CN102036924B - 单位显示板的取出方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够将配置于母基板的单位显示板取出而不会损伤端子区域的单位显示板的取出方法。其中，(a)：以母基板的第二基板侧为上表面的方式进行配置；(b)：在将母基板依各单位显示板进行划线时，对于夹着边界进行面接触的一对单位显示板，在端子区域面接触侧的单位显示板的第一基板的、与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽，在非端子面面接触侧的单位显示板的第二基板侧的非端子面形成第二划线槽，在非端子面面接触侧的单位显示板的第一基板侧的非端子面形成第三划线槽，该第三划线槽比第一划线槽和第二划线槽都浅；和(c)：将端子区域面接触侧的单位显示板比以非端子面进行面接触的单位显示板优先取出。

Description

单位显示板的取出方法
技术领域
本发明涉及将多个单位显示板以相互邻接的状态排列而形成的母基板(也称贴合基板、贴合母基板)依照各单位显示板进行分割并将单位显示板一个一个地取出的方法。 
本发明的单位显示板的取出方法具体来说是在从母基板取出液晶显示板等时所使用的。 
背景技术
就液晶显示板来说，使用两张大面积玻璃基板，在一张基板上形成滤色片(color filter)，在另一张基板上形成用于驱动液晶的TFT(thin filmtransistor：薄膜晶体管)以及外部连接用的端子区域。然后，将这两张基板贴合起来，形成了密封有液晶的母基板，接着，经过分割为一个一个的单位显示板的工序，液晶显示板就制造成了。 
就液晶显示板的母基板来说，将形成有滤色片的那一侧的第一基板(也称作CF侧基板)以及形成有TFT和端子区域的那一侧的第二基板(也称作TFT侧基板)夹设密封材料来进行贴合。此时，第二基板以形成有TFT和端子区域的基板面成为与第一基板接合的接合面的方式进行贴合。 
在该情况下，由于端子区域是在TFT与外部设备之间连接信号线的区域，因此需要将端子区域露出。因此，在将母基板依照各单位显示板进行分割时，将第一基板(CF侧基板)的与端子区域相对的部位作为边料区域予以除去。具体而言，沿着端子区域的与连接有TFT的一侧相反侧的外侧端将第二基板侧切断，并且在为了从端子区域的外侧端安装信号线而向内侧缩回必要宽度(端子宽度)的位置将第一基板切断，将第一基板的与端子区域相对的部位作为边料区域予以切除。 
一般来说，在从母基板分割单位显示板的工序中，利用的是采用刀轮(cutter wheel)的切断方法。在该情况下，对于构成母基板的两张基板(CF侧基板和TFT侧基板)分别将刀轮压接在预切断位置并使刀轮进行相对移动，以此在各基板上刻出划线槽。接着沿划线槽施力进行断开(机械断开)，或者施以加热蒸汽进行断开(蒸汽断开)，以此将母基板依照各单位显示板进行完全切断。然后将分开的一个一个单位显示板通过搬运机器人移送至后续工序。 
这种用于将此类一连串基板加工对上下两个面同时进行高效加工的基板加工系统(基板切断系统)和基板加工方法已公知(参照专利文献1和专利文献2)。根据这些专利文献，用上下一对刀轮从上下方向对母基板的两个面同时进行划线。接着，利用蒸汽断开机构或者滚轮(roller)断开机构对两个面同时进行断开，依照各单位显示板进行分割。然后，将形成的单位显示板一个一个地取出并送至后续工序。 
作为液晶显示板，近年来越来越要求大画面化，因此对单位显示板也要求大面积化。此外，当分割一块母基板而形成多个单位显示板时，基板的一部分作为边料被废弃，因此要求减少被废弃的边料量而有效利用母基板。因此，在母基板上形成滤色片(CF)、TFT、端子区域时，以在邻接的单位显示板间形成的边料区域最小的方式来考虑基板布局。 
图15、图16是示出抑制边料产生量的液晶显示板用母基板的基板布局例子的图(俯视图、主视图、右侧视图)。母基板是CF侧基板G1和TFT侧基板G2贴合而成的结构。这些例子中，在母基板上配置有共计8个单位显示板U。其中，图15(a)的母基板配置有端子区域T形成在相邻的两条边的周缘上的二端子板的单位显示板。图15(b)的母基板配置有端子区域T形成在三条边的周缘上的三端子板。图15(c)的母基板配置有端子区域T形成在一条边的周缘上的一端子板。此外，图16的母基板配置有端子区域T形成在四条边的边缘上的四端子板。端子区域T所形成的边的条数根据单位显示板U所含的像素数来选择。 
在上述的基板布局中，第二基板G2(TFT侧基板)配置成各单位显示板U彼此直接相接，从而在邻接的单位显示板U之间不产生边料。因 此，对于第二基板G2，只在母基板的外周部分产生边料。另一方面，第一基板(CF侧基板)在母基板U的外周部分以及与第二基板G2的端子区域T相对的区域都产生边料。在图15、图16中成为边料的部分用阴影表示。 
这里，着眼于图15示出的一端子板、二端子板、三端子板。图17是示出了邻接的单位显示板的截面的一部分的图。在这种基板布局中，将单位显示板U1、U2配置为：在至少一对邻接的单位显示板U1、U2之间，一块单位显示板U1中的端子区域T的外侧端面L1(仅第二基板G2的端面)与另一单位显示板U2中未设置端子区域T的非端子面L2(第一基板G1和第二基板G2为同一端面)相接触。而且，这种关系下的单位显示板的边界的具体例子在图15中以“○”符号表示。 
在分割母基板时，在上述的单位显示板U1与单位显示板U2的边界通过三个划线槽而形成两个切断面。即，沿单位显示板U2侧的非端子面L2，在第二基板G2和第一基板G1形成划线槽(第二划线槽、第三划线槽)，并使第二基板G2和第一基板G1各自的端面对齐。将基于该划线槽所形成的一个切断面称作恰好(just)切断面Ca。恰好切断面Ca是将单位显示板U1和单位显示板U2分离的切断面。 
在从恰好切断面Ca离开相当于端子宽度Wa(图15)的位置，在第一基板G1的与单位显示板U1的端子区域T的内侧端相对的位置，只在第一基板G1侧形成有划线槽(第一划线槽)。将该划线槽的切断面称作端子切断面Cb。端子切断面Cb是为了使端子区域T的端子面露出而进行切断的切断面。然后，在恰好切断面Ca和端子切断面Cb之间的第一基板G1上产生边料区域E。 
图18是示出对图17所示的单位显示板U1、单位显示板U2、边料区域E进行划线加工和断开处理后的三种分离状态的图。图18(a)是边料区域E从单位显示板U1、U2完全分离、且任一单位显示板U1、U2都直接成为合格品的分离状态。分离为该状态的单位显示板U1、U2直接被移送至后续工序。 
图18(b)是边料区域E没能从单位显示板U2分离而附着于恰好切 断面Ca侧、仅单位显示板U1完全分离出来的状态。此时，单位显示板U1作为合格品直接被移送至后续工序，而单位显示板U2作为不合格品被废弃或者进行将边料区域E分离的追加断开处理使其合格后移送至后续工序。 
图18(c)是边料区域E没能从单位显示板U1分离而附着于端子切断面Cb侧、仅单位显示板U2完全分离出来的状态。此时，单位显示板U2作为合格品直接被移送至后续工序，而单位显示板U1作为不合格品被废弃或者进行将边料区域E分离的追加断开处理使其合格后移送至后续工序。 
在实际的制造工序中，调整基板切断系统来尽量将边料区域E加工成完全分离的状态(图18(a))，但即便如此，也会不定期地发生边料区域E附着于恰好切断面Ca的状态(图18(b))或者边料区域E附着于端子切断面Cb的状态(图18(c))的情况。在该情况下，无论是边料区域E附着于恰好切断面Ca的状态还是边料区域E附着于端子切断面Cb的状态，都需要进行追加的断开处理使其合格化。因此，需要准备与各状态对应的两种断开机构并判定是两种附着状态的哪一种，根据边料区域E的附着状态来选择断开机构，进行追加的断开处理。 
另一方面，公开了如下所述的分割方法(参照专利文献3)：始终使边料区域E附着于恰好切断面Ca(图18(b))或者始终使边料区域E附着于端子切断面Cb(图18(c))，从而在下一工序中采用单一的一种断开机构可靠地分离边料区域E。 
根据该文献所记载的分割方法，在利用激光束或刀轮进行划线加工时，首先对第一基板G1(CF侧基板)进行加工，接着上下翻转来对第二基板G2(TFT侧基板)进行加工。此时，例如图19所示，利用刀轮以强按压力P1对第一基板G1的端子切断面Cb进行划线。然后，以比按压力P1弱的按压力P2对第一基板G1的恰好切断面Ca进行划线。再以强按压力P1对第二基板G2的恰好切断面Ca进行划线。这样，对划线施加强弱不同的按压力，能够调整划线槽的深度，能够在使边料区域E始终附着于恰好切断面Ca侧的状态下进行断开。其结果是，只需要准备 一种断开机构，就能够有效地除去边料。 
同样地，在使边料区域E始终附着于端子切断面Cb侧的状态下进行断开的情况下，例如图20所示，以强按压力P1对第一基板G1的恰好切断面Ca进行划线，而以比按压力P1弱的按压力P2对第一基板G1的端子切断面Cb进行划线。此外，以强按压力P1对第二基板G2的恰好切断面Ca进行划线。在这种情况下，也只准备一种断开机构就能够有效地除去边料。 
专利文献1：WO2005/087458号公报 
专利文献2：WO2002/057192号公报 
专利文献3：日本特开2008-56507号公报 
随着母基板的大面积化，在划线加工的中途，难以将母基板上下翻转。特别是，各基板的板厚Wt(参照图15)薄至1mm以下(例如0.05～0.7mm)时，基板容易破裂，因此希望避免基板翻转。因此，专利文献3中记载的这种将第一基板(CF侧基板)和第二基板(TFT侧基板)在加工中途翻转来加工两侧基板的方法变得很困难。由此，需要采用不必使基板翻转的专利文献1、专利文献2中记载的这种从上下方向对基板进行加工的上下基板加工系统。 
在采用上下基板加工系统的情况下，在划线加工之后，当从母基板取出单位显示板时，由于在母基板的下侧具有基板支承机构和搬运机构，因此一般而言，单位显示板被吸附垫向母基板上侧拉开从而被取出(参照专利文献1和专利文献2)。 
但是，伴随单位显示板的大面积化，要求作为端子区域露出的这部分的宽度、即端子宽度Wa(参照图15)比以往更小。具体而言，目前端子宽度Wa为约10mm，但要求减小至约为1mm～3mm。即便在这种基板布局的情况下，为了可靠地将边料区域分离，可以考虑采用图19和图20所示的专利文献3记载的分割方法，之后将不需要的边料区域除去。但是，有时即便采用该分割方法也不能合格化。 
换句话说，在边料区域E附着于端子切断面Cb侧的状态(参照图20)下，边料区域E与单位显示板成为一体，被切割成整体呈长方体的 状态，由此，用于仅把持边料区域E的突出部分消失。并且，如果端子宽度Wa为1mm～3mm的话，则难以利用吸附垫仅拉开边料区域E(参照专利文献2)。因此，一旦边料区域E附着于端子切断面Cb侧，则难以将边料区域E从端子切断面Cb分离，不得不作为不合格品而废弃掉。 
另一方面，在边料区域E附着于恰好切断面Ca侧的状态(参照图19)下，即便在端子宽度Wa变小的情况下，由于边料区域E的一部分即使只突出1mm，也能够相应地把持该部分。并且，由于能够仅对边料区域E施加在分离时所必须的剪切力或弯曲力矩，因此通过在之后进行追加的断开处理，能够将边料区域E从恰好切断面Ca分离。 
综上所述，如果想要由大面积的母基板加工出端子区域的端子宽度Wa狭窄的单位显示板，则优选采用无需翻转基板的上下基板加工系统，并且优选采用边料区域E始终不会附着于端子切断面Cb侧(即便附着的情况下也附着于恰好切断面Ca侧)的基板加工方法(参照图19)。 
但是，在采用该方法的情况下会产生其他问题。如图19(中间的图)所示，边料区域E附着于恰好切断面Ca侧的状态使得边料区域E突出于恰好切断面Ca的外侧。此时若要在将右侧的单位显示板U2(图中以剖面线示出的单位显示板)取出之前将左侧的单位显示板U1(图中以单点划线示出的单位显示板)取出的话，当要利用吸附垫将单位显示板U1向第一基板G1侧拉开时，单位显示板U1的端子区域与边料区域E相碰撞而推压该边料区域E。此时，若边料区域E紧紧地附着于单位显示板U2侧的恰好切断面Ca，则有可能损伤端子区域。 
如上所述，对于上下基板加工系统，一般是通过吸附垫将单位显示板向母基板的上侧拉开以进行取出，因此在边料区域E附着于恰好切断面Ca侧的状态下，会产生边料区域E与相邻的单位显示板的端子区域相碰撞的问题。 
发明内容
因此，本发明的第一目的在于提供一种从母基板取出单位显示板的方法，从而即使是难以将基板翻转来进行加工的大面积母基板，也能够 稳定且可靠地取出单位显示板。 
此外，本发明的第二目的在于提供一种单位显示板的取出方法，即使单位显示板的端子区域的端子宽度变窄，也完全不会产生覆盖端子区域的部分的边料区域附着于端子切断面侧的不合格品，即便在边料区域完全分离或者万一不能完全分离的情况下也能在之后可靠地除去边料区域使其合格化。 
此外，本发明的第三目的在于提供一种将配置于母基板的单位显示板取出而不会损伤端子区域的取出方法。 
本发明的取出方法的前提是：在分割母基板来制作单位显示板时，即使边料区域不能完全从单位显示板分离，也能够在通过追加的断开处理将边料区域可靠地分离的状态下取出单位显示板。 
在本发明中，母基板具有第一基板和第二基板相贴合的结构。并且，在母基板上以相互邻接的方式排列形成有各自的形状相同且为方形的多个单位显示板。 
方形的各单位显示板在四条边的周缘中的一条边的周缘、或相邻的两条边的周缘、或者三条边的周缘上，通过形成使第二基板侧比第一基板侧突出的台阶差而设置有端子区域。并且，在未设有端子区域的剩余周缘上，形成有第一基板与第二基板为同一端面的非端子面。此外，在第一基板的与端子区域相对的部位设置有从单位显示板将被切除的边料区域。 
再有，各单位显示板在与所邻接的单位显示板中的至少一个的边界处，以一个单位显示板的端子区域与另一单位显示板的非端子面呈面接触的方式进行配置。 
在本发明中，对以上述布局配置有单位显示板的母基板依照各单位显示板进行划线，将单位显示板一个一个地从母基板取出时，以下述(a)、(b)、(c)的顺序取出单位显示板。 
(a)：以母基板的第二基板侧为上表面的方式配置母基板。 
(b)：在将母基板依各单位显示板进行划线时，在一个单位显示板的端子区域与另一单位显示板的非端子面进行面接触的边界，在以端子 区域进行面接触的那一侧的单位显示板的第一基板的、与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽(端子切断面)，在以非端子面进行面接触的那一侧的单位显示板的第二基板侧的非端子面形成第二划线槽(恰好切断面的一部分)，在非端子面面接触侧的单位显示板的第一基板侧的非端子面形成第三划线槽(恰好切断面的一部分)。此时，第三划线槽比第一划线槽和第二划线槽都浅。 
(c)：然后，将以端子区域进行面接触的那一侧的单位显示板比以非端子面进行面接触的单位显示板优先取出。 
根据本发明，关于由端子切断面(第一划线槽)和恰好切断面(第二、第三划线槽)所夹的区域，在端子切断面(第一基板的与端子区域相对的部位的内侧端)形成第一划线槽，在恰好切断面(非端子面)的第二基板侧形成第二划线槽，在恰好切断面(非端子面)的第一基板侧形成比第一划线槽和第二划线槽都浅的第三划线槽。这样，通过对划线槽的深度设置差异，当边料区域未完全分离时，使得边料区域附着于恰好切断面侧，从而在之后的断开处理中能够将边料区域简单且可靠地分离。 
进而，对于端子切断面(第一划线槽)和恰好切断面(第二、第三划线槽)所夹的区域(即一个单位显示板的端子区域与另一单位显示板的非端子面进行面接触的边界)，将端子区域面接触侧的单位显示板比以非端子面呈面接触的一侧的单位显示板优先取出。 
由于以包含端子区域的第二基板侧为上表面的方式进行配置，因此将第二基板侧先行向上方拉开而不会与边料区域相碰撞，能够没问题地取出单位显示板。 
发明效果 
根据本发明，即使是大面积的母基板，也不需要使基板反转，就能够稳定且可靠地取出单位显示板。 
并且，即使单位显示板的端子区域的端子宽度变窄，覆盖端子区域的部分的边料区域也不会附着于端子切断面侧，即使在边料区域完全分离，或者万一不能完全分离的情况下也能在之后可靠地除去边料区域使 其合格化，因此减少了边料所引起的不合格品的产生。 
此外，能够将配置于母基板的单位显示板取出而不会损伤端子区域。 
(用于解决其他课题的手段和效果) 
这里，第一划线槽与第三划线槽之间的宽度可以是1mm～3mm。这样，也能够应用于单位宽度变窄的单位显示板。 
附图说明
图1是示出本发明的基板加工方法所使用的基板加工系统的整体结构的立体图。 
图2是图1的基板加工系统的A方向观察到的立体图。 
图3是图1的基板加工系统的俯视图。 
图4是沿图3的B-B’线的剖视图。 
图5是沿图3的C-C’线的剖视图。 
图6是沿图3的D-D’线的剖视图。 
图7是沿图3的E-E’线的剖视图。 
图8是沿图3的F-F’线的剖视图。 
图9是示出基板搬出机器人的动作的图。 
图10是示出本发明的基板加工方法所采用的划线加工的步骤的图。 
图11是示出沿Y方向对母基板进行划线时的加工顺序的一个例子的图。 
图12是示出沿X方向对母基板进行划线时的加工顺序的一个例子的图。 
图13是示出通过搬出机器人从母基板取出单位显示板的顺序的一个例子的图。 
图14是示出边料附着在从母基板取出的单位显示板上的状态的图。 
图15是示出母基板的基板布局的图(一端子板、二端子板、三端子板)。 
图16是示出母基板的基板布局的图(四端子板)。 
图17是示出邻接的单位显示板间的截面的一部分的图。 
图18是示出邻接的单位显示板间的三种分离状态的图。 
图19是示出现有的母基板的端子加工的图。 
图20是示出现有的母基板的端子加工的图。 
标号说明 
1：基板加工系统；20：基板支承装置；30：基板切断机构；50：夹持装置；60：上部划线机构；70：下部划线机构；80：搬出机器人；87：卡钩；88：推料器(pusher)；90：母基板；100：蒸汽断开装置；110：滚轮断开装置；120：基板搬出装置；Ca：恰好切断面；Cb：端子切断面；G1：第一基板(CF侧基板)；G2：第二基板(TFT侧基板)；E：边料区域；T：端子区域；U1：单位显示板(端子切断面面对边界)；U2：单位显示板(恰好切断面面对边界)；W1：第一刀轮；W2：第二刀轮；W3：W3：背承轮(back up wheel)。 
具体实施方式
对于本发明的从母基板取出单位显示板的方法，基于附图对其实施方式进行说明。以下说明的单位显示板的取出方法是在液晶显示板的制造工序中所采用的方法，在将加工成液晶显示板的单位显示板从母基板分割出来并一个一个取出时使用。 
(基板加工系统) 
首先对实施本发明的基板加工方法时所使用的基板加工系统的整体结构进行说明。 
图1是示出本发明的基板加工方法所使用的基板加工系统1的整体结构的立体图。图2是图1的A方向观察到的立体图(除了后述的台架10)。图3是基板加工系统1的俯视图(除了后述的托架11、支柱14)。图4是沿图3的B-B’线的剖视图，图5是沿图3的C-C’线的剖视图，图6是沿图3的D-D’线的剖视图，图7是沿图3的E-E’线的剖视图、图8是沿图3的F-F’线的剖视图。 
这里，说明对将单位显示板以X方向为2列、Y方向为4列进行排列的母基板90进行加工的情况。而且，说明中所用的XYZ方向在图中 示出。 
首先，对系统的整体结构进行说明。 
基板加工系统1将母基板90从基板搬入侧1L向基板搬出侧1R沿Y方向进行搬运，在搬运中途进行划线加工和断开处理。 
母基板90(贴合基板)以上侧为第二基板G2(TFT侧基板)、下侧为第一基板G1(CF侧基板)的方式进行配置。 
基板加工系统1由中空的台架10、主托架11和支柱14形成为骨架结构。在台架10的上方配置有用于支承母基板90的基板支承装置20。基板支承装置由第一基板支承部20A和第二基板支承部20B构成。在第一基板支承部20A和第二基板支承部20B之间的中间位置配置有基板切断机构30。 
如图4(沿图3的B-B’线的剖面)所示，第一基板支承部20A和第二基板支承部20B分别由在X方向上排列的5台支承单元21构成。各支承单元21的靠近基板切断机构30的那一侧固定于台架10。正时皮带在各支承单元21的上表面进行绕转移动(周回移動)，从而与后述的夹持装置50联动来输送母基板90。 
基板切断机构30设有上部导轨31和下部导轨32。在上部导轨31安装有上部划线机构60，该上部划线机构60被安装成能够沿X方向移动，在下部导轨32安装有下部划线机构70，该下部划线机构70被安装成能够沿X方向移动。 
如图5(沿图3的C-C’线的剖面)所示，划线机构60将第二刀轮W2和背承轮W3在Y方向并列安装，并且划线机构60由如下部分构成：升降机构61，其使第二刀轮W2和背承轮W3升降；旋转机构62，其使第二刀轮W2的刃尖方向、背承轮W3的旋转方向在Y方向和X方向之间进行切换；以及X轴驱动机构63。升降机构61和旋转机构62能够选择第二刀轮W2和背承轮W3中的任一个压接于基板上，并且能够使所压接的轮的移动方向朝向Y方向或X方向。背承轮W3与后述的第一刀轮W1成对使用，且用于当利用第一刀轮W1仅对单侧基板面划线时从另一侧基板面进行推压。 
划线机构70安装有第一刀轮W1，并且由如下部分构成：升降机构71，其使第一刀轮W1升降；旋转机构72，其使第一刀轮的刃尖方向在Y方向和X方向之间进行切换；以及X轴驱动机构73。 
如图1或图2所示，在基板支承装置20的基板搬入侧1L侧配置有夹持装置50，该夹持装置50用于夹持母基板90的基板搬入侧的端部(母基板90的后端)。夹持装置50由一对夹持件51(51L、51R)、使夹持件51升降的升降机构55(55L、55R)、以及移动基座57构成，夹持装置50在夹持母基板90的状态下沿Y方向移动。该夹持装置50被线性电动机机构58驱动。进而，该夹持装置50在夹持母基板90的状态下在支承单元21的间隙和下方移动，直至母基板90的后端通过基板切断机构30。夹持件51L和夹持件51R分别对在母基板90形成的单位显示板的左侧列和右侧列进行夹持，且即便在基板中央位置沿Y方向切断后也能够对左右分割后的母基板90按各列进行支承并沿Y方向输送。 
在基板支承装置20的基板搬出侧1R配置有蒸汽断开装置100，如图6(沿图3的D-D’线的剖面)所示，该蒸汽断开装置100具有对输送来的母基板90从上方吹送加热蒸汽的上部蒸汽单元101和对输送来的母基板90从下方吹送加热蒸汽的下部蒸汽单元102。划线加工后的母基板90在由蒸汽断开装置100吹送的加热蒸汽间通过，从而母基板90膨胀，主要对母基板沿X方向进行积极的断开处理。蒸汽断开装置100能够通过线性电动机机构130在Y方向移动。 
在蒸汽断开装置100的基板搬出侧1R的位置配置有滚轮断开装置110，如图7(沿图3的E-E’线的剖面)所示，该滚轮断开装置110对输送来的母基板90，沿着在基板上形成的Y方向的划线槽的邻接位置(划线槽的旁边)按压断开滚轮111～113，对基板的Y方向施以断开压力而积极地进行断开处理。滚轮断开装置110能够通过线性电动机机构130沿Y方向移动。 
蒸汽断开装置100和滚轮断开装置110原本是将通过划线机构70在母基板上依照各单位显示板进行划线后的母基板，依照各单位显示板进行切断的断开装置。在从蒸汽断开装置100和滚轮断开装置110中通过 的阶段，单位显示板通常在一个一个完全分离、且边料区域也完全分离的状态下被送出。但是，实际上，有一部分单位显示板也有可能边料区域未分离就被送出来了。由于具有这种情况，因此在下一基板搬出装置进行追加断开处理。 
在滚轮断开装置110的基板搬出侧1R的位置配置有基板搬出装置120，如图8(沿图3的F-F’线的剖面)所示，该基板搬出装置120从母基板90将单位显示板一个一个地取出并输送至后一工序。在基板搬出装置120设有上部导轨121，在上部导轨121安装有能够沿X方向移动的搬出机器人80。基板搬出装置120能够通过线性电动机机构130沿Y方向移动。 
搬出机器人80具有：用于安装吸附垫82的板83；使板83在XY面旋转的旋转机构84；使板83沿Z方向升降的升降机构85；和X轴驱动机构86。而且，搬出机器人80吸附一个从母基板90被切断的单位显示板并将其向上方拉开。进而，搬出机器人80在使被拉开的单位显示板旋转的同时沿X轴方向移动，搬出机器人80进一步通过线性电动机130沿Y方向移动，进行一个一个搬出的动作。被搬出的单位显示板被转移至未图示的后续工序，进行下一加工。 
此时，对从母基板90取出单位显示板的顺序在后面进行叙述。 
在搬出机器人80的板83还具有卡钩87和推料器88，卡钩87和推料器88是用于在边料E附着于搬出过程中的单位显示板的情况下将边料E除去的追加断开处理机构。 
图9是示出通过卡钩87和推料器88进行的追加的断开处理动作的图。卡钩87能够以固定于板83的支轴为中心进行转动。如图9(a)所示，在卡钩87和推料器88向上方退避的状态下，利用吸附垫82吸附单位显示板的第二基板G2(TFT侧基板)。接着，如图9(b)所示，使卡钩87动作，并使其接触位于第一基板G的端部且处于与吸附面相反一侧的边料E，并从下方支承边料。再如图9(c)所示，使推料器88动作以从上方对附着于第二基板G2端部的边料E进行推压。这样，通过对边料E施加弯曲力矩来可靠地切断边料E。 
(划线加工) 
下面，说明采用上述基板加工系统1对母基板90进行划线加工的动作顺序。划线加工在基板切断机构30(图5)中进行。 
在从母基板取出单位显示板的工序中边料E未能分离的情况下，为了使边料E附着在恰好切断面侧而不是端子切断面侧，在进行划线加工时，将第一基板G1的用于使边料E附着的恰好切断面侧的划线槽形成得比使边料E不附着的端子切断面侧的划线槽形成得浅。 
图10是示出进行端子加工时的基本加工步骤的图。如图10(a)所示，在母基板90上的相邻两个单位显示板U1、U2的边界部分，形成有被夹在恰好切断面Ca与端子切断面Cb之间的端子区域T。端子区域T的宽度约为1mm-3mm。用刀轮上下同时对该部分进行划线加工，进行使端子区域T的贴合面(第一基板G1和第二基板G2相接合的接合面)露出的加工。 
在从母基板90取出单位显示板U1时，搬出机器人80吸附于上侧的基板面(图9)，所以将第二基板G2(TFT侧基板)配置在上侧，将第一基板G1(CF侧基板)配置在下侧。这是为了当吸附于单位显示板U1而从单位显示板U2拉离时，使端子区域T(第二基板G2侧)来到边料区域E(第一基板G1侧)的上侧，以使边料区域E附着于单位显示板U2的恰好切断面Ca而不附着于端子切断面Cb。 
如图10(b)所示，首先，将划线机构60的第二刀轮W2对准第二基板G2的恰好切断面Ca的位置。并且，将划线机构70的第一刀轮W1对准第一基板G1的端子切断面Cb的位置。然后，双方同时以强压接力进行第一次划线。此时，由于在端子区域T的附近未产生应力，因此划线槽能够较深地伸展。 
形成了划线槽的端子区域T是两侧被密封材料S1、S2固定的区域，因此划线槽扩展的结果是压缩应力施加于端子切断面Cb的附近。 
接下来，如图10(c)所示，将划线机构70的第一刀轮W1对准恰好切断面Ca的位置。并且将划线机构60的背承轮W3对准第二基板G2。此时，背承轮W3横向移动，以从之前形成了划线槽的恰好切断面Ca的 位置偏移，这样不会损伤划线槽。然后以比第一次弱的压接力进行第二次划线加工。 
此时，第一基板G1的恰好切断面由于是一边克服压缩应力一边进行划线加工，因此难以较深地伸展，使得划线槽变浅。该部分由于原来就预定形成比端子切断面Cb处的划线槽浅的划线槽，因此形成的是优选的划线槽。 
而且，形成深划线槽和浅划线槽的结果是，通过进行之后的蒸汽断开(图6)和滚轮断开(图7)的断开处理，如图10(d)所示，在边料区域E附着于第一基板G1的恰好切断面Ca侧的状态下可靠地进行分离。而且，当然边料区域E也可以完全分离。 
然后，在边料区域E附着于恰好切断面Ca的情况下，通过卡钩87和推料器88的追加断开处理动作(图9)，将边料区域E从恰好切断面Ca可靠地分离。 
通过以上的处理，从母基板取出单位显示板，在移动至后续程序之前，边料区域E能够完全分离。 
以上，说明了对一个单位显示板的一个端子区域单独进行端子加工的情况。实际的母基板90是多个单位显示板纵横排列。在各单位显示板的周围不仅含有端子切断面Cb和恰好切断面Ca所夹的端子区域T，还包括其他形状的边界。 
在这种情况下，也可以不是针对一条边界进行加工，而是在多条边界间交替进行加工而均衡良好地加工。以具体例子对这种情况进行说明。 
图11是对作为二端子板的单位显示板以X方向排列2列、Y方向排列4列的母基板90沿Y方向进行划线的例子。此外，图12是沿X方向进行划线的例子。 
首先，对先进行的Y方向划线进行说明。在Y方向划线中，利用夹持装置50对母基板90的后端进行夹持，使得在划线加工后在X方向不会分离。 
如图11所示，关于Y方向，对沿母基板90的中央部分的端子区域T、左端附近的端子区域TL和右端附近的恰好切断面TR这三个边界进行 划线加工。其中，仅中央的端子区域T为端子切断面和恰好切断面所夹的端子区域(有可能产生端子区域不从端子切断面脱离的不良情况的端子区域)。 
在该情况下，对中央的端子区域T进行第一次强划线(设为Y1)。即，对第一基板G1的端子切断面和第二基板G2的恰好切断面进行强划线。接着，对左端附近的端子区域TL进行第二次强划线(设为Y2)。接着，对右端附近的恰好切断面TR进行第三次强划线(设为Y3)。然后，最后对第一基板的位于中央的端子区域T的恰好切断面以弱划线进行第四次弱划线(设为Y4)。此时，是在第二基板G2的恰好切断面的旁边(图中代替箭头而以十字符号表示的位置)利用背承轮W3进行按压的同时进行划线。 
即，在对中央的端子区域T进行强划线加工之后，先进行左端附近的端子区域TL和右端附近的恰好切断面TR的划线，然后，再对中央的端子区域T进行弱划线加工，以上述方式进行交替加工。 
通过上述的顺序，完成Y方向的划线后，继续进行X方向的划线。 
如图12所示，关于X方向，对位于母基板90的前端附近的恰好切断面TF、位于基板中央且由恰好切断面和端子切断面所夹的三处端子区域T、以及处于后端附近的端子区域TB进行划线加工。 
在该情况下，若对X方向的三个端子区域T也进行与上述同样的加工，即：先对第一基板G1的端子切断面和第二基板G2的恰好切断面进行强划线，之后对第一基板G1的恰好切断面进行弱划线，也能够可靠地取出单位显示板。 
具体如图12所示，以如下顺序进行加工：X2(第一基板G1的端子切断面和第二基板G2的恰好切断面)、X3(第一基板G1的恰好切断面)、X4(第一基板G1的端子切断面和第二基板G2的恰好切断面)、X5(第一基板G1的恰好切断面)、X6(第一基板G1的端子切断面和第二基板G2的恰好切断面)、X7(第一基板G1的恰好切断面)。而且，在进行X3、X5、X7加工时，是在利用背承辊按压第二基板G2的恰好切断面的旁边的同时进行划线。 
(单位显示板的取出顺序) 
接着，说明将对母基板90进行划线加工所分割成的单位显示板取出时的取出顺序。 
如图10所示，在从具有由端子切断面Cb和恰好切断面Ca所夹的端子区域T的母基板90一个一个地取出单位显示板时，将邻接的两个单位显示板中的端子切断面Cb为边界部分的单位显示板U1先于恰好切断面Ca为边界部分的单位显示板U2取出，使边料区域E容易附着于恰好切断面Ca为边界部分的单位显示板U2侧，这一点很重要。 
若改变该取出顺序，则边料区域E附着于端子切断面Cb侧而残留下来。因此，从母基板取出单位显示板时，取出顺序很重要。 
图13是示出从单位显示板以X方向排列2列、Y方向排列4列的母基板取出单位显示板的顺序的图，图13(a)是二端子板的情形，图13(b)是三端子板的情形，图13(c)是一端子板的情形。 
对图13(a)的二端子板进行说明。对于单位显示板(1)与邻接的单位显示板(2)、(3)的边界(图中以○符号表示)，单位显示板(1)的端子切断面Cb成为边界部分。因此，最初需要取出单位显示板(1)。 
在单位显示板(1)被取出的状态下，在单位显示板(2)与邻接的单位显示板(4)的边界，端子切断面Cb成为边界。此外，对于单位显示板(3)与邻接的单位显示板(4)、(5)的边界，端子切断面Cb成为边界。此时，取出单位显示板(2)(3)中的任一个都可以，但从靠近母基板的前端一侧取出则以一个方向进行搬运即可，因此先取出单位显示板(2)。 
在单位显示板(1)(2)被取出的状态下，在单位显示板(3)与邻接的单位显示板(4)、(5)的边界，端子切断面Cb成为边界。因此，接下来取出单位显示板(3)。以下，以同样的方式，在图13中，按照各单位显示板所标注的编号从小到大的顺序(1)、(2)…(8)取出单位显示板。 
图14是示出边料区域在被取出的各单位基板(1)～(8)上的附着方式的图。 
对于任一单位显示板都能够以没有边料附着于端子切断面Cb的方式取出。因此，即使边料附着于单位显示板，也能够以采用卡钩87和推料器88的后续追加断开处理，将边料可靠地除去。 
以上对二端子板进行了说明，对三端子板(图13(b))和一端子板(图13(c))也是同样应对。在这些情况下，成为问题的边界(○符号)只是邻接的一对单位显示板，因此若不考虑基板的搬运，在两个单位显示板间确定优先顺序(1)、(2)并进行取出即可。在从靠近母基板前端一侧朝一个方向搬运的同时进行加工的情况下，优选以前端侧优先取出。因此，与图13(a)同样，以各单位显示板所标注的编号从小到大的顺序(1)、(2)…(8)取出单位显示板。 
另外，对于四端子板(图16)，不存在由端子切断面Cb和恰好切断面Ca所形成的边界。在该情况下，取出顺序不是问题。 
产业上的可利用性 
本发明的基板加工方法能够应用于液晶板用母基板的划线加工。 

Claims (2)

1.一种单位显示板的取出方法，其中，
母基板具有第一基板和第二基板相贴合的结构，
在所述母基板，以相互邻接的方式排列形成有各自的形状相同且为方形的多个单位显示板，
各单位显示板沿着四条边中的一条边、或相邻的两条边、或者三条边，通过形成使第二基板侧比第一基板侧突出的台阶差而设置有端子区域，沿着未设有端子区域的剩余边，形成有第一基板与第二基板为同一端面的非端子面，在第一基板的与上述端子区域相对的部位设置有从单位显示板将被切除的边料区域，
另外，各单位显示板在与所邻接的单位显示板中的至少一个的边界处，以一个单位显示板的端子区域与另一单位显示板的非端子面呈面接触的方式进行配置，
对以上述布局配置有单位显示板的母基板依各单位显示板进行划线，将单位显示板一个一个地从母基板取出，
该单位显示板的取出方法的特征在于，
（a）：以母基板的第二基板侧为上表面的方式进行配置；
（b）：在将母基板依各单位显示板进行划线时，对于夹着上述边界呈面接触的一对单位显示板，在端子区域面接触侧的单位显示板的第一基板的、与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽，在非端子面面接触侧的单位显示板的第二基板侧的非端子面形成第二划线槽，并且在非端子面面接触侧的单位显示板的第一基板侧的非端子面形成第三划线槽，该第三划线槽比上述第一划线槽和上述第二划线槽都浅；和
（c）：将端子区域面接触侧的单位显示板比以非端子面进行面接触的单位显示板优先取出。
2.根据权利要求1所述的单位显示板的取出方法，其中，
第一划线槽与第三划线槽之间的宽度为1mm～3mm。
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