CN102031500B - 用于化学气相沉积设备的装载室 - Google Patents

Abstract

本发明是一种用于化学气相沉积的装载室，包含一腔体，具有复数个将一基板容置其中的单组腔室，与复数个使基板输入与取出所经过的腔槽，形成在相对于单组腔室的一侧表面以及另一侧表面；以及至少一补强板，至少连接到形成有腔槽的腔体的一侧表面以及另一侧表面，强化腔体的强度以避免因在单组腔室之间的压差而产生一弯曲应力。

Description

用于化学气相沉积设备的装载室

本申请是一件分案申请，原案的发明名称是“用于化学气相沉积设备的装载室”，原案的申请号为：200810180988.9，原案的申请日是2008年11月20日。

技术领域

本发明涉及一种装载室，特别是指一种可以凭借强化结构的强度而将结构上的变形最小化，以避免因压差所产生的弯曲应力的用于化学气相沉积设备的装载室。

背景技术

平板显示器是已广泛地应用于电视产品、电脑萤幕、或是个人手提终端机上。而平板显示器可以包括液晶显示器（liquid crystal display，LCD）、等离子显示面板（plasma display panel）、以及有机发光二极管（organic lightemitting diode）。在这些平板显示器中，液晶显示器是将介于固态与液态之间的中间物质的液晶，注入在两片薄板的上、下玻璃基板之间的空间，利用一种光开关现象以显示数字或影像，且使用于上、下玻璃基板电极之间的电压差改变液晶分子的方向，以产生不同亮度。

目前液晶显示器广泛地使用于从如电子手表、电子计算机、电视机的电子产品，到车用产品、里程计以及飞机的操作系统等。普遍来说，当显示萤幕的尺寸小于17吋时，液晶显示电视已经具有20到30吋的尺寸。然而，近来比较畅销的液晶显示电视的尺寸是40吋或以上，且电脑萤幕的尺寸也从20吋或以上而继续在增加中。

于是，液晶显示器的制造商是发展较大尺寸基板的制造方法。再者，所谓具有约2公尺水平以及垂直长度的第八代玻璃基板量产，已准备或者是目前正在生产中。液晶显示器是经由一薄膜电晶体阵列制程（TFT Arrayprocess）、一液晶胞制程（Cell process）以及一模块制程（module process）大量制造，其中薄膜电晶体阵列制程包括重复沉积（deposition）、黄光（photolithography）、蚀刻（etching）以及化学气相沉积（chemical vapordeposition，CVD）等步骤，液晶胞制程是将上、下玻璃基板附着地相互结合于一起，而模块制程是用来完成液晶显示器产品。

上述薄膜电晶体阵列制程之一的化学气相沉积制程，是在一制程腔室（process chamber）中进行，而制程腔室具有化学气相沉积制程的一最佳环境。特别是，在一短时间内处理多个基板，则广泛地使用具有复数个且以一预定间隔而设置的制程腔室的一化学气相沉积设备。

化学气相沉积设备具有复数个制程腔室以进行一化学气相沉积制程，一装载室（loadlock chamber）以形成在输入一基板到一相对应的制程腔室之前，供将一基板输出到制程腔室的环境，以及一传输腔室（transferchamber）以连接每一制程腔室与装载室，且具有一机械手臂以将基板由装载室传输到相对应的制程腔室，或是将基板从制程腔室传输到装载室。

一种化学气相沉积制程是在制程腔室中进行，即基板是在高温低压的环境中。因此，难以允许基板在大气压力下直接地输入到高温高压下的制程腔室中，故在将基板传输到相对应的制程腔室之前，制程腔室必须形成如其相同的环境，其是由装载室所完成。也即，装载室容纳基板在大致如制程腔室相同的环境，或是在将基板从外部世界输入到制程腔室之前的相同环境，抑或者是将基板从制程腔室取出到外部世界的相同环境。

近来，所谓的多装载室（multi-loadlock chamber）具有复数个单组腔室用来增加制程效率以及改善生产率。请参考图1以及图2，是表示一现有多装载室10的横断面图。

如图1所示，多装载室10具有一个三单组腔室（unit chamber）的结构，即相互叠置的第一、第二以及第三单组腔室11a、12a、13a，且包括形成在多装载室10的一上表面的一上壁15，形成在多装载室10的一下表面的一下壁16，第一、第二、第三腔架（chamber frame）11、12、13垂直地叠置在上壁15与下壁16之间，一第一隔墙17插设在第一腔架11与第二腔架12之间，以及一第二隔墙18插置在第二腔架12与第三腔架13之间。供基板输出或取出而经过的三个腔槽10a，是形成在多装载室10的相对横向侧。

相较于一装载室（图未示）具有一单一腔室，多装载室10具有一三层堆叠结构（stack structure）有利于改善制程效率与生产率，却不利于当基板的尺寸增加时，多装载室10的总高度是限制在装设在传输腔室中的机械手臂的有效Z轴参数。因此，当基板尺寸增加时，形成在多装载室10的上壁15、第一、第二隔墙17、18以及下壁16，具有无法以一足够强度的厚度加以牢固，避免由于单组腔室之间的压差所产生的弯曲应力的问题。

所以，当三单组腔室至少其一维持在真空状态时，在多装载室10的垂直方向产生一相对应于大气压力的压力。所产生的压力如同一弯曲应力作用到上壁15、第一以及第二隔墙17、18以及下壁16，以使上壁15、第一以及第二隔墙17、18、以及下壁16至少其一向内或向下弯曲。

举例来说，如图2所示，当第一、第三单组腔室11a、13a维持在大气压力状态ATM下，且第二单组腔室12a维持在真空状态VAC下时，由于在第一与第三单组腔室11a、13a以及第二单组腔室12a之间因压差所产生的弯曲应力，使第一隔墙17向下弯曲，而使第二隔墙18向上弯曲。此等弯曲现象会因在第一、第二隔墙17、18以及第一、第二、第三腔架11、12、13之间的摩擦而在制程上产生不良影响。再者，弯曲应力是转换到连接到装载室10的一槽阀（slot valve），以使槽阀的一外盖（housing，图未示）可能变形而造成泄漏，这是必须要考虑进去的。

另外，在多装载室10中，第一、第二、第三单组腔室11a、12a、13a的下表面，必须形成如可能可以夹住基板的机械手臂，也必须考虑进去。因此，可能要考虑一种形成复数个沟槽的方法，以整体地与每一单组腔室的底面而促进机械手臂的进入与取出。然而，在如此情况下，制造过程会变得复杂且制造成本也因而增加。

而且，当用来支撑基板的部位的一部分损坏时，操作员必须进入单组腔室内部进行维修损坏的部分。这是非常不方便的工作，而且在维修时进行相对应的拆卸是复杂的，这更是必须考虑进去的。

图3是表示另一现有用于化学气相沉积设备的多装载室20的横断面图。图4是表示图3现有装载室部分外观的透视图。请同时参考图3以及图4，装载室20包括一腔体21，具有复数个内容置空间21s用来容纳复数个基板，以及一托架结合件27，连结到腔体21的外壁。

腔体21包括一上壁22、一下壁24、设置在上壁22与下壁24之间的两个隔墙25，以及设置在上述壁面之间的一侧壁26。托架结合件27包括一第一结合件27a，具有相对应于侧壁26高度的一长度且螺合到腔体21的侧壁26，以及一第二结合件27b，是呈一小方板形且螺合到侧壁26以及隔墙25的一结合部。因此，可以将复数个基板保留在装载室20的内容置空间21s，以便改善工作效率。

在装载室20中，分别的内容置空间21s可以维持在制程中的不同压力状态下，即将基板输入到腔体21的每一内容置空间21s，或是将基板从腔体21的每一内容置空间21s取出的过程。因此，一压力是从在高压下的内容置空间21s转换到在低压力的内容置空间21s，以使隔墙25以及连结到隔墙25的侧壁26可被弯曲。结果，粒子即可从形成腔体21的上壁22、下壁24、隔墙25以及侧壁26之间的结合部所产生，或者是从腔体21以及托架结合件27之间的结合部所产生，于是在制程上即产生不良的影响。

发明内容

本发明的第一目的是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，可以凭借强化结构的强度将结构的变形最小化，以防止由于复数个单组腔室之间的压差所产生的弯曲应力，并避免因槽阀外盖结构变形而泄漏，其是凭借拦阻可能转换到槽阀以开启/关闭形成在腔室的复数个沟槽的弯曲应力。

本发明的第二目的是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，可以在允许机械手臂输入到腔室或从腔室取出时强化隔墙的强度，且可易于制造，以降低制造成本，以及结构简单而易于保养维修，更能依据处理基板的方式改善生产率。

本发明的第三目的是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，不仅可以坚固地连结到形成在腔体的各自壁墙，而且相较于现有技术，甚至是当由内容置空间之间的压差产生弯曲时，可以显著地降低于每一壁墙之间的部位，或是在每一壁墙与用来连结各自壁墙的结合结构之间所产生的粒子数量，因此改善了制程效率。

依据本发明所述第一目的，是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，包含一腔体，具有复数个单组腔室以将一基板容置其中，以及复数个使所述基板输入或取出的腔槽，形成在相对应所述单组腔室的一侧面以及另一侧面；以及至少一补强板，连结到形成有所述腔槽的所述腔体的一侧面与另一侧面至少其一，强化所述腔体的一强度，以防止因在所述复数个单组腔室之间的压差而产生的弯曲应力。

依据本发明所述第二目的，是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，包含一腔体，具有复数个凭借分割至少一隔墙的单组腔室以容置一基板，复数个强度强化单元，是相间隔地设置且可拆卸地连结到所述隔墙的一下表面，凭借强化所述隔墙的一强度以避免弯曲所述隔墙，以及复数个接触支撑条，可拆卸地连结到所述强度强化单元，且接触并的称所述基板。

依据本发明所述的第三目的，是提供一种用于化学气相沉积设备的装载室，包含一腔体，具有一上壁、一下壁、设置在所述上壁与所述下壁之间且大致与所述上壁与所述下壁平行的至少一隔墙，以及设置在越过所述上壁、所述下壁以及所述隔墙的一侧壁，以及具有复数个内容置空间以将一基板容置其中。

与现有技术相比较，本发明具有的有益效果是：

1.如上所述，依据本发明的概念，凭借设置连接到腔体每一相对侧的补强板，强化腔体的强度而使腔体的变形最小化，以防止由于单组腔室之间的压差所产生的弯曲应力，或是可凭借限制弯曲应力以避免形成在腔体用来开启/关闭沟槽的槽阀外盖的结构变形的泄漏，此一弯曲压力是可以转换到槽阀。

2.依据本发明概念，当允许机械手臂进入腔室或是从腔室离开时，可以强化腔体隔墙的强度。特别是，可容易地制造装载室以便降低制造成本。再者，由于装载室的结构简单而可易于保养以及维修，以便改善基板处理的生产率。

3.依据本发明的概念，相较于现有技术，不仅形成腔体的各自的壁墙是坚固地连结，而且在每一壁墙之间的一部位或是每一壁墙与用来结合各自壁墙的一结合结构之间的结合部位所产生粒子显著地减少，甚至是当由于内容置空间之间的压差所产生的弯曲也减少，因此改善了制程效率。

附图说明

图1以及图2是一现有多装载室的横断面图；

图3是另一现有用于化学气相沉积设备的多装载室的横断面图；

图4是图3现有装载室部分外观的透视图；

图5是本发明一化学气相沉积设备使用一装载室的一实施例的平面图；

图6是图5的装载室的透视图；

图7是图6装载室沿A-A线的横断面图；

图8是图6装载室沿B-B线的透视图；

图9是本发明另一实施例的装载室的一第一单组腔室的平面图；

图10是图9的透视图；

图11是图10的部分透视图；

图12是图11一主要部分的放大图；

图13是图9的部分断面放大以及分解透视图；

图14是图13一对准机的前视图；

图15是图14的后视图；

图16是图13对准机的平面图；

图17是图16的操作状态示意图；

图18是本发明再一实施例的装载室的透视图；

图19是图18的部分放大透视图；

图20是图18的纵断面图，以解释侧壁相对于隔墙的结合状态。

具体实施方式

本发明已在韩国智慧财产局主张在2007年11月21日申请韩国专利申请案案号10-2007-0119236、在2007年12月14日申请韩国专利申请案案号10-2007-0131150，以及在2008年03月26日申请韩国专利申请案案号10-2008-0027927的优点，全部结合揭示如下。

所附的图式是用来说明本发明的实施例，并引以获得对本发明足够的了解及其中的优点。在下文中，是参考所附的图式解释本发明的实施例并详加描述。而相同的参考元件编号是表示相同的元件。

下列叙述可供参考，以下所述的一基板可以是指平面显示器，包括液晶显示器（LCD）基板、等离子显示器面板（PDP）基板以及有机发光二极管（OLED）基板。为了方便解释，在目前实施例所使用的“基板”一词，是可为上述任一类型的基板。

图5是表示依据本发明一化学气相沉积设备使用一装载室的一实施例的平面图。图6是表示图5的装载室的透视图。图7是表示图6装载室沿A-A线的横断面图。图8是表示图6装载室沿B-B线的透视图。

请参考图5，例如用来制造一平板显示器的一化学气相沉积设备，包括复数个用来进行一化学气相沉积制程的制程腔室400，形成在将一基板输入到相对应的其中一制程腔室400的前供基板输入到制程腔室400的一环境的一装载室100，以及连接制程腔室400以及装载室100的一传输腔室500。一机械手臂510设置在传输腔室500中，用来将在装载室100的基板传输到相对应的其中一制程腔室400，或是将在相对应其中一制程腔室400的基板传输到装载室100。

化学气相沉积制程是在基板处在高温低压的环境中的制程腔室400中进行。由于难以将在大气压力状态下的基板直接地输入到在高温低压下的制程腔室400，因此在基板传输到相对应的其中一制程腔室400之前，必须凭借装载室100的作用来形成与制程腔室400相同的环境。

详细地说，当凭借一传输自控装置（图未示）将遭遇化学气相沉积制程的外部基板插入时，装载室100即形成与制程腔室400大致相同温度以及压力的内部环境。在与制程腔室400大致相同环境下的装载室100内的基板，是凭借于传输腔室500的机械手臂510将基板取出到其中一制程腔室400并进行相对应的沉积制程。相反地，当已在制程腔室400中完成化学气相沉积制程的基板，是凭借传输腔室500的机械手臂510取出，并传输到维持与外部世界大致相同温度与压力的装载室100。最后，再由传输自控装置将基板取出到外部世界。

如上所述，装载室100提供用来容置大致与制程腔室400相同状态的基板的一腔室，或者是在将一外部基板输入到制程腔室400的前或将基板从制程腔室400取出到外部世界的前的外部环境的一腔室。

请同时参考图6以及图7，依据本发明实施例的装载室100是包括具有三个单组腔室111a、112a、113a以将基板容纳其中的一腔体110，两个补强板120、130分别地连结到腔体110的前表面以及后表面，以强化腔体110的强度，以及复数个补强肋140、150分别地设置在腔体110的上表面以及下表面。

腔体110包括形成在腔体110上表面的上壁115，形成在腔体110下表面的下壁116，以垂直的Z轴方向叠置在上壁115与下壁116之间的第一、第二、第三腔架111、112、113，插置在第一以及第二腔架111、112之间的第一隔墙117，以及插置在第二、第三腔架112、113之间的第二隔墙118。第一以及第二隔墙117、118是分割腔体110的内部，以形成三个单组腔室111a、112a、113a。每一腔体110的构成元件是由铝质材质形成，且以复数个螺栓（图未示）而相互连结，以形成腔体110。

依据上述的三层堆叠结构，三个单组腔室111a、112a、113a是形成在腔体110内。也即，腔体110包括由上壁115、第一腔架1111与第一隔墙117所界定的第一单组腔室111a，由第一隔墙117、第二腔架112与第二隔墙118所界定的第二单组腔室112a，以及由第二隔墙118、第三腔架113与下壁116所界定的第三单组腔室113a。

如上所述，由于三个单组腔室111a、112a、113a是叠置而形成，故相较于具有单一腔室的装载室，依据本发明实施例的装载室100是有益于改善制程效率以及生产率。无论如何，两个或四个或更多个单组腔室（图未示）是可以依据其他实施例相互叠置而成装载室。

将一外部基板输入到每一单组腔室111a、112a、113a所经过的，或者是将基板从每一单组腔室111a、112a、113a取出所经过的三个腔槽111b、112b、113b，是形成在腔体110的前表面。三个腔槽111b、112b、113b是分别地相对应第一、第二、第三单组腔室111a、112a、113a而形成。虽然其并未绘制在图6以及图7，用来选择开启/关闭三个腔槽111b、112b、113b的一槽阀（图未示），设置在装载室100的前侧，以便于基板输出与取出流程期间开启三个腔槽111b、112b、113b相对应的其中之一，以及在完成基板输出与取出流程时关闭三个腔槽111b、112b、113b相对应的其中之一。

腔体110的后表面是连接到传输腔室500的部位。将基板从制程腔室400传输到每一单组腔室111a、112a、113a的基板所经过的，或者是将基板从每一每一单组腔室111a、112a、113a取出到制程腔室400所经过的三个腔槽111c、112c、113c，是分别地相对应第一、第二、第三单组腔室111a、112a、113a而形成。虽然并未绘制在图6以及图7，用来连接装载室100与传输腔室500且可选择地开启/关闭三个腔槽111c、112c、113c的一槽阀（图未示），是形成在装载室100的后侧。也即，基板输出与取出流程期间开启三个腔槽111c、112c、113c相对应的其中之一，以及在完成基板输出与取出流程时关闭三个腔槽111c、112c、113c相对应的其中之一。

请同时参考图6以及图7，一对补强板120、130是分别地连结到腔体110的前表面以及后表面，强化腔体110的强度以防止由于单组腔室111a、112a、113a之间的压差所产生的弯曲应力。在本实施例中，虽然补强板120、130是分别地连结到腔体110的前表面以及后表面，但补强板也可以仅连结到腔体110前表面与后表面其中之一，或是复数个补强板可以重叠地连结到腔体的任一表面。

当三个单组腔室111a、112a、113a至少其中的一维持在如上所述背景下的真空状态时，会在一垂直方向（Z轴方向）产生相对应大气压力的一压力，且此压力是以弯曲应力施加在上壁115、第一隔墙117、第二隔墙118以及下壁116，以使至少一壁墙向上或是向下弯曲。

举例来说，当第一、第三单组腔室111a、113a维持在大气压力，而第二单组腔室112a维持在真空状态时，由于第一、第三单组腔室111a、113a与第二单组腔室112a之间的压差所产生的弯曲应力，使第一隔墙117向下弯曲，而第二隔墙118向上弯曲。弯曲现象会由于第一、第二隔墙117、118与腔架111、112、113之间的摩擦所产生的粒子，而使制程产生不良影响。结果，装载室100在结构上产生变形，使得阻碍了基板精确的输入与取出。再者，弯曲应力转换至连接到装载室100的槽阀，使得槽阀的外盖（图未示）变形，并产生泄漏。

如用来解决问题的解决方法的补强板120、130，是强化腔体110的结构强度，以防止由于单组腔室111a、112a、113a之间的压差所产生的弯曲应力，使得腔体110的结构上的变形最小化，且拦阻转换到槽阀的弯曲应力以避免因槽阀外盖的变形而产生的泄漏。

如图6所示的补强板120、130的大小是上、下、左、右端可以分别地突伸到腔体110的上、下、左、右表面。相较于将补强板120、130的大小制造成相同或是小于腔体的110的前表面或是后表面，这就是为什么腔体110的结构强度可以获得进一步改善的原因。而且，相对应三个腔槽111b、112b、113b或是111c、112c、113c而设置的三个开口121、122、123或是131、132、133，是形成在补强板120或130上，而不会妨碍将基板输入到单组腔室111a、112a、113a，或是将基板从单组腔室111a、112a、113a取出。

依据本发明实施例的补强板120、130，是由具有强化机械强度的钢铁材质所制成，较佳者，是具有强化机械强度以及抗腐蚀的不锈钢材质，且使用复数个螺栓125、135固定地连结到腔体110。除了上述螺栓结合方法之外，补强板120、130以及腔体110可以不同方式结合。然而，经常使用的接合方法来当作是补强板结合方法，并不适合由铝质材质所形成的腔体110以及由不锈钢材质所制成的补强板120、130的结合方法。

请在同时参考图6以及图7，沿腔体110宽度X轴方向延伸的补强肋140、150，是分别地以一预定间隔设置在腔体110长度(Y轴)方向腔体110的上表面以及下表面的三个位置。设置在腔体110上表面的三个补强肋140，以及设置在腔体110下表面的三个补强肋150，是如图7所示相互对应地设置。这就是为什么上述补强肋140、150的配置可以进一步改善腔体110的结构强度的原因。然而，补强肋140、150的数量以及配置并不局限于上述的实施例，可以根据腔体110的形状以及尺寸进行不同的修改。

如上所述的补强板120、130，依据本实施例的补强肋140、150是由钢铁材质所制成，较佳者，是由强化机械强度以及防腐蚀的不锈钢材质所制成，而且使用复数个螺栓145、155固定地连结到腔体110的上表面以及下表面。每一补强肋140、150具有形成在其一侧端的一凸缘，如图7所示，是用来连接腔体110的上表面或是下表面，以促进螺栓结合。凭借上述补强板120、130，补强肋140、150更进一步强化腔体110的结构强度，以防止由于单组腔室111a、112a、113a之间的压差所产生的弯曲应力，使得可以将腔体110的结构变形最小化。

请参考图6，复数个由透明材质所形成的景窗119，设置在腔体110的左侧面以及右侧面。因此，当观察装载室100的内部时，制程操作员可以监测装载室100的进行。

请参考图7，依据本实施例的装载室100，更进一部包括长杆形的一补强条160，设置在每一上壁116、第一、第二隔墙117、118的上表面，以进一步强化腔体110的强度。也即，六个朝长度(Y轴)方向延伸的补强条160，是分别地设置在上壁116、第一、第二隔墙117、118的上表面上。此六个补强条160是朝腔体110宽度(X轴)方向以一预定间隔设置，如图5所示当作机械手臂510的进入路径。然而，补强肋160的数量以及配置并不局限于如上所述，而是可以依据腔体110的形状与尺寸作不同地修改。

就像如上所述的补强板120、130以及补强肋140、150，依据本实施例的补强条160是由钢铁材质所制成，较佳者，是由强化机械强度与防腐蚀的不锈钢材质所制，且用复数个螺栓（图未示）固定地连结到腔体110。补强条160加上如上所述的补强板120、130与补强肋140、150，是更进一步强化腔体110的强度，以防止由于单组腔室111a、112a、113a之间的压差所产生弯曲应力，使得可以将腔体110的结构变形最小化。

请同时参考图7以及图8，呈长杆状的一支撑条165是连结到每一补强肋160的上部，并接触及支撑容置在腔体110内的基板的下表面。依据本实施例的支撑条165是由一铝质材质所制成，且可拆卸地以滑动手段连结到朝其长度方向形成在补强条160上表面的沟槽160a。支撑条165的两端是固定到每一补强条160。

如图7所示，支撑条165是包括复数个万向滚珠165a，是以一预定间隔设置在其长度方向，且接触并支撑容置在腔体110中的基板的下表面。万向滚珠165a是提供来防止刮痕产生在容置在腔体110中的基板上。

在依据本实施例的装载室100中，由于补强板120、130是分别地连结到腔体110的前表面与后表面，因此强化了防止由于单组腔室111a，112a，113a之间的压差所产生的弯曲应力的腔体110的强度，使得可以将腔体110的结构变形最小化。而且，补强板120、130是避免弯曲应力转换到形成在腔体110上且用来开启/关闭腔槽111b、112b、113b的槽阀，以防止因槽阀外盖的结构变形所产生的泄漏。

再者，由于依据本实施例的装载室100包括连结到腔体110的补强肋140、150以及补强条160，可以更进一步地强化腔体110的强度，以防止弯曲应力。

图9是表示依据本发明另一实施例的装载室的一第一单组腔室的平面图。图10是表示图9的透视图。图11是表示图10的部分透视图。图12是表示图11一主要部分的放大图。图13是表示图9的部分断面放大以及分解透视图。图14是表示图13一对准机的前视图。图15是表示图14的后视图。图16是表示图13对准机的平面图。图17是表示图16的操作状态示意图。

依据本发明另一实施例的装载室（图未示），进一步包括用来对准一基板的对准单元，请同时参考图13～17，且将在后进行详述。

如图13～17所示，装载室包括复数个连接到腔体110一部位的对准机280，并接触且挤压一基板输入到如图7所示的单组腔室111a、112a、113a，以校准基板，以及一对准参考板265，是邻近每一对准机280而设置，以及每一对准机相互作用，且限制校准基板的对准机280的转动。

相较于以一较简单结构的现有技术，对准机280以及对准参考板265是精确地完成对基板的一校准工作。特别是，相较于现有技术，由于因为对基板进行不精确的校准工作所附加的完成的校准工作会减少，因此可以改善生产率。

对准机280与对准参考板265设置在每一单组腔室111a、112a、113a的结构是可供参考。为了方便解释，在后续的叙述中仅讨论对准机280以及对准参考板265设置在第一单组腔室111a的结构状态。

请参考图9，二对准机280设置在第一单组腔室111a的对角区域，且完成校准工作以将基板输入到第一单组腔室111a。特别是如图14以及图15所示，依据本实施例的每一对准机280是由一单一部件所制成，并可拆卸地连结到图13腔架111的穿透部H的区域。也即，在本实施例中，以单一部件制成的每一对准机280是连结到腔架111的穿透部H的区域，以使对准机280的一部分可以面向第一单组腔室111a的内部，以及另一部份可以露出第一单组腔室111a外。当对准机280如图14以及图15所示由一部件所制成，且连接到腔架111的穿透部H的区域时，可以容易装设对准机280，较容易进行保养以及维修。然而，本发明的范围并不以此为限。

每一对准机280包括一本体部286、一轴部281、具有一端可转动地连接到轴部281的一滚筒支撑部282、复数个连接到滚筒支撑部281而可以相对转动的滚筒组件283、复数个连接到每一滚筒组件283且接触基板侧表面的接触滚筒284，以及连接到本体部286且相对轴部281以转动滚筒支撑部282的一转动驱动部285。

本体部286是连结到如图13的穿透部H，以从一腔架211外露。而转动驱动部285是连结到本体部286。也即，转动驱动部285的一汽缸本体285a设置在本体部286。

轴部281是可转动地支撑滚筒支撑部285。轴部281的高度是设计成可以凭借接触滚筒284接触并支撑输入到第一单组腔室111a的基板的侧表面。一连结凸缘281a设置在轴部281的一下端。

滚筒支撑部282是支撑滚筒组件283以及接触滚筒284，且具有连接到轴部281并以一预定角度相对于轴部281朝向前方以及后方转动的一端部。滚筒支撑部282是考虑滚筒组件283的配置，而制造成如图所示具有一特殊厚度以及一特殊弯曲形。但本发明并不以此为限，且滚筒支撑部282并不一定要形成具有如上述的形状。

滚筒组件283是支撑接触滚筒284，并连结到滚筒支撑部282。在本实施例中，二滚筒组件283设置在滚筒支撑部282，而每一滚筒组件283是以相互交叉的方向设置在滚筒支撑部282上。此一配置是考虑以一般具有矩形形状的基板为基础。

相对于现有技术，当滚筒组件283固定到滚筒支撑部282时，在本实施例中，滚筒组件283设置在该滚筒支撑部282，以可以自由地以一预定角度范围进行转动。因此，相较于现有技术，可以大大地改善对基板作校准工作的影响。滚筒组件283可以由与滚筒支撑部282有所不同的工程塑胶所制成，但是本发明的范围并不以此为限。

接触滚筒284是大致地接触基板，且有一对接触滚筒284是连接到每一滚筒组件283。虽然接触滚筒284可以一个或三个或更多个部件连结到滚筒组件283，但较佳者，两个接触滚筒284的连结是较有效率的。

接触滚筒284设置在可以相对于滚筒组件283以一预定角度朝向前方向以及向后方向自由地转动。由于滚筒支撑部282可以相对于轴部281朝向前方向与向后方向转动，所以滚筒组件283可以相对于滚筒支撑部282作相对转动，且接触滚筒284可以相对于滚筒组件283作相对转动，而相对于现有技术，在校准工作中的效率可以显著地改善。以下叙述可供参考。较佳地，接触滚筒284可以由塑胶材质所制成，例如橡胶或是硅材等不会损伤基板的材质。

转动驱动部285是连结到本体部286，且相对轴部281以转动滚筒支撑部282。转动驱动部285可以致造成各式各样不同的形状，而在本实施例中的转动驱动部285是一汽缸，其可以是一液压缸、一气压缸，或是一液压以及气压缸。

汽缸285包括设置在沿腔架111一区域上的隔墙117的一表面方向的一汽缸主体285a，以及可以相对于汽缸主体285a而延伸或收缩的一汽缸杆285b，其具有可转动地连结到形成在滚筒支撑部282下表面部位的一突伸部282a的一端部。

因此，当汽缸杆285b相对于汽缸主体285a延伸时，对准机280可以如图17所示，朝一向前方向R1转动。当汽缸杆285b相对于汽缸主体285a收缩时，对准机280则可以如图17所示，朝一向后方向R2转动。虽然在本实施例中的滚筒支撑部282是由不锈钢材质所制成，但本发明并不以此为限。

如上所述，在本实施例中，由于每一滚筒组件283以一部件连结两个接触滚筒284的滚筒组件283，是连结到滚筒支撑部282而可以相对转动，对基板的精确校准而言，转动必须有所限制，且对准参考板265设置在其中。也即，当滚筒组件283转动到一角度时，接触滚筒284可以接触对准参考板265，以便可以限制滚筒组件283的转动。

当对准参考板265限制接触滚筒284的转动时，即已决定基板凭借接触滚筒284自动地移动的一最终位置，以便对准参考板265可以供一基板进行对准参考。本实施例的对准参考板265大略地呈L型。

对准参考板265是连结到将在如后详述的一强度补强单元260。详而言的，对准参考板265是连结到强度补强单元260的一补强条261，特别是连结到补强条261一端部区域的一第一上表面261a。

请再往回参考图9～图12，本实施例的装载室（图未示）包括复数个强度补强单元260，可拆卸地连结到图7所示的每一隔墙117、118的上表面以避免隔墙117、118弯曲，并强化隔墙117、118，以及复数个接触支撑条270，可拆卸地连结到强度补强单元260以接触并支撑基板。

以下叙述可供参考。在本实施例中，“弯曲”一词是代表包括所有如图2所示的隔墙117、118向上以及向下弯曲，以及隔墙117、118某部分的扭曲或变形。

强度补强单元260与接触支撑条270可以允许如图5所示的机械手臂510进入与取出，且同时地强化隔墙117、118的强度。特别是，由于便于制造装载室而使得制造成本可以降低。再者，装载室的结构简单，易于保养以及维修，而使得针对处理基版的生产率可以改善。

虽然强度补强单元260与接触支撑条270设置在隔墙117、118，而在下列的叙述中，为方便解释，则仅讨论形成在第一单组腔室111a底面的隔墙117。

如图9～12所示，每一强度补强单元260包括呈长杆形的补强条261，形成有设置在补强条261与隔墙117之间的一本体以及一空板263。

补强条261具有一相对大于空板263与接触支撑条270的体积，且大致地避免隔墙117弯曲。补强条261的横断面结构是大致呈台阶形。因此，补强条261的上表面具有形成较上阶的第一上表面261a，以及形成与第一上表面261a平行且较低于第一上表面261a的第二上表面261b。补强条261可以由铝质或钢质材质所制成。

空板263设置在补强条261与隔墙117之间，且可以由铁氟龙等不同在补强条261的材质所形成。当空板263是由铁氟龙材质所形成时，会由于补强条261与隔墙117之间的摩擦而产生粒子。

补强条261与空板263可以螺栓结合方法连结到隔墙117的上表面。无论如何，由于本发明的范围并不以此为限，除了螺栓结合方法之外，例如一强迫插入的方法也可以运用。

由于空板263设置在补强条261与隔墙117之间，因此空板263的尺寸可以呈一完整面板结构，是大致相等或是小于补强条261的底面。然而，在本发明中，空板263是由复数个朝补强条261长度方向而切开的单板263a所组成。在此例中，复数个供部分单板263a上表面插入的单板插入槽262，可以形成在补强条261的上表面。然而，由于本发明并不以此为限，因此单板插入槽262并不一定需要形成在补强条261的下表面。不过，当单板插入槽262形成在补强条261下表面时，由于可以设定补强条261与单板263a之间的相对结合位置，因此工作可以较容易进行。

当每一强度补强单元260，包括有补强条261以及空板263，且以一相同间隔连接于隔墙117的下表面上时，则装载室的制造变得易于进行，使得制造成本可以降低，且可以允许机械手臂510进行输入与取出的操作。虽然机械手臂510并未详细地绘制，由于一般用于处理基板的机械手臂510是呈分叉形，因此机械手臂510可以在强度补强单元260之间的空间进行输入或取出，以便由于强度补强单元260而自然地容许机械手臂510的输入与取出的操作。

接触支撑条270可以可拆卸地一对一连结到强度补强单元260（本发明是六个单元）。接触支撑条270可以由铝质材质所形成。复数个大致地支撑基板的万向滚珠271设置在每一接触支撑条270的表面上。万向滚珠271设置在朝接触支撑条270的长度方向以一相同间隔设置在接触支撑条270上。当万向滚珠271上支撑着基板时，与基板的接触区域可以降低，以便减少在基板上所产生的刮痕。

本发明在接触支撑条270的装设位置中，接触支撑条270是连结到补强条261的第二上表面261b。如上所述，补强条261的第二上表面261b是形成在较低于第一上表面261a的位置。然而，当接触支撑条270连结到补强条261的第二上表面261b时，接触支撑条270的万向滚珠271可以位于较高于第一上表面261a的位置。

如重复地叙述，由于接触支撑条270是大致地支撑基板，因此接触支撑条270通常会与基板产生摩擦。于是，连结到接触支撑条270的万向滚珠271需要能容易地进行置换。然而，对一位工作者而言，直接进入到单组腔室111a、112a、113a进行置换万向滚珠271是非常不方便的。因此，当接触支撑条270连结到可以容易拆卸的强度补强单元260时，即可以容易地完成接触支撑条270的保养以及维修。

接触支撑条270到强度补强单元260的补强条261的可拆卸结构可以是各式各样不同的。在本发明中，设置有一可拆卸滑动结合部件273，以便接触支撑条270可以可拆卸地滑动连结到补强条261。

可拆卸滑动结合部件273包括沿接触支撑条270长度方向而形成在接触支撑条270两端的一滑动槽部273a，以及垂直地从在其端部的补强条261的第二上表面261b突伸的一对滑动突伸部273b，以便滑动突伸部273b是可滑动地插入到滑动槽部273a。而且，可拆卸滑动部件273更进一步包括具有大于滑动突伸部273b半径的一挡块273c，是连结到每一滑动突伸部273b的顶端，以避免接触支撑条270的垂直移动。

在上述的结构中，当要完成接触支撑条270的保养与维修工作或是万向滚珠的置换工作时，首先，必须移除挡块273c以便接触支撑条270可以容易地从强度补强单元260的补强条261分离。当接触支撑条270从补强条261拆除时，可以在单组腔室111a、112a、113a外部容易地完成工作。

当完成了保养与维修工作时，接触支撑条270的滑动槽部273a是滑动地连结到滑动突伸部273b，然后挡块273c再连结到滑动突伸部273b。在此状态下，由于接触支撑条270的向上移动受到限制，使得接触支撑条270可以容易地连结到强度补强单元260的补强条261。

依据本发明的概念，由于在允许机械手臂510进出单组腔室111a、112a、113a时，可以强化隔墙117、118的强度，因此装载室的制造非常容易，进而可以降低制造成本。再者，由于装载室的结构简单，其保养与维修工作变得简单，以便改善基板处理的生产率。

请参考图18～20，依据本发明另一实施例的一装载室300，包括具有复数个内容置空间310s以将复数个机板容置其中的一腔体310，以及一结合件340。腔体310包括一上壁315、一下壁316、设置在上壁315与下壁316之间且与上壁315以及下壁316平行的复数个隔墙320，以及垂直设置在此等壁墙之间的一侧壁330。结合件340是连结隔墙320以及侧壁330。

为了方便解释，在下列的叙述中，一第一隔墙320a是代表设置在上部的其中一隔墙320，一第二隔墙320b是代表设置在下部的另一隔墙320。侧壁330包括复数个设置在上壁315与第一隔墙320a之间、在第一隔墙320a与第二隔墙320b之间、下壁316与第二隔墙320b之间的单组侧壁330a。

腔体310包括一入口部311，是用来将一外部基板输入到内容置空间310s以便基板可以输入到内容置空间310s，或是用来将基板从内容置空间310s取出到如图5所示的传输腔室500，以及一出口部（图未示），用来将基板从内容置空间310s取出到传输腔室500。而且，腔体310更进一步包括一压力控制部（图未示）以及一温度控制部（图未示），以大略地控制内容置空间310s的压力与温度。特别是，压力控制部是选择性地将内容置空间310s的压力控制到大致与外部大气压力相同，或者是控制成大致与如图5所示的制程腔室400相同的真空状态，以便可以维持基板的信赖性。

在本实施例的腔体310结构中，首先，一对单组侧壁330a是垂直地连结到下壁316的两侧，且第二隔墙320b是叠置在单组侧壁330a的顶端上。另一对单组侧壁330a是垂直地连结到第二隔墙320b的两侧，且第一隔墙320a是叠置在单组侧壁330a的顶端上。虽然在本实施例中腔体310的内容置空间310s为三个，单本发明的范围并不以此为限，若是需要的话，两个或四个或更多个的内容置空间310s是也可以设置在腔体310。

垂直设置其下的上壁315以及单组侧壁330a是可以一螺钉（图未示）作连结。而且垂直设置其上的下壁316与单组侧壁330a可以一螺钉（图未示）作连结。

设置在其下的隔墙320以及单组侧壁330a是使用本实施例的结合件340（即螺钉）作连结，其是穿透隔墙320的水平面再螺合到单组侧壁330a。上述的结合结构是与如图3以及图4依据现有技术的装载室20的结合结构十分地不同。也即依据现有技术，具有一长度方向的一托架结合件27，是连结到腔体21的外壁并外露以连结到相对应的壁墙。然而，此一结合结构是具有一问题，即在结合部位会产生大量的粒子。换句话说，当隔墙25与侧壁26重复地弯曲，在腔体21隔墙25与侧壁26之间，或是腔体21托架结合件27、隔墙25与侧壁26之间，会因为由腔体21内容置空间21s之间的压差而产生摩擦。结果，会产生粒子以致于对制程产生不良影响。

然而，依据本实施例，由于螺钉340连结隔墙320以及侧壁330的单组侧壁330a，在侧壁330中，显著地降低于现有技术中如图3所示的隔墙25与腔体21的侧壁26之间的接触部位，或是托架结合件27、隔墙26与腔体21的侧壁26之间的接触部位所产生的磨擦，以便降低粒子的产生。

详而言之，复数个用来插入且移除螺钉340的插入空间321s，设置在隔墙320上方的单组侧壁330a，以使用螺钉340连结设置在隔墙320及其下的单组侧壁330a。每一插入空间321s是在单组侧壁330a外表面向内朝内容置空间310s形成一凹陷部，且可以在每一单组侧壁330a加工处理形成一转角部。

如图20放大图所示，依据本实施例的结合件340（即螺钉340）包括在结合时定位于隔墙320上部的一头部341，以及连结到隔墙320下部与单组侧壁330a上部的一柄部，以避免在穿透隔墙320的后螺钉340的上部向外突伸，且连接到单组侧壁330a并坚固地连结所有壁墙。用来容置螺钉340头部341的一容置槽323设置在隔墙320的上部，以避免头部341露出隔墙320的上表面。如此的形状，凭借降低于各自结构元件之间所产生的摩擦，甚至是降低当可能在隔墙320及其他壁墙之间弯曲所产生的摩擦，是可以减少粒子的产生。

详而言之，由于结合件340是穿透隔墙320的边缘部，其是在隔墙320产生最小的如弯曲的变形，然后连结到单组侧壁330a，甚至是当隔墙320或侧壁330由于腔体310知内容置空间310s之间的压差而弯曲，可以避免在结合件340与隔墙320之间的结合部位产生最少的粒子。

如图18以及图19所示，用来监测内部容置空间310s的一景窗332，设置在每一单组侧壁330a。结合件340所连结到的一结合孔334设置在装设有景窗332的单组侧壁330a的下表面。当穿经结合孔334的结合件340穿经单组侧壁330a与隔墙320的一部位，然后连结到设置在隔墙320下方的单组侧壁330a时，不仅设置在隔墙320下方的单组侧壁330a，而且设置在隔墙320上方的单组侧壁330a与隔墙320三者是相互连结。

由于景窗332是连结到单组侧壁330a的一开口部，因此可以连结的结合件340是从单组侧壁330a的外表面向内地插入一预定距离，且连结到单组侧壁330a以及邻近隔墙320。而且，由于此等结合是将结合部340连结到隔墙320产生最少弯曲的一边缘部，因此如上所述的理由，可以降低粒子的产生。

一粒子防漏部350，用来避免由于内容置空间310s与一O型环（图未示）之间的压差而产生粒子，而O型环（图未示）是在各自壁墙之间防止外部空气的侵入，粒子防漏部350更进一不可以设置在隔墙320与单组侧壁330a之间的一结合部位、上壁315与单组侧壁330a之间的一结合部位，以及下壁316与单组侧壁330a之间的一结合部位。

粒子防漏部350是沿上述结合部位的周围方向如图19、20所示呈一带状。如上所述，由于结合件340是连结到相对产生较少弯曲的一部位，因此相较于现有技术，可以降低粒子的产生。在本实施例中，由于更进一步设置粒子防漏部350，甚至是当有粒子产生时，可以防止粒子往外部逃离以便更进一步改善制程效率。

粒子防漏部350不是由铁氟龙材质制成就是由聚碳酸酯树脂等绝缘材质所制成。特别是，铁氟龙是具化学惰性并耐热，而且呈现优良绝缘稳定度，以致于适合用于粒子防漏部350。粒子防漏部350是可以粘合或螺合到上述的结合部位。

O型环是避免外部空气侵入到产生在上壁315与单组侧壁330a之间、隔墙320与单组侧壁330a之间以及下壁316与单组侧壁330a之间的细小空间。O型环是可以沿在各自壁墙之间的接触面的周为方向设置。

本实施例的隔墙320包括一突伸部325，是朝每一内容置空间310s突伸以维持一预定强度。甚至是当将一负载物设置在由定位于隔墙320上方以及下方的内容置空间310s之间的压差的方向，突伸部325可以将隔墙320的弯曲最小化。再者，可以由于隔墙320的结构而更进一步减少结合件340所连接到的隔墙320外区域的弯曲，以便可以确实地减少粒子的产生。

突伸部325的长度是约略小于内容置空间310s的宽度。也即如图20所示，一分离间隙G是形成在突伸部325的侧面与单组侧壁330a的内侧面之间。因此，相对于大气压力的一分布负载是从定位于隔墙320上方的内容置空间310s朝隔墙320作动。当隔墙320凭借分布负载而向下弯曲时，在突伸部325的侧面与单组侧壁330a的内侧面之间的分离间隙G，是可以避免突伸部325的侧面与单组侧壁330a的内侧面的相互接触，以便防止粒子的产生。

再如上所述用于化学气相沉积设备的装载室的操作中，当一基板从外部输入到腔体310较上方的内容置空间310s，且大致同时地在制程腔室400完成一预定制程维持在腔体310中间的内容置空间310s，由于较上方的内容置空间310s是维持大致与制程腔室400相同得真空状态，且中间的内容置空间310s是维持大致与外部环境相同的大气压力，因此产生从中间的内容置空间310s到较上方的内容置空间310s的一分布负载。于是，隔墙320稍微地在一方向弯曲。当上述过程重复时，隔墙320可以向上或是向下弯曲，以便此一弯曲或是隔墙320可以不仅影响单组侧壁330a而且影响连接到隔墙320与单组侧壁330a的结合件340。

结果，在图3所示的装载室20中，粒子是由于腔体21与连结到腔体21外壁的托架结合件27之间的一结合部位的各自壁墙的弯曲所产生，使得洁净室受到污染。然而，本实施例的结合件340并为结合到腔体310的外壁而外露到外部，而是穿透最少弯曲的隔墙320的外区域，然后连结到邻近的单组侧壁330a，如此是可以显著地降低产生粒子的数量。

而且，在本实施例中，呈带状的粒子防漏部350设置在隔墙320与单组侧壁330a之间的结合部位、上壁315与单组侧壁330a之间的结合部位，以及下壁316与单组侧壁330a之间的结合部位，以避免粒子泄漏到外部。因此，可以减少在制程中的错误。

依据本实施例，由于各自形成腔体310的壁墙是坚固地连结，且由于内容置空间310s之间的压差所产生各自壁墙的弯曲，几乎不会影响装载室，而显著地降低于各自壁墙的结合部位所产生的粒子数量，使得工作空间的环境可以维持洁净。

如上所述的实施例中，虽然隔墙是整体地设置在单组侧壁之间以将腔体分割成复数个内容置空间，但是隔墙可以分开地制造成一上壁以及一垂直地叠置的下壁，以在各自单组侧壁上维持结合状态。

如上所述，依据本发明的概念，凭借设置连接到腔体每一相对侧的补强板，强化腔体的强度而使腔体的变形最小化，以防止由于单组腔室之间的压差所产生的弯曲应力，或是可凭借限制弯曲应力以避免形成在腔体用来开启/关闭沟槽的槽阀外盖的结构变形的泄漏，此一弯曲压力是可以转换到槽阀。

依据本发明概念，当允许机械手臂进入腔室或是从腔室离开时，可以强化腔体隔墙的强度。特别是，可容易地制造装载室以便降低制造成本。再者，由于装载室的结构简单而可易于保养以及维修，以便改善基板处理的生产率。

依据本发明的概念，相较于现有技术，不仅形成腔体的各自的壁墙是坚固地连结，而且在每一壁墙之间的一部位或是每一壁墙与用来结合各自壁墙的一结合结构之间的结合部位所产生粒子显著地减少，甚至是当由于内容置空间之间的压差所产生的弯曲也减少，因此改善了制程效率。

以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，包含：

一腔体，凭借至少一隔墙将所述腔体分割而具有复数个单组腔室，每一个单组腔室能够容纳一基板，每一个所述隔墙上具有复数个强度补强单元；

所述复数个强度补强单元，是相互间隔而设置，且可拆卸地连结到每一个所述隔墙的一上表面，以强化所述隔墙的强度，以避免造成所述隔墙弯曲，每一强度补强单元包括一补强条与一空板，所述补强条呈长杆形，且形成一本体；所述空板设置在所述补强条以及所述隔墙之间；以及

复数个接触支撑条，是可拆卸地一对一连结到所述强度补强单元，并接触且支撑所述基板；

复数个用于传输且支撑所述基板的万向滚珠，设置在所述接触支撑条的一表面上；

所述补强条是台阶形，所述补强条的顶部具有一第一上表面以及一平行所述第一上表面且比所述第一上表面低的第二上表面，所述接触支撑条连结到所述补强条的第二上表面，且进一步包括一可拆卸滑动结合部，以将所述接触支撑条可拆卸地滑动连结到所述补强条。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述补强条以及所述空板是以螺栓结合方法而可拆卸地连结到所述隔墙的上表面。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述空板是由铁氟龙材质所制成。

4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述空板是由朝所述补强条的长度方向分割成复数个单板所形成，以及，所述补强条的下表面形成有复数个单板插入槽，以供所述复数个单板插置。

5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述接触支撑条是由铝质材质所制成。

6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述可拆卸滑动结合部包含：

一对滑动槽部，朝所述接触支撑条的长度方向分别形成在所述接触支撑条的两个端部；以及

一对滑动突伸部，分别垂直地从所述补强条的第二上表面的两端区域突伸，并凭借滑动插入所述一对滑动槽部。

7.根据权利要求6所述的用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，所述可拆卸滑动结合部进一步包含一大于滑动突伸部半径的挡块，所述挡块连结到每一滑动突伸部的顶端，以避免接触支撑条的垂直移动。

Images