CN102009176B - 硅粉真空压实装置及其方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅粉真空压实装置及其方法，该硅粉真空压实装置，包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀，硅粉放置在可抽真空容器内。利用该装置进行压实的方法为：首先将硅粉装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀，硅粉经过真空及气体吹压得到压实。本发明提供的技术方案是在原有单晶炉的基础上增设的，与传统的机械直接接触式压实相比，该硅粉压实装置既可让硅粉得到充分利用，又避免了硅料的再污染，且该装置加工成本低、操作简单。
Description
技术领域
本发明属于硅材料处理利用技术领域，特别是一种硅粉真空压实装置及其方法。
背景技术
受益于光伏行业的快速发展，近年来太阳能级多晶硅材料的应用得到了迅猛发展。虽然几年来多晶硅的产量不断增加，但仍然赶不上多晶硅的需求，尤其是赶不上太阳能级多晶硅需求的增长速度，在全球范围内，太阳能级多晶硅的供需缺口越来越大，供不应求的状况愈演愈烈，这就要求我们不断发展新的方法或装置利用一切可以使用的硅原料，如硅粉。但对硅粉的利用需要我们在装炉前对其进行压实处理。行业内也有部分企业不经过压实直接装炉使用的，结果发现硅粉在抽真空阶段进入炉子真空管道，严重危害了炉子的使用性能。故大部分企业都在使用前对其优先压实，目前行业内对合格硅粉的压实通常采用机械压实，但这种方法的加工成本高，且由于加工环境及压实设备中金属器件的存在，给硅粉带来了二次污染，严重降低了硅粉的质量，并最终影响晶体质量。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：设计一种新的硅粉压实方法或装置，使其既能让硅粉得到充分利用，又不降低硅粉压实后的质量。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅粉真空压实装置，包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀，硅粉放置在可抽真空容器内。
进一步地，可抽真空容器包括外壳及其上盖，上盖盖在外壳上。
更进一步地，上盖和外壳之间通过多个紧固压脚彼此固定连接，上盖和外壳之间的密封面设置密封垫。
为避免硅粉在压实的过程中受到在污染，硅粉放置在石英坩埚内，石英坩埚放置在可抽真空容器中，该石英坩埚优选直拉单晶硅中承载硅料的石英坩埚。
可抽真空容器内设置基座，石英坩埚安放在基座内。
进一步地，为方便硅粉压实后石英坩埚的搬移，基座有两个半环部件组装而成，两个半环部件之间通过紧固压脚连接成一体，同时在石英坩埚与基座之间设置衬板保护石英坩埚。
为防止通过进气阀泄压时强大的气流对硅粉的直接冲刷，在可抽真空容器的进气阀的下方设置挡风缓冲板，挡风缓冲板挂设在可抽真空容器的内壁上。
进一步的，在可抽真空容器上设置监测可抽真空容器内部压力的负压阀。
一种使用本技术方案中的装置进行硅粉真空压实的方法，首先将硅粉装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀，硅粉经过真空及气体吹压得到压实。
整个抽真空时间控制在28～30分钟，在真空度达到28mmHg时将流量调至最小并保持4～5分钟，然后关闭抽真空阀，迅速打开进气阀。
本发明的有益效果是：本发明提供的技术方案是在原有单晶炉的基础上增设的，利用该硅粉压实装置既可让硅粉得到充分利用，又避免了硅料的再污染；且该装置加工成本低、操作简单。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明；
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明中的基座的结构示意图；
其中：1.外壳，2.基座，2-1.半环部件，3.石英坩埚，4.上盖，4-1.负压表，4-2.进气阀，4-3.抽真空阀，4-4.挡风缓冲板，5.衬板，6.紧固压脚，7.密封垫，8.硅粉。
具体实施方式
如图1所示的硅粉真空压实的装置，该装置包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀4-2、抽真空阀4-3以及监测可抽真空容器内部压力的负压阀4-1。可抽真空容器包括外壳1及其上盖4，上盖4盖在外壳1上。上盖4和外壳1之间通过多个紧固压脚6彼此固定连接，上盖4和外壳1之间的密封面设置密封垫7。硅粉8放置在石英坩埚3内，石英坩埚3放置在可抽真空容器中，该石英坩埚3优选直拉单晶硅中承载硅料的石英坩埚。可抽真空容器内设置基座2，石英坩埚3安放在基座2内。基座2有两个半环部件2-1组装而成，两个半环部件2-1之间通过紧固压脚6连接成一体，同时在石英坩埚3与基座2之间设置衬板5保护石英坩埚3。石英坩埚3侧面与基座2间的衬板5采用PP材料，石英坩埚3底部与基座2间垫的衬板5采用橡胶材料。在可抽真空容器的进气阀4-2的下方设置挡风缓冲板4-4，挡风缓冲板4-4挂设在可抽真空容器的内壁上。
一种使用本技术方案中的装置进行硅粉真空压实的方法：硅粉8压实前，首先将直拉单晶硅专用石英坩埚3置于基座2上，然后将可供使用的硅粉8小心装入石英坩埚3内，用干净的洁净纸清理坩埚壁，盖上上盖4并固定好，连接真空泵抽真空，抽真空时必须非常慢的调节流量，使负压表4-1表针走速缓慢，要求整个抽真空时间控制在28～30分钟；在真空度达到28mmHg时将流量调至最小并保持4～5分钟后关闭抽真空阀4-3，迅速打开进气阀4-2。硅粉8在经过真空及气体吹压后得到压实，打开上盖4和基座2的紧固压脚6，将石英坩埚3连同压实后的硅粉8一起移入直拉单晶炉内完成后续的化料和拉晶过程。
Claims (4)
1.一种硅粉真空压实装置，其特征是：包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀(4-2)和抽真空阀(4-3)；
所述的可抽真空容器包括外壳(1)及其上盖(4)，上盖(4)盖在外壳(1)上；
所述的上盖(4)和外壳(1)之间通过多个紧固压脚(6)彼此固定连接，上盖(4)和外壳(1)之间的密封面设置密封垫(7)；
所述的硅粉(8)放置在石英坩埚(3)内，石英坩埚(3)放置在可抽真空容器中；
所述的可抽真空容器内设置基座(2)，石英坩埚(3)安放在基座(2)内；
所述的基座(2)由两个半环部件(2-1)组装而成，两个半环部件(2-1)之间通过紧固压脚(6)连接成一体，所述的石英坩埚(3)与基座(2)之间设置衬板(5)。
2.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器的进气阀(4-2)的下方设置挡风缓冲板(4-4)，挡风缓冲板(4-4)挂设在可抽真空容器的内壁上。
3.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：在所述的可抽真空容器上设置监测可抽真空容器内部压力的负压阀(4-1)。
4.一种使用权利要求1、2或3所述的装置的硅粉真空压实方法，其特征是：首先将硅粉(8)装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀(4-3)将可抽真空容器抽真空，整个抽真空时间控制在28～30分钟，在真空度达到28mmHg时将流量调至最小并保持4～5分钟，然后关闭抽真空阀(4-3)，迅速打开进气阀(4-2)，硅粉(8)经过真空及气体吹压得 到压实。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010198191 CN102009176B (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 硅粉真空压实装置及其方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010198191 CN102009176B (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 硅粉真空压实装置及其方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102009176A CN102009176A (zh) | 2011-04-13 |
| CN102009176B true CN102009176B (zh) | 2013-03-27 |
Family
ID=43839608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010198191 Active CN102009176B (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 硅粉真空压实装置及其方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102009176B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104051726B (zh) * | 2014-06-20 | 2017-01-04 | 河南鑫凯新能源有限公司 | 锰酸锂的制备方法 |
| CN104051710A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-09-17 | 河南鑫凯新能源有限公司 | 磷酸铁锂的制备方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101173368A (zh) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 北京有色金属研究总院 | 在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置 |
| CN101240449A (zh) * | 2007-11-29 | 2008-08-13 | 晶湛（南昌）科技有限公司 | 一种纯化硅的方法 |
| CN101429677A (zh) * | 2007-11-07 | 2009-05-13 | 常州华盛天龙机械有限公司 | 一种多晶硅铸锭炉 |
| CN101565851A (zh) * | 2009-05-11 | 2009-10-28 | 浙江金西园科技有限公司 | 一种太阳能硅单晶的制作方法 |
-
2010
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101173368A (zh) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 北京有色金属研究总院 | 在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102009176A (zh) | 2011-04-13 |
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| C10 | Entry into substantive examination | ||
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