件片34和两个槽杆36起到保持探针的探针支架的作用。

在图示例子中，如图11～图13所示，前侧的槽杆36使其前端下部在整个左右方向上向前方突出。另外，前侧的槽杆36的各槽42具有从该槽杆36的下端到前端下部的突出部的高度位置的稍上方位置的深度尺寸。

因此，前侧槽杆36的形成槽42的壁部36a比未形成槽42的剩余部36b向前方突出，使槽42的顶端部向上方敞开。各探针32的针前部区域32b的前端位于槽42的顶端部。

各探针32的后端针尖32e紧接着后侧的槽杆36的后端向上方延伸。如图14所示，使得在左右方向上相邻的探针32的后端针尖32e的针后部区域32c一侧的部位相对，并在该相对部位具有电绝缘膜32f，还使后端针尖32e在前后方向上位移。

如图5、6、8所示，结合组件22具有配置有探针组装体16的朝下台阶部56。朝下台阶部56在结合组件22的下部的前端部向左右方向延伸。

如图1～3、图5～6所示，利用带头的螺纹构件60以定位销54插入在上述未图示的定位孔中的状态将探针组装体16维持在朝下台阶部56上，其中，所述螺纹构件60从上方向下方贯穿结合组件22的贯穿孔57而与设置于组件片34上的阴螺纹孔58螺纹接合。

在图中表示成相邻的探针32在左右方向上隔开较大的间隔，但实际上，探针32的排列间距较小。探针32的数量、厚度尺寸和排列间距、以及槽杆36的槽42的数量、配置间距和宽度尺寸根据被检查体12的种类、特别是电极的配置间距和宽度尺寸而不同。

可在将两个槽杆36以上述状态安装于组件片34的状态下，将各探针32的两端部插入到槽杆36的槽42中，并且使杆构件38插穿探针32和罩构件40a，之后利用螺纹构件44和定位销46将各罩40安装于组件片34，由此组装探针组装体16。

其中一个罩40也可以在将两个槽杆36安装于组件片34之后再安装于组件片34。

关于探针组装体16的分解，可通过执行与上述相反的作业来进行分解。关于探针32的更换，可执行与上述相反的作业而将原来的探针更换为新探针，之后执行与上述同样的作业，从而进行更换。

关于探针组装体16向结合组件22的组装，可在将定位销54(参照图1、6)插入在结合组件22的上述定位孔中的状态下，使螺纹构件60从上方向下方穿过结合组件22的贯穿孔57而使其螺纹接合于组件片34的上述阴螺纹孔，从而进行组装。

关于探针组装体16自结合组件22的拆下，可通过执行与上述相反的作业来进行拆下。

在该实施例中，组件片34和槽杆36构成将多个探针32在左右方向上隔开间隔地并列配置的探针支架。

参照图1、2、3、5、6，支承组件18利用板状的两个支承部18a、18b制成为L字形的横截面形状。连结组件20利用安装于探针座30的主体部20a和自主体部20a的上部向前方延伸的延长部20b制成具有倒L字形的形状。

在图示的例子中，支承组件18与结合组件22一起形成支承体，另外，螺纹构件60起到将探针组装体16组装于结合组件22的组装器的作用。

支承组件18是利用在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的一对导轨62和在两个导轨62之间沿上下方向延伸的导向件64而能够沿上下方向移动地连结于连结组件20的主体部20a的前表面，并且利用螺栓66能够调整上下方向上的位置地连结于连结组件20的延长部20b。

两个导轨62安装在支承组件18的支承部18a的后端面。与此相反，导向件64配置在左右方向上的两个导轨62之间，并以由两个导轨62引导成能够沿上下方向移动的方式安装在连结组件20的主体部20a的前端面上。

螺栓66从上方向下方贯穿连结组件20的延长部20b，并与形成于支承组件18的螺孔68螺纹接合。如图1所示，支承组件18被在左右方向上隔开间隔地配置的一对压缩螺旋弹簧70向下方施力。

各压缩螺旋弹簧70以沿上下方向贯穿连结组件20的延长部20b的状态配置在利用多个螺纹构件71(参照图3、5)安装在连结组件20的延长部20b上的板状弹簧压件72与支承组件18之间。由此，可通过调整螺栓66拧入螺孔68中的拧入量，调整支承组件18以至探针组装体16的高度位置。

弹簧压件72具有贯穿孔72a，该贯穿孔72a供通过将螺丝刀这样的工具的顶端部从上方插入来调整螺栓66的旋转量。由此，不用将弹簧压件72自连结组件20拆下就能够调整支承组件18以至探针组装体16的高度位置，因此这种高度位置的调整变得容易。

如图5所示，利用从上方向下方贯穿连结组件20而螺纹接合于探针座的多个螺栓76，将连结组件20能够拆卸地安装于探针座30。各螺栓76从上下向下方贯穿连结组件20的主体部20a，并与形成于探针座30的螺孔78螺纹接合。

如图5～8中详细示出的那样，组装装置24包括形成于结合组件22的凹部80(参照图6、8)、嵌合于凹部80的连结构件82、将连结构件82组装在支承组件18的下侧而将其支承于支承组件18的多个螺纹构件84(参照图3、7)、以及沿上下方向贯穿连结构件82的贯穿孔85而与结合组件22的螺孔88螺纹接合的螺纹构件86。

凹部80和连结构件82具有圆形的横截面形状。另外，如图3、7所示，螺纹构件84从上方向下方贯穿支承组件18的支承部18b而与连结构件82的阴螺纹孔83(参照图7、8)螺纹接合。而且，螺纹构件86的下端部与设置于结合组件22的阴螺纹孔88螺纹接合。

在图示的例子中，如图6所示，阴螺纹孔88是无法位移地组装于结合组件22的主体部22a上的螺母22b，但也可以如图8所示那样直接形成于主体部22a。

组装装置24通过将连结构件82利用螺纹构件84安装于支承组件18，将螺纹构件86在上下方向上贯穿连结构件82而与阴螺纹孔88螺纹接合，从而将结合组件22组装在支承组件18的支承部18b的下侧。

组装装置24还通过凹部80与连结构件82的嵌合，将结合组件22相对于支承组件18维持在由左右方向和前后方向形成的XY面内的规定位置。

在图示的例子中，组装装置24还包括形成于结合组件22并在XY面内延伸而与凹部80连通的凹部90、自连结构件82在XY面内延伸且被凹部90接纳的销构件92、形成在支承组件18的支承部18b的下表面且向连结构件82一侧敞开的一对凹部94、以及向连结构件82的上方延伸且被凹部94接纳的一对销构件96。

凹部90和销构件92在XY面内在比螺纹构件86靠向前方的位置向单方向(图示的例子中是X方向)延伸。与此相反，两个凹部94和两个销构件96分别在与凹部90和销构件92所延伸的方向交叉的方向、优选为正交的方向(图示的例子中是Y方向)上分开。

组装装置24利用上述凹部90、94和销构件92、96将结合组件22相对于支承组件18维持在左右方向和前后方向上的预定位置，并维持在沿上下方向延伸的θ轴线周围处的预定角度位置。

也可以在支承组件18中设置凹部80，将连结构件82螺纹固定于结合组件22。另外，也可以将凹部90、94和销构件92、96设置于与上述相反的构件。

关于结合组件22向支承组件18的组装，可在将销构件96定位于对应的凹部94的状态下利用螺纹构件84将连结构件82安装在支承组件18的下侧，接着在使连结构件82与凹部80嵌合而将销构件92定位于对应的凹部90的状态下将螺纹构件86螺纹接合于结合组件22的阴螺纹孔88，从而进行组装。

关于结合组件22自支承组件18的拆下，可通过执行与上述相反的作业来进行拆下。

如图2、5、6所示，配线片26是复合电路片，该复合电路片具有由挠性印刷线路(FPC)形成的前部区域26a、由与前部区域26a的后端部连续的载带自动键合带(TAB)形成的中间区域26b、及由与中间区域26b的后端部连续的挠性印刷线路(FPC)形成的后部区域26c。

如图2、5、6、8所示，配线片26利用固定板100位于结合组件22的下侧，其将用于驱动被检查体12的集成电路102配置在中间区域26b。

配线片26的前部区域26a在其下表面包括在左右方向上隔开间隔地沿前后方向并列延伸的多个配线106(参照图8)。这些配线106通过中间区域26b的前侧配线(未图示)连接于集成电路102的输出侧。集成电路102的输入侧通过中间区域26b的后侧配线(未图示)和后部区域26c的配线(未图示)连接于测试装置的电路。

如图2、5、6所示，连接组件28在支承组件18的下侧沿左右方向延伸，并位于结合组件22的后端部与支承组件18之间。连接组件28利用在左右方向上隔开间隔的多个螺纹构件110、及在前后方向上隔开间隔的多个定位销112能够分离地安装在支承组件18的下侧。

各螺纹构件110从下方向上方贯穿连接组件28而螺纹接合于支承组件18。各定位销112以沿上下方向延伸的状态固定在连接组件28和支承组件18中的任一个上，与设置于连接组件28和支承组件18中的另一个上的定位孔嵌合。

如图2、5、6所示，探针装置10还包括以自连接组件28向后方延伸的状态在顶端部安装于连接组件28下侧的连接片114、及安装于连接组件下侧的弹性体116。

连接片114具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的多个配线(未图示)。这些各配线的至少顶端部暴露于连接片114的下表面，与向配线片26的上方折回的配线相接触。

在探针装置10组装于测试装置的状态下，连接片114的配线连接到测试装置的电路。因此，各探针32通过配线片26的配线、集成电路102及连接片114的配线连接于测试装置的电路。

弹性体116处于连接组件28的下侧，并配置在与配线片26的配线和连接片114的配线的接触部相对应的部位。因此，在结合组件22和连接组件28组装于支承组件18的状态下，弹性体116、配线片26的配线和连接片114的配线被压缩变形。由此，配线片26的配线和连接片114的配线被强烈地按压而可靠地接触。

关于结合组件22向支承组件18的安装，在将螺纹构件86通入连结构件82的状态下将连结构件82安装于支承组件18，将探针组装体16安装于结合组件22并将连接组件28安装于支承组件18之后，将螺纹构件86拧入结合组件22的阴螺纹孔88中，从而进行安装。

关于结合组件22自支承组件18的拆下，可通过解除螺纹构件86对于阴螺纹孔88的螺纹接合来进行拆下。

因此，能够在将结合组件22自支承组件18分离的状态下更换探针组装体16和配线片26。另外，能够在将结合组件22自支承组件18分离并将探针组装体16自结合组件22分离的状态下更换探针32。而且，能够在将结合组件22自支承组件18分离并将连接组件28自支承组件18分离的状态下更换连接片114。

采用上述结构的结果是，根据探针装置10，与以往技术相比，简化了组装装置24的形状及构造，并且包括探针32在内的消耗品的更换作业变得容易。

在对被检查体进行测试的测试装置中，采用将具有上述那样形状构造的多个探针装置10配置于探针座30而成的多个探针单元。

在组装于测试装置的状态下，探针装置10从探针组装体16的下方确认各探针32的后端针尖32e是否正确地接触于配线片26的连接部。在探针装置10中，后端针尖32e紧接着后侧槽杆36并与针后部区域32c的延伸方向成直角地向上方延伸，因此，能够容易且可靠地确认探针32的后端针尖32e和配线片26的连接部是否正确地接触。

一旦结合组件22和探针组装体16如上所那样组装于支承组件18，各探针32的后端针尖32e就被按压在前部区域26a的配线的前端部(即连接盘)。后端针尖32e对连接盘的按压力如下那样作用于各探针32。

如图11所示，前端针尖32d承受朝向顺时针方向的旋转力而向上方位移，朝上部52a和朝后部52b分别被按压在前侧槽杆36的朝下面50a和朝前面50b。

由此，即使在互相按压的这些面和部位、及杆构件38与各探针32之间存在由按压之前设计上和加工上的公差引起的间隙，顶端针尖32d的高度位置仍维持在这些面被按压的状态下的位置。结果，探针32的针尖高度位置相对于探针支架(特别是前侧槽杆36)的位移量之差显著变小，能够进行正确的测试。

另外，在以使探针32的顶端针尖32d向上方位移的方式使探针32旋转位移时，凹部52e起到供前侧槽杆36的后端下部的角落部进入的空间的作用，而且，朝前部52c被按压在前侧槽杆36的朝后面50c。由此，探针32被按压于槽杆36，防止向左右方向位移、向左右方向倒伏这样的位移等不规则位移。

在对被检查体12进行电测试时，探针装置10将各探针32的顶端针尖32d的顶端按压于被检查体12的电极。此时，由于针前部区域32b位于前侧槽杆36的槽42内，因此利用壁部36a防止顶端针尖32d向左右方向倒伏。

在对被检查体12进行电测试之前，从探针组装体16的上方确认各探针32的顶端针尖32d是否正确地接触于被检查体12的电极。根据探针装置10，由于前侧槽杆36的槽42的前端部向上方敞开，探针32位于如此敞开的槽前端部内，因此能够容易且正确地确认各探针32的顶端针尖32d与被检查体12的电极的位置关系。

在探针装置10如图所示那样组装的状态下，为了维持在各探针32的后端针尖32e正确地接触于被检查体12的电极的状态，优选的是在配线片26的前部区域26a的顶端部下表面配置在左右方向上较长的膜状或者板状的导向件120(参照图10、11、14、15)。

如图15所示，为了容许探针32的后端针尖32e贯穿导向件120而使后端针尖32e的顶端接触于上述连接部，导向件120具有上下敞开且在前后方向上隔开间隔的多个导向孔122。

上述多个导向孔122配置成锯齿状而形成在前后方向上隔开间隔的两个孔组。属于各孔组的多个导向孔122在左右方向上分开。

在图示的例子中，各导向孔122是沿前后方向延伸的槽。导向件120既可以呈现由聚酰亚胺树脂这样的树脂制成的片状，也可以呈现具有陶瓷这样的一定程度的强度的板状。

导向件120在其呈现膜状形状时，能够做成聚酰亚胺树脂这样的树脂膜。但是，在导向件120呈现板形状时，将导向件120做成陶瓷制，从而能够利用切削机(dicer)高密度并高精度地形成微小的多个导向孔。

也可以使在左右方向上相邻的探针32的后端针尖32e如图16所示那样在后端针尖32e的整个范围内相对，而不是如图11及图14所示那样使针尖在前后方向上错开。在这种情况下，作为使后端针尖32e的位置稳定的导向件，可采用如图17及图18所示具有一列在左右方向上隔开间隔的多个导向孔126的构件。

图17及图18所示的导向件124由陶瓷制成，另外，多个导向孔126具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸并向下方敞开的多个第1槽126a、及使得第1槽126a的长度方向上的中央部沿左右方向延伸而使第1槽126a向上方敞开的第2槽126b。

可使用切削机在陶瓷的薄板上形成各第1槽126a和第2槽126b，从而制造上述那样的导向件124。

关于图15所示的导向件120，也可以如导向件124那样，利用切削机在陶瓷的薄板上按照每个孔组形成第1槽和第2槽，从而形成导向孔122。

探针组装体的第2、第3实施例

参照图19，探针组装体130还具有向后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的多个第3槽132。各第3槽132接纳探针32的针中央区域32a的前端部的一部分。

在图示的例子中，槽132形成于第3槽杆134，该第3槽杆134被安装成沿前侧的槽杆36的长度方向延伸的状态。但是，也可以将槽132直接形成于前侧的槽杆36。槽杆134安装于形成朝下面50a的台阶部而起到形成探针支架的构件的作用。

参照图20，探针组装体140还具有向前方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的多个第4槽142。各第4槽142接纳探针32的针中央区域32a的后端部的一部分。在图示的例子中，各槽142接纳形成于针中央区域32a的后端部并向上方突出的针凸部32g。

在图示的例子中，槽142形成于第4槽杆144，该第4槽杆144被安装成沿后侧的槽杆36的长度方向延伸的状态。但是，也可以将槽142直接形成于后侧的槽杆36。槽杆144安装于后侧槽杆36的前表面而起到形成探针支架的构件的作用。

通常，在顶端针尖32d被按压于被检查体12时，探针32绕沿其长度方向(前后方向)延伸的虚拟轴线角度旋转的力(即，使探针32倾斜的倾斜力)有时会作用于探针。在这种情况下，顶端针尖32d和后端针尖32e分别相对于被检查体12的电极14和配线片26的配线106位移，结果，顶端针尖32d和后端针尖32e相对于电极14和配线106不稳定。

根据探针组装体130，探针32的针中央区域32a的前端部的一部分被接纳于槽132，由此阻止这种角度旋转，根据探针组装体140，探针32的针中央区域32a的后端部的一部分被接纳于槽142，由此阻止这种角度旋转。结果，能够进行更正确的测试。

工业实用性

在上述实施例中，也可以替代刀片型探针，采用由金属细线制成的针型探针这样的其他探针。

本发明不仅能够应用于液晶显示面板用探针装置，也能够应用于形成有薄膜晶体管的玻璃基板这样的其他显示基板用探针装置、集成电路这样的其他平板状被检查体用探针装置。

本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离权利要求书所记载的主旨，就能够进行各种变更。

Claims (15)

1.一种探针装置，包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；

上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；

上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

2.根据权利要求1所述的探针装置，其中，

上述第2部位和上述第4部位分别在上下方向上离开上述第1部位和上述第3部位。

3.根据权利要求1所述的探针装置，其中，

上述针中央区域具有沿上下方向和前后方向延伸的板状，

上述探针还包括：针前部区域，其自上述针中央区域的前端部向前方延伸；顶端针尖，其自上述针前部区域的前端部向下方延伸；针后部区域，其自上述针中央区域的后端部向后方延伸；以及后端针尖，其自上述针后部区域的后端部向上方延伸。

4.根据权利要求3所述的探针装置，其中，

上述第1部位和上述第2部位设置于上述探针支架，上述第3部位和上述第4部位设置于上述探针的上述针中央区域的前端部，多个上述探针使上述针中央区域相对。

5.根据权利要求3所述的探针装置，其中，

上述探针支架和上述探针中的任一者还在自上述第1部位向上方隔开间隔的部位包括第5部位，该第5部位朝后，

上述探针支架和上述探针中的另一者还在自上述第3部位向上方隔开间隔的部位包括第6部位，该第6部位朝前并能够与上述第5部位抵接。

6.根据权利要求5所述的探针装置，其中，

上述第5部位设置于上述探针支架，上述第6部位设置于上述探针的上述针中央区域的前端部。

7.根据权利要求1所述的探针装置，其中，

上述探针支架和上述探针中的任一者还包括凸部，该凸部向前方或后方突出，上述探针支架和上述探针中的另一者还包括抵接部，该抵接部供上述凸部抵接。

8.根据权利要求5所述的探针装置，其中，

上述探针的后端针尖自上述针后部区域向上方并与该针后部区域的延伸方向成直角地延伸。

9.根据权利要求3所述的探针装置，其中，

在左右方向上相邻的上述后端针尖使上述针后部区域一侧的部位相对，并且使上述探针的后部侧的针尖在前后方向上位移。

10.根据权利要求3所述的探针装置，其中，

上述探针支架包括：多个第1槽，该第1槽向下方和后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸，并接纳上述针前部区域的至少一部分；以及多个第2槽，该第2槽处于自上述第1槽向后方隔开间隔的位置，并向前方和下方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸，接纳上述针后部区域的至少一部分。

11.根据权利要求10所述的探针装置，其中，

上述探针支架还包括多个第3槽，该第3槽向后方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸，并接纳上述针中央区域的前端部的至少一部分。

12.根据权利要求11所述的探针装置，其中，

上述探针支架还包括多个第4槽，该第4槽处于自上述第3槽向后方隔开间隔的位置，并向前方敞开且在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸，接纳上述针中央区域的后端部的至少一部分。

13.根据权利要求1所述的探针装置，其中，

上述探针组装体还包括：至少1个杆构件，该杆构件贯穿上述探针的上述针中央区域而沿左右方向延伸；以及板状的罩，该罩能够拆卸地组装在上述探针支架的左右方向上的各侧部，并将上述杆构件的端部支承于上述探针支架。

14.根据权利要求1所述的探针装置，其中，

上述探针装置还包括：支承组件；结合组件，其配置在上述支承组件的下侧，并在该结合组件的下侧组装有上述探针组装体；以及组装装置，其将上述结合组件组装到上述支承组件的下侧；

上述组装装置包括：凹部，其形成于上述结合组件和上述支承组件中的任一者；连结构件，其嵌合于上述凹部；第1螺纹构件，其将上述连结构件组装到上述结合组件或者上述支承组件；以及第2螺纹构件，其在上下方向上贯穿上述连结构件而螺纹接合于上述结合组件和上述支承组件中的另一者。

15.根据权利要求14所述的探针装置，其中，

上述探针装置包括配线片，该配线片处于上述结合组件的下侧，并配置在比上述探针组装体靠向后方的部位，在下表面具有在左右方向上隔开间隔的多个连接部，

上述探针组装体在上述结合组件的下侧组装成上述探针的后部侧针尖接触于上述连接部的状态。

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